JP5064489B2 - 物体の表面輪郭を測定するための顕微鏡および顕微鏡検査方法 - Google Patents
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Description
カラーモジュールはレンズをただ1つのレンズとして、かつ鏡をただ1つの鏡として有してもよい。特にレンズの両側は球面として形成してもよく、その結果、製造は容易に所望の精度でかつコスト的に有利に実施することができる。
さらに検出光路内のカラーモジュールに貫通孔を備えた偏向鏡を設けてもよく、試料光が発散光線束として貫通孔を通過し、カラーモジュールに当たり、かつカラーモジュールから平行束として到来しながら偏向鏡で偏向される。この場合はカラーモジュールおよび偏向鏡を、試料光が平行光線束として拡散する検出光路内の領域に配置することができ、別の1つのコリメータが設けられている。偏向鏡、コリメータおよびカラーモジュールは、平行の試料光線束が偏向鏡から平行束としてコリメータに向けて反射され、前記コリメータは、試料光線束が偏向鏡の貫通孔を通過し、かつ貫通孔の後方で発散光線束として拡散するように前記試料光線束を偏向鏡へ集束する光線束として逆反射するように配置することができる。この発散する光線束は次に偏向鏡で検出光路内の次の光学素子へ平行束として偏向される発散する光線束を偏向鏡へ戻して平行束として反射するカラーモジュールに当たる。
本発明に係る顕微鏡の場合、照明モジュールは共焦点照明を実現することができる。しかしながら物体照明を垂直光−明視野照明または透過光−明視野照明によって実現することも可能である。この場合は単に検出が共焦点で実施される。
波長依存性の検出のために共焦点に結像される試料光のスペクトル分離を実施することができる。そのために、たとえばプリズムおよび/または格子のような好適な分散光学素子を使用してもよい。
照射光と物体との間の相互作用は、たとえば反射または透過であってもよい。蛍光光線が発生かつ検出されることも可能である。
照射光は、好ましくは300〜700nmの範囲からの波長を有する照明光であるが、別の波長も可能である。照射光はレーザ光線であってもよい。
本発明は、以下図面を引用し例としてより詳しく説明する。
顕微鏡はレーザ走査型顕微鏡として形成されており、かつ検出のために対物レンズ2および鏡胴レンズ3を備える顕微鏡光学系1、スキャナ光学系4、2つの鏡6、7を備える偏向ユニットもしくはスキャナ5、メインスプリッタ8ならびに偏向鏡10および個別レンズLを含むカラーモジュール9を含む。
作動中、異なる波長を有するレーザ光線がメインスプリッタ8(矢印P1で暗示したように)を介してスキャナ5へ案内されており、スキャナ5およびスキャナ光学系4を利用して顕微鏡光学系1と接続して被検査物体OB上もしくは中に合焦され、かつ物体上へ移動される。合焦されたレーザ光線と物体OBとの間の相互作用(たとえば物体表面での反射)によって顕微鏡光学系1、スキャナ光学系4およびスキャナ5を介していわゆる分離走査光路の中にスキャナ5の後方へ偏向される試料光が発生される。この試料光は次に分離走査光路(ここでは検出光路とも呼ぶ)内でメインスプリッタ8を利用して偏向鏡10へ向けて反射され(矢印P2)、かつ偏向鏡10を介して平行光線束として個別レンズLへ向けられる。
凹面前側11の曲率半径:54.13mm
凸面裏側12の曲率半径:42.34mm
レンズの厚さD2:3.71mm
点光源からの前側11の間隔D1:17.14mm
材料パラメータ:n0=1.58481、v0=40.57
焦点距離f:20mm
図3に、さらに図1のカラーモジュール9の変形の色波長誤差特性が記載されているが、基本的な構造は裏面反射被膜を塗付された凹凸面個別レンズとして維持されており、かつ同一のレンズ材料も使用される。単に曲率半径ならびにレンズ厚および間隔D1のみが変化している。
|1/R2−(a02*(b2/f2+b1/f+b0)+c2/f2+c1/f+c0)|<0.0003
式中、R2は裏側12の曲率半径、fは個別レンズLの焦点距離を表す。および定数c0、c1、c2、b0、b1、b2は下記の値を有する:
b0=−0.0010395 c0=0.00068469
b1=−0.003737 c1=−0.570058
b2=0.0844626 c2=1.679172
上記の条件からR2と共に鏡13の曲率半径を決定することができる。個別レンズLは異なる焦点距離で指定することができる。下記の不等式を満たす焦点距離を設定してもよい:0.002<1/f<0.1
上記条件はデザインされた個別レンズもしくは顕微鏡の数値解析から所定の周辺条件(たとえば個別レンズLもしくはカラーモジュール9の焦点距離、レンズ材料、...)に応じて導出することができる。
図4にカラーモジュール9の別の1つの変形が示されている。この実施形態においてカラーモジュール9は2つの凹凸面レンズ20、21と、1つの凹面鏡23とを含む。レンズ20および21ならびに鏡23は光軸に沿って移動可能であり、その結果、その間隔は可変である。それによって、たとえば図4のカラーモジュール9の一定の焦点距離fで色波長誤差は最小レンズ後焦点領域から連続的に最大レンズ後焦点領域まで同調させることができる(色波長誤差は最小レンズ後焦点領域に比べてより高い高度差に対して最大もしくは等しい波長差である)。
|1/R+0.4088/f+0.0023|<0.001
|f1+0.0669*f+28.788|<0.05*f
|f2−0.0271*f−57.22|<0.05*f
|D3(Δs(=0))−D3(Δs(<0))−0.4179*f+1.4475|<0.02*f
|D3(Δs(>0))−D3(Δs(<0))−0.731*f−2.867|<0.02*f
Rは鏡23の曲率半径であり、f1およびf2はレンズ20もしくは21の焦点距離である。Δs(<0)は、その値が0より小さいΔsを表す。Δs(=0)はその値が0であるΔsを表し、かつΔs(>0)はその値が0より大きいΔsを表す。ここに記載した実施例においてΔs(<0)の場合、約−3.5の値a02に、およびΔs(>0)の場合、約+3.5の値a02に達する。
凹面F1の曲率半径:13.10
凸面F2の曲率半径:48.39
凹面F3の曲率半径:18.44
凸面F4の曲率半径:12.78
凹面鏡23の曲率半径:43.99
D4=2.00
D5=2.00
図6に、正の屈折率のレンズ24、負の屈折率のレンズ25および正の屈折率の鏡レンズ26(平面F10は反射被膜が塗布されている)を有するカラーモジュール9が示されている。これらのレンズは、たとえば60未満、好ましくは40未満のそれぞれ1つの小さいアッベ数を有する。ここに記載した具体的な実施例においてアッベ数は36.16になる。また図6のカラーモジュールは、全システムの一定の焦点距離で色波長誤差を連続的に調整できるように指定されている。レンズ24の平面F5までの入射瞳の間隔はD1になり、レンズ24および25の互いに対向する平面F6およびF7の間隔はD2になり、かつレンズ25および26の平面F8およびF9の間隔はD3になる。レンズ24、25および26は厚さD4、D5もしくはD6を有する。
|1/R6+0.3143/f+0.0088|<0.001
|f1−0.1175*f−45.775|<0.1*f
|f2+0.0133*f+14.621|<0.1*f
|f3−0.0286*f−9.6999|<0.1*f
|D2(Δs(=0))−D2(Δs(<0))−0.0004*f2+0.2172*f−1.6243|<0.01*f
|D2(Δs(>0))−D2(Δs(<0))−0.0011*f2+0.4239*f−2.7441|<0.01*f
またこの実施例においてもΔs(<0)の場合、約−3.5の値a02に達し、Δs(>0)の場合、約3.5の値a02に達する。レンズ面の正確な曲率は以下のようになる:
凸面F5の曲率半径:71.76mm
凹面F6の曲率半径:51.07mm
凹面F7の曲率半径:8.90mm
凹面F8の曲率半径:254.88mm
凸面F9の曲率半径:49.08mm
凸面F10の曲率半径:40.94mm
D4=2.00
D5=5.52および
D6=4.00
図4および6の実施形態に対して提示された条件は、当業者により各カラーモジュール9の光学的性質の計算の数値解析によって導き出すことができる。
上記実施形態において、試料光は常にメインスプリッタ8で反射され、他方、レーザ光線は照明のために透過される。もちろん顕微鏡は、試料光がメインスプリッタで透過され、かつレーザ光線が照明のためにメインスプリッタで反射されるように形成されてもよい。
Claims (17)
- 物体(OB)の表面輪郭を測定するための顕微鏡であって、各部分に対して所定のレンズ後焦点領域が照明され、照射光と該物体(OB)との間の相互作用によって試料光が発生されるように、異なる波長を有する照射光を該物体(OB)の種々の表面部分に向ける照明モジュールと、検出モジュールであって、該検出モジュールがスキャナ(5)を用いて試料光を検出光路の中に向け、かつレンズ後焦点領域の各被検出後焦点に対して該検出光路の中へ向けられた試料光のそれぞれ1つの別の波長を平面内で共焦点に結像し、共焦点に結像された試料光の強度を波長に依存して検出し、かつそこから物体(OB)の対応する表面部分の位置を導出し、スキャナ(5)と該平面との間に配置され、かつ試料光が通り抜ける調整可能な色波長誤差を含むカラーモジュール(9)を有し、その結果、該色波長誤差の変化によって被検出後焦点が調節可能であることによって、時間的に相前後して各部分の試料光を検出する検出モジュールとを備える、顕微鏡。
- 試料光が発散光線束または平行光線束としてカラーモジュール(9)に当たり、かつカラーモジュール(9)から平行光線束または集束光線束に変換される請求項1に記載の顕微鏡。
- カラーモジュール(9)が少なくとも1つのレンズ(L)と、試料光がレンズ(L)を2回通過するように検出光路を折り畳む1つの湾曲した鏡(13)とを有する請求項1または2に記載の顕微鏡。
- 鏡(13)が背面鏡としてレンズ(L)の片側に形成されている請求項3に記載の顕微鏡。
- カラーモジュール(9)がレンズ(L)を1つののみのレンズとして、かつ鏡(13)を1つのみの鏡として有する請求項3または4に記載の顕微鏡。
- レンズ(L)の両側(11、12)が球面として形成されている請求項3乃至5のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- 試料光の主ビームがカラーモジュール(9)の光軸(OA)と一致するように該試料光がカラーモジュール(9)に当たる請求項3乃至6のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- 検出光路内のカラーモジュール(9)に対して、貫通孔(15)を備えた偏向鏡(10)が設けられており、試料光が発散光線束として貫通孔(15)を通過し、カラーモジュール(9)に当たり、かつカラーモジュール(9)から平行束として到来しながら偏向鏡(10)で偏向される請求項3乃至7のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- 検出光路内のカラーモジュール(9)に対して、偏向鏡(10)が設けられており、試料光が平行光線束として偏向鏡でカラーモジュール(9)へ向けて偏向され、カラーモジュール(9)を通過し、かつ該カラーモジュール(9)から集束する光線束として到来しながら貫通孔(15)を通して通り抜ける請求項3乃至7のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- 両側に反射被膜が塗布されている偏向鏡(10)に向けて貫通孔(15)を通り抜ける試料光線束を平行束として逆反射するコリメータ(27)が偏向鏡(10)に後置されており、該偏向鏡が平行束を検出光路内の次の光学素子へ反射する請求項9に記載の顕微鏡。
- 検出光路内にメインスプリッタ(8)が配置されており、該メインスプリッタを介して照射光が物体(OB)へ案内され、かつ試料光が検出光路内に案内され、カラーモジュール(9)がメインスプリッタ(8)と前記平面との間に配置されている請求項1乃至10のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- 検出光路内にメインスプリッタ(8)が配置されており、該メインスプリッタを介して照射光が物体(OB)へ案内され、かつ試料光が検出光路内に案内され、カラーモジュール(9)がメインスプリッタ(8)とスキャナ(5)との間に配置されている請求項1乃至10のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- カラーモジュール(9)が異なる色波長誤差を含む第1および第2の交換可能な色光学系を有し、その結果、色光学系の交換によって色波長誤差を変更することができる請求項1乃至12のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- カラーモジュール(9)が鏡(23;27)と2個または3個のレンズ(20、21;24、25、26)とを含み、かつレンズ(20、21;24、25、26)および鏡(23;27)がカラーモジュール(9)の光軸(OA)に沿って移動可能であり、その結果、カラーモジュール(9)の所望の色波長誤差が調整可能である請求項1乃至13のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- レンズ(20、21;24、25、26)が全て同一材料から製造されている請求項14に記載の顕微鏡。
- 照明モジュールが共焦点照明、物体(OB)の垂直光−明視野照明または透過光−明視野照明を実現する請求項1乃至15のいずれか1項に記載の顕微鏡。
- 物体の表面輪郭を測定するための顕微鏡検査方法であって、各部分に対して所定のレンズ後焦点領域が照明されるように異なる波長を有する照射光が物体の種々の表面部分で偏向され、照射光と物体との間の相互作用によって試料光が発生され、かつ試料光がスキャナを利用して検出光路の中へ向けられ、かつレンズ後焦点領域の各被検出後焦点に対して検出光路内へ向けられた試料光のそれぞれ1つの別の波長が共焦点に一平面内で結像され、共焦点に結像された試料光の強度が波長に依存して検出され、かつそこから物体の対応する部分の位置が導出され、スキャナと該平面との間に試料光が通り抜ける調整可能な色波長誤差を有するカラーモジュールが配置されており、その結果、色波長誤差の変化によって被検出後焦点が調整されることによって時間的に相前後して各部分の試料光が検出される、顕微鏡検査方法。
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