JP5062139B2 - 圧電振動デバイス - Google Patents
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Description
2 水晶振動片
3 ベース
B 導電性バンプ
Claims (1)
- 振動部と保持部とを有する圧電振動片を導電性バンプによりベースの搭載部に電気的機械的に接合して保持された圧電振動デバイスにおいて、
前記圧電振動片の保持部には導電性バンプ接合部と、当該導電性バンプ接合部と前記振動部の間を隔てる薄肉部または貫通部の少なくとも一方が形成され、
前記導電性バンプ接合部はベースの搭載部の平面と対向平面となる主面接合領域と、ベースの搭載部の平面と面方向と異なる薄肉部または貫通部の壁面接合領域とを有しており、
前記主面接合領域に導電性バンプの中央部分が接合されるとともに、当該導電性バンプの端部が前記薄肉部または貫通部のうち前記主面接合領域の対岸部から離間した状態で、前記薄肉部または貫通部のうち主面接合領域側の壁面接合領域に導電性バンプの端部の一部が接合されたことを特徴とする圧電振動デバイス。
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