JP5053842B2 - ポンピング装置 - Google Patents
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Description
(A)第1と第2の複合ポンプを有するポンピング装置を用意するステップと、前記各複合ポンプは、少なくとも、第1入口と、第2入口と、第1のポンピング・セクションと、前記第1のポンピング・セクションの下流側に配置される第2ポンピング・セクションとを有し、前記ポンピング・セクションは、第1入口からポンプに入る流体は、前記第1と第2のポンピング・セクションを通過し、前記第2入口からポンプに入る流体は、第2ポンピング・セクションのみを通過し、
(B)前記複合ポンプの入口を圧力チェンバに取り付けるステップと
を有し、これにより、複数のポンプの内の一方のポンプの第2入口と他方のポンプの第1入口が、共通圧力チェンバからの出口あるいはそれぞれの出口に接続され、運転中は、第1複合ポンプが、第2複合ポンプと並列に、前記圧力チェンバの内の1つを真空引きする。
12 第1インターフェース・チェンバ
14 第2インターフェース・チェンバ
16 第3インターフェース・チェンバ
20 ターボ分子ポンプ
22 バッキング(後方)・ポンプ
24 複合真空ポンプ
30,32 セット
34 Holweck drag 機構
36 第1複合ポンプ入口
38 出口
40 第2複合ポンプ入口
100 ポンピング装置
102 第1複合ポンプ
104 第2複合ポンプ
105 バッキング(後方)・ポンプ
106 多構成本体
108 駆動シャフト
110,112,114 ポンピング・セクション
110 第1ポンピング・セクション
112 第2ポンピング・セクション
114 Holweck drag 機構
116 ディスク
118 ポンプ出口
120 第1入口
122 第2入口
124 第1入口
126 第2入口
200 ポンピング装置
202 第3入口
204 導管
206 入口
300 ポンピング装置
302 第2複合ポンプ
304 本体
306 駆動シャフト
308 モータ
312,314 ポンピング・セクション
312 第1ポンピング・セクション
314 第2ポンピング・セクション(再生段)
316 第1低流体圧入口
318 第2中流体圧入口
320 第3高流体圧入口
322 導管
324 出口
Claims (32)
- 複数の圧力チェンバと、
前記圧力チェンバに取り付けられ、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置と、
を有する差圧的にポンピングされる真空システムにおいて、
前記ポンピング装置は、第1と第2の複合ポンプを有し、
前記各複合ポンプは、少なくとも、第1入口と、第2入口と、第1ポンピング・セクションと、前記第1ポンピング・セクションの下流側に配置される第2ポンピング・セクションとを有し、
前記ポンピング・セクションは、
前記第1入口からポンプ内に入る流体が、前記第1と第2のポンピング・セクションを通り、
前記第2入口からポンプに入る流体は、第2ポンピング・セクションのみを通り、
前記複数の複合ポンプの内の一方の複合ポンプの第2入口と他方のポンプの第1入口とは、前記複数の圧力チェンバのうちの1つの圧力チェンバからの出口に接続され、
運転中は、第1複合ポンプは、前記第2複合ポンプに並列に、複数の圧力チェンバのうちの1つの圧力チェンバを真空引きするよう配置されることを特徴とする差圧的にポンピングされる真空システム。 - 前記第1複合ポンプの第1入口は、第1の低圧チェンバからの出口に接続され、
前記第1複合ポンプの第2入口と第2複合ポンプの第1入口とは、前記複数の圧力チェンバのうちの、より高圧のチェンバからの出口に接続されることを特徴とする請求項1記載のシステム。 - 前記第1複合ポンプの第2入口と第2複合ポンプの第1入口とは、前記複数の圧力チェンバのうちの第2の中圧チェンバからの出口に接続され、
前記第2複合ポンプの第2入口は、第3の高圧チェンバからの出口に接続されることを特徴とする請求項2記載のシステム。 - 前記第1と第2のポンピング・セクションの少なくとも一方は、少なくとも1個のターボ分子段を有することを特徴とする請求項1−3のいずれかに記載のシステム。
- 前記第1と第2のポンピング・セクションの両方は、少なくとも1個のターボ分子段を有することを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のシステム。
- 前記第1と第2のポンピング・セクションの大きさは異なることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のシステム。
- 少なくとも前記第2複合ポンプは、第2ポンピング・セクションの下流側に第3ポンピング・セクションを有し、
前記ポンピング・セクションは、
前記第1入口から複合ポンプ内に入る流体が、前記第1と第2と第3のポンピング・セクションを通り、
前記第2入口から複合ポンプに入る流体は、第2と第3のポンピング・セクションのみを通るよう配置されることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載のシステム。 - 前記第3ポンピング・セクションは、多段の分子ドラグ機構を有することを特徴とする請求項7記載のシステム。
- 前記分子ドラグ機構は、複数のチャネルが複数のらせん形態で配列される多段のHolweck機構であることを特徴とする請求項8記載のシステム。
- 少なくとも第2複合ポンプは、第4圧力チェンバからの流体が流れ込む第3入口を有し、
前記ポンピング・セクションは、前記第4チェンバから複合ポンプに入る流体は、第3ポンピング・セクションのみを通過するよう、配置されることを特徴とする請求項7乃至9の何れか1項に記載のシステム。 - 前記第3ポンピング・セクションは、前記第3入口からそこを通る流体が、第2入口からそこを通る流体とは異なるパスを流れるよう配置されることを特徴とする請求項10記載のシステム。
- 前記第3ポンピング・セクションは、前記第3入口からそこを通る流体は、第2入口からそこを通る流体のパスの一部のみを通るよう、配置されることを特徴とする請求項11記載のシステム。
- 各複合ポンプは、第4圧力チェンバからの流体が流れ込むよう配置された前記第3入口を有し、
前記複合ポンプは、前記第1複合ポンプが、第2複合ポンプと並列に、第4圧力チェンバを真空引きするよう、配置されることを特徴とする請求項10乃至12の何れか1項に記載のシステム。 - 前記第3入口は、第4圧力チェンバの出口からそこに流体を搬送する導管手段に接続されることを特徴とする請求項13記載のシステム。
- 少なくとも第2複合ポンプは、第3ポンピング・セクションから下流側に、さらなるポンピング・セクションを有することを特徴とする請求項7乃至14の何れか1項に記載のシステム。
- 前記のさらなるポンピング・セクションは、空力学的ポンピング機構を有することを特徴とする請求項15記載のシステム。
- 前記空力学的ポンピング機構は、再生段を有することを特徴とする請求項16記載のシステム。
- 前記複合ポンプから排気された流体を受領するために、バッキング・ポンプに直接接続された出口を有するさらなる圧力チェンバを有することを特徴とする請求項1乃至14の何れか1項に記載のシステム。
- 前記複合ポンプは、質量分析計の最高圧力チェンバが並列に真空引きされるよう、配置されることを特徴とする請求項1乃至17の何れか1項に記載のシステム。
- 前記第2複合ポンプの第2入口は、第1複合ポンプの出口に接続されることを特徴とする請求項2記載のシステム。
- 前記第2複合ポンプの第2ポンピング・セクションは、大気圧で流体を排気することを特徴とする請求項20記載のシステム。
- 前記第2複合ポンプの第2ポンピング・セクションは、空力学的ポンピング機構を有する
ことを特徴とする請求項20又は21に記載のシステム。 - 前記空力学的ポンピング機構は、再生段を有することを特徴とする請求項22記載のシステム。
- 前記第2複合ポンプの第1ポンピング・セクションは、分子ドラグ機構を有することを特徴とする請求項19−23のいずれかに記載のシステム。
- 前記第1複合ポンプの第2ポンピング・セクションは、分子ドラグ機構を有することを特徴とする請求項19乃至24の何れか1項に記載のシステム。
- 前記第1複合ポンプの第1ポンピング・セクションは、少なくとも1個のターボ分子段を有することを特徴とする請求項19乃至25の何れか1項に記載のシステム。
- 前記第1と第2の複合ポンプの少なくとも一方は、それらの第1入口から上流側にさらなる入口を有することを特徴とする請求項19乃至26の何れか1項に記載のシステム。
- 前記第1複合ポンプは、前記のさらなる入口と第1入口との間に配置された、さらなるポンピング・セクションを有することを特徴とする請求項27記載のシステム。
- 前記さらなるポンピング・セクションは、少なくとも1個のターボ分子段を有することを特徴とする請求項28記載のシステム。
- 各複合ポンプは、ポンピング・セクション用に、少なくとも1個のロータ要素を搭載する駆動シャフトを有することを特徴とする請求項1乃至29の何れか1項に記載のシステム。
- 前記複数の圧力チェンバは、質量分析計の一部を構成することを特徴とする請求項1乃至30の何れか1項記載のシステム。
- 複数の圧力チェンバを差圧的に真空引きする方法において、
(A) 第1と第2の複合ポンプを有するポンピング装置を用意するステップと、
前記各複合ポンプは、少なくとも、第1入口と、第2入口と、第1のポンピング・セクションと、前記第1のポンピング・セクションの下流側に配置される第2ポンピング・セクションとを有し、
前記ポンピング・セクションは、
第1入口から複合ポンプに入る流体は、前記第1と第2のポンピング・セクションを通過し、
前記第2入口から複合ポンプに入る流体は、第2ポンピング・セクションのみを通過するよう配置され、
(B) 前記複合ポンプの入口を圧力チェンバに取り付けるステップと
を有し、
これにより、第1と第2の複合ポンプの内の一方の複合ポンプの第2入口と他方の複合ポンプの第1入口が、前記複数の圧力チェンバのうちの1つの圧力チェンバからの出口に接続され、
運転中は、第1複合ポンプが、第2複合ポンプと並列に、前記圧力チェンバの内の1つを真空引きすることを特徴とする複数の圧力チェンバを差圧的に真空引きする方法。
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