JP5044756B2 - DLC deposition system - Google Patents

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JP5044756B2 JP2007002695A JP2007002695A JP5044756B2 JP 5044756 B2 JP5044756 B2 JP 5044756B2 JP 2007002695 A JP2007002695 A JP 2007002695A JP 2007002695 A JP2007002695 A JP 2007002695A JP 5044756 B2 JP5044756 B2 JP 5044756B2
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Description

本発明は、鋼球のような転動体の表面にＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）膜を成膜するＤＬＣ成膜装置に関する。   The present invention relates to a DLC film forming apparatus for forming a DLC (diamond-like carbon) film on the surface of a rolling element such as a steel ball.

ボールねじは、ねじ軸の外周面に形成されているねじ溝と、ナットの内周面に形成されているねじ溝との間で、複数の鋼球が転動するよう構成されている。
潤滑剤の使用が困難な環境においてもボールねじの寿命、作動精度等を向上させるために、従来、ナットの内周面にＤＬＣ膜が形成されているボールねじが提案されている（特許文献１）。
特許文献１のボールねじを製造する際には、ナットが分割されてなるナット分割体の内周面にＤＬＣ膜を成膜してからナット分割体を接合してナットとなす。このようなナットの内周面はナット分割体同士の接合部分で連続性、円滑性等が低下しているため、鋼球の転動が阻害されることがある。この結果、ボールねじの作動精度の悪化、騒音の発生等の問題が生じることがあった。 The ball screw is configured such that a plurality of steel balls roll between a screw groove formed on the outer peripheral surface of the screw shaft and a screw groove formed on the inner peripheral surface of the nut.
In order to improve the life and operation accuracy of a ball screw even in an environment where it is difficult to use a lubricant, a ball screw having a DLC film formed on the inner peripheral surface of a nut has been proposed (Patent Document 1). ).
When manufacturing the ball screw of patent document 1, after forming a DLC film in the inner peripheral surface of the nut division body by which a nut is divided | segmented, a nut division body is joined and it becomes a nut. Since the inner peripheral surface of such a nut has reduced continuity, smoothness, etc. at the joint between the nut splits, rolling of the steel ball may be hindered. As a result, problems such as deterioration of the operation accuracy of the ball screw and generation of noise may occur.

この問題を解決するために、ナットではなくねじ軸に成膜することが考えられるが、ＤＬＣ成膜装置の寸法上の制約から、特に長尺のねじ軸には十分な範囲に成膜できないことがある。また、均一、均質な成膜が困難であった。
更にまた、ナット及びねじ軸の一方にのみＤＬＣ膜を成膜しても、成膜されていない方と鋼球とがＤＬＣ膜によって保護されていないため、ボールねじの寿命、作動精度等は向上し難い。 In order to solve this problem, it is conceivable to form a film on a screw shaft instead of a nut. However, due to the dimensional limitation of the DLC film forming apparatus, it is not possible to form a film in a sufficient range, especially on a long screw shaft. There is. Moreover, uniform and uniform film formation was difficult.
Furthermore, even if a DLC film is formed only on one of the nut and the screw shaft, the uncoated film and the steel ball are not protected by the DLC film, so the life of the ball screw, the operation accuracy, etc. are improved. It is hard to do.

以上のような事情から、ボールねじが備える鋼球の表面にＤＬＣ膜を成膜することが考えられる。
従来、鋼を用いてなるベアリング球に負電圧を印加しつつ、炭素を含むプラズマ雰囲気中でベアリング球を転動させることによって、ベアリング球の表面全体にＤＬＣ膜を成膜する装置が提案されている（特許文献２参照）。
ベアリング球を転動させるために、特許文献２では、ベアリング球を保持する皿状の保持具を略水平方向に回転させている。
特開２００５−４８８４２号公報 特許第３８３４６１７号公報 From the above circumstances, it is conceivable to form a DLC film on the surface of a steel ball included in the ball screw.
Conventionally, an apparatus for forming a DLC film on the entire surface of a bearing ball by rolling the bearing ball in a plasma atmosphere containing carbon while applying a negative voltage to the bearing ball made of steel has been proposed. (See Patent Document 2).
In Patent Document 2, in order to roll the bearing ball, a dish-shaped holder that holds the bearing ball is rotated in a substantially horizontal direction.
JP 2005-48842 A Japanese Patent No. 3834617

しかしながら、保持具を回転させても、保持具に載置されているベアリング球が転動することなく、例えば略一点のみを保持具に接触させた状態で保持具上を滑走する現象が起こりうる。
このような現象が生じた場合、ベアリング球の表面に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができない。 However, even if the holder is rotated, the bearing ball placed on the holder does not roll, and for example, a phenomenon of sliding on the holder with only one point in contact with the holder may occur. .
When such a phenomenon occurs, a substantially uniform and homogeneous DLC film cannot be formed on the surface of the bearing ball.

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、転動体が載置される載置皿、又は、載置皿に載置されている複数の転動体を攪拌する攪拌翼を回転させる構成とすることにより、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   This invention is made | formed in view of such a situation, The main objective is the stirring which stirs the mounting tray in which a rolling element is mounted, or several rolling elements currently mounted in the mounting dish. An object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus capable of forming a substantially uniform and homogeneous DLC film on the entire surface of a rolling element by rotating the blade.

本発明の他の目的は、モータの出力軸に連結されている回転軸と攪拌翼とを連結する構
成とすることにより、モータに負電圧が印加されることを抑制しつつ、簡易な構成で攪拌翼を回転させることができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a simple configuration while suppressing application of a negative voltage to the motor by connecting the rotating shaft connected to the output shaft of the motor and the stirring blade. An object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus capable of rotating a stirring blade.

本発明の他の目的は、支持筒が着脱可能に載置皿を支持する構成とすることにより、載置皿に付着したＤＬＣが転動体に対する成膜を阻害することを抑制することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a structure in which the support cylinder detachably supports the mounting tray, so that DLC attached to the mounting tray can be inhibited from inhibiting film formation on the rolling elements. It is to provide a film forming apparatus.

本発明の他の目的は、絶縁部材を介してモータの出力軸に連結されている回転軸と載置皿とを連結する構成とすることにより、モータに負電圧が印加されることを抑制しつつ、簡易な構成で載置皿を回転させることができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to suppress the application of a negative voltage to the motor by connecting the rotating shaft connected to the output shaft of the motor and the mounting plate via an insulating member. However, it is providing the DLC film-forming apparatus which can rotate a mounting tray with a simple structure.

本発明の他の目的は、回転軸と載置皿とを着脱可能に連結する構成とすることにより、載置皿に付着したＤＬＣが転動体に対する成膜を阻害することを抑制することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a configuration in which the rotating shaft and the mounting tray are detachably connected, thereby suppressing the DLC adhering to the mounting tray from hindering the film formation on the rolling elements. It is to provide a DLC film forming apparatus.

本発明の他の目的は、載置皿を傾斜させる構成とすることにより、転動体のランダムな転動を促進することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus capable of promoting random rolling of the rolling elements by adopting a configuration in which the mounting tray is inclined.

本発明の他の目的は、絶縁部材を介してモータの出力軸に連結されている傾斜回転軸と載置皿とを連結する構成とすることにより、モータに負電圧が印加されることを抑制しつつ、簡易な構成で転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to suppress the application of a negative voltage to the motor by connecting the inclined rotating shaft connected to the output shaft of the motor via the insulating member and the mounting plate. However, an object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus capable of forming a substantially uniform and homogeneous DLC film on the entire surface of a rolling element with a simple configuration.

本発明の他の目的は、傾斜回転軸と載置皿とを着脱可能に連結する構成とすることにより、載置皿に付着したＤＬＣが転動体に対する成膜を阻害することを抑制することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to prevent the DLC adhering to the mounting plate from obstructing the film formation on the rolling element by detachably connecting the tilt rotation shaft and the mounting plate. An object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus that can be used.

本発明の他の目的は、着脱可能な載置皿は、夫々取り替え可能な複数の部材を組み合わせる構成とすることにより、載置皿に部分的に付着したＤＬＣが転動体に対する成膜を阻害することを抑制することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is that the detachable mounting tray is configured by combining a plurality of replaceable members, so that DLC partially attached to the mounting tray inhibits film formation on the rolling elements. An object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus that can suppress this.

本発明の更に他の目的は、凹条部及び／又は凸部が載置面に形成してある載置皿を備えることにより、転動体のランダムな転動を促進することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Still another object of the present invention is to provide a DLC film that can promote random rolling of a rolling element by including a mounting tray in which concave and / or convex portions are formed on the mounting surface. To provide an apparatus.

本発明の他の目的は、載置皿の底面に着脱可能な載置板を敷く構成とすることにより、載置板に付着したＤＬＣが転動体に対する成膜を阻害することを抑制することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to suppress the DLC adhering to the mounting plate from obstructing the film formation on the rolling element by laying a detachable mounting plate on the bottom surface of the mounting plate. An object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus that can be used.

本発明の他の目的は、着脱可能な載置板は、夫々取り替え可能な複数の板部材を組み合わせる構成とすることにより、載置板に部分的に付着したＤＬＣが転動体に対する成膜を阻害することを抑制することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Another object of the present invention is that the detachable mounting plate is configured by combining a plurality of replaceable plate members so that DLC partially adhered to the mounting plate inhibits film formation on the rolling elements. An object of the present invention is to provide a DLC film forming apparatus that can suppress this.

本発明の更に他の目的は、凹条部及び／又は凸部が載置板に形成してある載置皿を備えることにより、転動体のランダムな転動を促進することができるＤＬＣ成膜装置を提供することにある。   Still another object of the present invention is to provide a DLC film that can promote random rolling of a rolling element by including a mounting plate in which concave and / or convex portions are formed on a mounting plate. To provide an apparatus.

第１発明に係るＤＬＣ成膜装置は、炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された複数の転動体に負電圧を印加することによって、前記転動体の表面にＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）膜を成膜するＤＬＣ成膜装置において、導電性を有し、前記転動体が載置される載置皿と、該載置皿に載置されている転動体を攪拌する攪拌翼と、一端部がモータの出力軸と連結され、他端部が前記攪拌翼と連結されている回転軸と、内部で前記回転軸が回転し、外部で前記載置皿を支持しており、導電性を有する支持筒とを備え、前記攪拌翼が回転するようにしてあり、前記負電圧は、前記支持筒に印加するようにしてあり、前記載置皿は、着脱可能に前記支持筒に支持されており、着脱可能な前記載置皿は、複数の部材を組み合わせてなり、各部材が、該部材と略同一形状の部材と取り替え可能にしてあり、各部材は、少なくとも前記載置皿の底面の一部を有することを特徴とする。 A DLC film forming apparatus according to a first aspect of the present invention is configured to apply a negative voltage to a plurality of rolling elements that are movably held in a plasma atmosphere containing carbon, so that a surface of the rolling element has DLC (Diamond Like). In a DLC film forming apparatus for forming a (carbon) film, a mounting plate having conductivity and on which the rolling element is mounted, and a stirring blade for stirring the rolling element mounted on the mounting plate; A rotating shaft whose one end is connected to the output shaft of the motor and the other end is connected to the stirring blade, the rotating shaft rotates inside, and supports the platen described above, and a support tube having a gender, earlier than Citea so Ki攪拌翼rotates, the negative voltage is Yes so as to apply to said support tube, before described置皿is detachably said support The tableware described above, which is supported by the cylinder and is detachable, combines a plurality of members. Ri, each member is Yes in the replaceable with members of the member and substantially the same shape, each member is characterized Rukoto to have a part of the bottom surface of the at least before described置皿.

第２発明に係るＤＬＣ成膜装置は、炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された複数の転動体に負電圧を印加することによって、前記転動体の表面にＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）膜を成膜するＤＬＣ成膜装置において、導電性を有し、前記転動体が載置される載置皿と、該載置皿に載置されている転動体を攪拌する攪拌翼と、一端部が、絶縁部材を介してモータの出力軸と連結され、他端部が前記載置皿と連結されており、導電性を有する回転軸と、内部で前記回転軸が回転し、外部で前記攪拌翼を支持している支持筒とを備え、前記載置皿が回転するようにしてあり、前記負電圧は、前記回転軸に印加するようにしてあり、前記載置皿は、着脱可能に前記回転軸と連結されており、着脱可能な前記載置皿は、複数の部材を組み合わせてなり、各部材が、該部材と略同一形状の部材と取り替え可能にしてあり、各部材は、少なくとも前記載置皿の底面の一部を有することを特徴とする。 A DLC film forming apparatus according to a second aspect of the present invention applies a negative voltage to a plurality of rolling elements that are movably held in a plasma atmosphere containing carbon, so that the surface of the rolling elements has a DLC (Diamond Like In a DLC film forming apparatus for forming a (carbon) film, a mounting plate having conductivity and on which the rolling element is mounted, and a stirring blade for stirring the rolling element mounted on the mounting plate; The one end is connected to the output shaft of the motor via an insulating member, the other end is connected to the table plate, the rotating shaft having conductivity, the rotating shaft rotates inside, and the outside in a support tube which supports the stirring blade, Yes as before described置皿rotates, the negative voltage is Ri Citea as applied to the rotary shaft, before described置皿is Removably connected to the rotating shaft, and the detachable mounting plate is a plurality of mounting plates. Be a combination of wood, each member is Yes in the replaceable with members of the member and substantially the same shape, each member is characterized Rukoto to have a part of the bottom surface of the at least before described置皿.

第３発明に係るＤＬＣ成膜装置は、前記載置皿は、水平面に対して傾斜している状態で支持されていることを特徴とする。 A DLC film forming apparatus according to a third aspect of the present invention is characterized in that the placing plate is supported in a state of being inclined with respect to a horizontal plane.

第４発明に係るＤＬＣ成膜装置は、炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された転動体に負電圧を印加することによって、前記転動体の表面にＤＬＣ膜を成膜するＤＬＣ成膜装置において、導電性を有し、前記転動体が載置される載置皿と、水平面に対して傾斜している状態で配され、一端部が、絶縁部材を介してモータの出力軸と連結され、他端部が前記載置皿の底面と略垂直に連結されており、導電性を有する傾斜回転軸とを備え、前記負電圧は、前記傾斜回転軸に印加するようにしてあり、前記載置皿は、着脱可能に前記傾斜回転軸と連結されており、着脱可能な前記載置皿は、複数の部材を組み合わせてなり、各部材が、該部材と略同一形状の部材と取り替え可能にしてあり、各部材は、少なくとも前記載置皿の底面の一部を有することを特徴とする。 A DLC film-forming apparatus according to a fourth aspect of the present invention is a DLC film-forming device for forming a DLC film on the surface of a rolling element by applying a negative voltage to the rolling element that is held so as to roll freely in a plasma atmosphere containing carbon. The membrane device has conductivity, is placed in a state where the rolling element is placed thereon, and is inclined with respect to a horizontal plane, and one end thereof is connected to an output shaft of the motor via an insulating member. is connected, the other end is coupled to the bottom surface and substantially perpendicular before described置皿, and a tilt rotary shaft having conductivity, the negative voltage, Ri Citea to apply to the tilt rotation shaft The mounting plate is detachably connected to the inclined rotation shaft, and the mounting plate is detachable by combining a plurality of members, and each member is a member having substantially the same shape as the member. Each member is at least a part of the bottom surface of the tableware. And wherein the Rukoto that Yusuke.

第５発明に係るＤＬＣ成膜装置は、前記載置皿の載置面に、凹条部及び／又は凸部が形成してあることを特徴とする。 The DLC film-forming apparatus which concerns on 5th invention is characterized by the concave-line part and / or convex part being formed in the mounting surface of the said mounting plate.

第６発明に係るＤＬＣ成膜装置は、前記載置皿の底面に、導電性を有し、前記底面を覆い、前記転動体が載置される載置板が着脱可能に敷いてあり、前記載置板は複数の板部材を組み合わせてなり、各板部材が、該板部材と略同一形状の板部材と取り替え可能にしてあり、前記載置板の表面に、凹条部及び／又は凸部が形成してあることを特徴とする。 DLC film deposition apparatus of the sixth invention, the bottom surface of the front according置皿has conductivity, covering the bottom surface, Ri Oh laid possible mounting plate is detachable to the rolling element is mounted, The mounting plate is a combination of a plurality of plate members, and each plate member can be replaced with a plate member having substantially the same shape as the plate member. protrusions are formed, characterized in tare Rukoto.

第１発明又は第２発明にあっては、炭素を含むプラズマ雰囲気中で、載置皿又は攪拌翼が回転することによって、導電性を有する載置皿に載置されている複数の転動体が攪拌される。
攪拌された転動体は、例えば転動体表面の略一点のみを載置皿に接触させた状態で載置皿上を滑走することなく、略ランダムに転動する。
このため、転動体の表面全体が満遍なくプラズマに暴露され、この状態の転動体に負電圧を印加することによって、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜が成膜される。 In the 1st invention or the 2nd invention , in the plasma atmosphere containing carbon, when a mounting plate or a stirring blade rotates, a plurality of rolling elements mounted on a mounting plate having conductivity are provided. Stir.
For example, the agitated rolling element rolls almost randomly without sliding on the placing plate in a state where only one point on the surface of the rolling member is in contact with the placing plate.
For this reason, the entire surface of the rolling element is uniformly exposed to the plasma, and by applying a negative voltage to the rolling element in this state, a substantially uniform and homogeneous DLC film is formed on the entire surface of the rolling element.

更に、第１発明にあっては、支持筒の内部で回転軸が回転する。回転軸の一端部はモータの出力軸と連結されており、回転軸の他端部は攪拌翼と連結されているため、モータが出力した回転運動が回転軸を介して伝達されて、攪拌翼が回転する。 Furthermore, in the first invention, the rotation shaft rotates inside the support cylinder. Since one end of the rotating shaft is connected to the output shaft of the motor, and the other end of the rotating shaft is connected to the stirring blade, the rotational motion output by the motor is transmitted via the rotating shaft, and the stirring blade Rotates.

また、導電性を有する支持筒の外部で載置皿が支持されており、支持筒に印加された負電圧は、支持筒及び載置皿を介して、載置皿に載置されている転動体に印加される。
ここで、モータの出力軸と連結されている回転軸には直接的に負電圧が印加されないため、絶縁体を用いて回転軸を形成するか、又は、回転軸とモータの出力軸との間に絶縁部材を配することによって、モータに負電圧が印加されることが抑制される。 Further, the mounting tray is supported outside the conductive supporting cylinder, and the negative voltage applied to the supporting cylinder is transferred to the mounting tray via the supporting cylinder and the mounting tray. Applied to moving objects.
Here, since a negative voltage is not directly applied to the rotating shaft connected to the output shaft of the motor, the rotating shaft is formed using an insulator, or between the rotating shaft and the output shaft of the motor. By disposing the insulating member on the negative electrode, it is possible to suppress a negative voltage from being applied to the motor.

更にまた、第１発明にあっては、導電性を有する支持筒の外部で載置皿が着脱可能に支持されている。
同一の載置皿を用いて何度か成膜作業を行なうと、載置皿にＤＬＣが不要に付着する。仮に、載置皿に付着したＤＬＣを放置しておくと、載置皿の導電性が悪化し、転動体に対する成膜不良が生じる。
そこで、ＤＬＣが不要に付着した載置皿が支持筒から取り外され、所要の導電性を有する新たな載置皿が支持筒に取り付けられる。 Furthermore, in the first invention, the mounting tray is detachably supported outside the conductive support cylinder.
When the film forming operation is performed several times using the same mounting tray, DLC is unnecessarily attached to the mounting tray. If the DLC adhering to the mounting tray is left unattended, the conductivity of the mounting tray is deteriorated, resulting in film formation defects on the rolling elements.
Therefore, the mounting plate to which DLC is unnecessarily attached is removed from the support tube, and a new mounting plate having required conductivity is attached to the support tube.

一方、第２発明にあっては、支持筒の外部で攪拌翼が支持されている。
また、支持筒の内部で、導電性を有する回転軸が回転する。回転軸の一端部はモータの出力軸と連結されており、回転軸の他端部は載置皿と連結されているため、モータが出力した回転運動が回転軸を介して伝達されて、載置皿が回転する。
回転軸に印加された負電圧は、回転軸及び載置皿を介して、載置皿に載置されている転動体に印加される。
ここで、モータの出力軸と回転軸とは絶縁部材を介して連結されているため、モータに負電圧が印加されることが抑制される。 On the other hand, in the second invention, the stirring blade is supported outside the support cylinder.
Moreover, the rotating shaft which has electroconductivity rotates inside a support cylinder. Since one end of the rotating shaft is connected to the output shaft of the motor, and the other end of the rotating shaft is connected to the mounting tray, the rotational motion output by the motor is transmitted via the rotating shaft and mounted. The tableware rotates.
The negative voltage applied to the rotating shaft is applied to the rolling elements mounted on the mounting plate via the rotating shaft and the mounting plate.
Here, since the output shaft and the rotating shaft of the motor are connected via an insulating member, application of a negative voltage to the motor is suppressed.

更に、第２発明にあっては、一端部が絶縁部材を介してモータの出力軸と連結されている回転軸の他端部が、載置皿と着脱可能に連結されている。
ＤＬＣが不要に付着した載置皿は回転軸から取り外され、所要の導電性を有する新たな載置皿が回転軸に取り付けられる。 Furthermore, in the second invention, the other end portion of the rotating shaft whose one end portion is connected to the output shaft of the motor via the insulating member is detachably connected to the mounting tray.
The mounting plate on which DLC is unnecessarily adhered is removed from the rotating shaft, and a new mounting plate having required conductivity is attached to the rotating shaft.

第３発明にあっては、載置皿が、水平面に対して傾斜している状態で支持されている。ここで、載置皿が回転する場合は、載置皿の回転中心軸が、水平面に対して傾斜している必要があり、載置皿が回転しない場合は、載置皿の載置面が水平面に対して傾斜していればよい。
このような載置皿、又は攪拌翼が、炭素を含むプラズマ雰囲気中で回転することによって、導電性を有する載置皿に載置されている転動体が攪拌される。
傾斜した載置皿上で攪拌されて載置皿の上部へ移動した転動体は、重力によって載置皿の下部へ移動する。このため、例えば転動体表面の略一点のみを載置皿に接触させた状態で転動体が載置皿上を滑走するような現象の発生が更に抑制される。 In the third invention, the mounting tray is supported in a state of being inclined with respect to the horizontal plane. Here, when the mounting tray rotates, the rotation center axis of the mounting tray needs to be inclined with respect to the horizontal plane. When the mounting tray does not rotate, the mounting surface of the mounting tray is What is necessary is just to incline with respect to a horizontal surface.
By rotating such a mounting plate or a stirring blade in a plasma atmosphere containing carbon, the rolling elements mounted on the mounting plate having conductivity are stirred.
The rolling element that has been stirred on the inclined mounting plate and moved to the upper portion of the mounting plate moves to the lower portion of the mounting plate by gravity. For this reason, generation | occurrence | production of the phenomenon that a rolling body slides on a mounting plate in the state which made the mounting plate contact only about one point of the rolling-element surface, for example is further suppressed.

仮に、回転する載置皿の回転中心軸が略鉛直であり、載置皿の載置面のみが水平面に対
して傾斜している場合、載置皿の一部は常に下側に、他部は常に上側に配されるため、載置皿の一部に転動体が集合し、転動体のランダムな転動が阻害される。 If the rotation center axis of the rotating mounting plate is substantially vertical and only the mounting surface of the mounting plate is inclined with respect to the horizontal plane, a part of the mounting plate is always on the lower side, Are always arranged on the upper side, so that rolling elements gather on a part of the mounting tray, and random rolling of the rolling elements is hindered.

第４発明にあっては、傾斜回転軸の一端部はモータの出力軸と連結されており、傾斜回転軸の他端部は載置皿と連結されているため、モータが出力した回転運動が傾斜回転軸を介して伝達されて、載置皿が回転する。
傾斜回転軸に印加された負電圧は、傾斜回転軸及び載置皿を介して、載置皿に載置されている転動体に印加される。
ここで、モータの出力軸と傾斜回転軸とは絶縁部材を介して連結されているため、モータに負電圧が印加されることが抑制される。 In the fourth invention, one end portion of the tilt rotation shaft is connected to the output shaft of the motor, and the other end portion of the tilt rotation shaft is connected to the mounting plate. It is transmitted via the inclined rotation shaft, and the mounting tray rotates.
The negative voltage applied to the tilt rotation shaft is applied to the rolling elements mounted on the mounting plate via the tilt rotation shaft and the mounting plate.
Here, since the output shaft of the motor and the inclined rotation shaft are connected via an insulating member, application of a negative voltage to the motor is suppressed.

この傾斜回転軸は、水平面に対して傾斜した状態で配され、載置皿の底面と略垂直に連結されている。即ち、載置皿は、回転中心軸が水平面に対して傾斜した状態で、傾斜している。
このような載置皿が、炭素を含むプラズマ雰囲気中で回転することによって、導電性を有する載置皿に載置されている転動体が転動する。 The inclined rotation shaft is arranged in an inclined state with respect to the horizontal plane, and is connected substantially perpendicularly to the bottom surface of the mounting tray. That is, the mounting tray is tilted with the rotation center axis tilted with respect to the horizontal plane.
When such a mounting plate rotates in a plasma atmosphere containing carbon, the rolling elements mounted on the conductive mounting plate roll.

傾斜した載置皿の回転に伴って載置皿の上部へ移動した転動体は、重力によって載置皿の下部へ移動する。このため、例えば転動体表面の略一点のみを載置皿に接触させた状態で転動体が載置皿上を滑走するような現象の発生が抑制され、転動体は略ランダムに転動する。
以上の結果、転動体の表面全体が満遍なくプラズマに暴露され、この状態の転動体に負電圧を印加することによって、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜が成膜される。 The rolling elements that have moved to the upper portion of the mounting plate with the rotation of the inclined mounting plate move to the lower portion of the mounting plate by gravity. For this reason, for example, generation | occurrence | production of the phenomenon that a rolling body slides on a mounting plate in the state which contacted only one point of the rolling-element surface with the mounting plate is suppressed, and a rolling member rolls substantially randomly.
As a result, the entire surface of the rolling element is uniformly exposed to the plasma, and by applying a negative voltage to the rolling element in this state, a substantially uniform and homogeneous DLC film is formed on the entire surface of the rolling element.

また、第４発明にあっては、一端部が絶縁部材を介してモータの出力軸と連結されている傾斜回転軸の他端部が、載置皿と着脱可能に連結されている。
ＤＬＣが不要に付着した載置皿は傾斜回転軸から取り外され、所要の導電性を有する新たな載置皿が傾斜回転軸に取り付けられる。 Moreover, in the 4th invention, the other end part of the inclination rotating shaft by which one end part is connected with the output shaft of the motor via the insulating member is connected with the mounting plate so that attachment or detachment is possible.
The mounting plate on which DLC is unnecessarily attached is removed from the tilting rotary shaft, and a new mounting plate having required conductivity is attached to the tilting rotary shaft.

更に、第１発明、第２発明、又は第４発明にあっては、着脱可能な載置皿が、複数の部材を組み合わせてなる。各部材は、少なくとも前記載置皿の底面の一部を有する。
同一の載置皿を用いて何度か成膜作業を行なうと、載置皿にＤＬＣが不要に付着するが、この付着の度合いは均一ではない。このため、載置皿に関し、ＤＬＣが不要に付着している部材が、略同一形状の新たな部材と取り替えられる。 Furthermore, in the 1st invention, the 2nd invention, or the 4th invention, the mounting tray which can be attached or detached is formed by combining a plurality of members. Each member has at least a part of the bottom surface of the placing plate.
When the film forming operation is performed several times using the same mounting tray, DLC adheres unnecessarily to the mounting tray, but the degree of this deposition is not uniform. For this reason, regarding the mounting plate, the member to which DLC is unnecessarily attached is replaced with a new member having substantially the same shape.

第５発明にあっては、凹条部及び／又は凸部が載置皿の載置面に形成してある。
仮に、凹条部及び／又は凸部が形成されていない場合、例えば複数の転動体が載置皿に載置されているとき、隣り合う転動体同士が略同一部分を接触させた状態で転動する現象が起こりうる。
しかしながら、複数の転動体が個々に凹条部又は凸部に当接し、また、この凹条部に沿って、又は凸部に反射して個々に移動するため、隣り合う転動体同士が自動的に離隔する。又は、仮に接触した状態であっても、略同一部分を接触させた状態で転動する現象が抑制される。 In the fifth invention, the concave strip and / or the convex are formed on the mounting surface of the mounting tray.
If the concave and / or convex portions are not formed, for example, when a plurality of rolling elements are placed on the placing plate, the rolling elements adjacent to each other roll in a state where substantially the same part is in contact. A moving phenomenon can occur.
However, since a plurality of rolling elements individually contact the concave or convex portions and move individually along the concave portions or reflected by the convex portions, adjacent rolling elements are automatically Separate. Or even if it is in the state contacted, the phenomenon which rolls in the state which made the substantially identical part contact is suppressed.

なお、凸部は凸条部でもよいが、仮に、凹条部の代わりに凹部が載置皿の載置面に形成してある場合、転動体が凹部の底部に落ち込んで転動困難となることがある。このため、条部内で、又は条部に沿って転動体が転動可能な凹条部が好適である。   In addition, although a convex part may be a convex part, if the recessed part is formed in the mounting surface of a mounting tray instead of a concave part, a rolling element will fall into the bottom part of a recessed part and will become difficult to roll. Sometimes. For this reason, the concave strip part which a rolling element can roll within a strip or along a strip is suitable.

第６発明にあっては、載置皿の底面に、転動体が載置される載置板が着脱可能に敷いてある。載置板は載置皿の底面を覆うため、載置皿の底面にはＤＬＣが付着しない。また、載置板は導電性を有するため、載置皿の底面を覆っていても、転動体に対する成膜を阻害しない。
同一の載置板が敷いてある載置皿を用いて何度か成膜作業を行なうと、載置板にＤＬＣが不要に付着する。仮に、載置板に付着したＤＬＣを放置しておくと、載置板の導電性が悪化し、転動体に対する成膜不良が生じる。
そこで、ＤＬＣが不要に付着した載置板が載置皿から取り外され、所要の導電性を有する新たな載置板が載置皿に取り付けられる。 In the sixth invention, the mounting plate on which the rolling elements are mounted is detachably laid on the bottom surface of the mounting tray. Since the mounting plate covers the bottom surface of the mounting plate, DLC does not adhere to the bottom surface of the mounting plate. Moreover, since a mounting plate has electroconductivity, even if it covers the bottom face of a mounting plate, the film formation with respect to a rolling element is not inhibited.
When a film forming operation is performed several times using a mounting plate on which the same mounting plate is laid, DLC adheres unnecessarily to the mounting plate. If the DLC adhering to the mounting plate is left unattended, the conductivity of the mounting plate is deteriorated, resulting in film formation defects on the rolling elements.
Therefore, the mounting plate to which DLC is unnecessarily attached is removed from the mounting plate, and a new mounting plate having required conductivity is attached to the mounting plate.

また、第６発明にあっては、載置皿の底面を覆う着脱可能な載置板が、複数の板部材を組み合わせてなる。
同一の載置板が敷いてある載置皿を用いて何度か成膜作業を行なうと、載置板にＤＬＣが不要に付着するが、この付着の度合いは均一ではない。このため、載置板に関し、ＤＬＣが不要に付着している板部材が、略同一形状の新たな板部材と取り替えられる。 Moreover, in the sixth invention, the detachable mounting plate that covers the bottom surface of the mounting tray is formed by combining a plurality of plate members.
When a film forming operation is performed several times using a mounting plate on which the same mounting plate is laid, DLC adheres unnecessarily to the mounting plate, but the degree of this adhesion is not uniform. For this reason, regarding the mounting plate, the plate member to which DLC is unnecessarily attached is replaced with a new plate member having substantially the same shape.

更に、第６発明にあっては、凹条部及び／又は凸部が、載置皿の底面を覆う載置板に形成してある。
この結果、複数の転動体が個々に凹条部又は凸部に当接し、また、この凹条部に沿って、又は凸部に反射して個々に移動するため、隣り合う転動体同士が自動的に離隔する。又は、仮に接触した状態であっても、略同一部分を接触させた状態で転動する現象が抑制される。なお、凸部は凸条部でもよい。 Furthermore, in the sixth invention, the concave strip portion and / or the convex portion are formed on the mounting plate that covers the bottom surface of the mounting tray.
As a result, a plurality of rolling elements abut against the concave or convex portions individually and move individually along the concave portions or reflected by the convex portions. Separate. Or even if it is in the state contacted, the phenomenon which rolls in the state which made the substantially identical part contact is suppressed. In addition, a convex part may be sufficient as a convex part.

第１発明又は第２発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿に載置されている転動体を攪拌翼で攪拌するため、転動体をランダムに転動させて、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができる。
この結果、成膜された転動体表面の硬度、摺動性、転動性、耐摩耗性等を満遍なく向上させることができる。
更に、転動体に対する成膜の際に、転動体を分割する必要がないため、転動体の表面の連続性、円滑性等が低下することを防止することができる。また、一般に、このような転動体はボールねじのねじ軸のように長尺ではないため、小型のＤＬＣ成膜装置で転動体に成膜することができる。 In the case of the DLC film forming apparatus of the first invention or the second invention , in order to agitate the rolling elements mounted on the mounting tray with the stirring blade, the rolling elements are randomly rolled to the entire surface of the rolling elements. A substantially uniform and homogeneous DLC film can be formed.
As a result, the hardness, slidability, rolling property, wear resistance and the like of the surface of the formed rolling element can be improved evenly.
Furthermore, since it is not necessary to divide the rolling element when forming a film on the rolling element, it is possible to prevent the surface continuity, smoothness, and the like of the rolling element from being lowered. In general, since such a rolling element is not as long as the screw shaft of a ball screw, it is possible to form a film on the rolling element with a small DLC film forming apparatus.

更にまた、第１発明のＤＬＣ成膜装置による場合、モータの出力軸に連結されている回転軸と攪拌翼とが連結してあるため、簡易な構成で攪拌翼を回転させることができる。
また、載置皿を支持する支持筒を介して転動体に負電圧を印加することができ、しかも、モータの出力軸と連結されている回転軸には直接的に負電圧が印加されないため、モータに負電圧が印加されることを抑制することができる。 Furthermore, in the case of the DLC film forming apparatus according to the first aspect of the present invention , since the rotating shaft connected to the output shaft of the motor and the stirring blade are connected, the stirring blade can be rotated with a simple configuration.
In addition, a negative voltage can be applied to the rolling elements via the support cylinder that supports the mounting tray, and because the negative voltage is not directly applied to the rotating shaft connected to the output shaft of the motor, Application of a negative voltage to the motor can be suppressed.

更に、第１発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿が着脱可能であるため、ＤＬＣが不要に付着した載置皿を支持筒から取り外し、所要の導電性を有する新たな載置皿を支持筒に取り付けることができる。この結果、載置皿の導電性の悪化を抑制することができるため、転動体に良好に成膜することができる。 Furthermore, in the case of the DLC film forming apparatus according to the first aspect of the invention, since the mounting tray is detachable, the mounting tray on which DLC is unnecessarily attached is removed from the support tube, and a new mounting tray having the required conductivity is obtained. It can be attached to a support tube. As a result, since the deterioration of the conductivity of the mounting tray can be suppressed, a film can be favorably formed on the rolling elements.

一方、第２発明のＤＬＣ成膜装置による場合、モータの出力軸に連結されている回転軸と載置皿とが連結してあるため、簡易な構成で載置皿を回転させることができる。
また、載置皿と連結されている回転軸を介して転動体に負電圧を印加することができ、しかも、モータの出力軸と回転軸とが絶縁部材を介して連結されているため、モータに負電圧が印加されることを抑制することができる。 On the other hand, in the case of the DLC film forming apparatus according to the second aspect of the invention , since the rotary shaft connected to the output shaft of the motor and the mounting plate are connected, the mounting plate can be rotated with a simple configuration.
In addition, a negative voltage can be applied to the rolling element via a rotating shaft connected to the mounting tray, and the motor output shaft and the rotating shaft are connected via an insulating member, so that the motor It is possible to suppress a negative voltage from being applied.

更に、第２発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿が着脱可能であるため、ＤＬＣが不要に付着した載置皿を回転軸から取り外し、所要の導電性を有する新たな載置皿を回転軸に取り付けることができる。この結果、載置皿の導電性の悪化を抑制することができるため、転動体に良好に成膜することができる。 Furthermore, in the case of the DLC film forming apparatus according to the second aspect of the invention, the mounting tray can be attached and detached. Can be attached to a rotating shaft. As a result, since the deterioration of the conductivity of the mounting tray can be suppressed, a film can be favorably formed on the rolling elements.

第３発明のＤＬＣ成膜装置による場合、傾斜した載置皿に載置されている転動体を攪拌翼で攪拌するため、転動体を更にランダムに転動させることができ、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができる。 In the case of the DLC film forming apparatus according to the third aspect of the invention, since the rolling elements mounted on the inclined mounting tray are agitated by the stirring blade, the rolling elements can be further randomly rolled, and the entire surface of the rolling elements A substantially uniform and homogeneous DLC film can be formed.

第４発明のＤＬＣ成膜装置による場合、傾斜した載置皿を回転させるため、載置皿に載置されている転動体をランダムに転動させて、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができる。
この結果、成膜された転動体表面の硬度、摺動性、転動性、耐摩耗性等を満遍なく向上させることができる。
更に、転動体に対する成膜の際に、転動体を分割する必要がないため、転動体の表面の連続性、円滑性等が低下することを防止することができる。また、一般に、このような転動体はボールねじのねじ軸のように長尺ではないため、小型のＤＬＣ成膜装置で転動体に成膜することができる。 In the case of the DLC film forming apparatus according to the fourth aspect of the invention, in order to rotate the inclined mounting tray, the rolling elements placed on the mounting tray are randomly rolled, and the entire surface of the rolling elements is substantially uniform and homogeneous. A suitable DLC film can be formed.
As a result, the hardness, slidability, rolling property, wear resistance and the like of the surface of the formed rolling element can be improved evenly.
Furthermore, since it is not necessary to divide the rolling element when forming a film on the rolling element, it is possible to prevent the surface continuity, smoothness, and the like of the rolling element from being lowered. In general, since such a rolling element is not as long as the screw shaft of a ball screw, it is possible to form a film on the rolling element with a small DLC film forming apparatus.

また、モータの出力軸に連結されている傾斜回転軸と載置皿とが連結してあるため、簡易な構成で載置皿を回転させることができる。
更に、載置皿と連結されている傾斜回転軸を介して転動体に負電圧を印加することができ、しかも、モータの出力軸と傾斜回転軸とが絶縁部材を介して連結されているため、モータに負電圧が印加されることを抑制することができる。 In addition, since the inclined rotation shaft connected to the output shaft of the motor and the mounting plate are connected, the mounting plate can be rotated with a simple configuration.
Furthermore, a negative voltage can be applied to the rolling element via the inclined rotating shaft connected to the mounting tray, and the motor output shaft and the inclined rotating shaft are connected via an insulating member. The negative voltage applied to the motor can be suppressed.

また、第４発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿が着脱可能であるため、ＤＬＣが不要に付着した載置皿を傾斜回転軸から取り外し、所要の導電性を有する新たな載置皿を傾斜回転軸に取り付けることができる。この結果、載置皿の導電性の悪化を抑制することができるため、転動体に良好に成膜することができる。 Further, in the case of the DLC film forming apparatus according to the fourth aspect of the invention, since the mounting tray is detachable, the mounting tray to which DLC is unnecessarily attached is removed from the inclined rotation shaft, and a new mounting tray having the required conductivity is obtained. Can be attached to the inclined rotation shaft. As a result, since the deterioration of the conductivity of the mounting tray can be suppressed, a film can be favorably formed on the rolling elements.

更に、第１発明、第２発明、又は第４発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿に関し、ＤＬＣが不要に付着している部材のみを、略同一形状の新たな部材と取り替えることができるため、載置皿全体を取り替える無駄を生じることなく、所要の導電性を有する新たな載置皿を用いることができる。この結果、載置皿の導電性の悪化を効率よく抑制することができる。 Furthermore, in the case of the DLC film forming apparatus of the first invention, the second invention, or the fourth invention, only the member to which DLC is unnecessarily attached can be replaced with a new member having substantially the same shape. Therefore, it is possible to use a new mounting tray having required conductivity without causing waste of replacing the entire mounting tray. As a result, the deterioration of the conductivity of the mounting tray can be efficiently suppressed.

第５発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿の載置面に形成してある凹条部及び／又は凸部に転動体が自動的に当接、反射等することによって、転動体を更にランダムに転動させることができ、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができる。 In the case of the DLC film forming apparatus according to the fifth aspect of the present invention, the rolling element is automatically brought into contact with, reflected from, or the like on the concave strip portion and / or the convex portion formed on the mounting surface of the mounting tray. Furthermore, it can be made to roll randomly, and a substantially uniform and homogeneous DLC film can be formed on the entire surface of the rolling element.

第６発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿の底面を覆う載置板が着脱可能であるため、ＤＬＣが不要に付着した載置板を載置皿から取り外し、所要の導電性を有する新たな載置板を載置皿に取り付けることができる。この結果、載置板の導電性の悪化を抑制することができるため、転動体に良好に成膜することができる。また、転動体が載置される載置板が取り替え可能であるため、ＤＬＣが付着しても転動体の成膜状況に悪影響を及ぼさない載置皿全体を取り替える必要がない。即ち取り替えの無駄を省くことができる。 In the case of the DLC film forming apparatus according to the sixth aspect of the invention, since the mounting plate that covers the bottom surface of the mounting plate is detachable, the mounting plate to which DLC is unnecessarily attached is removed from the mounting plate and has the required conductivity. A new mounting plate can be attached to the mounting tray. As a result, since the deterioration of the conductivity of the mounting plate can be suppressed, the film can be satisfactorily formed on the rolling elements. In addition, since the mounting plate on which the rolling element is mounted can be replaced, it is not necessary to replace the entire mounting plate that does not adversely affect the film formation state of the rolling element even if DLC adheres. In other words, waste of replacement can be eliminated.

更に、第６発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿の底面を覆う載置板に関し、ＤＬＣが不要に付着している板部材のみを、略同一形状の新たな板部材と取り替えることができるため、載置板全体を取り替える無駄を生じることなく、所要の導電性を有する新たな載置板を用いることができる。この結果、載置板の導電性の悪化を効率よく抑制することができる。 Furthermore, in the DLC film forming apparatus according to the sixth aspect of the present invention, only the plate member to which DLC is unnecessarily attached can be replaced with a new plate member having substantially the same shape with respect to the mounting plate covering the bottom surface of the mounting plate. Therefore, a new mounting plate having required conductivity can be used without waste of replacing the entire mounting plate. As a result, the deterioration of the conductivity of the mounting plate can be efficiently suppressed.

更にまた、第６発明のＤＬＣ成膜装置による場合、載置皿の底面を覆う載置板に形成してある凹条部及び／又は凸部に転動体が自動的に当接、反射等することによって、転動体を更にランダムに転動させることができ、転動体の表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜を成膜することができる。 Furthermore, in the case of the DLC film forming apparatus according to the sixth aspect of the invention, the rolling elements automatically come into contact with, reflect, or the like on the concave portions and / or convex portions formed on the mounting plate that covers the bottom surface of the mounting tray. As a result, the rolling elements can be rolled more randomly, and a substantially uniform and homogeneous DLC film can be formed on the entire surface of the rolling elements.

以下、本発明を、その実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings illustrating embodiments thereof.

実施の形態 １．
図１は、本発明の実施の形態１に係るＤＬＣ成膜装置１の構成を示す縦断面図である。
また、図２は、ＤＬＣ成膜装置１が備える載置皿２１及び攪拌翼３１近傍の構成を示す縦断面図であり、図３は、同じく平面図である。 Embodiment 1.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a DLC film forming apparatus 1 according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the configuration in the vicinity of the mounting plate 21 and the stirring blade 31 provided in the DLC film forming apparatus 1, and FIG. 3 is also a plan view.

鋼球Ｂは、炭素鋼を用いてなる外径約１０ｍｍの転動体である。複数の鋼球Ｂ，Ｂ，…の表面全体にＤＬＣ膜を成膜すべく、ＤＬＣ成膜装置１は、炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された鋼球Ｂ，Ｂ，…を略ランダムに転動させつつ、鋼球Ｂ，Ｂ，…に負電圧を印加する。
このために、ＤＬＣ成膜装置１は、図１に示すように、真空排気装置６１によって内部の気体が排出され、ガス流入装置６２によって、炭素を含む原料ガスが供給されるチャンバＣ１を備える。 The steel ball B is a rolling element made of carbon steel and having an outer diameter of about 10 mm. In order to form a DLC film on the entire surface of the plurality of steel balls B, B,..., The DLC film forming apparatus 1 includes steel balls B, B,. A negative voltage is applied to the steel balls B, B,.
For this purpose, as shown in FIG. 1, the DLC film forming apparatus 1 includes a chamber C <b> 1 in which an internal gas is exhausted by a vacuum exhaust device 61 and a source gas containing carbon is supplied by a gas inflow device 62.

チャンバＣ１は、略水平な天板及び載置板、並びに４枚の側板で構成されている密封容器であり、例えばアルゴンガスのような不活性ガスによって内部を洗浄されてから、メタンガス、アセチレンガス、トルエンガス等の原料ガスを供給される。
このような原料ガスはチャンバＣ１へ連続的に供給される。そして、後述するようにＲＦ（高周波）パルス及びパルス状の負電圧が印加されることによって、チャンバＣ１内でプラズマが発生し、各鋼球Ｂの表面にＤＬＣが堆積する。 The chamber C1 is a sealed container composed of a substantially horizontal top plate, a mounting plate, and four side plates. For example, the chamber C1 is cleaned with an inert gas such as argon gas, and then methane gas, acetylene gas is used. A source gas such as toluene gas is supplied.
Such source gas is continuously supplied to the chamber C1. Then, as described later, an RF (radio frequency) pulse and a pulse-like negative voltage are applied to generate plasma in the chamber C1, and DLC is deposited on the surface of each steel ball B.

チャンバＣ１の中央部には、導電性を有する載置皿２１が配されている。載置皿２１は、基材としての鋼球Ｂ，Ｂ，…を転動自在に保持する基材ホルダであって、本実施の形態においてはステンレスを用いてなり、図２及び図３に示すように、約２００ｍｍの直径を有する平面視円形状の略平坦な載置面２１ａと、載置面２１ａの周縁から立ち上がる平面視円環状の側壁２１ｂとを備える。   A conductive placing plate 21 is disposed in the center of the chamber C1. The mounting tray 21 is a base material holder that holds the steel balls B, B,... As the base material in a freely rolling manner, and is made of stainless steel in the present embodiment, and is shown in FIGS. As described above, a substantially flat mounting surface 21a having a circular shape in plan view having a diameter of about 200 mm, and a side wall 21b having an annular shape in plan view rising from the periphery of the mounting surface 21a are provided.

載置皿２１の載置面２１ａは略水平に配され、載置面２１ａには鋼球Ｂ，Ｂ，…が載置される。載置皿２１に載置すべき鋼球Ｂ，Ｂ，…の個数は、載置面２１ａに対する鋼球Ｂ，Ｂ，…の投影面積が、載置面２１ａの面積の３０％以下を占める程度の個数が好ましい。仮に、３０％を上回る場合は鋼球Ｂ，Ｂ，…同士が互いに接触又は接近することが多くなり、各鋼球Ｂの周辺にプラズマが回りきらないため、鋼球Ｂ，Ｂ，…の表面全体に均一、均質なＤＬＣ膜が成膜され難くなる。   The mounting surface 21a of the mounting tray 21 is arranged substantially horizontally, and the steel balls B, B,... Are mounted on the mounting surface 21a. The number of steel balls B, B,... To be placed on the placement tray 21 is such that the projected area of the steel balls B, B,... On the placement surface 21a occupies 30% or less of the area of the placement surface 21a. Is preferable. If it exceeds 30%, the steel balls B, B,... Often come into contact with each other or approach each other, and the plasma does not rotate around each steel ball B. Therefore, the surface of the steel balls B, B,. It becomes difficult to form a uniform and homogeneous DLC film as a whole.

載置面２１ａ上の鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動を促進するために、図１〜図３に示すように、載置皿２１内部には、載置皿２１に載置されている鋼球Ｂ，Ｂ，…を載置面２１ａの周方向（図３中白抜矢符方向）に攪拌するステンレス製の攪拌翼３１が、載置面２１ａから僅かに上方に離隔して配されている。
具体的には、攪拌翼３１は、ステンレス製の略鉛直な回転軸４１の下端部外周面に、略水平に配された４本の矩形棒材３１１，３１１，…の各基端部を溶接してなる平面視十字状の回転部材である。対向する２本の矩形棒材３１１，３１１の先端部同士の距離は載置
面２１ａの直径よりも僅かに短く、また、回転軸４１の下端部は載置面２１ａの中心点の上方に離隔配置されているため、回転軸４１及び攪拌翼３１が載置皿２１に摺動することはない。 In order to promote random rolling of the steel balls B, B,... On the mounting surface 21a, the mounting balls 21 are mounted on the mounting tray 21 as shown in FIGS. The stainless steel stirring blades 31 for stirring the steel balls B, B,... In the circumferential direction of the mounting surface 21a (indicated by the white arrow in FIG. 3) are spaced slightly upward from the mounting surface 21a. It is arranged.
Specifically, the stirring blade 31 welds each base end portion of four rectangular rods 311, 311,... Arranged substantially horizontally to the outer peripheral surface of the lower end portion of a substantially vertical rotating shaft 41 made of stainless steel. This is a rotating member having a cross shape in plan view. The distance between the tip portions of the two opposing rectangular bars 311 and 311 is slightly shorter than the diameter of the mounting surface 21a, and the lower end of the rotating shaft 41 is spaced above the center point of the mounting surface 21a. Since they are arranged, the rotating shaft 41 and the stirring blade 31 do not slide on the mounting tray 21.

攪拌翼３１の矩形棒材３１１，３１１，…によって、載置皿２１は４個の区画に分割されるため、これらの区画に鋼球Ｂ，Ｂ，…が略均等に配分されていることが望ましい。なお、形状、寸法、材質等が異なる転動体（例えば鋼球Ｂ，Ｂ，…と、鋼球Ｂより小さい複数の鋼球と）を、区画毎に配分してもよい。   The mounting tray 21 is divided into four sections by the rectangular bars 311, 311,... Of the stirring blade 31, so that the steel balls B, B,. desirable. In addition, rolling elements (for example, steel balls B, B,..., And a plurality of steel balls smaller than the steel balls B) having different shapes, dimensions, materials, and the like may be allocated for each section.

攪拌翼３１に攪拌される鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動を更に促進するために、載置皿２１の載置面２１ａには、互いに略平行な２本のＶ字溝Ｄ，Ｄが形成されている。Ｖ字溝Ｄ，Ｄは載置面２１ａの中心点の両側に配されている凹条部であり、各Ｖ字溝Ｄの幅は鋼球Ｂの直径よりも充分に短い。このため、鋼球ＢはＶ字溝Ｄ内に落ち込むことなく、Ｖ字溝Ｄを乗り越え、又は、Ｖ字溝Ｄに沿って、転動可能である。   In order to further promote the random rolling of the steel balls B, B,... Stirred by the stirring blade 31, two V-shaped grooves D, D is formed. The V-shaped grooves D and D are concave ridge portions arranged on both sides of the center point of the mounting surface 21a, and the width of each V-shaped groove D is sufficiently shorter than the diameter of the steel ball B. For this reason, the steel ball B can roll over the V-shaped groove D or fall along the V-shaped groove D without falling into the V-shaped groove D.

例えば、図３に示すように、互いに隣接して転動している鋼球Ｂ，Ｂの内、一方の鋼球ＢのみがＶ字溝Ｄ上に位置した場合、攪拌翼３１の回転に伴い、Ｖ字溝Ｄ上の鋼球ＢはＶ字溝Ｄに沿って直進するが、他方のＶ字溝Ｄは円弧状に進行するため、隣接していた鋼球Ｂ，Ｂが離隔し、互いに接触していた部分がプラズマ雰囲気に暴露される。   For example, as shown in FIG. 3, when only one of the steel balls B, B rolling adjacent to each other is positioned on the V-shaped groove D, the stirring blade 31 is rotated. The steel ball B on the V-shaped groove D advances straight along the V-shaped groove D, but the other V-shaped groove D advances in an arc shape, so that the adjacent steel balls B, B are separated from each other. The contacted part is exposed to the plasma atmosphere.

仮に、Ｖ字溝Ｄ，Ｄが形成されていない場合、鋼球Ｂ，Ｂは互いに接触したまま円弧状の転動を継続することがあり、互いに接触している部分がプラズマ雰囲気に暴露され難く、この部分にＤＬＣ膜が成膜されないことがある。
なお、Ｖ字溝Ｄに限らず、他の形状の凹条部及び／又は凸部（例えば転動する鋼球Ｂが乗り越え可能な逆Ｖ字状の凸条部）が載置面２１ａに形成されていてもよいが、攪拌翼３１の回転を阻害しないために、凸部よりは凹条部が好ましい。 If the V-shaped grooves D and D are not formed, the steel balls B and B may continue to roll in an arc shape while being in contact with each other, and the portions in contact with each other are not easily exposed to the plasma atmosphere. The DLC film may not be formed on this part.
In addition, not only the V-shaped groove D but other shapes of concave stripes and / or convex parts (for example, inverted V-shaped convex stripes on which the rolling steel balls B can get over) are formed on the mounting surface 21a. However, in order not to inhibit the rotation of the stirring blade 31, the concave strip portion is preferable to the convex portion.

前述のようにして下端部が攪拌翼３１と連結されている回転軸４１は、図１に示すように、回転軸４１の上端部が、継ぎ手１１を介して、電動モータＭ１の出力軸と連結されている。電動モータＭ１は、毎分数回転の回転運動を出力する。
回転軸４１と電動モータＭ１の出力軸とは略一直線上に配されており、継ぎ手１１は、回転軸４１の上端部と電動モータＭ１の出力軸とを連結するナイロン製のカップリングであって、絶縁部材としての機能を有する。即ち、継ぎ手１１は、導電性を有する回転軸４１に漏電した電力が、出力軸を介して電動モータＭ１へ更に漏電して電動モータＭ１に悪影響を与えることを防止している。 As shown in FIG. 1, the rotating shaft 41 whose lower end portion is connected to the stirring blade 31 as described above is connected to the output shaft of the electric motor M <b> 1 via the joint 11. Has been. The electric motor M1 outputs a rotational motion of several revolutions per minute.
The rotary shaft 41 and the output shaft of the electric motor M1 are arranged substantially in a straight line, and the joint 11 is a nylon coupling that connects the upper end of the rotary shaft 41 and the output shaft of the electric motor M1. It has a function as an insulating member. That is, the joint 11 prevents the electric power leaking to the rotating shaft 41 having conductivity from further leaking to the electric motor M1 via the output shaft and adversely affecting the electric motor M1.

電動モータＭ１が出力した回転運動を、継ぎ手１１及び回転軸４１を介して伝達されることによって、攪拌翼３１は毎分数回転で回転して鋼球Ｂ，Ｂ，…を攪拌する。   The rotating motion output by the electric motor M1 is transmitted through the joint 11 and the rotating shaft 41, whereby the stirring blade 31 rotates at a few revolutions per minute to stir the steel balls B, B,.

ここで、チャンバＣ１天板外面には、外筒６４１が略鉛直に立設されており、電動モータＭ１は、外筒６４１の上端部に、取付フランジ６４２を介して取り付けられている。電動モータＭ１の出力軸及び回転軸４１夫々は、外筒６４１の内部に配されている。   Here, an outer cylinder 641 is erected substantially vertically on the outer surface of the top plate of the chamber C1, and the electric motor M1 is attached to the upper end portion of the outer cylinder 641 via an attachment flange 642. Each of the output shaft and the rotation shaft 41 of the electric motor M <b> 1 is disposed inside the outer cylinder 641.

この外筒６４１内部には支持筒５１が略鉛直に配されており、回転軸４１は、両端部が支持筒５１の両端開口から突出するよう配されて、支持筒５１内部で回転可能に支持されている。支持筒５１はステンレス製であって導電性を有し、支持筒５１の軸長方向を略鉛直方向に配して、チャンバＣ１の天板を貫通した状態で、チャンバＣ１に取り付けられている。このため、支持筒５１の上端部はチャンバＣ１の外部に配され、支持筒５１の下端部はチャンバＣ１の内部に配されている。図２に示すように、支持筒５１の下端部には、回転軸４１が挿通されている円筒部材５１１の上端部がネジ留めされている。   A support cylinder 51 is arranged substantially vertically inside the outer cylinder 641, and the rotating shaft 41 is arranged so that both ends protrude from both end openings of the support cylinder 51, and are supported rotatably inside the support cylinder 51. Has been. The support cylinder 51 is made of stainless steel and has conductivity. The support cylinder 51 is attached to the chamber C1 with the axial direction of the support cylinder 51 arranged in a substantially vertical direction and penetrating the top plate of the chamber C1. For this reason, the upper end part of the support cylinder 51 is arranged outside the chamber C1, and the lower end part of the support cylinder 51 is arranged inside the chamber C1. As shown in FIG. 2, the upper end portion of the cylindrical member 511 through which the rotation shaft 41 is inserted is screwed to the lower end portion of the support cylinder 51.

図１に示すように、回転軸４１の外周面と支持筒５１の上部内周面との間にＯリング６３１を配することによって、回転軸４１と支持筒５１との空隙は密閉されており、回転軸４１はＯリング６３１に摺動しつつ回転する。また、支持筒５１の外周面と、チャンバＣ１天板の内面及び外面夫々との間にＯリング６３２，６３２を配することによって、支持筒５１とチャンバＣ１との空隙は密閉されている。以上の結果、支持筒５１がチャンバＣ１の天板を貫通していることによってチャンバＣ１に対し気体が流入出することはない。   As shown in FIG. 1, by arranging an O-ring 631 between the outer peripheral surface of the rotating shaft 41 and the upper inner peripheral surface of the supporting cylinder 51, the gap between the rotating shaft 41 and the supporting cylinder 51 is sealed. The rotation shaft 41 rotates while sliding on the O-ring 631. Further, by arranging O-rings 632 and 632 between the outer peripheral surface of the support cylinder 51 and the inner surface and the outer surface of the chamber C1 top plate, the gap between the support cylinder 51 and the chamber C1 is sealed. As a result, the support cylinder 51 penetrates the top plate of the chamber C1, so that no gas flows into and out of the chamber C1.

図２及び図３に示すように、載置皿２１の側壁２１ｂには、載置面２１ａの周縁を４等分する位置に、４個の支持部材２１１，２１１，…の一端部が着脱可能にネジ留めされている。このため、載置皿２１は支持部材２１１，２１１，…に対して取り付け及び取り外しが容易である。
各支持部材２１１は、矩形平板を変形Ｚ字状に折り曲げてなり、各支持部材２１１の他端部は、円筒部材５１１の下端部にネジ留めされている。 As shown in FIGS. 2 and 3, one end of four support members 211, 211,... Can be attached to and detached from the side wall 21 b of the mounting tray 21 at a position that divides the periphery of the mounting surface 21 a into four equal parts. It is screwed to. For this reason, the mounting tray 21 can be easily attached to and detached from the support members 211, 211,.
Each support member 211 is formed by bending a rectangular flat plate into a deformed Z shape, and the other end of each support member 211 is screwed to the lower end of the cylindrical member 511.

このような支持部材２１１，２１１，…は載置皿２１を、載置面２１ａを略水平にした状態でチャンバＣ１内に、着脱可能に吊り下げ支持している。つまり、支持筒５１は、円筒部材５１１及び支持部材２１１，２１１，…を介して、支持筒５１の外部で載置皿２１を着脱可能に支持している。
円筒部材５１１、支持部材２１１，２１１，…及び支持部材２１１，２１１，…をネジ留めするネジは、夫々ステンレス製であって、導電性を有する。 These supporting members 211, 211,... Support the mounting plate 21 in a detachable manner in the chamber C1 with the mounting surface 21a substantially horizontal. That is, the support cylinder 51 detachably supports the mounting tray 21 outside the support cylinder 51 via the cylindrical member 511 and the support members 211, 211,.
The screws for fastening the cylindrical member 511, the supporting members 211, 211,... And the supporting members 211, 211,... Are made of stainless steel and have conductivity.

鋼球Ｂ，Ｂ，…に印加すべき負電圧は、支持筒５１に印加され、支持筒５１、円筒部材５１１、支持部材２１１，２１１，…及び載置皿２１を介して、鋼球Ｂ，Ｂ，…に印加される。つまり、支持筒５１、円筒部材５１１、支持部材２１１，２１１，…及び載置皿２１は、チャンバＣ１外部からチャンバＣ１内部の鋼球Ｂ，Ｂ，…に負電圧を印加するためのフィードスルー（電流導入端子）としても機能する。
また、本実施の形態では、原料ガスをプラズマにするためのＲＦパルスも支持筒５１に印加される。 A negative voltage to be applied to the steel balls B, B,... Is applied to the support cylinder 51, and the steel balls B, B through the support cylinder 51, the cylindrical member 511, the support members 211, 211,. Applied to B,... In other words, the support cylinder 51, the cylindrical member 511, the support members 211, 211,... And the mounting tray 21 are fed through for applying a negative voltage from the outside of the chamber C1 to the steel balls B, B,. It also functions as a current introduction terminal.
In the present embodiment, an RF pulse for making the source gas into plasma is also applied to the support cylinder 51.

このために、支持筒５１には、重畳整合回路７０を介してパルスＲＦ電源７１とパルス電源７２とが電気的に接続されており、パルスＲＦ電源７１が出力するプラズマ発生用のＲＦパルスと、パルス電源７２が出力する負の高電圧パルスとが、鋼球Ｂ，Ｂ，…に対して重畳的に印加されるようにしてある。
重畳整合回路７０は、パルスＲＦ電源７１及びパルス電源７２夫々の出力を制御する制御部を備え、パルスＲＦ電源７１とパルス電源７２との相互干渉を防止し、また、パルスＲＦ電源７１と鋼球Ｂ，Ｂ，…とのインピーダンスを整合するように構成されている。 For this purpose, a pulse RF power source 71 and a pulse power source 72 are electrically connected to the support cylinder 51 via a superposition matching circuit 70, and an RF pulse for plasma generation output from the pulse RF power source 71; The negative high voltage pulse output from the pulse power source 72 is applied to the steel balls B, B,.
The superposition matching circuit 70 includes a control unit that controls the outputs of the pulse RF power supply 71 and the pulse power supply 72, prevents mutual interference between the pulse RF power supply 71 and the pulse power supply 72, and the pulse RF power supply 71 and the steel ball. It is configured to match impedances with B, B,.

以上のようなＤＬＣ成膜装置１においては、載置皿２１に対して相対的に回転する攪拌翼３１と、Ｖ字溝Ｄ，Ｄとによって、各鋼球Ｂが自公転し、載置皿２１及び他の鋼球Ｂとの接触点を連続的且つ略ランダムに変化させて転動する。このため、各鋼球Ｂの表面が満遍なくプラズマ雰囲気に暴露され、所定の成膜条件下で、各鋼球Ｂの表面全体に、厚さ約１．０μｍの略均一、均質なＤＬＣ膜が成膜される。
なお、ＤＬＣ膜の膜厚は、成膜条件を変更することによって、０．２μ〜２．０μｍの範囲で変更することが可能である。 In the DLC film forming apparatus 1 as described above, each steel ball B revolves and revolves by the stirring blade 31 that rotates relative to the mounting plate 21 and the V-shaped grooves D and D, and the mounting plate. 21 and the rolling contact point with other steel balls B are changed continuously and almost randomly. For this reason, the surface of each steel ball B is uniformly exposed to the plasma atmosphere, and a substantially uniform and homogeneous DLC film having a thickness of about 1.0 μm is formed on the entire surface of each steel ball B under predetermined film forming conditions. Be filmed.
The film thickness of the DLC film can be changed in the range of 0.2 μm to 2.0 μm by changing the film forming conditions.

また、載置皿２１は取り付け及び取り外しが容易であるため、同一の載置皿２１を使用して成膜作業を繰り返した後、作業者は、ＤＬＣが不要に付着した載置皿２１を、新たな載置皿２１と取り替える。この結果、載置皿２１の導電性が向上されるため、鋼球Ｂ，Ｂ，…に対する成膜不良が抑制される。   In addition, since the mounting tray 21 is easy to attach and remove, after repeating the film forming operation using the same mounting tray 21, the operator removes the mounting tray 21 to which DLC is unnecessarily attached. Replace with a new mounting tray 21. As a result, since the conductivity of the mounting tray 21 is improved, film formation defects on the steel balls B, B,.

実施の形態 ２．
図４は、本発明の実施の形態２に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿２２及び攪拌翼３１近傍の構成を示す縦断面図である。
実施の形態１のＤＬＣ成膜装置１においては、載置皿２１は、載置面２１ａが略水平となるよう支持部材２１１，２１１，…によって吊り下げ支持されていたが、本実施の形態のＤＬＣ成膜装置においては、載置皿２２は、水平面に対して傾斜した状態で支持されている。 Embodiment 2. FIG.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a configuration in the vicinity of the mounting tray 22 and the stirring blade 31 provided in the DLC film forming apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
In the DLC film forming apparatus 1 of the first embodiment, the mounting tray 21 is supported by the support members 211, 211,... So that the mounting surface 21a is substantially horizontal. In the DLC film forming apparatus, the mounting tray 22 is supported in an inclined state with respect to the horizontal plane.

載置皿２２、載置皿２２の載置面２２ａ及び側壁２２ｂ、並びに支持部材２２１，２２１，…は、実施の形態１の載置皿２１、載置皿２１の載置面２１ａ及び側壁２１ｂ、並びに支持部材２１１，２１１，…に対応する。
ただし、支持部材２２１，２２１，…は、載置皿２２を、載置面２２ａが水平面に対して僅かに傾斜した状態で吊り下げ支持している。
このため、攪拌翼３１の回転に伴って、傾斜の上側に移動した鋼球Ｂは、重力によって自然と傾斜の下側へ移動するため、鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動が更に促進される。 The mounting plate 22, the mounting surface 22 a and the side wall 22 b of the mounting plate 22, and the support members 221, 221,... Are the mounting plate 21 of the first embodiment, the mounting surface 21 a and the side wall 21 b of the mounting plate 21. , And support members 211, 211,.
However, the supporting members 221, 221,... Suspend and support the mounting tray 22 with the mounting surface 22 a slightly inclined with respect to the horizontal plane.
For this reason, since the steel ball B that has moved to the upper side of the inclination naturally moves to the lower side of the inclination due to gravity as the stirring blade 31 rotates, random rolling of the steel balls B, B,. Promoted.

ところで、載置面２２ａに形成されているＶ字溝Ｄ，Ｄの長手方向は、載置面２２ａの傾斜方向と交差する方向に配される。このため、例えば前述のように重力によって移動する鋼球Ｂが、傾斜の上側から下側へ真っ直ぐ移動することなく、Ｖ字溝Ｄに沿って斜めに移動することがあり、鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動が促進される。
仮に、Ｖ字溝Ｄ，Ｄの長手方向を載置面２２ａの傾斜方向に沿って配した場合は、鋼球Ｂ，Ｂ，…はＶ字溝Ｄ，Ｄが形成されていない場合と略同様の動きをする。 By the way, the longitudinal direction of the V-shaped grooves D and D formed on the mounting surface 22a is arranged in a direction crossing the inclination direction of the mounting surface 22a. For this reason, for example, the steel ball B that moves by gravity as described above may move obliquely along the V-shaped groove D without moving straight from the upper side to the lower side of the inclination. , ... random rolling is promoted.
If the longitudinal direction of the V-shaped grooves D, D is arranged along the inclination direction of the mounting surface 22a, the steel balls B, B,... Are substantially the same as when the V-shaped grooves D, D are not formed. To move.

その他、実施の形態１に対応する部分には同一符号を付してそれらの説明を省略する。   Other parts corresponding to those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

以上のようなＤＬＣ成膜装置においても、各鋼球Ｂの表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜が成膜される。また、ＤＬＣが不要に付着した載置皿２２を適宜のタイミングで新たな載置皿２２に取り替えることが可能である。   In the DLC film forming apparatus as described above, a substantially uniform and homogeneous DLC film is formed on the entire surface of each steel ball B. Moreover, it is possible to replace the mounting tray 22 to which DLC is unnecessarily attached with a new mounting tray 22 at an appropriate timing.

実施の形態 ３．
図５は、本発明の実施の形態３に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿２１及び攪拌翼３３近傍の構成を示す縦断面図であり、図６は、同じく平面図である。
実施の形態１，２のＤＬＣ成膜装置１が備える攪拌翼３１は十字状であったが、ＤＬＣ成膜装置が備えるべき攪拌翼の形状は、十字状に限定されるものではない。このため、本実施の形態においては、他の形状の攪拌翼を例示する。 Embodiment 3. FIG.
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing the configuration in the vicinity of the mounting plate 21 and the stirring blade 33 provided in the DLC film forming apparatus according to Embodiment 3 of the present invention, and FIG. 6 is also a plan view.
Although the stirring blade 31 provided in the DLC film forming apparatus 1 of Embodiments 1 and 2 has a cross shape, the shape of the stirring blade to be provided in the DLC film forming apparatus is not limited to the cross shape. For this reason, in this Embodiment, the stirring blade of another shape is illustrated.

本実施の形態のＤＬＣ成膜装置は、実施の形態１の攪拌翼３１及び回転軸４１に夫々対応する攪拌翼３３及び回転軸４３を備える。
攪拌翼３３は、回転軸４３の下端面に、略水平に配された１本の矩形棒材３３１の中心部を溶接し、更に、矩形棒材３３１の両端部下面に、略水平に配された４本の矩形棒材３３２，３３２，…の上面を溶接してなる回転部材である。攪拌翼３３の平面視の形状は、回転軸４３を中心とする点対称形状である。 The DLC film forming apparatus of the present embodiment includes a stirring blade 33 and a rotating shaft 43 corresponding to the stirring blade 31 and the rotating shaft 41 of the first embodiment, respectively.
The stirring blade 33 is welded to the lower end surface of the rotating shaft 43 at the center of one rectangular bar 331 disposed substantially horizontally, and is further disposed substantially horizontally on the lower surfaces of both ends of the rectangular bar 331. In addition, the rotating member is formed by welding the upper surfaces of the four rectangular rods 332, 332,. The shape of the stirring blade 33 in a plan view is a point-symmetric shape with the rotation axis 43 as the center.

矩形棒材３３１，３３２，３３２，…及び回転軸４３は、載置皿２１から夫々適長離隔配置されている。
矩形棒材３３１の下面と載置面２１ａとの離隔距離は鋼球Ｂの直径よりも大きいため、矩形棒材３３１は鋼球Ｂ，Ｂ，…に当接しない。
一方、矩形棒材３３２，３３２，…の下面と載置面２１ａとの離隔距離は鋼球Ｂの直径よりも小さい。即ち、矩形棒材３３２，３３２，…が鋼球Ｂ，Ｂ，…に当接することによ
って、攪拌翼３３は、図６中白抜矢符方向の回転に伴い、鋼球Ｂ，Ｂ，…を攪拌する。
このような攪拌翼３３は載置皿２１を複数の区画に分割しないため、鋼球Ｂ，Ｂ，…は、載置皿２１内を更に自由に移動する。 The rectangular bars 331, 332, 332,... And the rotary shaft 43 are spaced apart from the mounting tray 21 by an appropriate length.
Since the separation distance between the lower surface of the rectangular bar 331 and the mounting surface 21a is larger than the diameter of the steel ball B, the rectangular bar 331 does not contact the steel balls B, B,.
On the other hand, the separation distance between the lower surface of the rectangular bars 332, 332,... And the mounting surface 21a is smaller than the diameter of the steel ball B. That is, when the rectangular bar materials 332, 332,... Abut on the steel balls B, B,..., The stirring blade 33 causes the steel balls B, B,. Stir.
Since such a stirring blade 33 does not divide the mounting tray 21 into a plurality of sections, the steel balls B, B,... Move more freely in the mounting tray 21.

その他、実施の形態１，２に対応する部分には同一符号を付してそれらの説明を省略する。   Other parts corresponding to those of the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

以上のようなＤＬＣ成膜装置においても、各鋼球Ｂの表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜が成膜される。   In the DLC film forming apparatus as described above, a substantially uniform and homogeneous DLC film is formed on the entire surface of each steel ball B.

実施の形態 ４．
図７は、本発明の実施の形態４に係るＤＬＣ成膜装置１００の構成を示す縦断面図であり、図８は、本発明の実施の形態４に係るＤＬＣ成膜装置１００が備える電動モータＭ４近傍の構成を示す側面図である。
また、図９は、ＤＬＣ成膜装置１００が備える載置皿２４及び攪拌翼３４近傍の構成を示す縦断面図であり、図１０は、同じく平面図である。更に詳細には、図９は、図１０に示すＡ−Ｂ線の断面図である。 Embodiment 4 FIG.
FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a DLC film forming apparatus 100 according to Embodiment 4 of the present invention, and FIG. 8 is an electric motor included in the DLC film forming apparatus 100 according to Embodiment 4 of the present invention. It is a side view which shows the structure of M4 vicinity.
Moreover, FIG. 9 is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the mounting plate 24 with which the DLC film-forming apparatus 100 is equipped, and the stirring blade 34 vicinity, FIG. 10 is a top view similarly. More specifically, FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line AB shown in FIG.

本実施の形態のＤＬＣ成膜装置１００は、実施の形態１のＤＬＣ成膜装置１と同様、複数の鋼球Ｂ，Ｂ，…の表面全体にＤＬＣ膜を成膜すべく、炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された鋼球Ｂ，Ｂ，…を略ランダムに転動させつつ、鋼球Ｂ，Ｂ，…に負電圧を印加する。   Like the DLC film forming apparatus 1 of the first embodiment, the DLC film forming apparatus 100 of the present embodiment is a plasma containing carbon in order to form a DLC film on the entire surface of the plurality of steel balls B, B,. A negative voltage is applied to the steel balls B, B,... While rolling the steel balls B, B,.

このために、ＤＬＣ成膜装置１００は、図７に示すように、図示しない真空排気装置によって内部の気体が排出され、図示しないガス流入装置によって、炭素を含む原料ガスが供給される金属製のチャンバＣ４を備える。
チャンバＣ４は、実施の形態１のチャンバＣ１同様、略水平な天板及び載置板、並びに４枚の側板で構成されている密封容器であり、例えばアルゴンガスのような不活性ガスによって内部を洗浄されてから、メタンガス、アセチレンガス、トルエンガス等の原料ガスを供給される。 For this purpose, as shown in FIG. 7, the DLC film forming apparatus 100 is made of a metal whose internal gas is exhausted by a vacuum exhaust apparatus (not shown) and source gas containing carbon is supplied by a gas inflow apparatus (not shown). A chamber C4 is provided.
The chamber C4 is a sealed container composed of a substantially horizontal top plate and mounting plate and four side plates, similar to the chamber C1 of the first embodiment. The chamber C4 is surrounded by an inert gas such as argon gas. After the cleaning, raw material gases such as methane gas, acetylene gas, and toluene gas are supplied.

チャンバＣ４の中央部には、導電性を有する載置皿２４が配されている。載置皿２４は、基材としての鋼球Ｂ，Ｂ，…を転動自在に保持する基材ホルダであって、本実施の形態においてはステンレスを用いてなり、図７、図９及び図１０に示すように載置面２４ａと側壁２４ｂとを備える。
載置面２４ａ上の鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動を促進するために、載置皿２４内部には、載置皿２４に載置されている鋼球Ｂ，Ｂ，…を載置面２４ａの周方向（図１０中白抜矢符方向）に攪拌する攪拌翼３４が配されている。
このような載置皿２４及び攪拌翼３４は、実施の形態１の載置皿２１及び攪拌翼３１と略同様である。 In the central portion of the chamber C4, a conductive placing plate 24 is disposed. The mounting tray 24 is a base material holder that holds the steel balls B, B,... As the base material in a freely rolling manner, and is made of stainless steel in the present embodiment, and is shown in FIGS. As shown in FIG. 10, a mounting surface 24a and a side wall 24b are provided.
In order to promote the random rolling of the steel balls B, B,... On the mounting surface 24a, the steel balls B, B,. An agitating blade 34 for agitating in the circumferential direction of the mounting surface 24a (indicated by the white arrow in FIG. 10) is disposed.
Such a mounting plate 24 and a stirring blade 34 are substantially the same as the mounting plate 21 and the stirring blade 31 of the first embodiment.

ただし、実施の形態１においては載置皿２１が支持筒５１に固定支持され、攪拌翼３１が、支持筒５１内部で回転する回転軸４１に連結されて回転する構成であったが、本実施の形態においては、攪拌翼３４が支持筒５４に固定支持され、載置皿２４が支持筒５４内部で回転する回転軸４４に着脱可能に連結されて回転する構成である。   However, in the first embodiment, the mounting tray 21 is fixedly supported by the support cylinder 51 and the stirring blade 31 is connected to the rotating shaft 41 that rotates inside the support cylinder 51 and rotates. In this embodiment, the stirring blade 34 is fixedly supported by the support cylinder 54, and the mounting tray 24 is detachably connected to the rotation shaft 44 that rotates inside the support cylinder 54 and rotates.

このために、実施の形態１の支持筒５１の下端は載置皿２１の載置面２１ａから大きく離隔していたが、本実施の形態の支持筒５４の下端は載置皿２４の載置面２４ａに接近配置されている。また、実施の形態１の回転軸４１の下端は載置皿２１の載置面２１ａから僅かに離隔していたが、本実施の形態の回転軸４４の下端は載置皿２４の載置面２４ａの
中心部に略垂直に、着脱可能にネジ留めされている。この結果、載置皿２４は回転軸４４に対して取り付け及び取り外しが容易である。 For this reason, the lower end of the support tube 51 of the first embodiment is largely separated from the mounting surface 21 a of the mounting plate 21, but the lower end of the support tube 54 of the present embodiment is mounted on the mounting plate 24. Close to the surface 24a. Further, the lower end of the rotating shaft 41 of the first embodiment is slightly separated from the mounting surface 21 a of the mounting tray 21, but the lower end of the rotating shaft 44 of the present embodiment is the mounting surface of the mounting tray 24. It is detachably screwed substantially perpendicularly to the center of 24a. As a result, the mounting tray 24 can be easily attached to and detached from the rotating shaft 44.

また、攪拌翼３１と攪拌翼３４とは、作用及び効果は略同じであるが、形状及び寸法が大きく異なる。
具体的には、攪拌翼３４は、中心部に孔を有し、更に、羽根部３４１，３４１と羽根部３４２，３４２とを有する平面視十字状の部材が、ステンレス製の略鉛直な支持筒５４の下端部外周面に外嵌及び溶接されてなる。
羽根部３４１，３４１は、支持筒５４を中心に対向配置されている。各羽根部３４１の先端と載置皿２４の側壁２４ｂ内面とは鋼球Ｂの外径よりも僅かに長く離隔されており、各羽根部３４１の先端と側壁２４ｂ内面との間が、１個の鋼球Ｂが通過可能な鋼球通路Ｗ1 となるようにしてある。 In addition, the stirring blade 31 and the stirring blade 34 have substantially the same functions and effects, but are greatly different in shape and size.
Specifically, the stirring blade 34 has a hole at the center, and a cross-shaped member in plan view having blade portions 341 and 341 and blade portions 342 and 342 is a substantially vertical support cylinder made of stainless steel. The outer peripheral surface of the lower end portion of 54 is fitted and welded.
The blade portions 341 and 341 are arranged to face each other with the support tube 54 as a center. The tip of each blade portion 341 and the inner surface of the side wall 24b of the mounting tray 24 are spaced slightly longer than the outer diameter of the steel ball B, and one tip is provided between the tip of each blade portion 341 and the inner surface of the side wall 24b. The steel ball B becomes a steel ball passage W 1 through which the steel ball B can pass.

また、羽根部３４２，３４２は、羽根部３４１，３４１から約９０°離隔して、支持筒５４を中心に対向配置されており、各羽根部３４２の中途には、鋼球Ｂの外径よりも僅かに長い高さ及び幅（ここでは載置面２４ａの径方向の長さ）を有するアーチ部３４ａが形成されている。このアーチ部３４ａの内側は、１個の鋼球Ｂが通過可能な鋼球通路Ｗ2 となる。
以上のような羽根部３４１，３４１，３４２，３４２の側面は、鋼球Ｂ，Ｂ，…を鋼球通路Ｗ1 ，Ｗ2 へ案内する案内面としての機能も有する。 Further, the blade portions 342 and 342 are spaced apart from the blade portions 341 and 341 by about 90 ° and are opposed to each other with the support tube 54 as the center. In addition, an arch portion 34a having a slightly longer height and width (here, the length in the radial direction of the mounting surface 24a) is formed. Inside the arch portion 34a is the one steel ball B becomes steel ball passage W 2 can pass.
The side surfaces of the blade portions 341, 341, 342, and 342 as described above also have a function as a guide surface for guiding the steel balls B, B,... To the steel ball passages W 1 and W 2 .

各羽根部３４２の先端と載置皿２４の側壁２４ｂ内面と、並びに、羽根部３４１，３４１，３４２，３４２夫々の最下面及び支持筒５４の下端夫々と載置皿２４の載置面２４ａとは、僅かに離隔している。このため、支持筒５４及び攪拌翼３４に対して載置皿２４が摺動することはない。   The tip of each blade portion 342, the inner surface of the side wall 24b of the mounting plate 24, the lowermost surfaces of the blade portions 341, 341, 342, and 342, the lower end of the support tube 54, and the mounting surface 24a of the mounting plate 24 Are slightly separated. For this reason, the mounting tray 24 does not slide with respect to the support cylinder 54 and the stirring blade 34.

回転軸４４の両端部は、支持筒５４の両端開口から突出しており、支持筒５４の下端開口から僅かに突出している回転軸４４の下端部は、前述のように、載置皿２４と連結されている。   Both end portions of the rotating shaft 44 protrude from both end openings of the support tube 54, and the lower end portion of the rotating shaft 44 slightly protruding from the lower end opening of the support tube 54 is connected to the mounting tray 24 as described above. Has been.

一方、支持筒５４の上端開口から突出している回転軸４４の最上端部には、図７及び図８に示すように、歯数が１００の絶縁歯車１２が外嵌してあり、この絶縁歯車１２と、歯数が５０の絶縁歯車１３とが噛合している。更に、この絶縁歯車１３が、電動モータＭ４の出力軸に外嵌してある。ここで、電動モータＭ４の出力軸と回転軸４４とは略平行に配されている。電動モータＭ４はブラシレスＤＣモータを用いてなり、毎分数回転の回転運動を出力する。   On the other hand, as shown in FIGS. 7 and 8, an insulating gear 12 having 100 teeth is externally fitted to the uppermost end portion of the rotating shaft 44 protruding from the upper end opening of the support cylinder 54. 12 and the insulating gear 13 having 50 teeth mesh with each other. Further, the insulating gear 13 is fitted on the output shaft of the electric motor M4. Here, the output shaft of the electric motor M4 and the rotating shaft 44 are arranged substantially in parallel. The electric motor M4 uses a brushless DC motor and outputs a rotational motion of several revolutions per minute.

絶縁歯車１２，１３夫々はナイロン製の絶縁部材である。つまり、回転軸４４は、上端部が、絶縁部材である絶縁歯車１２，１３を介して電動モータＭ４の出力軸と連結されている。
回転軸４４と電動モータＭ４との間に絶縁歯車１２，１３が介在しているため、導電性を有する回転軸４４に通電された電力が、出力軸を介して電動モータＭ４へ漏電して電動モータＭ４に悪影響を与えることが防止されている。 The insulating gears 12 and 13 are nylon insulating members. That is, the rotating shaft 44 has an upper end connected to the output shaft of the electric motor M4 via the insulating gears 12 and 13 that are insulating members.
Since the insulated gears 12 and 13 are interposed between the rotating shaft 44 and the electric motor M4, the electric power supplied to the rotating shaft 44 having conductivity leaks to the electric motor M4 through the output shaft and is electrically driven. An adverse effect on the motor M4 is prevented.

電動モータＭ４が出力した回転運動を、絶縁歯車１２，１３及び回転軸４４を介して伝達されることによって、載置皿２４は毎分数回転で回転する。この結果、攪拌翼３４が載置皿２４に対して相対回転して、鋼球Ｂ，Ｂ，…を攪拌する。
攪拌された鋼球Ｂ，Ｂ，…は、各羽根部３４１と羽根部３４２との間で転動し、また、例えば互いに接触して転動する鋼球Ｂ，Ｂが、他の鋼球Ｂに押されたり羽根部３４１，３４１，３４２，３４２の側面に案内されたりして１個ずつ鋼球通路Ｗ1 ，Ｗ2 を通過する
ことによって離隔するため、鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動が促進される。 By transmitting the rotational motion output by the electric motor M4 via the insulating gears 12 and 13 and the rotating shaft 44, the mounting tray 24 rotates at several revolutions per minute. As a result, the stirring blade 34 rotates relative to the mounting tray 24 to stir the steel balls B, B,.
The stirred steel balls B, B,... Roll between the blade portions 341 and the blade portions 342. For example, the steel balls B, B that roll while contacting each other are replaced with other steel balls B. Are separated by passing through the steel ball passages W 1 , W 2 one by one by being pushed by or guided by the side surfaces of the blade portions 341, 341, 342, 342. Smooth rolling is promoted.

ところで、チャンバＣ４天板には、内部に回転軸４４が配された支持筒５４が挿通されている開口が形成されており、この開口の周縁部の天板外面側に、外筒６５１が略鉛直に立設されている。   By the way, the chamber C4 top plate is formed with an opening through which a support tube 54 having a rotation shaft 44 disposed therein is inserted, and the outer tube 651 is substantially disposed on the outer surface side of the top plate at the periphery of the opening. Stands vertically.

チャンバＣ４天板と支持筒５４との空隙を密封するために、金属板を用いてなる保護カバー６５２が備えられている。保護カバー６５２は、中央部に支持筒５４が貫通する孔が形成されており、この孔の周縁部と支持筒５４の外周面とが溶接されている。更に、保護カバー６５２は、チャンバＣ４天板の孔を閉鎖して、チャンバＣ４天板内面に溶接されている。
このような保護カバー６５２は、チャンバＣ４外の各部（チャンバＣ４外に配されている支持筒５４の外周面、外筒６５１内周面等）にＤＬＣが付着することを防止している。 In order to seal the gap between the chamber C4 top plate and the support tube 54, a protective cover 652 using a metal plate is provided. The protective cover 652 is formed with a hole through which the support cylinder 54 penetrates in the center, and the peripheral edge of the hole and the outer peripheral surface of the support cylinder 54 are welded. Furthermore, the protective cover 652 closes the hole of the chamber C4 top plate and is welded to the inner surface of the chamber C4 top plate.
Such a protective cover 652 prevents the DLC from adhering to each part outside the chamber C4 (the outer peripheral surface of the support cylinder 54, the inner peripheral surface of the outer cylinder 651, etc. disposed outside the chamber C4).

支持筒５４の上端開口から突出している回転軸４４の下部は、テフロン（登録商標）製の絶縁筒６５４に囲繞されており、同じく上部は、ジュラコン（登録商標）製の絶縁筒６５５に囲繞されている。回転軸４４は、絶縁筒６５４，６５５内で、ベアリングを用いて回転可能に支持されており、また、絶縁筒６５４，６５５によって、回転軸４４からの漏電が防止されている。更に、絶縁筒６５４内周面と回転軸４４外周面との空隙は、バイトン（登録商標）を用いてなるゴム製のパッキンとオイルシールとで密封してある。
ここで、支持筒５４の上端部は、絶縁筒６５４の下部に固定されている。 The lower part of the rotating shaft 44 protruding from the upper end opening of the support cylinder 54 is surrounded by an insulating cylinder 654 made of Teflon (registered trademark), and the upper part is also surrounded by an insulating cylinder 655 made of Duracon (registered trademark). ing. The rotating shaft 44 is rotatably supported using a bearing in the insulating cylinders 654 and 655, and the insulating cylinders 654 and 655 prevent leakage from the rotating shaft 44. Further, the gap between the inner peripheral surface of the insulating cylinder 654 and the outer peripheral surface of the rotary shaft 44 is sealed with a rubber packing and an oil seal using Viton (registered trademark).
Here, the upper end portion of the support tube 54 is fixed to the lower portion of the insulating tube 654.

外筒６５１の上部には、回転軸４４上部に取り付けられている絶縁歯車１２と、絶縁歯車１３と、電動モータＭ４とを収容する収容箱６５３が配されている。収容箱６５３の下面には開口が設けられており、回転軸４４及び回転軸４４を囲繞する絶縁筒６５４は、収容箱６５３下面の開口を貫通している。
絶縁筒６５４，６５５は取付フランジ６５６の下面及び上面にネジ留めされており、この取付フランジ６５６が、収容箱６５３の下面開口を閉鎖して収容箱６５３の下面にネジ留めされている。
絶縁筒６５４と取付フランジ６５６との空隙は、バイトンを用いてなるゴム製のＯリングで密封されている。 A housing box 653 that houses the insulating gear 12, the insulating gear 13, and the electric motor M4 attached to the top of the rotating shaft 44 is disposed on the outer cylinder 651. An opening is provided in the lower surface of the storage box 653, and the insulating cylinder 654 that surrounds the rotation shaft 44 and the rotation shaft 44 passes through the opening in the lower surface of the storage box 653.
The insulating cylinders 654 and 655 are screwed to the lower surface and the upper surface of the mounting flange 656, and the mounting flange 656 is screwed to the lower surface of the storage box 653 while closing the lower surface opening of the storage box 653.
The space between the insulating cylinder 654 and the mounting flange 656 is sealed with a rubber O-ring using Viton.

以上のように、各空隙が密封されているため、チャンバＣ４に対し気体が流入出することはない。   As described above, since each gap is sealed, gas does not flow into and out of the chamber C4.

ところで、鋼球Ｂ，Ｂ，…に印加すべき負電圧は、図９に示すように、回転軸４４に印加され、回転軸４４及び載置皿２４を介して、鋼球Ｂ，Ｂ，…に印加される。つまり、回転軸４４及び載置皿２４は、チャンバＣ４外部からチャンバＣ４内部の鋼球Ｂ，Ｂ，…に負電圧を印加するためのフィードスルー（電流導入端子）としても機能する。
また、本実施の形態では、原料ガスをプラズマにするためのＲＦパルスも回転軸４４に印加される。 By the way, the negative voltage to be applied to the steel balls B, B,... Is applied to the rotating shaft 44 and the steel balls B, B,. To be applied. That is, the rotating shaft 44 and the mounting plate 24 also function as a feedthrough (current introduction terminal) for applying a negative voltage from the outside of the chamber C4 to the steel balls B, B,.
In the present embodiment, an RF pulse for turning the source gas into plasma is also applied to the rotating shaft 44.

このために、回転軸４４には、実施の形態１と同様に、重畳整合回路７０を介してパルスＲＦ電源７１とパルス電源７２とが電気的に接続されている。   For this purpose, a pulse RF power supply 71 and a pulse power supply 72 are electrically connected to the rotating shaft 44 via the superposition matching circuit 70 as in the first embodiment.

その他、実施の形態１〜３に対応する部分には同一符号を付してそれらの説明を省略する。   In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the part corresponding to Embodiment 1-3, and those description is abbreviate | omitted.

以上のようなＤＬＣ成膜装置１００においては、載置皿２４に対して相対的に回転する攪拌翼３４によって、各鋼球Ｂが自公転し、載置皿２４及び他の鋼球Ｂとの接触点を連続
的且つ略ランダムに変化させて転動する。このため、各鋼球Ｂの表面が満遍なくプラズマ雰囲気に暴露され、各鋼球Ｂの表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜が成膜される。
なお、ＤＬＣ成膜装置１００が備えるべき攪拌翼は、攪拌翼３４に限定されるものではない。 In the DLC film forming apparatus 100 as described above, each steel ball B revolves and revolves by the stirring blades 34 that rotate relative to the mounting plate 24, so that the mounting plate 24 and other steel balls B are in contact with each other. Roll while changing the contact point continuously and almost randomly. For this reason, the surface of each steel ball B is uniformly exposed to the plasma atmosphere, and a substantially uniform and homogeneous DLC film is formed on the entire surface of each steel ball B.
Note that the stirring blade that the DLC film forming apparatus 100 should have is not limited to the stirring blade 34.

また、載置皿２４は回転軸４４に対する取り付け及び取り外しが容易であるため、同一の載置皿２４を使用して成膜作業を繰り返した後、作業者は、ＤＬＣが不要に付着した載置皿２４を、新たな載置皿２４と取り替える。この結果、載置皿２４の導電性が向上されるため、鋼球Ｂ，Ｂ，…に対する成膜不良が抑制される。
なお、載置皿２４と回転軸４４とをネジ留めする構成ではなく、例えば、回転軸４４の下端部を雄ネジとし、この雄ネジと対応する雌ネジを載置皿２４の載置面２４ａの中心部に形成する構成でもよい。 In addition, since the mounting plate 24 can be easily attached to and detached from the rotating shaft 44, after repeating the film forming operation using the same mounting plate 24, the operator mounts the DLC unnecessarily attached. The plate 24 is replaced with a new mounting plate 24. As a result, since the conductivity of the mounting tray 24 is improved, film formation defects on the steel balls B, B,.
In addition, it is not the structure which screws the mounting plate 24 and the rotating shaft 44, For example, let the lower end part of the rotating shaft 44 be a male screw, and the female screw corresponding to this male screw is the mounting surface 24a of the mounting plate 24. The structure formed in the center part of this may be sufficient.

実施の形態 ５．
図１１は、本発明の実施の形態５に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿２５近傍の構成を示す縦断面図であり、図１２は、同じく平面図である。
本実施の形態のＤＬＣ成膜装置は、実施の形態４のＤＬＣ成膜装置１００と略同様である。つまり、実施の形態４において、回転軸４４の下端部と載置皿２４とが連結されていた構成と同様に、本実施の形態においては、傾斜回転軸４５の下端部と載置皿２５の底面である載置面２５ａとが略垂直に連結されている。 Embodiment 5 FIG.
FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing a configuration in the vicinity of the mounting tray 25 provided in the DLC film forming apparatus according to Embodiment 5 of the present invention, and FIG. 12 is a plan view of the same.
The DLC film forming apparatus of the present embodiment is substantially the same as the DLC film forming apparatus 100 of the fourth embodiment. That is, in the fourth embodiment, similarly to the configuration in which the lower end portion of the rotating shaft 44 and the mounting tray 24 are connected, in the present embodiment, the lower end portion of the inclined rotating shaft 45 and the mounting tray 25 are The mounting surface 25a, which is the bottom surface, is connected substantially vertically.

また、鋼球Ｂ，Ｂ，…に印加すべき負電圧及び原料ガスをプラズマにするためのＲＦパルスは、夫々傾斜回転軸４５に印加される。このために、傾斜回転軸４５には、実施の形態４と同様に、重畳整合回路７０を介してパルスＲＦ電源７１とパルス電源７２とが電気的に接続されている。
更に、傾斜回転軸４５の上端部は、実施の形態４の絶縁歯車１２，１３のような絶縁部材を介して、実施の形態４の電動モータＭ４のような電動モータの出力軸と連結されている。 Further, a negative voltage to be applied to the steel balls B, B,... And an RF pulse for making the raw material gas into plasma are applied to the inclined rotation shaft 45, respectively. For this purpose, a pulse RF power supply 71 and a pulse power supply 72 are electrically connected to the inclined rotation shaft 45 through a superposition matching circuit 70 as in the fourth embodiment.
Further, the upper end portion of the inclined rotation shaft 45 is connected to the output shaft of an electric motor such as the electric motor M4 of the fourth embodiment via an insulating member such as the insulating gears 12 and 13 of the fourth embodiment. Yes.

しかしながら、本実施の形態のＤＬＣ成膜装置は攪拌翼を備えておらず、このため、実施の形態４の支持筒５４に相当する図示しない支持筒は、載置皿２５から大きく離隔して配されている。
また、傾斜回転軸４５は、水平面に対して僅かに傾斜した状態で配されている。このために、載置皿２５を回転させる回転機構全体が、実施の形態４のチャンバＣ４のようなチャンバに対して傾斜して取り付けられている。 However, the DLC film forming apparatus of the present embodiment does not include a stirring blade, and therefore a support cylinder (not shown) corresponding to the support cylinder 54 of the fourth embodiment is arranged far away from the mounting plate 25. Has been.
Further, the inclined rotation shaft 45 is arranged in a state slightly inclined with respect to the horizontal plane. For this purpose, the entire rotation mechanism for rotating the mounting tray 25 is attached to the chamber such as the chamber C4 of the fourth embodiment in an inclined manner.

載置皿２５は、実施の形態４の載置皿２４と同様、基材としての鋼球Ｂ，Ｂ，…を転動自在に保持する基材ホルダであって、載置面２５ａと側壁２５ｂとを備える。
載置皿２５には、載置面２５ａを二等分に区画するための隔壁２５１，２５１が、傾斜回転軸４５の径方向両側に配されている。
また、隔壁２５１，２５１によって分割されている各区画には、載置面２５ａから突出する凸条部Ｐが１本形成されている。
凸条部Ｐ，Ｐは、実施の形態１のＶ字溝Ｄ，Ｄ同様に鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動を促進するために載置面２５ａに形成されている凸部である。 The mounting tray 25 is a base material holder that holds the steel balls B, B,... As the base material in a freely rolling manner, similarly to the mounting tray 24 of the fourth embodiment, and includes a mounting surface 25a and a side wall 25b. With.
Partition plates 251 and 251 for dividing the mounting surface 25 a into two equal parts are disposed on the mounting tray 25 on both sides in the radial direction of the inclined rotation shaft 45.
In addition, one ridge P projecting from the mounting surface 25a is formed in each section divided by the partition walls 251 and 251.
The ridges P, P are projections formed on the mounting surface 25a in order to promote random rolling of the steel balls B, B,... As in the V-shaped grooves D, D of the first embodiment. is there.

その他、実施の形態１〜４に対応する部分には同一符号を付してそれらの説明を省略する。   In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the part corresponding to Embodiment 1-4, and those description is abbreviate | omitted.

以上のようなＤＬＣ成膜装置においては、鋼球Ｂ，Ｂ，…は一方の区画から隔壁２５１，２５１を越えて他方の区画へ移動することなく、また、凸条部Ｐ，Ｐに沿って、載置面
２５ａで転動する。特に、隔壁２５１，２５１は、傾斜の下側に滑り落ちた鋼球Ｂ，Ｂ，…を、載置皿２５の回転に伴って傾斜の上側へ運ぶ役割も果たし、傾斜の上側へ移送された鋼球Ｂ，Ｂ，…が、重力に従って自動的に傾斜の下側へ移動する。このため、鋼球Ｂ，Ｂ，…のランダムな転動が更に促進される。
このようにして各鋼球Ｂが自公転し、載置皿２５及び他の鋼球Ｂとの接触点が連続的且つ略ランダムに変化する。この結果、各鋼球Ｂの表面全体に略均一、均質なＤＬＣ膜が成膜される。 In the DLC film forming apparatus as described above, the steel balls B, B,... Do not move from one section to the other section beyond the partition walls 251, 251 and along the ridges P, P. And rolling on the mounting surface 25a. In particular, the partition walls 251 and 251 also play a role of transporting the steel balls B, B,... Sliding down to the lower side of the inclination to the upper side of the inclination as the mounting plate 25 rotates, and are transferred to the upper side of the inclination. The steel balls B, B,... Automatically move downward in accordance with gravity. For this reason, random rolling of the steel balls B, B,.
In this way, each steel ball B revolves and the contact points with the mounting tray 25 and the other steel balls B change continuously and substantially randomly. As a result, a substantially uniform and homogeneous DLC film is formed on the entire surface of each steel ball B.

また、載置皿２５は傾斜回転軸４５に対する取り付け及び取り外しが容易であるため、同一の載置皿２５を使用して成膜作業を繰り返した後、作業者は、ＤＬＣが不要に付着した載置皿２５を、新たな載置皿２５と取り替える。この結果、載置皿２５の導電性が向上されるため、鋼球Ｂ，Ｂ，…に対する成膜不良が抑制される。   In addition, since the mounting tray 25 can be easily attached to and detached from the inclined rotating shaft 45, after repeating the film forming operation using the same mounting tray 25, the operator mounts the DLC unnecessarily attached. The placing plate 25 is replaced with a new placing plate 25. As a result, since the conductivity of the mounting tray 25 is improved, film formation defects on the steel balls B, B,.

なお、本実施の形態１〜５においては、回転軸４１〜４５は載置皿２１〜２５の上側に配されているが、これに限定されず、載置皿の下側に配される構成でもよい。
また、回転軸４１〜４５及び載置皿２１〜２５両方を回転（例えば互いに逆方向に回転）させる構造でもよい。
更に、本実施の形態１〜５における載置皿２１、攪拌翼３１、回転軸４１、傾斜回転軸４５、支持筒５１等の各部材はステンレス製であるが、これに限定されず、例えばＤＬＣが付着し難い銅製の部材を用いてもよい。
更にまた、鋼球Ｂに限定されず、鉄、セラミック等を用いてなる転動体にＤＬＣ膜を成膜してもよい。 In addition, in this Embodiment 1-5, although the rotating shafts 41-45 are distribute | arranged above the mounting trays 21-25, it is not limited to this, The structure distribute | arranged below the mounting tray But you can.
Moreover, the structure which rotates both the rotating shafts 41-45 and the mounting dishes 21-25 (for example, mutually reverse direction) may be sufficient.
Furthermore, although each member, such as the mounting plate 21, the stirring blade 31, the rotating shaft 41, the inclined rotating shaft 45, and the support tube 51 in the first to fifth embodiments, is made of stainless steel, it is not limited thereto, and for example, DLC You may use the copper member which is hard to adhere.
Furthermore, it is not limited to the steel ball B, and a DLC film may be formed on a rolling element using iron, ceramic or the like.

実施の形態 ６．
図１３は、本発明の実施の形態６に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿２６の平面図である。
実施の形態１〜５においては、ＤＬＣが不要に付着した場合に、載置皿２１〜２５全体を取り替えていたが、ＤＬＣの付着は載置皿２１〜２５全面ではなく、部分的に生じることがある。このため、載置皿２１〜２５に関し、ＤＬＣが付着した部分だけを取り替える方が効率がよい。 Embodiment 6 FIG.
FIG. 13 is a plan view of the mounting plate 26 provided in the DLC film forming apparatus according to Embodiment 6 of the present invention.
In the first to fifth embodiments, when the DLC is unnecessarily attached, the entire mounting trays 21 to 25 are replaced. However, the DLC is attached not to the entire mounting trays 21 to 25 but partially. There is. For this reason, it is more efficient to replace only the portion where the DLC is attached with respect to the placing dishes 21 to 25.

本実施の形態における載置皿２６は、実施の形態１〜５の載置皿２１〜２５と略同様であり、例えば実施の形態１の載置皿２１の代わりに、支持部材２１１，２１１，…に着脱可能にネジ留めされる。このために、載置皿２６の載置面２６ａ及び側壁２６ｂは、実施の形態１の載置皿２１の載置面２１ａ及び側壁２１ｂに対応し、載置面２６ａにはＶ字溝Ｄ，Ｄが形成されている。   The mounting tray 26 in the present embodiment is substantially the same as the mounting trays 21 to 25 in the first to fifth embodiments. For example, instead of the mounting tray 21 in the first embodiment, the support members 211, 211, It is detachably screwed to…. For this reason, the mounting surface 26a and the side wall 26b of the mounting tray 26 correspond to the mounting surface 21a and the side wall 21b of the mounting tray 21 of the first embodiment, and the mounting surface 26a has a V-shaped groove D, D is formed.

ところで、載置皿２６は、載置皿２６を周方向に３等分してなる皿部材２６１，２６２，２６３を組み合わせてなる。各皿部材２６１，２６２，２６３は、夫々自身と略同一形状の皿部材２６１，２６２，２６３と取り替え可能にしてある。
このため、例えば皿部材２６３が、ＤＬＣの不要な付着によって導電性が悪化した場合、ＤＬＣが付着した皿部材２６３と新たな皿部材２６３とが取り替えられる。
ここで、皿部材２６１，２６２，２６３同士は、例えば載置皿２６の外側から、板状の補助部材とネジとで連結してある。 By the way, the mounting tray 26 is formed by combining tray members 261, 262, and 263 obtained by dividing the mounting tray 26 into three equal parts in the circumferential direction. The plate members 261, 262, and 263 can be replaced with plate members 261, 262, and 263 having substantially the same shape as the plate members 261, 262, and 263, respectively.
For this reason, for example, when the conductivity of the dish member 263 deteriorates due to unnecessary adhesion of DLC, the dish member 263 to which DLC is adhered and the new dish member 263 are replaced.
Here, the plate members 261, 262, and 263 are connected to each other by, for example, a plate-shaped auxiliary member and a screw from the outside of the mounting plate 26.

以上のようなＤＬＣ成膜装置においては、載置皿２６全体を取り替えることなく、ＤＬＣが付着した皿部材２６１，２６２，２６３の何れか１つ又は２つを個々に取り替えることが可能であるため、無駄がない。   In the DLC film forming apparatus as described above, any one or two of the dish members 261, 262, and 263 to which the DLC is attached can be individually replaced without replacing the entire mounting dish 26. There is no waste.

実施の形態 ７．
図１４は、本発明の実施の形態７に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿２７の斜視図である。
実施の形態６においては、３分割された載置皿２６を用い、ＤＬＣが付着した皿部材２６１，２６２，２６３の何れか１つ又は２つを個々に取り替えていたが、ＤＬＣの付着による導電性の悪化が鋼球Ｂ，Ｂ，…の成膜に悪影響を及ぼすのは主に載置皿２６の底面である載置面２６ａに対するＤＬＣの付着である。このため、皿部材２６１，２６２，２６３ではなく、ＤＬＣが付着によって鋼球Ｂ，Ｂ，…の成膜に悪影響を及ぼす載置面２６ａだけを取り替える方が効率がよい。 Embodiment 7 FIG.
FIG. 14 is a perspective view of the mounting plate 27 provided in the DLC film forming apparatus according to Embodiment 7 of the present invention.
In the sixth embodiment, the mounting plate 26 divided into three parts is used, and any one or two of the plate members 261, 262, and 263 to which the DLC is attached are individually replaced. It is the adhesion of DLC to the mounting surface 26a, which is the bottom surface of the mounting plate 26, that the deterioration of the property adversely affects the film formation of the steel balls B, B,. Therefore, it is more efficient to replace only the mounting surface 26a which adversely affects the film formation of the steel balls B, B,.

本実施の形態における載置皿２７は、実施の形態１〜６の載置皿２１〜２６と略同様であり、例えば実施の形態１の載置皿２１の代わりに、支持部材２１１，２１１，…に着脱可能にネジ留めされる。このために、載置皿２７の底面２７ａ及び側壁２７ｂは、実施の形態１の載置皿２１の載置面２１ａ及び側壁２１ｂに対応する。
ここで、底面２７ａには直接的に鋼球Ｂ，Ｂ，…が載置されないので、例えばＶ字溝Ｄ，Ｄが形成されている必要はないが、後述する載置板８の敷設に影響がなければ、凸部、凹条部等が形成されていても問題はない。 The mounting tray 27 in the present embodiment is substantially the same as the mounting trays 21 to 26 in the first to sixth embodiments. For example, instead of the mounting tray 21 in the first embodiment, the support members 211, 211, It is detachably screwed to…. For this reason, the bottom surface 27a and the side wall 27b of the mounting plate 27 correspond to the mounting surface 21a and the side wall 21b of the mounting plate 21 of the first embodiment.
Here, since the steel balls B, B,... Are not placed directly on the bottom surface 27a, for example, it is not necessary to form the V-shaped grooves D, D, but it affects the laying of the placing plate 8 described later. If there is no protrusion, there is no problem even if a convex part, a concave line part, etc. are formed.

この底面２７ａ上には、底面２７ａと略同一形状同一寸法の（又は僅かに直径が小さい）円形薄板であるステンレス製の載置板８が着脱可能に敷いてある。載置板８の底面２７ａに対する取り付けは、自重による載置のみであってもよく、導電性を有する着脱可能な部材で固定してもよい。なお、載置板８はアルミニウム製、銅製等でもよい。   On this bottom surface 27a, a stainless steel mounting plate 8 which is a circular thin plate having substantially the same shape and the same size as the bottom surface 27a (or a slightly smaller diameter) is detachably laid. The mounting of the mounting plate 8 on the bottom surface 27a may be only mounting by its own weight, or may be fixed by a detachable member having conductivity. The mounting plate 8 may be made of aluminum, copper, or the like.

載置板８は、載置板８を周方向に３等分してなる板部材８１，８２，８３を組み合わせてなる。各板部材８１，８２，８３は、夫々自身と略同一形状の板部材８１，８２，８３と取り替え可能にしてある。
このため、例えば板部材８３が、ＤＬＣの不要な付着によって導電性が悪化した場合、ＤＬＣが付着した板部材８３と新たな板部材８３とが取り替えられる。
ここで、板部材８１，８２，８３同士は互いに連結される構成でもよく、連結されず個々に底面２７ａに載置される構成でもよい。 The mounting plate 8 is formed by combining plate members 81, 82, 83 formed by dividing the mounting plate 8 into three equal parts in the circumferential direction. Each plate member 81, 82, 83 is replaceable with a plate member 81, 82, 83 having substantially the same shape as itself.
For this reason, for example, when the conductivity of the plate member 83 deteriorates due to unnecessary adhesion of DLC, the plate member 83 to which DLC is adhered and the new plate member 83 are replaced.
Here, the plate members 81, 82, 83 may be connected to each other, or may be connected individually to the bottom surface 27 a without being connected.

以上のようなＤＬＣ成膜装置においては、載置皿２７全体又は載置板８全体を取り替えることなく、ＤＬＣが付着した板部材８１，８２，８３の何れか１つ又は２つを個々に取り替えることが可能であるため、無駄がない。
なお、載置板８の全面にＤＬＣが付着するような場合は、分割されていない一枚板を用いてなる載置板と取り替える構成でもよい。 In the DLC film forming apparatus as described above, any one or two of the plate members 81, 82, 83 to which the DLC is attached are individually replaced without replacing the entire mounting plate 27 or the entire mounting plate 8. There is no waste because it is possible.
In addition, when DLC adheres to the whole surface of the mounting board 8, the structure replaced with the mounting board which uses the board | plate which is not divided | segmented may be sufficient.

ところで、各鋼球Ｂを、載置板８及び他の鋼球Ｂとの接触点を連続的且つ略ランダムに変化させつつ転動させるために、載置板８にも凸部及び／又は凹条部が形成してあることが好ましい。   By the way, in order to roll each steel ball B, changing the contact point with the mounting plate 8 and the other steel balls B continuously and substantially randomly, the mounting plate 8 also has a convex portion and / or a concave portion. It is preferable that a strip is formed.

図１５及び図１６は、板部材８１の一例を示す平面図及び側面図であり、図１７は、板部材８１の他の一例を示す平面図であり、図１８は、板部材８１の更に他の一例を示す平面図である。
図１５及び図１６に示すように、載置板８の各板部材８１（８２，８３）夫々には、夫々長手方向が楕円弧状のＶ字溝（凹条部）Ｄ１及び山形に突出する凸条部（凸部）Ｐ１が形成されている。
又は、図１７に示すように、載置板８の各板部材８１（８２，８３）には、径方向に交差するＶ字溝Ｄが形成されている。
或いは、図１８に示すように、載置板８の各板部材８１（８２，８３）には、放射状のＶ字溝（凹条部）Ｄ２，Ｄ２が形成されている。 15 and 16 are a plan view and a side view showing an example of the plate member 81, FIG. 17 is a plan view showing another example of the plate member 81, and FIG. It is a top view which shows an example.
As shown in FIGS. 15 and 16, each plate member 81 (82, 83) of the mounting plate 8 has a V-shaped groove (concave portion) D <b> 1 having an elliptical arc shape in the longitudinal direction and a convex shape protruding in a mountain shape. A strip (projection) P1 is formed.
Alternatively, as shown in FIG. 17, each plate member 81 (82, 83) of the mounting plate 8 is formed with a V-shaped groove D that intersects in the radial direction.
Alternatively, as shown in FIG. 18, radial V-shaped grooves (concave portions) D <b> 2 and D <b> 2 are formed in each plate member 81 (82, 83) of the mounting plate 8.

以上のようなＶ字溝Ｄ１及び凸条部Ｐ１、Ｖ字溝Ｄ、又はＶ字溝Ｄ２，Ｄ２と接触しつつ転動することによって、各鋼球Ｂの表面が満遍なくプラズマ雰囲気に暴露される。   The surface of each steel ball B is evenly exposed to the plasma atmosphere by rolling while being in contact with the V-shaped groove D1 and the ridge P1, the V-shaped groove D, or the V-shaped grooves D2 and D2. .

本発明の実施の形態１に係るＤＬＣ成膜装置の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態１に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿及び攪拌翼近傍の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure near the mounting plate and stirring blade with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention is equipped. 本発明の実施の形態１に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿及び攪拌翼近傍の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure near the mounting plate with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention is equipped, and a stirring blade. 本発明の実施の形態２に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿及び攪拌翼近傍の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure near the mounting plate and stirring blade with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 2 of this invention is equipped. 本発明の実施の形態３に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿及び攪拌翼近傍の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure near the mounting plate and stirring blade with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 3 of this invention is equipped. 本発明の実施の形態３に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿及び攪拌翼近傍の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure near the mounting plate and stirring blade with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 3 of this invention is equipped. 本発明の実施の形態４に係るＤＬＣ成膜装置の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施の形態４に係るＤＬＣ成膜装置が備える電動モータ近傍の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the electric motor vicinity with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 4 of this invention is provided. 本発明の実施の形態４に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿及び攪拌翼近傍の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure near the mounting plate and stirring blade with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 4 of this invention is provided. 本発明の実施の形態４に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿及び攪拌翼近傍の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure near the mounting plate and stirring blade with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 4 of this invention is equipped. 本発明の実施の形態５に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿近傍の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the mounting tray vicinity with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 5 of this invention is provided. 本発明の実施の形態５に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿近傍の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the mounting tray vicinity with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 5 of this invention is provided. 本発明の実施の形態６に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿の平面図である。It is a top view of the mounting tray with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 6 of this invention is provided. 本発明の実施の形態７に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿の斜視図である。It is a perspective view of the mounting tray with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 7 of this invention is provided. 本発明の実施の形態７に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿の板部材の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the plate member of the mounting tray with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 7 of this invention is provided. 本発明の実施の形態７に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿の板部材の一例を示す側面図である。It is a side view which shows an example of the plate member of the mounting tray with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 7 of this invention is provided. 本発明の実施の形態７に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿の板部材の他の一例を示す平面図である。It is a top view which shows another example of the plate member of the mounting tray with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 7 of this invention is provided. 本発明の実施の形態７に係るＤＬＣ成膜装置が備える載置皿の板部材の更に他の一例を示す平面図である。It is a top view which shows another example of the plate member of the mounting tray with which the DLC film-forming apparatus which concerns on Embodiment 7 of this invention is provided.

符号の説明Explanation of symbols

１，１００ ＤＬＣ成膜装置
１１ 継ぎ手 （絶縁部材）
１２，１３ 絶縁歯車（絶縁部材）
２１，２２，２４，２５，２６，２７ 載置皿
２１ａ，２２ａ，２４ａ，２６ａ 載置面
２５ａ 載置面（底面）
２７ａ 底面
２６１，２６２，２６３ 皿部材（部材）
３１，３３，３４ 攪拌翼
４１，４３，４４ 回転軸
４５ 傾斜回転軸
５１，５４ 支持筒
８ 載置板
８１，８２，８３ 板部材
Ｂ 鋼球（転動体）
Ｄ，Ｄ１，Ｄ２ Ｖ字溝（凹条部）
Ｍ１，Ｍ４ 電動モータ（モータ）
Ｐ，Ｐ１ 凸条部（凸部） 1,100 DLC deposition system 11 Joint (insulating member)
12, 13 Insulated gear (insulating member)
21, 22, 24, 25, 26, 27 Placement plate 21a, 22a, 24a, 26a Placement surface 25a Placement surface (bottom surface)
27a Bottom surface 261, 262, 263 Plate member (member)
31, 33, 34 Stirrer blades 41, 43, 44 Rotating shaft 45 Inclined rotating shaft 51, 54 Support cylinder 8 Mounting plate 81, 82, 83 Plate member B Steel ball (rolling element)
D, D1, D2 V-shaped groove (concave portion)
M1, M4 Electric motor (motor)
P, P1 Convex section (convex section)

Claims (6)

炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された複数の転動体に負電圧を印加することによって、前記転動体の表面にＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）膜を成膜するＤＬＣ成膜装置において、
導電性を有し、前記転動体が載置される載置皿と、
該載置皿に載置されている転動体を攪拌する攪拌翼と、
一端部がモータの出力軸と連結され、他端部が前記攪拌翼と連結されている回転軸と、
内部で前記回転軸が回転し、外部で前記載置皿を支持しており、導電性を有する支持筒と
を備え、
前記攪拌翼が回転するようにしてあり、
前記負電圧は、前記支持筒に印加するようにしてあり、
前記載置皿は、着脱可能に前記支持筒に支持されており、
着脱可能な前記載置皿は、複数の部材を組み合わせてなり、各部材が、該部材と略同一形状の部材と取り替え可能にしてあり、
各部材は、少なくとも前記載置皿の底面の一部を有することを特徴とするＤＬＣ成膜装置。 A DLC film forming apparatus for forming a DLC (Diamond Like Carbon) film on the surface of a rolling element by applying a negative voltage to a plurality of rolling elements held in a plasma atmosphere containing carbon so as to freely roll. In
A mounting plate having conductivity and on which the rolling element is mounted;
An agitation blade for agitating the rolling elements mounted on the mounting plate ;
A rotary shaft having one end connected to the output shaft of the motor and the other end connected to the stirring blade;
The rotating shaft rotates inside, supports the tableware described above outside, and includes a conductive support cylinder ,
Ri Citea As before Ki攪拌翼is rotated,
The negative voltage is applied to the support cylinder,
The mounting plate is detachably supported by the support cylinder,
The above-described detachable mounting dish is formed by combining a plurality of members, and each member can be replaced with a member having substantially the same shape as the member.
Each member, DLC film forming apparatus according to claim Rukoto to have a part of the bottom surface of the at least before described置皿. 炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された複数の転動体に負電圧を印加することによって、前記転動体の表面にＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）膜を成膜するＤＬＣ成膜装置において、
導電性を有し、前記転動体が載置される載置皿と、
該載置皿に載置されている転動体を攪拌する攪拌翼と、
一端部が、絶縁部材を介してモータの出力軸と連結され、他端部が前記載置皿と連結されており、導電性を有する回転軸と、
内部で前記回転軸が回転し、外部で前記攪拌翼を支持している支持筒と
を備え、
前記載置皿が回転するようにしてあり、
前記負電圧は、前記回転軸に印加するようにしてあり、
前記載置皿は、着脱可能に前記回転軸と連結されており、
着脱可能な前記載置皿は、複数の部材を組み合わせてなり、各部材が、該部材と略同一形状の部材と取り替え可能にしてあり、
各部材は、少なくとも前記載置皿の底面の一部を有することを特徴とするＤＬＣ成膜装置。 A DLC film forming apparatus for forming a DLC (Diamond Like Carbon) film on the surface of a rolling element by applying a negative voltage to a plurality of rolling elements held in a plasma atmosphere containing carbon so as to freely roll. In
A mounting plate having conductivity and on which the rolling element is mounted;
An agitation blade for agitating the rolling elements mounted on the mounting plate;
One end portion is connected to the output shaft of the motor via an insulating member, the other end portion is connected to the mounting plate, and a rotating shaft having conductivity,
A rotating cylinder that rotates inside and a support cylinder that supports the stirring blades outside;
The previous table is designed to rotate,
The negative voltage, Ri Citea as applied to the rotary shaft,
The mounting plate is detachably connected to the rotating shaft,
The above-described detachable mounting dish is formed by combining a plurality of members, and each member can be replaced with a member having substantially the same shape as the member.
Each member, characterized Rukoto to have a part of the bottom surface of the at least before described置皿 D LC deposition apparatus. 前記載置皿は、水平面に対して傾斜している状態で支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＤＬＣ成膜装置。 Before wherein置皿is, DLC film-forming apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that it is supported in a state of being inclined with respect to the horizontal plane. 炭素を含むプラズマ雰囲気中で転動自在に保持された転動体に負電圧を印加することによって、前記転動体の表面にＤＬＣ膜を成膜するＤＬＣ成膜装置において、
導電性を有し、前記転動体が載置される載置皿と、
水平面に対して傾斜している状態で配され、一端部が、絶縁部材を介してモータの出力軸と連結され、他端部が前記載置皿の底面と略垂直に連結されており、導電性を有する傾斜回転軸と
を備え、
前記負電圧は、前記傾斜回転軸に印加するようにしてあり、
前記載置皿は、着脱可能に前記傾斜回転軸と連結されており、
着脱可能な前記載置皿は、複数の部材を組み合わせてなり、各部材が、該部材と略同一形状の部材と取り替え可能にしてあり、
各部材は、少なくとも前記載置皿の底面の一部を有することを特徴とするＤＬＣ成膜装置。 In a DLC film forming apparatus for forming a DLC film on the surface of the rolling element by applying a negative voltage to the rolling element held in a freely rotating manner in a plasma atmosphere containing carbon,
A mounting plate having conductivity and on which the rolling element is mounted;
It is arranged in a state of being inclined with respect to the horizontal plane, one end is connected to the output shaft of the motor via an insulating member, and the other end is connected to the bottom surface of the table dish substantially vertically, An inclined rotation shaft having
The negative voltage, Ri Citea to apply to the tilt rotation shaft,
The mounting plate is detachably connected to the inclined rotation shaft,
The above-described detachable mounting dish is formed by combining a plurality of members, and each member can be replaced with a member having substantially the same shape as the member.
Each member, DLC film forming apparatus according to claim Rukoto to have a part of the bottom surface of the at least before described置皿. 前記載置皿の載置面に、凹条部及び／又は凸部が形成してあることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のＤＬＣ成膜装置。 The DLC film forming apparatus according to any one of claims 1 to 4 , wherein a concave portion and / or a convex portion is formed on the placement surface of the placing plate. 前記載置皿の底面に、導電性を有し、前記底面を覆い、前記転動体が載置される載置板が着脱可能に敷いてあり、
前記載置板は複数の板部材を組み合わせてなり、各板部材が、該板部材と略同一形状の板部材と取り替え可能にしてあり、
前記載置板の表面に、凹条部及び／又は凸部が形成してあることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のＤＬＣ成膜装置。 The bottom surface of the front according置皿has conductivity, covering the bottom surface, Ri Oh laid possible mounting plate for the rolling element is mounted is removable,
The mounting plate is formed by combining a plurality of plate members, and each plate member can be replaced with a plate member having substantially the same shape as the plate member.
On the surface of the mounting plate, DLC film forming apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the tare Rukoto form the concave portion and / or projections.
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