JP5038218B2 - 3次元フォトニック結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
フォトニック結晶の最も大きな特徴として、構成材料の屈折率差と構造の周期性によって、特定の電磁波が伝搬できない領域、いわゆるフォトニックバンドギャップを形成することが挙げられる。フォトニック結晶中の屈折率分布に適切な欠陥を導入することにより、フォトニックバンドギャップ中にこの欠陥によるエネルギー準位(欠陥準位)が形成される。
これによって、フォトニック結晶は電磁波を自由自在に制御できる。その上、フォトニック結晶を用いたデバイスのサイズは、従来のデバイスよりはるかに小型化することができる。
また、3次元フォトニック結晶は、構成物質の屈折率分布が、3次元的な周期を持ち、欠陥位置に存在する電磁波が外部に漏れにくいという特徴を有する。
つまり、電磁波伝搬の制御は、3次元フォトニック結晶が最も適している。
図2において、70は3次元周期構造であり、複数のロッド40を平行に、且つ所定の面内周期で周期的に配置したストライプ層を複数備え、これらを順次積層した構造を有している。
具体的には、3次元周期構造70は、
複数のロッドを平行に、且つ所定の面内周期で周期的に配置した第1のストライプ層と、
上記第1のストライプ層上に、該第1のストライプ層に属する各ロッドと直交するようにして積層された第2のストライプ層と、
上記第2のストライプ層上に、上記第1のストライプ層に属する各ロッドと平行で且つ面内周期の1/2だけずれるようにして積層された第3のストライプ層と、
上記第3のストライプ層上に、上記第2のストライプ層に属する各ロッドと平行で且つ面内周期の1/2だけずれるようにして積層された第4のストライプ層と、からなる4つのストライプ層を有する。
そして、これら4つのストライプ層を一組として、複数組を順次積層して、3次元周期構造70が構成されている。
前記フォトニック結晶の構造の周期は、制御したい電磁波の波長の半分程度である。
しかし、3次元フォトニック結晶は、理想的なデバイス特性が期待される反面、一般的に、構造が複雑で、製造するのに煩雑で、数多くの工程を要する。
ここでの熱接着方法では、まず、基板上に設けたストライプ層に平行且つ所定の面内周期で配置したロッドアレイを形成する。
そして、熱接着法で上記ストライプ層同士を層間位置合せしながら接合した後、一方のストライプ層の基板を除去する。
このような工程を繰り返すことによって、接合の回数だけの層数をもつウッドパイル構造が得られる。
以上のような積層技術によって、比較的複雑な構造を有する3次元フォトニック結晶の製造が可能とされている。
ここでの積層技術では、薄膜形成及び薄膜加工の後、犠牲層を形成する。そして、化学機械研磨(CMP;Chemical Mechanical Polishing)技術で犠牲層を研磨して、加工した薄膜が露出するまで犠牲層を平坦化する。
上記プロセスを繰り返すことによって、犠牲層を用いない積層法より高い加工精度で3次元フォトニック結晶を製造可能にしている。
ここでは、薄膜加工に際して、以下のようなイオンビーム注入工程と、被エッチング材にドライエッチングを施す工程と、によって薄膜加工を可能にしている。
すなわち、イオンビーム注入工程では、被エッチング材に集束させるイオンビームの注入位置を変えるとともに加速電圧、イオンの原子種、イオンの価数の少なくとも一つを変えてイオン注入し、前記被エッチング材の深さ方向にイオン濃度ピーク領域を形成する。
また、ドライエッチングを施す工程では、被エッチング材のイオン濃度ピーク領域でイオンとエッチング抑制領域を形成するエッチングガスにより前記被エッチング材をドライエッチングする。これらの工程により、薄膜加工が実施される。
更に、積層する度に、加熱及び加圧工程が必要で、層数の増加に従って構造内の応力が増えるので、構造の変形も生じる。
このような構造乱れは、フォトニック結晶の加工精度を低下させることになる。
すなわち、2層目以降の薄膜加工工程において、前の工程で形成した薄膜層の一部が露出してくる場合があるため、ダメージを受けてしまうことがある。
このようなダメージを低減するために、保護すべき薄膜部分にエッチストップ層を形成することが考えられる。
しかし、加工後、エッチストップ層を完全に除去する場合、構造体の間に隙間ができ、フォトニック結晶の特性に影響を与えることがある。
また、エッチストップ層を部分的に除去する場合、残留しているエッチストップ層の材料がフォトニック結晶を構成する誘電体と異なるため、構造の特性が影響されてしまうことがある。
このような原因で、従来においては、エッチストップ層を設ける手法を採ることにも、問題を有していた。
これらの技術を用いてウッドパイルのような複雑な多層構造を有する3次元フォトニック結晶の作製を可能とすることについては、解決されていない。
本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、
誘電体薄膜を形成する成膜工程と、
前記誘電体薄膜へ集束イオンビームによるイオンを選択的に注入し、前記誘電体薄膜上にマスクを形成するイオン注入工程と、
前記誘電体薄膜上に形成された前記マスク部分以外の誘電体薄膜が露出した部分を選択的に除去し、パターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンを形成した誘電体薄膜上へ、犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
前記誘電体薄膜上へ形成された犠牲層を、前記パターンが露出するまで平坦化する平坦化工程と、を有することを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記誘電体薄膜が、Si、またはSiの酸化物あるいは窒化物を含むSiの化合物で形成されることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記成膜工程において、前記誘電体薄膜の形成に、スパッタ、または真空蒸着、または化学気相堆積、またはエピタキシャル成長のいずれかが用いられることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記イオン注入工程において、前記集束イオンビームのイオンに、Gaイオンが用いられることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記パターン形成工程において、前記誘電体薄膜が露出した部分の選択的除去に、フッ素系ガスによる反応性イオンエッチングが用いられることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記犠牲層形成工程における犠牲層が、前記平坦化工程において平坦化が容易な材料から選択されることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記犠牲層形成工程における犠牲層の形成に、スパッタ、または真空蒸着、または化学気相堆積、またはエピタキシャル成長のいずれかが用いられることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記平坦化工程における平坦化に、機械研磨、または化学機械研磨のいずれかが用いられることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、
複数のロッド形状部が平行に、且つ所定の面内周期で周期的に配置した犠牲層を含有するパターン形成層が複数積層された構造を製造する第1工程と、
前記犠牲層を含有するパターン形成層が複数積層された構造における、該犠牲層を液体エッチング剤で一括に除去して、3次元周期構造を製造する第2工程と、を有し、
前記第1工程は、
誘電体薄膜を形成する成膜工程と、
前記誘電体薄膜へ集束イオンビームによるイオンを選択的に注入し、前記誘電体薄膜上にマスクを形成するイオン注入工程と、
前記誘電体薄膜上に形成された前記マスク部分以外の誘電体薄膜が露出した部分を選択的に除去し、パターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンを形成した誘電体薄膜上へ、犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
前記誘電体薄膜上へ形成された犠牲層を、前記パターンが露出するまで平坦化する平坦化工程とをこの順に4回以上繰り返す工程と、
を含むことを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、前記液体エッチング剤が、塩化鉄を含む液体エッチング剤であることを特徴とする。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、上記の3次元フォトニック結晶の製造方法によって製造された3次元フォトニック結晶を製造型として用い、
前記製造型に、3次元フォトニック結晶を形成する材料を埋め込んだ後、該製造型を除去し、
前記製造型の反転した形状の前記埋め込んだ材料による3次元周期構造を製造することを特徴とする。
なお、以下の図中において、同一要素に関しては、同符号を用いる。但し、本発明における材料、構造、形状、数値などはここに挙げられたものに限定されるものではない。
図1に、本実施の形態における3次元フォトニック結晶の製造方法を説明する図を示す。
図1において、10は基板、20は誘電体薄膜、30はイオン注入部、60は犠牲層である。
本実施の形態においては、図1(j)に示した3次元フォトニック結晶を形成するために、図1(a)乃至図1(j)の工程を用いることができる。
ここでは説明を容易とするため、3次元フォトニック結晶の構造として、ウッドパイル構造を構成した例について説明する。
20の材料は単結晶、又はアモルファス状態のSi、またはSiの酸化物や窒化物を含むSiの化合物などが挙げられる。
成膜方法はスパッタ、または真空蒸着、または化学気相堆積、またはエピタキシャル成長などが適切である。
誘電体薄膜20の厚さは数十nm〜数十μmであることが望ましい。前記基板10は、成膜面が平坦性を持ち、形成すべく誘電体薄膜20とは密着性のあるものである。
例えば、石英、サファイア、ガラス、アクリル、Si、GaN、GaAs、InP、InGaAs、TiO2、ZnOの単体、またはこれらの薄膜を有する他の材料である。
必要に応じて、基板10と第1層目の誘電体薄膜20と接する界面に、密着性をよくするための密着層を形成しても良い。
ここでは、図1(b)に示したように、前記誘電体薄膜20へイオン注入して、30のようなマスクパターンを形成する。
そのため、例えば、集束イオンビーム(FIB)を走査しながら、加速されたGaイオンを前記誘電体薄膜20におけるマスクパターン30の部分に選択的に打ち込む。
注入できるイオンの種類としては、Ga以外にInでも構わない。
マスクパターン30のサイズは、必要時応じて決めればよいが、例えば、幅は数十nm乃至数μm、面内周期は数百nm乃至数μmで、長さは5μm乃至1000μm程度である。
Gaイオンの深さ方向の分布はFIBの加速電圧、その面内分布(つまり、パターン形状)はFIBの面内走査、その密度はFIBの電流及び注入時間で、それぞれ制御する。
誘電体薄膜20の材料、そしてイオンの種類(例えば、Ga、In)が決まれば、簡易なシミュレーションで所定な深さや密度を得るために必要な加速電圧、電流や注入時間を求めることが可能なので、マスクパターン30の部分の形成は簡易かつ高精度で行える。
前記集束イオンビームは、必要に応じて、単束ビーム、または多束ビームにすることが好ましい。
多束ビームの場合、各ビームの加速電圧、電流、ビーム径、そして走査は、それぞれ独立にすることによって、イオン配置工程の効率をさらに向上させることが可能である。
ここでは、イオン注入は誘電体薄膜20の表面近傍だけに止まっても良い。そのため、FIBの加速電圧は0.5kV〜120kVの間で好ましく、最適値は1kV〜30kVである。
イオンの密度は、1×1018〜1×1023cm−3の間が実用的で、5×1020cm−3オーダーが最も好適である。
例えば、誘電体薄膜はSi、エッチング深さが10μmで、イオンがGaイオンの場合、イオン注入層の厚さを射影標準偏差で表現すると、50nm〜500nmの範囲で、100nm程度が最適である。
この厚さは、誘電体薄膜の材料とイオン種が決まっていれば、ほぼイオンの加速電圧で決まるので、公知の理論計算手法で大凡予測可能である。
また、イオンの深さ方向の分布におけるピーク位置は、エッチングの制御性を考慮すると、誘電体薄膜の表層付近にあることが望ましい。
前記ピーク位置は、理論上、誘電体薄膜の材料とイオン種が決まっていれば、ほぼイオンの加速電圧で決まり、公知の理論計算手法で大凡予測可能である。
例えば、マスク形成の過程で、一部のイオン注入を低加速電圧で行わればよい。
加速電圧が低いほど、イオン注入の深さが浅いので、前記ピーク位置を誘電体薄膜の表層付近(例えば、最表面から0nm〜50nm以内)に持ってくることができる。
低加速電圧使用のほかに、下記の方法がある。
FIBでマスクを形成する際のマスク形成条件、即ち、加速電圧、電流密度、イオンビームの絞り方、ビームの走査法および照射時間等を調整することによって、イオン注入しながら誘電体薄膜の表層を削ることができる。
そうすることによって、前記ピーク位置を誘電体薄膜の最表面(例えば、最表面から0nm〜50nm以内)まで持ってくることが可能である。
削る深さは、前記マスク形成条件によってほぼ0nmから連続的に調整可能で、誘電体薄膜の膜厚の10分の1以下が望ましい。
つまり、誘電体薄膜上に形成されたマスク部分以外の、誘電体薄膜が露出した部分を選択的に除去する。
ここでは、図1(c)に示したように、誘電体薄膜20をエッチングして、50で示している部分を部分的に除去する。
このような誘電体薄膜部分の選択的除去には、例えば、フッ素系ガスによる反応性イオンエッチング(RIE;reactive ion etching)を用いる。
特に、誘電体薄膜の厚みが1μm以上に厚いとき、エッチングとパターンの側壁保護を交互に行うRIE方式が望ましい。
例えば、誘電体薄膜がSiである場合、RIEのとき、SF6とC4F8ガスを交互に導入し、所望の時間でエッチングを行う。SF6ガスを導入するとき、主にエッチングが進行する。
C4F8ガスを導入するとき、主に側壁保護が進行する。こうして、マスクのエッチング耐性が更に向上して、GaマスクにおけるGaの量およびマスク厚みの低減が可能である。
また、このエッチングで垂直性の良いパターンを得ることが可能になる。更に、上記Gaマスクを用いたRIEにおいて、加工条件を調整することによって、側壁の傾斜角度、平坦度、または形状を制御することが可能である。
加工条件を調整することは、エッチングとパターンの側壁保護の2つの作用を交互に行う際、それぞれの時間、装置内圧力、加工パワー、及びSF6とC4F8の流量等を目的に合わせて最適に調整することを意味する。
このエッチングによって、フォトニック結晶第1層目のパターンが形成されている。
このパターン形成工程において、イオン注入部30とイオン未注入部とは、エッチング耐性が大きく異なる。
これにより、イオン未注入部が完全に除去されても、イオン注入部30がほとんどエッチングされない。
例えば、Siの表層から20nmの深さまでGaイオンを5×1020cm−3程度注入した場合、SF6を用いたRIE工程において、Gaイオン注入部のエッチング耐性がイオン未注入部の500倍以上である。
ここでは、図1(d)に示したように、前記第1層目の構造を含む誘電体薄膜上に犠牲層薄膜60を形成する。
前記犠牲層薄膜60は、後継の平坦化工程において前記誘電体薄膜20及びイオン注入部30に対して平坦化が容易な材料から選択される。例えば、銅(Cu)の薄膜が好適である。
銅薄膜の厚みは、誘電体薄膜のパターンにもよるが、0.1〜5μmは好ましい。銅薄膜の成膜は、スパッタ、または真空蒸着、または化学気相堆積、またはエピタキシャル成長などの方法がある。以下では、これを犠牲層形成工程と記す。
ここでは、図1(e)に示したように、前記犠牲層薄膜を平坦化する。
この平坦化加工は、下地の誘電体薄膜パターン、つまりイオン注入部30を露出させ、銅薄膜60の高さが30とほぼ同じになるように行う。
上記平坦化加工は、たとえば機械研磨、または化学機械研磨(CMP:ChemicalMechanical Polishing)を用いる。
つまり、上記工程を4回繰り返すことで、1周期のウッドパイル構造を得るための、複数のロッド形状部が平行に、且つ所定の面内周期で周期的に配置したパターン形成層が複数積層された構造を得ることができる。
すなわち、前記成膜工程、前記イオン注入工程、前記パターン形成工程、前記犠牲層形成工程、及び前記平坦化工程を、この順に4回以上繰り返し、
複数のロッド形状部が平行に、且つ所定の面内周期で周期的に配置したパターン形成層が積層された上記犠牲層を含有する構造を製造する。
その際、第1回目のプロセスにおいて、前記成膜工程、前記イオン注入工程、前記パターン形成工程、前記犠牲層形成工程によって、複数のロッド形状部が平行に、且つ所定の面内周期で周期的に配置された第1層目のパターン形成層を形成する。
次に、第2回目のプロセスにおいて、前記成膜工程、前記イオン注入工程、前記パターン形成工程、前記犠牲層形成工程によって、
前記第1層目のパターン形成層における各ロッド形状部上に、該各ロッド形状部と直交する方向に延びるロッド形状部を有する第2のパターン形成層を形成する。
次に、第3回目のプロセスにおいて、前記第2のパターン形成層上に、前記第1のパターン形成層におけるロッド形状部と平行で且つ面内周期の1/2だけずれて位置するロッド形状部を有する第3のパターン形成層を形成する。
次に、第4回目のプロセスにおいて、前記第3のパターン形成層上に、前記第2のパターン形成層における各ロッド形状部と平行で且つ面内周期の1/2だけずれて位置するロッド形状部を有する第4のストライプ層を形成する。
以上のプロセスにより、上記した1周期のウッドパイル構造を得るための構造を得ることができる。
ここで、層間のパターン位置合せを高い精度で行うために、予め基板や誘電体薄膜上に形成した位置合せマーク(図示なし)を基準にして各層のパターン配置を決めればよい。
前記位置合せ用マークの形成方法は、例えば、フォトリソグラフィとリフトフ法がある。位置合せ用マークの材料は、Au/Crなどがある。
例えば、図1(h)において、2層目のパターン加工が2層目の誘電体薄膜の下まで進むと、下地となる1層目のパターンの一部分(例えば、35で表示されている部分)が露出する。
通常、パターン加工は時間で終点制御を行うことが多く、パターン露出部35をまったくエッチング雰囲気に曝さずに加工を止めることが困難である。従来、エッチストップ層を設けることが難しく、どうしてもパターン露出部35にダメージを与えてしまう。
これは、フォトニック結晶構造の加工精度を低下させ、素子特性に影響を及ぼすことになる。
これに対して、本発明は、前記パターン露出部35へGaイオンを注入して、該部分に高いエッチング耐性をもたらしている。
つまり、エッチングマスクをイオン注入によって、誘電体薄膜の内部に埋め込んでいる。この内蔵マスクは、2層目以降の構造形成の邪魔にならないため、薄膜加工後にも除去する必要がない。
このマスクは次層目以降の加工においても、エッチストップ層として該薄膜の構造を保護することができる。これによって、加工ダメージの低減ができ、より高い加工精度を得られる。
前記液体エッチング剤としては、例えば、前記犠牲層がCuである場合、塩化鉄を含むエッチング溶液を用いることができる。
以上の積層工程によって、誘電体薄膜、とりわけ、Si、またはSiの酸化物や窒化物を含むSiの化合物からなる3次元フォトニック結晶構造が作製される。
このマスクは次層目以降の加工においても、エッチストップ層として該薄膜の構造を保護することができる。
これによって、加工ダメージの低減ができ、より高い加工精度を得られる。
また、本発明の3次元フォトニック結晶の製造方法は、従来技術より工程が簡便なため、製造コストの低減も可能である。
[実施例1]
本実施例においては、上記本発明の実施の形態で説明した3次元フォトニック結晶の製造方法と、基本的に同じ工程によるものであるから、ここでも図1を用いて説明する。
上記本発明の実施の形態で説明と重複する部分の図の説明は省略する。
本実施例では図1(j)に示すウッドパイル型3次元フォトニック結晶構造を作製した。
まず、図1(a)に示した成膜工程を行う。この工程で、基板10の上にフォトニック結晶を構成する主材料である誘電体薄膜20を形成する。
前記基板10として、石英を用いた。誘電体薄膜20としては、厚さが約100nmのSi薄膜をスパッタリング法で形成した。
パターン30のサイズは、幅が約100nm、長さが100μm、面内周期が約300nmである。パターン全体のエリアは、約100μm角である。
FIBの加速電圧を約5kV〜30kVにして、Si薄膜の最表面から約30nmの深さまでGaイオンをほぼ均等に注入する。
FIBのビーム径を10nm程度に絞って、ビーム電流と走査速度を調整して、Gaイオンの最高密度を約5×1020cm−3にする。
このとき、図1(b)に示したイオン注入工程で形成したパターン30をエッチングマスクとして、Si薄膜20の上面にほぼ垂直の方向から見えるGaイオン未注入部50を選択的に除去する。
このエッチングによって、フォトニック結晶第1層目のパターンが形成されている。
ここでのRIEは、例えば、SF6とC4F8ガスを交互に導入したRIE法が用いられる。
SF6ガスを導入するとき、主にエッチングが進行する。C4F8ガスを導入するとき、主に側壁保護が進行する。こうして、マスクのエッチング耐性が更に向上して、GaマスクにおけるGaの量およびマスク厚みの低減が可能である。
このパターン形成工程において、Gaイオン注入部30のエッチング耐性がGaイオン未注入部50の500倍以上のものを得ることができる。
この工程で、前記第1層目の構造を含むSi薄膜上に犠牲層薄膜として銅薄膜60を形成する。銅薄膜は、スパッタ法で堆積するが、厚みが約0.3μmである。
層間のパターン位置合せを高い精度で行うために、予め基板10に位置合せマーク(図示なし)を形成する。該位置合せマークを基準にして各層のパターン配置を決める。
前記位置合せ用マークの形成には、電子ビームリソグラフィとリフトフ法を用いる。位置合せ用マークの材料は、Au(厚み100nm)/Cr(厚み10nm)である。
通常、パターン加工は時間で終点制御を行うことが多く、パターン露出部35をまったくエッチング雰囲気に曝さずに加工を止めることは困難である。
従来、エッチストップ層を設けることが難しく、どうしてもパターン露出部35にダメージを与えてしまう。これは、フォトニック結晶構造の加工精度を低下させ、素子特性に影響を及ぼすことになる。
それに対して、本実施例では、Gaイオンをパターン形成したい部分へ注入して、該部分(30と35の部分)に高いエッチング耐性をもたらしている。
つまり、エッチングマスクをイオン注入によって、Si薄膜の内部に埋め込んでいる。
この内蔵マスクは、2層目以降の構造形成の邪魔にならないため、薄膜加工後にも除去する必要がない。このマスクは次層目以降の加工においても、エッチストップ層として該薄膜の構造を保護することができる。
図1(h)では、35の部分が露出しているが、該部分は高いエッチング耐性を持つため、受ける加工ダメージが低い。
そのため、従来のエッチストップ層がない加工法より高い加工精度を得られる。
図1(j)には、1周期(4層)のウッドパイル型フォトニック結晶を示している。
以上の積層工程によって、3次元フォトニック結晶を代表とする3次元構造を、より高加工精度かつより低コストで製造可能になる。
実施例2においては、上記した3次元フォトニック結晶の製造方法によって製造された3次元フォトニック結晶を製造型として用いて3次元周期構造を製造する方法について説明する。
本実施例では、実施例1で形成したフォトニック結晶70を製造型として用い、新たなフォトニック結晶構造を作製する。
作製方法として、まず、化学気相堆積(CVD)法、または原子層堆積(ALD)法でフォトニック結晶70のロッド40間の雰囲気部50を別の材料で埋め込む。
前記材料は、例えば、酸化チタン(TiO2)である。埋め込む条件の最適化によって、前記雰囲気部50を隙間なく緻密に埋め込むことができる。
ドライエッチング法として、XeF2ガスによるものがある。溶液エッチングに使用できる溶液は、Siを溶かすが、TiO2及び石英基板をエッチングしないものであればよい。
例えば、TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液が好適である。前記プロセスによって、TiO2からなる3次元フォトニック結晶が形成される。また、TiO2の代わりに、GaN、SiO2、ZnOなどの材料もある。それぞれの材料では、埋め込む等の工程が若干異なるが、可能であることが明らかである。
また、基板10は石英としたが、必要に応じて変えても支障がない。
これにより、実施例1で示した積層工程で形成したSiフォトニック結晶と全く異なる材料からなるフォトニック結晶を形成することが可能になる。
20:誘電体薄膜
30:イオン注入によるマスクパターン
35:パターン露出部
40:フォトニック結晶ロッド
50:雰囲気部
60:犠牲層
70:フォトニック結晶
Claims (11)
- 3次元フォトニック結晶の製造方法であって、
誘電体薄膜を形成する成膜工程と、
前記誘電体薄膜へ集束イオンビームによるイオンを選択的に注入し、前記誘電体薄膜上にマスクを形成するイオン注入工程と、
前記誘電体薄膜上に形成された前記マスク部分以外の誘電体薄膜が露出した部分を選択的に除去し、パターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンを形成した誘電体薄膜上へ、犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、前記誘電体薄膜上へ形成された犠牲層を、前記パターンが露出するまで平坦化する平坦化工程と、
を有することを特徴とする3次元フォトニック結晶の製造方法。 - 前記誘電体薄膜は、Si、またはSiの酸化物あるいは窒化物を含むSiの化合物で形成されることを特徴とする請求項1に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 前記成膜工程において、前記誘電体薄膜の形成に、スパッタ、または真空蒸着、または化学気相堆積、またはエピタキシャル成長のいずれかが用いられることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 前記イオン注入工程において、前記集束イオンビームのイオンに、Gaイオンが用いられることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 前記パターン形成工程において、前記誘電体薄膜が露出した部分の選択的除去に、フッ素系ガスによる反応性イオンエッチングが用いられることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 前記犠牲層形成工程における犠牲層が、前記平坦化工程において平坦化が容易な材料から選択されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 前記犠牲層形成工程における犠牲層の形成に、スパッタ、または真空蒸着、または化学気相堆積、またはエピタキシャル成長のいずれかが用いられることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 前記平坦化工程における平坦化に、機械研磨、または化学機械研磨のいずれかが用いられることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 3次元フォトニック結晶の製造方法であって
複数のロッド形状部が平行に、且つ所定の面内周期で周期的に配置した犠牲層を含有するパターン形成層が複数積層された構造を製造する第1工程と、
前記犠牲層を含有するパターン形成層が複数積層された構造における、該犠牲層を液体エッチング剤で一括に除去して、3次元周期構造を製造する第2工程と、を有し、
前記第1工程は、
誘電体薄膜を形成する成膜工程と、
前記誘電体薄膜へ集束イオンビームによるイオンを選択的に注入し、前記誘電体薄膜上にマスクを形成するイオン注入工程と、
前記誘電体薄膜上に形成された前記マスク部分以外の誘電体薄膜が露出した部分を選択的に除去し、パターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターンを形成した誘電体薄膜上へ、犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
前記誘電体薄膜上へ形成された犠牲層を、前記パターンが露出するまで平坦化する平坦化工程とをこの順に4回以上繰り返す工程と、
を含むことを特徴とする3次元フォトニック結晶の製造方法。 - 前記液体エッチング剤が、塩化鉄を含む液体エッチング剤であることを特徴とする請求項9に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法。
- 請求項9に記載の3次元フォトニック結晶の製造方法によって製造された3次元フォトニック結晶を製造型として用い、
前記製造型に、3次元フォトニック結晶を形成する材料を埋め込んだ後、該製造型を除去し、
前記製造型の反転した形状の前記埋め込んだ材料による3次元周期構造を製造することを特徴とする3次元フォトニック結晶の製造方法。
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