JP5035957B2

JP5035957B2 - Gas flow meter and method for mounting the same

Info

Publication number: JP5035957B2
Application number: JP2006315651A
Authority: JP
Inventors: 勇藁品; 広行稲垣
Original assignee: Azbil Corp
Current assignee: Azbil Corp
Priority date: 2006-11-22
Filing date: 2006-11-22
Publication date: 2012-09-26
Anticipated expiration: 2026-11-22
Also published as: JP2008128889A

Description

本発明は、気体の導入路および排出路を形成したマニホールド体に装着して用いられる小型の流量計に係り、例えばチップマウンタにおける微小部品の吸着確認に用いるに好適な気体流量計およびその取り付け方法に関する。 The present invention relates to a small-sized flow meter used by being mounted on a manifold body in which a gas introduction path and a discharge path are formed. For example, a gas flow meter suitable for use in confirming the adsorption of minute parts in a chip mounter and a method for attaching the same About.

チップマウンタにおける吸着ノズルによる微小部品の吸着確認の手法として、従来一般的な圧力センサに代えて流量センサを用い、上記吸着ノズルにおける微小流量の変化を検出することが試みられている。この種の用途に用いられる流量計として、相対向して設けられた流体導入口と流体排出口との間にコの字状に屈曲した流路を形成することで、小型化を図りながら流速分布の安定化を図ったものが提唱されている（例えば特許文献１を参照）。 As a technique for confirming the adsorption of a minute part by an adsorption nozzle in a chip mounter, an attempt has been made to detect a change in the minute flow rate in the adsorption nozzle by using a flow rate sensor instead of a conventional pressure sensor. As a flow meter used in this type of application, a flow path bent in a U-shape is formed between the fluid inlet and the fluid outlet provided opposite to each other, thereby reducing the flow rate while reducing the size. The thing which aimed at stabilization of distribution is proposed (for example, refer patent document 1).

またこのような小型の流量計を複数個、気体の導入路および排出路を形成したブロック状のマニホールド体に並べて装着して用いることも提唱されている（例えば特許文献２を参照）。
特開２００４−３８８７号公報特開平１１−１７３８８４号公報 It has also been proposed to use a plurality of such small flow meters arranged side by side on a block-like manifold body in which a gas introduction path and a discharge path are formed (see, for example, Patent Document 2).
Japanese Patent Laid-Open No. 2004-3877 Japanese Patent Laid-Open No. 11-173848

しかしながら前述したチップマウンタは、専ら、小型の圧力センサを用いることを前提として設計されていることが多い。この為、圧力センサの設置スペースに流量計を組み込む上での取り付け高さの制約が非常に厳しいと言う課題がある。ちなみに従来一般的には、流量計の上下面を貫通して設けた取り付け穴に挿通したねじを用いて該流量計をマニホールド体に固定している。或いは流量計本体の上面を覆う取り付け部材を用いて流量計をマニホールド体に押さえ込むことも考えられている。しかしこのような取り付け法を採用した場合、ねじの頭部や取り付け部材が流量計の上面から突出するので、その実質的な取り付け高さが高くなる等の問題がある。 However, the chip mounter described above is often designed exclusively on the assumption that a small pressure sensor is used. For this reason, there is a problem that the restriction on the height of mounting the flow meter in the installation space of the pressure sensor is very severe. Incidentally, conventionally, the flowmeter is generally fixed to the manifold body using screws inserted through mounting holes provided through the upper and lower surfaces of the flowmeter. Alternatively, it is considered that the flow meter is pressed into the manifold body by using an attachment member that covers the upper surface of the flow meter main body. However, when such an attachment method is adopted, the head of the screw and the attachment member protrude from the upper surface of the flow meter, and thus there is a problem that the substantial attachment height becomes high.

またこの種の流量計においては、或る程度の流路長を確保して流速分布の安定化を図ることが必要であり、流量計自体の高さを低くするにも限界がある。また複数の気体の導入路および排出路を形成したブロック状のマニホールド体に複数の流量計を並べて装着して用いるような場合、マニホールド体に形成される複数の気体の導入路および排出路との干渉を防ぎながら、如何にして各流量計をマニホールド体に装着するかと言う点でも課題が残る。 Further, in this type of flow meter, it is necessary to secure a certain flow path length to stabilize the flow velocity distribution, and there is a limit to reducing the height of the flow meter itself. In addition, when a plurality of flow meters are mounted side by side on a block-like manifold body in which a plurality of gas introduction paths and discharge paths are formed, a plurality of gas introduction paths and discharge paths formed in the manifold body are used. The problem remains in how to attach each flow meter to the manifold body while preventing interference.

本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、気体の導入路および排出路を形成したマニホールド体に装着して用いるに好適な簡易な構造の気体流量計とその取り付け方法を提供することにある。 The present invention has been made in consideration of such circumstances, and its purpose is to provide a gas flow meter having a simple structure suitable for use by mounting on a manifold body in which a gas introduction path and a discharge path are formed, and its attachment. It is to provide a method.

上述した目的を達成するべく本発明に係る気体流量計は、気体の導入路および排出路を形成したマニホールド体に装着して用いられて上記導入路と排出路とを結ぶ流路を形成すると共に、上記流路に設けた質量流量センサの出力から前記マニホールド体を介して通流する気体の流量を計測するものであって、
前記マニホールド体の導入路および排出路にそれぞれ連結される流体導入口および流体排出口を下面に備えると共に、これらの流体導入口と流体排出口とを結ぶ流路をその内部に形成した略直方体形状の流量計本体の相対向する両端部に、その下面に連なって上記各端部からそれぞれ突出する鍔部を設けたことを特徴としている。好ましくは前記鍔部は、前記流量計本体における前記流体導入口および流体排出口の並び方向の両端部に、その幅方向に設けた横溝の下面側の突出縁部として形成される。 In order to achieve the above-mentioned object, the gas flowmeter according to the present invention is used by being attached to a manifold body in which a gas introduction path and a discharge path are formed to form a flow path connecting the introduction path and the discharge path. Measuring the flow rate of the gas flowing through the manifold body from the output of the mass flow sensor provided in the flow path,
A substantially rectangular parallelepiped shape having a fluid introduction port and a fluid discharge port connected to the introduction path and the discharge path of the manifold body on the lower surface, and a flow path connecting the fluid introduction port and the fluid discharge port formed therein. The flowmeter main body is provided with flanges that protrude from the respective end portions, which are connected to the lower surface thereof, at opposite ends of the flow meter body. Preferably, the flange portion is formed as a protruding edge portion on the lower surface side of the lateral groove provided in the width direction at both ends of the flow meter body in the arrangement direction of the fluid inlet and the fluid outlet.

また本発明に係る気体流量計の取り付け方法は、下面に流体導入口および流体排出口を備えると共に、これらの流体導入口と流体排出口とを結ぶ流路をその内部に形成した略直方体形状の流量計本体と、この流量計本体の上記流路に設けた質量流量センサとを備えた気体流量計を、気体の導入路および排出路を形成したマニホールド体に装着して用いるに際して、前記流量計本体の相対向する両端部にその下面に連なって上記各端部からそれぞれ突出する鍔部をそれぞれ設け、この鍔部の上面に係合させた固定部材の前記流量計本体から離して位置付けられる端部を前記マニホールド体にねじ止めして前記気体流量計をマニホールド体に装着することを特徴としている。好ましくは前記固定部材として、前記流量計本体の端部の幅よりも長尺の棒状体からなり、その端部にねじ穴を穿いたものを用いる。 In addition, the gas flow meter mounting method according to the present invention is provided with a fluid inlet and a fluid outlet on the lower surface, and a substantially rectangular parallelepiped shape in which a flow path connecting the fluid inlet and the fluid outlet is formed therein. When a gas flow meter including a flow meter main body and a mass flow sensor provided in the flow path of the flow meter main body is attached to a manifold body in which a gas introduction path and a discharge path are formed, the flow meter is used. Ends that are positioned away from the flowmeter body of the fixing member that is provided on both opposing ends of the main body and that is provided with flanges that protrude from the respective end portions and that are connected to the lower surface of the main body. The gas flowmeter is attached to the manifold body by screwing the part to the manifold body. Preferably, the fixing member is made of a rod-like body that is longer than the width of the end portion of the flowmeter body, and has a screw hole at the end portion.

上記構成の気体流量計によれば、略直方体形状の流量計本体の相対向する両端下部にそれぞれ鍔部が突出形成されているので、マニホールド体に平行に組み付けられる固定部材にて上記鍔部を前記マニホールド体との間に挟み込むだけで、その取り付け高さを増やすことなく流量計本体をマニホールド体上に確実に装着することができる。また上記鍔部を前記流量計本体の相対向する両端部にそれぞれその幅方向に設けられた横溝の下面側の突出縁部として形成するようにすれば、流量計本体そのものの外観寸法を小さくすることができるので、限られた設置スペースへの組み込みの容易化を図ることができる。 According to the gas flowmeter having the above-described configuration, since the flanges are formed so as to protrude from the opposite lower ends of the substantially rectangular parallelepiped flowmeter body, the flange is fixed by a fixing member assembled in parallel to the manifold body. The flowmeter main body can be securely mounted on the manifold body without increasing the mounting height simply by being sandwiched between the manifold body. Further, if the flanges are formed as projecting edge portions on the lower surface side of the lateral grooves provided in the width direction at opposite ends of the flow meter body, the external dimensions of the flow meter body itself are reduced. Therefore, it is possible to facilitate the incorporation into a limited installation space.

また長尺の棒状体からなる固定部材を前記流量計本体の鍔部上面に係合させ、コの固定部材の端部をマニホールド体にねじ止め固定するだけで、該固定部材とマニホールド体との間に鍔部を挟み込むことができるので、マニホールド体への気体流量計の取り付けを簡易に行うことができる。特に複数の気体流量計を並べてマニホールド体に設置するような場合であっても、複数の気体流量計並び幅に見合う長尺の固定部材を用いることで、これらの気体流量計を一括して簡易に装着することが可能となる等の効果が奏せられる。 In addition, a fixing member made of a long rod-like body is engaged with the upper surface of the flange portion of the flowmeter body, and the end of the fixing member is screwed and fixed to the manifold body. Since the collar portion can be sandwiched between them, the gas flow meter can be easily attached to the manifold body. Even when multiple gas flow meters are installed side by side in the manifold body, these gas flow meters can be simplified in a lump by using a long fixed member that matches the width of the multiple gas flow meters. The effect that it becomes possible to mount | wear to is produced.

以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る気体流量計と、この気体流量計のマニホールド体への取り付け方法について説明する。
この気体流量計は、気体の導入路および排出路をなす透孔を形成した、例えばアルミニウム製の厚板からなるブロック状のマニホールド体に装着して用いられる小型のものであって、基本的には上記導入路と排出路とを結ぶ流路を形成する流量計本体と、この流量計本体の上記流路に組み込まれて前記マニホールド体を介して通流する気体の流量を計測する為の質量流量センサとを備えて構成される。 Hereinafter, a gas flow meter according to an embodiment of the present invention and a method of attaching the gas flow meter to a manifold body will be described with reference to the drawings.
This gas flow meter is a small one that is used by being mounted on a block-like manifold body made of a thick plate made of aluminum, for example, in which a through hole forming a gas introduction path and a discharge path is formed. Is a flow meter body that forms a flow path connecting the introduction path and the discharge path, and a mass for measuring the flow rate of the gas that is incorporated into the flow path of the flow meter body and flows through the manifold body And a flow sensor.

図１はこの実施形態に係る気体流量計の概略構成を示す外観斜視図であり、図２はその内部構造とマニホールド体への組み付け構造を示す断面図である。流量計本体１０は略直方体形状をなす樹脂モールド製のものであって、マニホールド体３０の導入路３１および排出路３２にそれぞれ連結される流体導入口１１および流体排出口１２をその下面に備えると共に、後述するようにその内部に上記流体導入口１１と流体排出口１２とを結ぶ流路を形成したものである。またこの流量計本体１０の上面には、後述する長方形状の回路基板２０を装着する所定深さの凹状の基板装着部１３が設けられる。 FIG. 1 is an external perspective view showing a schematic configuration of a gas flow meter according to this embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing its internal structure and a structure assembled to a manifold body. The flow meter main body 10 is made of a resin mold having a substantially rectangular parallelepiped shape, and includes a fluid introduction port 11 and a fluid discharge port 12 respectively connected to the introduction path 31 and the discharge path 32 of the manifold body 30 on the lower surface thereof. As will be described later, a flow path connecting the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 is formed therein. Further, on the upper surface of the flowmeter main body 10, a concave board mounting portion 13 having a predetermined depth for mounting a rectangular circuit board 20 described later is provided.

上述した流体導入口１１および流体排出口１２は、流量計本体１０の長手方向に所定の距離を隔てて並べて設けられたものであって、その開口縁部にはＯリングが装着されている。また流量計本体１０における上記基板装着部１３の底部の略中央部には、該基板装着部１３に装着される回路基板２０に沿って前記流体導入口１１および流体排出口１２が並ぶ向きに計測流路部を形成する開口凹部１４が形成されている。この開口凹部１４は、前記基板装着部１３に装着される回路基板２０によりその周縁部が閉塞されることで、前記流体導入口１１と流体排出口１２とを結ぶ流路の一部を形成する。 The fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 described above are provided side by side with a predetermined distance in the longitudinal direction of the flow meter main body 10, and an O-ring is attached to an opening edge portion thereof. Further, in the flow meter main body 10, the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 are measured in the direction in which the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 are arranged along the circuit board 20 attached to the substrate attachment unit 13. An opening recess 14 that forms the flow path is formed. The opening recess 14 forms a part of the flow path connecting the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 by closing the peripheral edge portion of the circuit board 20 mounted on the substrate mounting portion 13. .

更に前記流量計本体１０には、上記開口凹部１４の両端部と前記流体導入口１１および流体排出口１２とをそれぞれ結ぶ連通路１５,１６が形成されている。これらの連通路１５,１６は、前述した回路基板２０によりその周縁部が閉塞される開口凹部１４を介して相互に連結されて、前記流体導入口１１と流体排出口１２とを結ぶ気体の通流路を形成する。 Further, the flow meter body 10 is formed with communication passages 15 and 16 that connect both ends of the opening recess 14 to the fluid inlet port 11 and the fluid outlet port 12, respectively. These communication passages 15 and 16 are connected to each other via the opening recess 14 whose peripheral portion is closed by the circuit board 20 described above, and a gas passage connecting the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12. A flow path is formed.

尚、これらの連通路１５,１６は、図２に示すように流量計本体１０の上面側（開口凹部１４の両端部）および下面側から、その軸心位置をずらして流量計本体１０の高さ方向にその途中位置まで穿たれた２つの縦穴部と、これらの縦穴部の底部間を横方向に連通する結合部とからなり、鈎型に屈曲した流路を形成している。このような屈曲構造をなす連通路１５,１６は、流体導入口１１から流入する気体を、その壁面に衝突させながら導くことでその流速分布を安定化する作用を呈する。 As shown in FIG. 2, these communication passages 15, 16 are displaced from the upper surface side (both ends of the opening recess 14) and the lower surface side of the flow meter body 10 by shifting their axial centers. The channel is composed of two vertical hole portions that are bored in the vertical direction to the midway position and a connecting portion that communicates between the bottoms of these vertical hole portions in the horizontal direction, and forms a channel that is bent in a bowl shape. The communication passages 15 and 16 having such a bent structure exhibit an effect of stabilizing the flow velocity distribution by guiding the gas flowing in from the fluid introduction port 11 while colliding with the wall surface.

一方、前記基板装着部１３に装着される回路基板２０は、その下面側の略中央部に質量流量センサ２１を搭載すると共に、その上面側に上記質量流量センサ２１の駆動回路２２およびこの駆動回路２２の外部接続部品（コネクタ）２３を搭載したものである。ちなみに前記質量流量センサ２１は、特に図示ないが、例えば半導体チップに形成した肉薄ダイヤフラム上に発熱抵抗素子を設けると共に、気体の通流方向に上記発熱抵抗素子を挟んで一対の温度センサを設けたものからなる。この質量流量センサ２１は、上記発熱抵抗素子により加熱される肉薄ダイヤフラム近傍の雰囲気ガスの温度分布が、該肉薄ダイヤフラムに沿って通流する気体の流量によって変化することから、その温度変化を前記温度センサにより検出することで上記気体の流速、ひいてはその質量流量を検出する役割を担う。また前記駆動回路２２は、質量流量センサ２１における上述した発熱抵抗素子および温度センサをそれぞれ駆動する抵抗ブリッジ回路等を構築する複数の抵抗器やトランジスタ、更には温度センサの出力から流量を算出するマイクロプロセッサ等からなる。 On the other hand, the circuit board 20 to be mounted on the board mounting portion 13 has a mass flow sensor 21 mounted at a substantially central portion on the lower surface side, and a drive circuit 22 for the mass flow sensor 21 and the drive circuit on the upper surface side. 22 external connection parts (connectors) 23 are mounted. Incidentally, the mass flow sensor 21 is not particularly shown, but for example, a heating resistor element is provided on a thin diaphragm formed on a semiconductor chip, and a pair of temperature sensors are provided with the heating resistor element sandwiched in the gas flow direction. Consists of things. The mass flow rate sensor 21 changes the temperature distribution of the ambient gas in the vicinity of the thin diaphragm heated by the heating resistor element according to the flow rate of the gas flowing along the thin diaphragm. By detecting by the sensor, it plays a role of detecting the flow velocity of the gas, and hence its mass flow rate. The drive circuit 22 includes a plurality of resistors and transistors for constructing a resistance bridge circuit and the like for driving the heating resistance element and the temperature sensor described above in the mass flow sensor 21, and a micro that calculates the flow rate from the output of the temperature sensor. It consists of a processor.

このような質量流量センサ２１とその駆動回路２２を搭載した回路基板２０は、その下面側を前記開口凹部１４に向けて前記基板装着部１３に装着される。この結果、前記開口凹部１４が形成する計測流路に面して前記回路基板２０に搭載された質量流量センサ２１が位置付けられる。この際、接着剤により前記開口凹部１４の周縁部と前記回路基板２０の下面との間を接着することで前記開口凹部１４の周縁部が前記回路基板２０にて閉塞される。 The circuit board 20 on which such a mass flow sensor 21 and its drive circuit 22 are mounted is mounted on the board mounting portion 13 with its lower surface facing the opening recess 14. As a result, the mass flow sensor 21 mounted on the circuit board 20 is positioned facing the measurement flow path formed by the opening recess 14. At this time, the peripheral edge of the opening recess 14 is closed by the circuit board 20 by bonding the peripheral edge of the opening recess 14 and the lower surface of the circuit board 20 with an adhesive.

さて基本的には上述した構造の流量計本体１０と回路基板２０とを備えて構成される本発明に係る気体流量計が特徴とするところは、前記流量計本体１０の長手方向における相対向する両端部の下部に、その下面に連なって上記各端部からそれぞれ突出する一対の鍔部１８を備えている点にある。特にこれらの鍔部１８は、前記流量計本体１０における前記流体導入口１１および流体排出口１２の並び方向の両端部、つまり流量計本体１０の短辺側の端部における中腹部に、その幅方向に設けた横溝１９の下面側の突出縁部として形成されている。尚、鍔部１８を含む前記流量計本体１０の下面の前記流体導入口および流体排出口の並び方向の長さ、つまり長手方向の長さは、該流量計本体１０の上面の長さ以下に設定されている。好ましくは後述する固定部材４０を上記鍔部１８に係合させたときの該固定部材１８を含む長手方向の長さが、前記流量計本体１０の上面の長手方向の長さより以下となるように、上記鍔部１８を含む下面の長さが設定される。 Now, the gas flow meter according to the present invention basically comprising the flow meter main body 10 and the circuit board 20 having the above-described structure is characterized in that the flow meter main body 10 is opposed to each other in the longitudinal direction. In the lower part of both ends, a pair of flanges 18 are provided which are connected to the lower surface thereof and project from the respective ends. In particular, the flanges 18 have widths at both ends of the flow meter body 10 in the direction in which the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 are arranged, that is, in the middle part of the short side of the flow meter body 10. It is formed as a protruding edge on the lower surface side of the lateral groove 19 provided in the direction. The length of the fluid introduction port and the fluid discharge port on the lower surface of the flow meter body 10 including the flange 18 in the arrangement direction, that is, the length in the longitudinal direction is equal to or less than the length of the upper surface of the flow meter body 10. Is set. Preferably, the length in the longitudinal direction including the fixing member 18 when the fixing member 40 described later is engaged with the flange portion 18 is less than the length in the longitudinal direction of the upper surface of the flow meter body 10. The length of the lower surface including the flange 18 is set.

これらの鍔部１８は、前記マニホールド体３０に平行に組み付けられる棒状の固定部材４０によりその上面が押さえ込まれて前記マニホールド体３０との間に挟持され、これによって流量計本体１０をマニホールド体３０上に強固に装着する役割を担う。尚、棒状の固定部材４０は、その両端部にそれぞれねじ孔４１を設けたものであって、前記流量計本体１０の前記鍔部１８を設けた端部の幅に上記ねじ止め固定部分の長さを加えた長尺のものからなる。この固定部材４０は、前記ねじ孔４１を挿通してマニホールド体３０に螺着されるねじ４２により流量計本体１０の側部から離れた位置にて前記マニホールド体３０に固定され、この固定部材４０により前記鍔部１８が押さえ込まれることにより流量計本体１０がマニホールド体３０に固定される。 The upper surfaces of these flange portions 18 are pressed by a rod-shaped fixing member 40 that is assembled in parallel to the manifold body 30 so as to be sandwiched between the manifold body 30. It plays the role of mounting firmly. The rod-like fixing member 40 is provided with screw holes 41 at both end portions thereof, and the length of the screw fixing portion is set to the width of the end portion of the flow meter body 10 where the flange portion 18 is provided. It consists of a long one with added thickness. The fixing member 40 is fixed to the manifold body 30 at a position away from the side of the flow meter main body 10 by a screw 42 inserted through the screw hole 41 and screwed into the manifold body 30. Thus, the flowmeter body 10 is fixed to the manifold body 30 by pressing the flange portion 18.

尚、固定部材４０に、前記鍔部１８に係合する段差部４３が設けておく場合には、その段差の高さは前記鍔部１８の厚みよりの若干低く設定される。この際、固定部材４０の長手方向における段差部４３の開口幅を前記流量計本体１０の短辺側の端面の幅と同程度に設定しておけば、この段差部４３に鍔部１８を嵌合することで流量計本体１０の横ずれを防止することができる。このような構造の固定部材４０をマニホールド体３０に固定したとき、該固定部材４０により前記流量計本体１０がマニホールド体３０の上面に密着固定されるものとなっている。 In the case where the fixing member 40 is provided with a step portion 43 that engages with the flange portion 18, the height of the step is set slightly lower than the thickness of the flange portion 18. At this time, if the opening width of the stepped portion 43 in the longitudinal direction of the fixing member 40 is set to be approximately the same as the width of the end surface on the short side of the flowmeter main body 10, the flange portion 18 is fitted into the stepped portion 43. By combining, the lateral displacement of the flow meter main body 10 can be prevented. When the fixing member 40 having such a structure is fixed to the manifold body 30, the flow meter main body 10 is tightly fixed to the upper surface of the manifold body 30 by the fixing member 40.

またマニホールド体３０への流量計（流量計本体１０）の取り付けは、流量計本体１０の下面に設けた流体導入口１１および流体排出口１２を、マニホールド体３０における導入路３１および排出路３２の各開口部に位置合わせして行うことは勿論のことである。またこのようにしてマニホールド体３０の上面に流量計（流量計本体１０）を固定したとき、前述したように流体導入口１１および流体排出口１２の各開口縁部に装着されたＯリングによって該流量計本体１０の下面と前記マニホールド体３０の上面との接合部が気密にシールされ、流体導入口１１と導入路３１とが隙間なく連結されると共に、流体排出口１２と排出路３２とが隙間なく連結される。 Further, the flow meter (flow meter main body 10) is attached to the manifold body 30 by connecting the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 provided on the lower surface of the flow meter main body 10 to the introduction path 31 and the discharge path 32 in the manifold body 30. Of course, it is performed in alignment with each opening. When the flow meter (flow meter main body 10) is fixed to the upper surface of the manifold body 30 in this way, the O-rings attached to the respective opening edges of the fluid introduction port 11 and the fluid discharge port 12 as described above are used. The joint between the lower surface of the flow meter main body 10 and the upper surface of the manifold body 30 is hermetically sealed, the fluid inlet 11 and the inlet path 31 are connected without a gap, and the fluid outlet 12 and the outlet path 32 are connected. Connected without gaps.

ところでマニホールド体３０に複数の気体流量計を並べて装着する（連装する）場合には、例えば図３に示すように複数の気体流量計（流量計本体１０）の並び幅よりも長尺の固定部材４５を用い、上記複数の気体流量計（流量計本体１０）を一括してマニホールド体３０に装着するようにすれば良い。尚、ここでは６個の気体流量計を横並びに連装した例を示しているが、その数は特に限られるものではない。この場合、気体流量計の連装数に応じた長さの固定部材を用いるようにすれば十分である。 By the way, when a plurality of gas flow meters are mounted side by side (connected) to the manifold body 30, for example, as shown in FIG. 3, a fixing member that is longer than the width of the plurality of gas flow meters (flow meter body 10). 45 and the plurality of gas flow meters (flow meter main body 10) may be attached to the manifold body 30 at once. Here, an example is shown in which six gas flow meters are arranged side by side, but the number is not particularly limited. In this case, it is sufficient to use a fixing member having a length corresponding to the number of gas flow meters connected.

かくして上述した構成の気体流量計およびその取り付け方法によれば、流量計本体１０両端部の下部に、その下面に連なって上記各端部からそれぞれ突出させて設けた鍔部１８を固定部材４０にて押さえ込むことによって該気体流量計をマニホールド体４０に固定するので、気体流量計の取り付け高さに制約がある場合でも流量計本体１０の高さの範囲内でその取り付けを簡易に行うことができる。従ってその取り付け高さを確保するべく、例えば流量計本体１０自体の高さを低くする必要がないので該流量計本体１０に形成する流路長を十分に確保することができ、その計測精度を犠牲にすることがない。 Thus, according to the gas flowmeter having the above-described configuration and the mounting method thereof, the flange 18 provided at the lower part of both ends of the flowmeter main body 10 and projecting from each of the ends connected to the lower surface thereof is provided on the fixing member 40. Since the gas flow meter is fixed to the manifold body 40 by pressing it down, it can be easily attached within the range of the height of the flow meter body 10 even when the height of the gas flow meter is restricted. . Accordingly, in order to secure the mounting height, for example, it is not necessary to reduce the height of the flow meter body 10 itself, so that the flow path length formed in the flow meter body 10 can be sufficiently secured, and the measurement accuracy can be increased. There is no sacrifice.

また上述した取り付け構造を採用しているので、気体流量計（流量計本体１０）を個々にマニホールド体３０にねじ止めする必要がなく、また固定部材４０をねじ止めする為のマニホールド体４０におけるねじ孔を個々の気体流量計（流量計本体１０）の装着位置から離れた位置に設けることが可能となる。この結果、マニホールド体４０の表裏面を貫通して前述した導入路３１および排出路３２を形成することに代えて、例えば図２および図４にそれぞれ示すようにマニホールド体４０の板面に沿って導入路３１および排出路３２を設ける場合であっても、ねじ孔の存在が導入路３１および排出路３２の形成を妨げることがない。換言すれば固定部材４０を固定する為のねじ孔４６を、図４に示すように導入路３１および排出路３２を避けた位置に形成することができる。故に複数の気体流量計をマニホールド体４０に連装した組み立て構造体における気体の通流方向を、マニホールド体４０の板面に沿った向きにすることができるので、実質的にその取り付けスペースのコンパクト化を図り得る等の効果が奏せられる。 In addition, since the mounting structure described above is employed, it is not necessary to screw the gas flowmeter (flowmeter main body 10) to the manifold body 30 individually, and the screw in the manifold body 40 for screwing the fixing member 40. It becomes possible to provide a hole at a position away from the mounting position of each gas flow meter (flow meter body 10). As a result, instead of forming the aforementioned introduction path 31 and discharge path 32 through the front and back surfaces of the manifold body 40, for example, along the plate surface of the manifold body 40 as shown in FIGS. Even when the introduction path 31 and the discharge path 32 are provided, the presence of the screw holes does not hinder the formation of the introduction path 31 and the discharge path 32. In other words, the screw hole 46 for fixing the fixing member 40 can be formed at a position avoiding the introduction path 31 and the discharge path 32 as shown in FIG. Therefore, the flow direction of the gas in the assembly structure in which a plurality of gas flow meters are connected to the manifold body 40 can be oriented along the plate surface of the manifold body 40, so that the mounting space can be made substantially compact. The effect that it can aim at is exhibited.

尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態においては流量計本体１０の端部に横溝（凹部）１９を設けることで鍔部１８を形成したが、図５に示すように単に流量計本体１０の端部からフランジ状に突出する鍔部１８を設けるようにしても良い。またこの鍔部１８を上下に貫通する丸穴を設けておき、この丸穴を挿通させて気体流量計をマニホールド体４０にねじ止め固定し得るようにしておくことも可能である。更には気体流量計を使用する際の実質的な高さを低くする上で、前述した回路基板２０に設ける外部接続部品（コネクタ）２３の向きを横向きにしておき、流量計本体１０の長手方向の端部から接続ケーブル（図示せず）を引き出すように構成することも有用である。このような構成を採用すれば、複数の気体流量計の連装を妨げることもない等の効果が奏せられる。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。 The present invention is not limited to the embodiment described above. In the embodiment, the flange 18 is formed by providing a lateral groove (concave portion) 19 at the end of the flow meter body 10. However, as shown in FIG. 5, the flange simply protrudes from the end of the flow meter body 10 in a flange shape. The part 18 may be provided. It is also possible to provide a round hole penetrating up and down the flange 18 and insert the round hole so that the gas flow meter can be screwed and fixed to the manifold body 40. Furthermore, in order to reduce the substantial height when using the gas flow meter, the direction of the external connection component (connector) 23 provided on the circuit board 20 described above is set sideways, and the longitudinal direction of the flow meter main body 10 is set. It is also useful that the connecting cable (not shown) is pulled out from the end of the cable. By adopting such a configuration, effects such as not interfering with the continuous arrangement of the plurality of gas flow meters can be obtained. In addition, the present invention can be variously modified and implemented without departing from the scope of the invention.

本発明の一実施形態に係る気体流量計の概略構成を示す外観斜視図。1 is an external perspective view showing a schematic configuration of a gas flow meter according to an embodiment of the present invention. 図１に示す気体流量計の内部構造とマニホールド体への組み付け構造を示す断面図。Sectional drawing which shows the assembly structure to the internal structure and manifold body of the gas flowmeter shown in FIG. マニホールド体に複数の気体流量計を並べて連装した状態を示す外観斜視図。The external appearance perspective view which shows the state which put in order and arranged the several gas flowmeter in the manifold body. 複数の気体流量計が連装されるマニホールド体に設ける導入路および排出路と気体流量計の取り付け位置との関係を示す図。The figure which shows the relationship between the introduction path and discharge path provided in the manifold body in which several gas flowmeters are connected, and the attachment position of a gas flowmeter. 本発明に係る気体流量計の別の実施形態を示す図。The figure which shows another embodiment of the gas flowmeter which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０流量計本体
１１流体導入口
１２流体排出口
１３基板装着部
１４開口凹部（計測流路）
１５,１６連通路
１８鍔部
１９横溝
２０回路基板
３０マニホールド体
４０,４５固定部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Flowmeter main body 11 Fluid introduction port 12 Fluid discharge port 13 Board | substrate mounting part 14 Opening recessed part (measurement flow path)
15,16 Communication path 18 Gutter 19 Horizontal groove 20 Circuit board 30 Manifold body 40,45 Fixing member

Claims

気体の導入路および排出路を形成したマニホールド体に装着して用いられて上記導入路と排出路とを結ぶ流路を形成すると共に、上記流路に設けた質量流量センサの出力から前記マニホールド体を介して通流する気体の流量を計測する気体流量計であって、
前記マニホールド体の導入路および排出路にそれぞれ連結される流体導入口および流体排出口を下面に備えると共に、これらの流体導入口と流体排出口とを結ぶ流路をその内部に形成した略直方体形状の流量計本体の前記流体導入口および前記流体排出口の並び方向の相対向する両端部に、その下面に連なって上記各端部からそれぞれ突出し、その幅方向に設けた横溝の下面側の突出縁部として形成される鍔部を設けたことを特徴とする気体流量計。 The manifold body is used by being attached to a manifold body in which a gas introduction path and a discharge path are formed to connect the introduction path and the discharge path, and from the output of a mass flow sensor provided in the flow path. A gas flow meter for measuring the flow rate of the gas flowing through
A substantially rectangular parallelepiped shape having a fluid introduction port and a fluid discharge port connected to the introduction path and the discharge path of the manifold body on the lower surface, and a flow path connecting the fluid introduction port and the fluid discharge port formed therein. of the fluid inlet and both end portions facing each other in the arrangement direction of the fluid outlet of the flowmeter body, continuous to the lower surface thereof to protrude from the respective ends, the lateral grooves provided in the width direction lower side of the A gas flow meter characterized in that a collar portion formed as a protruding edge portion is provided.

前記鍔部を含む前記流量計本体の下面の前記流体導入口および流体排出口の並び方向の長さは、該流量計の上面の長さ以下である請求項１に記載の気体流量計。 2. The gas flow meter according to claim 1 , wherein the length of the fluid introduction port and the fluid discharge port in the lower surface of the flow meter body including the flange portion in the arrangement direction is equal to or shorter than the length of the upper surface of the flow meter.

下面に流体導入口および流体排出口を備えると共に、これらの流体導入口と流体排出口とを結ぶ流路をその内部に形成した略直方体形状の流量計本体と、この流量計本体の上記流路に設けた質量流量センサとを備えた気体流量計を、気体の導入路および排出路を形成したマニホールド体に装着して用いるに際して、
前記流量計本体の前記流体導入口および前記流体排出口の並び方向の相対向する両端部に、その下面に連なって上記各端部からそれぞれ突出し、その幅方向に設けた横溝の下面側の突出縁部として形成される鍔部をそれぞれ設け、この鍔部の上面に係合させた固定部材の前記流量計本体から離して位置付けられる端部を前記マニホールド体にねじ止めして前記気体流量計をマニホールド体に装着することを特徴とする気体流量計の取り付け方法。 A flow meter body having a substantially rectangular parallelepiped shape having a fluid introduction port and a fluid discharge port on the lower surface, and a flow path connecting the fluid introduction port and the fluid discharge port formed therein, and the flow path of the flow meter body When using a gas flow meter provided with a mass flow sensor provided in the manifold body formed with the gas introduction path and the discharge path,
The both end portions facing each other in the arrangement direction of the fluid inlet and said fluid outlet of said flowmeter body, continuous to the lower surface thereof to protrude from the respective ends, the lateral grooves provided in the width direction lower side of the The gas flowmeter is provided with a flange formed as a protruding edge, and an end portion of the fixing member engaged with the upper surface of the flange being positioned away from the flowmeter body is screwed to the manifold body. A method for attaching a gas flowmeter, comprising attaching a manifold to a manifold body.

前記固定部材は、前記流量計本体の端部の幅よりも長尺の棒状体からなり、その端部にねじ穴を穿いたものである請求項３に記載の気体流量計の取り付け方法。 The method for attaching a gas flow meter according to claim 3 , wherein the fixing member is made of a rod-like body that is longer than the width of the end portion of the flow meter body, and a screw hole is formed in the end portion.