JP5034769B2 - 計測方法、計測装置及びプログラム - Google Patents
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Description
以下に、本発明の一実施形態に係る計測装置の構成及び各構成の役割について図面を参照しながら説明する。該計測装置は、チップ型電子部品を収納するための凹部が形成されたキャリアテープの凹部の断面形状を計測するためのものである。図1は、キャリアテープ24の外観斜視図である。図2は、該計測装置10の構成を示したブロック図である。図3は、レーザ変位計20の構成を示したブロック図である。図4(a)は、キャリアテープ24の上視図である。図4(b)は、キャリアテープ24の拡大図である。図5は、キャリアテープ24のAにおける断面構造図である。
以上のような構成を有する計測装置10について、以下にその動作について図面を参照しながら説明する。図8は、制御部30が行う動作を示したフローチャートである。なお、フローチャートでの処理は、制御部30において、記憶部32に格納されたソフトウエアを実行することによって実現してもよいし、それら各処理を行う専用のハードウエア回路を用いて実現してもよい。
以上のように、計測装置10によれば、制御部30は、A/D変換器14、レーザ変位計コントローラ18及びレーザ変位計20により計測して得た計測点Pに基づいて、凹部40のおおよその3次元形状を生成している。更に、制御部30は、生成したおおよその凹部40の3次元形状に対して仮想面Iを設定し、凹部40の断面形状情報を生成している。ここで、凹部40の計測点PのZ座標は、実際に計測された値であるので、仮想面IのZ座標と完全に一致するものは殆ど存在しない。そこで、計測装置10では、制御部30が、直線補間法等の補間法を用いて、仮想面Iにおける断面形状情報を生成している。そのため、ユーザは、凹部40の任意のZ座標において精度よい断面形状Lを得ることができる。
なお、本実施形態に係る計測装置10では、レーザ変位計20の計測方式として、共焦点式が用いられているが、レーザ変位計20の計測方式はこれに限らない。レーザ変位計20の計測方式として、光レーダ法、三角測量法、自動焦点法等が用いられてもよい。ただし、前記のように、三角測量法の場合には、凹部40の形状の計測ができない死角が形成されてしまう。
A0:凹部40の横サイズ
B0:凹部40の縦サイズ
W0:テープ幅
E1:上縁部60から送り孔42の中心までの距離
E2:下縁部62から送り孔42の中心までの距離
F:送り孔42から凹部40までの中心間距離
P0:送り孔42の中心間距離
P1:凹部40の中心間距離
P2:送り孔42と凹部40との中心間距離
D0:送り孔42の直径
K0:凹部40の深さ
T:シート厚さ
12 パソコン
14 A/D変換器
16 ステージコントローラ
18 レーザ変位計コントローラ
20 レーザ変位計
22 xyステージ
24 キャリアテープ
30 制御部
32 記憶部
34 入力部
36 表示部
40 凹部
42 送り孔
50 チップ型電子部品
52 発光部
54 受光部
56 ハーフミラー
58 撮影部
60 上縁部
62 下縁部
B レーザ光
E 計測領域
I 仮想面
L 断面形状
P,p 計測点
S 主面
W ウインドウ
Claims (9)
- 電子部品を収納する凹部が形成されたキャリアテープの形状を計測する計測方法において、
計測領域を前記キャリアテープの一部を含むように設定するステップと、
前記計測領域内の複数の計測点に向けてレーザ光を照射して、該複数の計測点における3次元の座標情報を取得するステップと、
前記キャリアテープの主面上における前記計測点の座標が水平面と一致するように、前記複数の計測点における前記座標情報を補正するステップと、
前記キャリアテープの主面に平行な仮想面を設定するステップと、
複数の前記計測点が含まれるウインドウを生成し、前記仮想面のキャリアテープの主面に垂直な方向の座標よりも大きい座標を有する該計測点及び小さい座標を有する該計測点が該ウインドウ内に存在する場合には、該ウインドウ内の該複数の計測点の前記座標情報に基づいて、補間点を生成すると共に、該ウインドウを走査して得られた前記複数の補間点の座標情報に基づいて、前記仮想面における前記キャリアテープの断面形状情報を生成するステップと、
を備えることを特徴とする計測方法。 - 前記計測領域は、前記凹部を含むように設定され、
前記仮想面は、前記キャリアテープの主面と平行な面であること、
を特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記仮想面は、前記凹部の底面、該凹部の開口、又は、該底面と該開口との間のいずれかに設定されること、
を特徴とする請求項2に記載の計測方法。 - 前記座標情報を取得するステップでは、前記計測領域において2次元に配置された前記複数の計測点に向けて前記レーザ光を照射すると共に、前記キャリアテープから反射してくる該レーザ光に基づいて、該複数の計測点における鉛直方向の座標情報を取得すること、
を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の計測方法。 - 前記レーザ光を生成する装置は、出射光の光軸と反射光の光軸とが一致している共焦点式レーザスキャナであって、
前記座標情報を取得するステップでは、前記レーザ光を鉛直方向から照射すること、
を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の計測方法。 - 前記キャリアテープは、搬送用に形成された送り孔を備え、
前記計測領域は、前記送り孔又は前記キャリアテープの縁部を含むように設定されること、
を特徴とする請求項1、請求項4又は請求項5のいずれかに記載の計測方法。 - 前記断面形状情報に基づいて、前記計測領域における前記キャリアテープの断面形状のサイズを算出するステップを、
更に備えること、
を特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の計測方法。 - 電子部品を収納する凹部が形成されたキャリアテープの形状を計測する計測装置において、
計測領域を前記キャリアテープの一部を含むように設定する計測領域設定手段と、
前記計測領域内の複数の計測点に向けてレーザ光を照射して、該複数の計測点における3次元の座標情報を取得する座標情報取得手段と、
前記キャリアテープの主面上における前記計測点の座標が水平面と一致するように、前記複数の計測点における前記座標情報を補正する補正手段と、
前記キャリアテープの主面に平行な仮想面を設定する仮想面設定手段と、
複数の前記計測点が含まれるウインドウを生成し、前記仮想面のキャリアテープの主面に垂直な方向の座標よりも大きい座標を有する該計測点及び小さい座標を有する該計測点が該ウインドウ内に存在する場合には、該ウインドウ内の該複数の計測点の前記座標情報に基づいて、補間点を生成すると共に、該ウインドウを走査して得られた前記複数の補間点の座標情報に基づいて、前記仮想面における前記キャリアテープの断面形状情報を生成する断面形状情報生成手段と、
を備えることを特徴とする計測装置。 - 電子部品を収納する凹部が形成されたキャリアテープの形状を計測する計測装置に、
計測領域を前記キャリアテープの一部を含むように設定するプログラムステップと、
前記計測領域内の複数の計測点に向けてレーザ光を照射させて、該複数の計測点における3次元の座標情報を取得するプログラムステップと、
前記キャリアテープの主面上における前記計測点の座標が水平面と一致するように、前記複数の計測点における前記座標情報を補正するプログラムステップと、
前記キャリアテープの主面に平行な仮想面を設定するプログラムステップと、
複数の前記計測点が含まれるウインドウを生成し、前記仮想面のキャリアテープの主面に垂直な方向の座標よりも大きい座標を有する該計測点及び小さい座標を有する該計測点が該ウインドウ内に存在する場合には、該ウインドウ内の該複数の計測点の前記座標情報に基づいて、補間点を生成すると共に、該ウインドウを走査して得られた前記複数の補間点の座標情報に基づいて、前記仮想面における前記キャリアテープの断面形状情報を生成するプログラムステップと、
を実行させることを特徴とするプログラム。
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JP2007212427A JP5034769B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 計測方法、計測装置及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007212427A JP5034769B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 計測方法、計測装置及びプログラム |
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JP2009047493A JP2009047493A (ja) | 2009-03-05 |
JP5034769B2 true JP5034769B2 (ja) | 2012-09-26 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007212427A Active JP5034769B2 (ja) | 2007-08-16 | 2007-08-16 | 計測方法、計測装置及びプログラム |
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