JP5022076B2 - 透明電極及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の透明電極は、透明基板の表面に導電性金属で構成された線状部を有する。すなわち、線状部は、透明基板の表面に一体化して形成されており、透明基板の表面で二次元ネットワーク状(ランダム又は規則的な網目状)に連なっている。このように、導電性金属が透明基板の表面で連続しているため、本発明の透明電極は導電性が高い。
本発明の透明電極は、導電性金属微粒子を有機溶媒中に分散させた塗布液(ドープ液)を透明基板上に塗布し、かつ高湿度下で乾燥させて透明電極前駆体を得る乾燥工程と、前記透明電極前駆体を焼成する焼成工程とを含む製造方法により得られる。
銀ナノ粒子(三ツ星ベルト(株)製、平均粒径4nm)1mgをクロロホルム1mlに分散させて、銀ナノ粒子を含む塗布液を調製した。温度40℃、湿度70%の空気をガラス基板(コーニング社製、商品名「1737液晶用無アルカリガラス」)に加湿機(ヤマト科学(株)製、Humidic Chamber IG47M)を用いて、2リットル/分の風量で吹き付けながら、ガラス基板上に塗布液を塗布量2200ml/m2で滴下、乾燥させ、透明電極前駆体を作製した。得られた透明電極前駆体表面の走査型電子顕微鏡(SEM)写真(1000倍)を図1に示す。この写真から、前駆体の表面は、規則性を有する銀の網目構造を形成していることが観察できた。網目構造の開口部直径は約1〜5μmであり、網目構造の幅は100〜500nmであり、開口部の面積は全表面の86.2%であった。
温度25℃、湿度20%の空気で乾燥する以外は実施例1と同様にして、塗布、乾燥及び焼成を行い、電極を製造した。得られた電極表面のSEM写真(30000倍)を図3に示す。この写真から、電極の表面全体に銀ナノ粒子が覆っており、開口部の面積は全表面の0%であった。
温度25℃、湿度20%の空気で乾燥し、かつ塗布液を1500rpm、30秒で、ガラス基板上にスピンコートする以外は実施例1と同様にして、塗布、乾燥及び焼成を行い電極を製造した。得られた電極表面のSEM写真(30000倍)を図4に示す。この写真から、電極の表面では、隣接する銀ナノ粒子が少なかったため、網目構造をとることができず、縞状に銀が点在していることがわかる。この電極の表面抵抗は、106Ω/□以上の高抵抗であった。
Claims (7)
- 導電性金属微粒子を有機溶媒中に分散させた塗布液を透明基板上に塗布し、かつ相対湿度50〜95%で乾燥させて透明電極前駆体を形成する乾燥工程と、前記透明電極前駆体を焼成する焼成工程とを含む透明電極の製造方法。
- 乾燥工程において、微小水滴を凝縮させ、透明基板表面に、孔部に前記微小水滴を有する導電性金属で構成され、かつ前記孔部面積の割合が80%以上である網目状の多孔質体を形成する請求項1記載の製造方法。
- 乾燥工程において、温度20〜99℃の条件下で乾燥する請求項1記載の製造方法。
- 導電性金属微粒子が導電性金属ナノ粒子である請求項1記載の製造方法。
- 導電性金属が、少なくとも周期表第1B族金属を含む請求項4記載の製造方法。
- 導電性金属が銀である請求項4記載の製造方法。
- 塗布液中の導電性金属微粒子の割合が、有機溶媒1mlに対して、0.01〜100mg/mlである請求項1記載の製造方法。
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