JP5015024B2 - 超小型回路の試験ソケット用接点インサート - Google Patents

超小型回路の試験ソケット用接点インサート Download PDF

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Description

本発明は、超小型回路を試験する設備の改良に関する。
超小型回路用の製造処理は、全ての超小型回路が完全に機能することを保証することができない。個々の超小型回路の寸法は微細であり、処理工程は非常に複雑であり、製造処理における非常に小さなまたは微妙な故障は、多くの場合、不具合のある装置をもたらす虞がある。この理由から、超小型回路の試験は、半導体の製造および回路基板の組立産業の両方において広く実施されるようになった。
超小型回路のコストが頻繁にかなり小さい一方で、或る装置を回路基板に取付けることは、回路基板のコストおよび製造コスト自体による実質的な価値を増大させる。設置は、回路基板に超小型回路をはんだ付けすることを通常必要とし、通常は可逆的ではない。回路基板に一旦取付けられたならば、超小型回路を取り除くことは、多くの場合、回路基板を駄目にする。このように、超小型回路に不具合がある場合には、回路基板はそれ自体、恐らく同様に駄目になり、それは、その時点での回路基板の全体的な価値が失われることを意味する。
これらの全ての理由から、超小型回路は、通常、回路基板上への設置前に試験される。略全ての不具合のある装置を識別するが、例外的に良い装置を不具合のあるものとして識別する方法で、各々の超小型回路は試験されなければならない。いずれの種類の誤りも、全体的な製造処理のコストを増大させる。
超小型回路の試験設備はそれ自体、かなり複雑である。第一に試験設備は、正確に、低い抵抗で、一時的な負荷で、非破壊で、小さく緊密に離隔された超小型回路の端子の全部に接触させなければならない。超小型回路の端子の小さな大きさと、隣接する端子対間の小さな間隔とのために、試験設備の接点と超小型回路の端子パッドとの間の小さな位置決め誤差でさえ、正しくない接続を生じさせるであろう。誤って位置決めされるか、そうでなければ正しくない超小型回路への接続は、試験設備に超小型回路(つまり、被測定装置(DUT:Device Under Test))を不具合のあるものとして識別させ、それは、たとえ故障の理由がDUT自体の不具合というよりも接続不具合であっても、そうなるであろう。
超小型回路の試験設備における更なる問題は、自動試験で生じ、ここでは単一のシステムは、1分間当たり100個以上のDUTを試験可能である。非常に多くの試験では、DUT端子が試験設備の接点と噛み合い、それらに対して擦れるため、試験設備の接点における磨耗を生じさせる虞がある。この擦れは、多くの場合、DUT端子から粒子を生じさせ、その後に粒子は、試験設備の接点上に蓄積される虞がある。更に、DUTパッケージは、DUT製造処理から取り出された油または型分離材料のような混入物質を、試験設備の接点および試験設備の他の構成要素に運ぶ虞がある。
粒子および他の混入物質は、それらが試験中にDUT端子と試験設備の接点との間の電気的接続を妨げるまで最終的には蓄積する虞があり、それは、DUTに不具合があるという正しくない試験結果をもたらす虞がある。粒子は、互いに隣接する試験設備の接点同士の間の漏出経路を生成することもあり、更に、DUTに不具合があるという正しくない試験結果に導く。
設置前に多くの場合に試験される或る特定の種類の超小型回路は、超小型回路パッケー
ジの平坦な底面上の比較的大きい中央部に配置された接地(CG)端子を有する。超小型回路の信号と電力(S&P)の端子は、所定アレイにおけるCG端子を包囲する。この構成の端子を有する超小型回路パッケージは、CGパッケージと呼ばれることがある。
図1Aと図1Bは、CGパッケージとして構成されるDUT用の試験システムの一部を集合的に形成するハウジング15と関連構造の、現在の最先端技術を示す。完全な試験システムにおいて、ハウジング15は、位置決め板と負荷基板(いずれも図1Aと図1Bでは図示略)の間に嵌合する。ハウジング15は、絶縁材料から作られる。位置決め板、負荷基板、およびハウジング15のこの構成は、超小型回路試験技術においては周知である。
完全な試験システムは、開孔を設けた位置決め板を備える。開孔の壁は、スロット21のアレイに保持される試験端子としての試験接点(図示略)に対して、X軸およびY軸方向にDUTを正確に位置させる。つまり位置決め板の開孔は、試験窪みまたは空洞の壁を規定し、DUTは、試験手順におけるローダ(loader)またはハンドラによって配置される。典型的には、スロット21のアレイは、4つの象限を備えており、その各々のうちの1つは、Z軸に沿って、位置決め板の開孔の4つの壁または縁のうちの1つに隣接して位置する。
ハウジング15のハウジング面29は、図1Bに示すインサート25を受容する開孔28を有する。インサート25は、インサート25の上面(天板)であるインサート上面16の中央に位置するCG試験接点13を有する。CG試験接点13は、インサート上面16から突出する。CG試験接点13は、インサート25の本体と電気的接続する。CG試験接点13は、インサート25に対してZ軸方向に延び、弾性的にインサート25に取付けられる。開孔28の壁からは、固定され且つ剛性を有する保持突起が延びる。保持突起は、開孔28内にインサート25を保持すべく、インサート25の凹部31に突出する。
ハウジング面29とインサート上面16は、DUTが載置される床または底を形成する。インサート上面16は、ハウジング面29の平面から僅かに上方に突出する。インサート上面16は、CG端子でDUT表面上のCG端子を包囲するDUT上の全てのS&P端子内にそれを配置するような、設置面積を有する。これは、S&P端子へのアクセスのための隙間を提供する。
CG試験接点13の最上端は、Z軸方向に撓まないときには、図1Bで見られるように、インサート上面16から、僅かに上方に突出する。インサート25の底端27は、インサート25用の電気的接触を有し、負荷基板の表面に機械的に載置され、且つ、負荷基板の表面によってZ軸方向に支持される。このようにして、DUTのCG端子は、負荷基板に電気的に接続される。このようなハウジング15およびインサート25の構成において、インサート25は、ローダがDUTをCG試験接点13およびインサート上面16に向かって押しているときにだけ、負荷基板に向かって押される。
ハウジング15のスロット21は、スロット21からハウジング面29に向かって突出するS&P試験接点を保持する。各々のスロット21の中央−中央間隔は、各々のS&P試験接点をDUT上の対応するS&P端子に位置決めし、それによって、S&P試験接点が、試験用の対応するS&P端子と良い電気的接触をすることを可能にさせる。CG試験接点13のように、各々のS&P試験接点は、Z軸方向に弾性的に撓むように設計される。
試験を開始するために、ローダは、試験するための所定位置(試験位置)にDUTを移動させる。すると、試験位置において、DUTのCG端子は、CG試験接点13に向かっ
て押され、DUTのS&P端子は、S&P試験接点に向かって押され、DUTのCG試験接点13の包囲接点の表面は、インサート上面16に向かって押される。試験位置では、S&P接点の全ては、それぞれのDUT端子が加える力によってZ軸方向に僅かに撓む。それらのそれぞれのDUT端子上の個々の試験接点のこの力は、S&P接点の全てが、DUT端子との良い電気的接触をなすことを保証する。この構成は、恐らく、各々のDUTのS&P端子と、対応する試験接点との間の一定な接触圧力を生じさせ、いずれかの損傷を防止する。
試験位置では、負荷基板は、インサート25をZ軸位置に保持し、DUTのZ軸位置決め用の堅固なストッパを提供し、DUTの行過ぎを防止する。この構成は、各々のDUTのZ軸位置が、それぞれ試験されるときに殆ど同一であることを保証する。CG試験接点13に対するCG端子の力は、インサート25へのCG試験接点13の弾性的な取付けによって制御され、適切な接触力、ならびに、試験中のインサート25とDUTのCG端子との間の適切な擦れをもたらすように設計される。
現在の試験設備設計においては、インサート25の取付けは、DUTが試験位置に無いときには、インサート25を負荷基板に接触するように強くは付勢しない。DUTが試験位置に移動し、インサート25に向かって押されるときには、ローダのDUTに対する圧力は、多くの場合、X、Y、およびZ軸の各々に沿ってインサート25を、開孔28内で且つ負荷基板上で非常に僅かに移動させる。
米国特許第7,699,616号明細書 米国特許第6,861,667号明細書 米国特許第6,437,585号明細書
この移動は、DUTの挿入が何千回も繰り返されたときに、インサート25、ハウジング15、およびインサート25に接触する負荷基板パッドに、重大な磨耗を生じさせる虞がある。この磨耗の影響は、これらの構成要素の交換を必要とし、その間の時間は試験設備を使用できない。磨耗は、上で説明したように、試験処理を妨げる虞がある残骸を更に生じさせる。
システムは、中央接地(CG)端子を有する超小型回路を試験する。システムは、接地端子を第1面の上に有する負荷基板を備える。負荷基板の第1面に取付けられるハウジングは、超小型回路を受容する。ハウジングは、ハウジングの第1面対応領域に隣接して配置された試験端子を担持する。更にハウジングは、ハウジングの第1面対応領域から負荷基板の接地端子に向かって開口する開孔を備える。
使用の際には、試験中の超小型回路は、ハウジングの第1面対応領域上に取付けられ、CG端子は開孔に位置決めされる。開孔は、基準(負荷基板の第1面に対して垂直なZ軸)の容易さを実現する。
開孔は、電導性接地コネクタ・インサートを保持する。インサートは、超小型回路のCG端子に接触するCG端子接触端を有する。CG端子接触端は、ハウジングの第1面対応領域に隣接する開孔から突出する。更にインサートは、負荷基板の接地端子に接触するための負荷基板接触端を有する。負荷基板接触端は、負荷基板に隣接する開孔から突出する。
実際の発明は、Z軸に対して実質的に垂直に延びる第1突起を備える。第1突起はインサート側部から突出する。更に本発明は、第1突起を受容するスロットを、開孔を規定する壁に備える。その結果、インサートは、開孔内の所定のZ軸位置に保持される。
好ましい実施形態において、突起は、負荷基板の第1面に平行な方向に関する所定寸法を有する。スロットは、第1突起の寸法に対応する寸法を有する。スロットと第1突起の寸法は、開孔内においてZ軸方向にインサートを位置決めしつつ保持するための戻止めを設定可能である。
例えば、戻止め機能は、突起の所定寸法よりも小さな所定寸法を有するスロットを提供することによって構成可能であり、突起は弾性材料から作られる。インサートを開孔に設置することによって、突起は歪む。突起の弾性は、突起自体とスロットの間の摩擦力を生じさせる。スロットは、インサートを保持する開孔を規定する壁に設けられる。
この設計は、インサートと、負荷基板の接地端子との間の接触部への残骸の移動を制限すべく、負荷基板と前記負荷基板の接地端子とに向かって、CG端子接触端をしっかりと押す付勢力を提供する更なる改良にとって役立つ。
この改良は、負荷基板から離隔する棚部を、開孔に備える。インサートは、Z軸を横切って延びる弾性の第2突起を備える。第2突起は、Z軸方向に関して棚部と一列に並ぶ。棚部と第2突起のZ軸位置は、インサートが所定のZ軸位置にあるときに、第2突起の弾性撓みまたは歪みを生じさせる。この撓みまたは歪みは、負荷基板接触端を負荷基板に向かってしっかりと押す力を生じさせる。
図2の斜視図は、負荷基板58から見た、改良されたハウジング15aを示す(つまり、ハウジング15aの底が上を向いている)。インサート30は、ハウジング15aの開孔40に挿入されるように位置決めされる。壁39は、開孔40を規定し、開孔40のZ軸17と実質的に平行である。
開孔40を包囲するハウジング15aの部分は、DUTのS&P端子との電気的接触をなす試験端子としての試験接点(図示略)を保持し、且つ、一列に並んだスロット21を有する。開孔40は、負荷基板58に向かうハウジング15aの第1面対応領域としてのハウジング面44から、DUT取付け側に向かって、ハウジング15aを完全に貫通する。ハウジング15aは、開孔40内にインサート30を設置する処理を容易にするための、開孔40を包囲する斜面48を有する。ハウジング面44は、個々のスロット21同士の間の上に向いた面と、実質的に面一である。
図2は、負荷基板58の一部を仮想線で示し、インサート30はハウジング面44に向かう(図2に示すように、読者から遠ざかるように向かう)。負荷基板58の第1面は、平坦であり、ハウジング15aに組立てられたときにZ軸17に対して実質的に垂直である。負荷基板58の第1面は、インサート30に対向する接地端子52を担持する。負荷基板58の第1面上のコンダクタ経路55は、接地端子52に通じるように示す。ハウジング15aが負荷基板58に取付けられるときには、ハウジング面44は、負荷基板58の第1面上に実質的に位置する。
開孔40は、図1Aに示された開孔28の改良であり、インサート30は、図1Aおよび図1Bに示されたインサート25の改良である。電気的には、インサート30はインサート25と同様である。改良された開孔40は、インサート30を受容および保持し、インサート30を接地端子52に一定の圧力で付勢するように、改良されたインサート30の特徴と協働する。
開孔40は、一対の互いに同一のスロット(凹部)43a,43bを、壁39に備える。スロット43a,43bは、互いに対向し、内方および下方に向かう鍵穴形状である。
「下方」は、図2がハウジング15aを負荷基板58から、つまり、下方から示すことを意味する。互いに同一のスロット43a,43bは、インサート30の第1突起(弾性突起)33を受容するように形成され、且つ、Z軸に関して一列に並んで位置する。一対の第1突起33は、互いに反対側で同一である。図2において、読者に近い方の鍵穴状のスロット43bは部分的にしか見えず、また、読者から遠い方の第1突起33は、見えない。第1突起33は、好ましくはエラストマ製である。X軸に沿って互いに面したスロット43a,43bの内面は、実質的に球状である。
スロット43a,43bは、ハウジング面44と負荷基板58の第1面とに隣接する端部で狭くなっている。インサート30が開孔40内に付勢される場合、第1突起33は、これらの狭くなった端部を通過するときに変形し、次に、スロット43a,43bのより大きい底部に到達したときに拡張する。第1突起33およびスロット43a,43bは、開孔40内にインサート30を保持する戻止めを形成するように協働する。このように、ハウジング15aを負荷基板58に取付けるとき、恐らく多数のインサート30のそれぞれをハウジング15aに保持すると同時に、個々のインサート30を開孔40内に付勢することは容易である。
図3Aは、CG端子接触端としてのCG接触面(試験接触面)19が見える、改良されたインサート30を示す。図3Bは、負荷基板接触端としての負荷基板接触面41を示し、図3Aに対してZ軸17回りに90°回転したインサート30を示す。X軸とY軸は、互いに垂直であり、且つ、Z軸17に対して垂直である。更に、インサート30の取付けは、負荷基板58上におけるインサート30のズレに抵抗し、それは、多数のDUTを試験した後での負荷基板接触面41と負荷基板58の間の空間への残骸の移動を防止する。図1Aと図1Bのインサート25とは異なり、インサート30は、負荷基板58に関する固有の追従機能を有さず、Z軸17に沿ったDUT位置を規制するように堅固なストッパとしての機能のみを果たす。試験用DUTを取付けるローダは、DUTをZ軸方向に関して位置決めをするための追従を提供する。
公知の原理によれば、好ましいインサート30は、第1穴18を有する。第1穴18は、負荷基板接触面41から、インサート30を貫通して、CG接触面19に延びる。第1穴18は、負荷基板接触面41とCG接触面19の間の高周波信号の電導を改善する。高周波信号の送信は、負荷基板接触面41からCG接触面19への滑らかな側壁をインサート30に設けることによって、更に改善される。
前の段落に記述された設計に関する1つの問題は、CG接触面19と、生産DUT試験中の個々のDUTの多数のCG端子との間の接触によって生じた残骸が、第1穴18を通過して、負荷基板接触面41と接地端子52の間の接触部に移動し得ることである。この残骸は、負荷基板接触面41と接地端子52の間の良好な電気的接触を妨げる虞があり、接地端子52の磨耗を生じさせる虞がある。
好ましい実施形態において、第1突起33は、Z軸17および第1穴18を実質的に横切る第1弾性シリンダを備える。第1弾性シリンダは、第2穴に締嵌めされ、第1突起33を形成するように第2穴から突出する。第2穴は第1穴18と交差する。第2穴内の第1弾性シリンダは、第1穴18を完全に閉塞することによって、CG接触面19から第1穴18を通過して負荷基板接触面41に向かう残骸の移動を防止し、接地端子52の摩耗を低減し、その結果、負荷基板接触面41と接地端子52の間の電気的接触を改善する。
更に、開孔40は、概して負荷基板58に向かうようにハウジング15aに形成された一対の棚部47を有する。一対の棚部47は、開孔40を横切って互いに対向し得る。棚部47は、スロット43a,43bを収容すべく、開孔40の側部に対して交差するよう
に延びることが可能である。図2において、読者に近い方の棚部47は、見えない。
第2突起(付勢突起)36は、インサート30の側部から突出する。第2突起36は、インサート30の側部のうち、第1突起33を担持する側部に対して垂直な側部から、突出する。好ましくは、第2突起36は、インサート30の第3穴内に嵌合する第2弾性シリンダを備える。第2弾性シリンダは、通常はエラストマを含む。第3穴は、好ましくは、Z軸17と第2穴の両方に対して垂直である。前述のように第2穴は、第1突起(保持突起)33を形成する第2弾性シリンダを保持する。
インサート30が開孔40内に取付けられ、ハウジング15aが負荷基板58に適切に取付けられるとき、第2突起36に対する棚部47の圧力は、第2突起36を歪ませる。歪んだ第2突起36は、負荷基板58に向かってインサート30を弾性的に付勢する付勢力を生じさせる。この付勢力は、残骸が、負荷基板接触面41と接地端子52の間の接触部に侵入することを制限する。
インサート30は、ハウジング15aを負荷基板58に取付ける前に、負荷基板58から開孔40に向かうように開孔40内に入れられる。プローブまたはツールは、第1突起33をスロット43a,43b内に付勢するために使用される。第1突起33は、この設置処理中に変形する。第1突起33は、インサート30を開孔40内に確実に保持すべく、スロット43a,43b内に緊密に嵌合するべきである。
図4は、CG接触面19がハウジング15aの隣接面の上に突出していないという状態が示唆するように、負荷基板58に取付けられる前のハウジング15aの側面図である。インサート30は、開孔40内に取付けられるように示され、エラストマ製の第1突起33は、読者の方に向かう。インサート30の負荷基板接触面41は、ハウジング15aのハウジング面44から突出する。棚部47が第2突起36に軽く接触している状態から、第1突起33はスロット43a,43b内に押される。
ハウジング15aを負荷基板58に取付けることは、負荷基板58の接地端子52を、隣接する負荷基板接触面41に向かって押し、それによって、インサート30を開孔40内に更に深く付勢する。その結果、負荷基板接触面41は、負荷基板58とハウジング面44とに面一で位置決めされるべく接近する。このようなインサート30の移動は、棚部47に対して第2突起36を弾性的に歪ませる。第2突起36の弾性的な歪みは、インサート30を、負荷基板58の接地端子52に向かって実質的な力で押す。このように第2突起36は、負荷基板接触面41と接地端子52に連続的な機械的負荷を付与し、更に、負荷基板接触面41と接地端子52の間の電気的接触を生じさせる。
設置完了後、CG接触面19は、ハウジング15aの隣接面の上に突出する。更に、設置完了後のインサート30は、依然として開孔40から僅かに突出し、その結果、負荷基板接触面41は、図4に示すように開孔40に隣接するハウジング面44の下にある。
インサート30および第2突起36の寸法と、インサート30の第1突起33と第2第2突起36の相対位置と、棚部47およびスロット43a,43bの相対位置とは、全て協働する。その結果、負荷基板58にハウジング15aを取付ける工程によって、負荷基板58に対向するハウジング面44は、インサート30をZ軸17に沿ってDUT試験位置に向かって移動させ、更に、エラストマ製の第2突起36を同時に撓ませるか、または歪ませる。
ハウジング15aにインサート30を保持するための第1突起(弾性部材)33と、負荷基板58に向かってインサート30を押すための第2突起(弾性部材)36との使用は
、剛性を有する構成要素を使用する取付けに対する利点を提供する。仮に、剛性を有する構成要素が使用される場合には、これらの構成要素の互いに対する不可避的な移動は、残骸を生じさせる磨耗、そして、多くの場合、インサート30の保持不具合をもたらし得る。
しかし、エラストマ製の第2突起36の撓みまたは歪みは、負荷基板58に向かってインサート30に予め負荷を付与すべく、第2突起36の弾性を生じさせる。負荷基板58に対してインサート30に予め負荷を付与する圧力または力は、DUTが試験位置に到達したとき、および取り出すときに、インサート30と負荷基板58の間の擦れおよび摩耗の多くを防止する。
負荷基板58と、負荷基板接触面41の1〜2mmの範囲の面積を有する個々のインサート30との間の約0.98〜1.32MPa(約100〜135グラム)の範囲の圧力は、負荷基板58とインサート30との殆どの擦れおよび摩耗を低減または防止し、また、接地端子52と、インサート30の負荷基板接触面41との間の空間への残骸の移動を防止すると考えられる。その圧力は、如何なる場合も、DUT試験の全ての段階の間、負荷基板58に対してインサート30をしっかりと保持するのに適切であるべきである。第2突起36の弾性率および大きさは、接地端子52上の負荷基板接触面41に所望負荷を提供するように選択されるべきである。通常、これらのインサート30のうちの幾つかは、単一のハウジング15a内に設けられることを注記しておく。負荷基板58の適切な位置にハウジング15aを付勢するのに必要な力の合計は、全てのインサート30に対する全ての力の合計である。
本実施形態において、インサート30は、ローダによって試験位置に保持されるDUTによって加えられた力に応答するZ軸17方向の固有の追従なしに剛性を有する。インサート30は、DUTの行過ぎを防止する堅固なストッパ機能を提供する一方で、ローダは、DUTを試験位置に移動させ、DUTを試験位置に保持する。Z軸17に沿ったDUTの行過ぎは、試験設備の接点または負荷基板58の恒久的な歪みを生じさせる虞があるため、望ましくない。ローダ構造は、その代りに、好ましくは、DUTとインサート30の間の正確な堅固なストッパの試験状態の高さを提供する。
インサート30を負荷基板58に押すために第2突起36によって生じる力は、第2突起36の大きさ、棚部47とインサート30の間の間隔、および第2突起36の材料の関数である。負荷基板58とインサート30の間の力を所望範囲内で生じさせるために、ハウジング15aを負荷基板58に取付けるのに先立ち、次のパラメータが代表的である:
エラストマ製の第2突起36の直径:0.406mm(0.016”)、
エラストマ製の第2突起36の長さ:1.75mm(0.069”)、
棚部47とインサート30の間の公称間隔:0.152mm(0.006”)、
ハウジング15aが負荷基板58に取付けられたときの第2突起36の公称撓み:0.152mm(0.006”)、
第1突起33と第2突起36の材料デュロメータ測定値:70D±5DのショアA硬さを持ったエラストマ、
ハウジング15aを負荷基板58に取付ける前の、ハウジング面44からのインサート30の突出:0.152mm(0.006”)。
更に、スロット43a,43bと第1突起33の寸法および位置は、インサート30が開孔40内に設置されるときにインサート30を適切に保持可能に設定されることが重要である。ハウジング15aを負荷基板58に取付けることによって、インサート30は、Z軸17に沿って移動させられる。その設計は、負荷基板58がインサート30に力を加える前に、図4に示すように、スロット43a,43bの底部に対する第1突起33のZ
軸方向のオフセット量内で設定される。
次の寸法は、一方では、インサート30を効果的に保持することを提供し、他方では、容易な挿入および取外しを妥当に可能にすると考えられる。なぜならば、この設計が非常に多くの相互関係を持った寸法を有するからであり、他の多くの値の組も同様に容認可能である:
エラストマ製の第1突起33の直径:0.406mm(0.016”)、
スロット43a,43bの最も狭い幅:0.254mm(0.01”)、
スロット43a,43bの底端における球面の直径:0.381mm(0.015”)、
スロット43a,43bの最大深さ(x軸寸法):0.393mm(0.0155”)、
各々の第1突起33がスロット43a,43b内に延びる公称距離:0.220mm(0.0087”)。
図1Aは、先行技術のインサートと位置決め板のアセンブリの、上方からの斜視図。図1Bは、先行技術のインサートの側面図。 端子ハウジングの負荷基板側と、本発明の接地インサートの分解斜視図(アセンブリを上下逆に示す)。 図3Aは、読者に向かってCG端子接触端を備えた、インサートの斜視図。図3Bは、読者に向かって負荷基板接触端を備えた、インサートの斜視図。 インサートと位置決め板の側断面図。
符号の説明
15a ハウジング
17 Z軸
18 第1穴
19 CG接触面(試験接触面)
30 インサート
33 第1突起(弾性突起、保持突起)
36 第2突起(付勢突起)
39 (開孔の)壁
40 開孔
41 負荷基板接触面
43a,43b スロット
47 棚部
52 接地端子
58 負荷基板

Claims (16)

  1. 中央接地(CG)端子を有する超小型回路を試験するために前記超小型回路に電気的接続する試験システムであって、前記試験システムは、
    負荷接地端子(52)を有する負荷基板(58)であって、前記負荷接地端子(52)は前記負荷基板(58)の第1面の上に載せられることと
    前記第1面に取付けられるハウジング(15a)であって、前記ハウジング(15a)は、前記超小型回路を受容すべく、前記ハウジング(15a)の第1面対応領域(44)の周りに配置された試験端子を担持することと;
    前記第1面対応領域(44)において前記負荷接地端子(52)に向かって開く開孔(40)であって、前記開孔(40)は前記第1面対応領域(44)において前記中央接地端子に対して位置決めされ、前記開孔(40)は前記第1面に対して垂直なZ軸(17)を規定することと
    を有し、
    前記ハウジング(15a)は、
    前記開孔(40)内に収容される電導性接地コネクタインサートとしてのインサート(30)と;
    前記中央接地端子に接触するための中央接地端子接触端(19)と;
    前記負荷接地端子(52)に接触するための負荷基板接触端(41)
    を有し、
    前記インサート(30)は、側部と、前記側部から突出して前記Z軸(17)に対して垂直に延びる第1弾性突起(33)とを有し、
    前記ハウジング(15a)は、前記開孔(40)の少なくとも一部を規定する壁(39)を有し、
    前記壁(39)は、前記第1弾性突起(33)と協働することによって
    a)前記開孔(40)内の所定のZ軸(17)位置に前記インサート(30)を保持することと;
    b)前記インサート(30)を前記負荷接地端子(52)に機械的に押圧することと
    のうちの少なくとも一方を提供する構成部(43a,43b,47)を有する
    ことを特徴とする、試験システム。
  2. 前記a)すなわち前記開孔(40)内の所定のZ軸(17)位置に前記インサート(30)を保持するための前記構成部は、スロット(43a,43b)であり、
    前記スロット(43a,43b)の軸線は、前記Z軸(17)に平行であり、
    前記スロット(43a,43b)は、前記負荷基板(58)から離れた端部で開き、
    前記第1弾性突起(33)は、前記スロット(43a,43b)に係合する、
    請求項1記載の試験システム。
  3. 前記第1弾性突起(33)は、前記第1面に平行な方向に関する寸法を有し、
    前記スロット(43a,43b)は、前記第1弾性突起(33)の前記寸法に対応する寸法を有し、
    前記スロット(43a,43b)と前記第1弾性突起(33)の寸法は、前記開孔(40)内においてZ軸方向に前記インサート(30)を位置決めしつつ保持するための戻止めを構成すべく設定される、
    請求項2記載の試験システム。
  4. 前記スロット(43a,43b)の前記寸法は、前記第1弾性突起(33)の前記寸法よりも小さい、
    請求項3記載の試験システム。
  5. 前記インサート(30)は、
    前記負荷基板接触端(41)から前記中央接地端子接触端(19)まで延びる縦穴(18)と;
    前記Z軸(17)を横断して前記縦穴(18)に交差する第1横穴と
    を有し、
    前記第1横穴には、前記第1横穴から突出することで前記第1弾性突起(33)を形成する第1弾性シリンダが差込まれ、
    前記第1弾性シリンダは、前記縦穴(18)と前記第1横穴の交差部で前記縦穴(18)を閉じる、
    請求項4記載の試験システム。
  6. 前記構成部は、前記負荷基板接触端(41)に向かう棚部(47)を有し、
    前記インサート(30)は、Z軸(17)を横切って延びる第2弾性突起(36)を備え、
    前記第2弾性突起(36)は、Z軸(17)方向に関して前記棚部(47)によって位置決めされ、
    前記棚部(47)と前記第2弾性突起(36)のZ軸(17)位置は、前記インサート(30)が所定のZ軸(17)位置にあるときに前記第2弾性突起(36)の撓みを生じさせるように設定される、
    請求項5記載の試験システム。
  7. 前記インサート(30)は、
    Z軸(17)を横切る第2横穴と;
    前記第2弾性突起(36)を形成すべく前記第2横穴から突出する第2弾性シリンダとを有する、
    請求項6記載の試験システム。
  8. 前記第1横穴と前記第2横穴は、互いに垂直であり、且つ前記Z軸(17)方向に互いに離隔して配置される、
    請求項7記載の試験システム。
  9. 前記構成部は、前記負荷基板(58)に向かう棚部(47)を有し、
    前記インサート(30)は、Z軸(17)を横切って延びる第2弾性突起(36)を備え、
    前記第2弾性突起(36)は、Z軸(17)方向に関して前記棚部(47)によって位置決めされ、
    前記棚部(47)と前記第2弾性突起(36)のZ軸(17)位置は、前記インサート(30)が所定のZ軸(17)位置にあるときに前記第2弾性突起(36)の撓みを生じさせるように設定される、
    請求項3記載の試験システム。
  10. 前記b)すなわち前記インサート(30)を前記負荷接地端子(52)に機械的に押圧するための前記構成部は、前記負荷基板(58)に向かう棚部(47)を有し、
    前記第1弾性突起(33)は、Z軸(17)を横切って延び、Z軸(17)方向に関して前記棚部(47)によって位置決めされ、
    前記棚部(47)と前記第1弾性突起(33)のZ軸(17)位置は、前記インサート(30)が所定のZ軸(17)位置にあるときに前記第1弾性突起(33)の撓みを生じさせ、その結果として前記インサート(30)を前記負荷接地端子(52)に機械的に押圧させるように設定される、
    請求項1記載の試験システム。
  11. 前記インサート(30)は、
    Z軸(17)を横切る横穴と;
    前記第1弾性突起(33)を形成すべく前記横穴から端部が突出するように前記横穴に差し込まれる第1弾性シリンダと
    を有する、
    請求項10記載の試験システム。
  12. 前記インサート(30)は、前記負荷基板接触端(41)から前記中央接地端子接触端(19)まで延びる縦穴(18)を有し、
    前記縦穴(18)は、前記横穴に交差し、
    前記第1弾性シリンダは、前記縦穴(18)と前記横穴の交差部で前記縦穴(18)を閉じる、
    請求項11記載の試験システム。
  13. 前記横穴は、前記インサート(30)の一側から、前記一側とは反対側の他側まで延び、
    前記第1弾性シリンダは、前記インサート(30)の前記一側から前記他側まで貫通する、
    請求項12記載の試験システム。
  14. 前記棚部(47)は、前記Z軸に対して垂直である、
    請求項13記載の試験システム。
  15. 前記横穴は、前記インサート(30)の一側から、前記一側とは反対側の他側まで延び、
    前記第1弾性シリンダは、前記インサート(30)の前記一側から前記他側まで貫通する、
    請求項11記載の試験システム。
  16. 前記棚部(47)は、前記Z軸に対して垂直である、
    請求項15記載の試験システム。
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