JP5009709B2 - Optical interference measurement device for thickness measurement - Google Patents
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Description
本発明は、シート状の被検体において測定対象となる被検層(被検体が単層構造の場合は被検体自体)の厚みまたは厚みムラを測定するための光干渉測定装置に関し、特に、測定系に対する姿勢の変化が生じ易い被検体を測定する場合に好適な厚み測定用光干渉測定装置に関する。 The present invention relates to an optical interference measurement apparatus for measuring the thickness or thickness unevenness of a test layer to be measured in a sheet-like specimen (or the specimen itself if the specimen has a single-layer structure), and in particular, the measurement The present invention relates to a thickness-measuring optical interference measurement apparatus suitable for measuring a subject whose posture with respect to a system is likely to change.
従来、測定光束に対して不透明な平行平板の厚みムラを測定する手法として、被検体となる平行平板を挟んで互いに対向するように一対の干渉計を配置し、平行平板の一方の面と干渉計の基準面との形状差と、平行平板の他方の面と他方の干渉計の基準面との形状差とをそれぞれ測定し、測定された各形状差に基づき、平行平板の厚みムラを算定する手法が本願出願人より提案されている(下記特許文献1参照)。 Conventionally, as a method of measuring the thickness unevenness of a parallel flat plate that is opaque to the measurement light beam, a pair of interferometers are arranged so as to face each other across the parallel flat plate as the subject, and interfere with one surface of the parallel flat plate. Measure the difference in shape from the reference plane of the meter and the difference in shape between the other plane of the parallel plate and the reference plane of the other interferometer, and calculate the uneven thickness of the parallel plate based on the measured shape differences. A technique for doing this has been proposed by the applicant of the present application (see Patent Document 1 below).
また、測定光束に対して不透明な平行平板の厚み(絶対厚み)を測定する手法として、被検体となる平行平板を挟んで互いに対向するように一対の干渉計を配置するとともに、波長変調光源を用いる手法が本願出願人より提案されている(下記特許文献2参照)。この手法では、測定光を所定の波長ずつ変化させる毎に撮像された複数枚の干渉縞画像に基づき、平行平板の一方の面から一方の干渉計の基準面までの距離と、平行平板の他方の面から他方の干渉計の基準面までの距離と、一対の干渉計各々の基準面間の距離とをそれぞれ測定し、測定された各距離に基づき、平行平板の厚みを算定する。
In addition, as a method for measuring the thickness (absolute thickness) of a parallel flat plate that is opaque to the measurement light beam, a pair of interferometers are arranged so as to face each other across the parallel flat plate as the subject, and a wavelength modulation light source is used. A method to be used has been proposed by the present applicant (see
近年、可撓性を有するフィルム等のシート状の被検体において、所定の被検層の厚みまたは厚みムラ、例えば、基材上に形成された蒸着膜の厚みや厚みムラを測定したいという要望が高まっている。このような被検体は、測定系に対して一定の姿勢を維持したまま保持し続けることが難しく、部分的に変形したり全体的に撓んだりするなど、姿勢の変化が起こり易い。 In recent years, there has been a desire to measure the thickness or thickness unevenness of a predetermined test layer, for example, the thickness or thickness unevenness of a deposited film formed on a substrate, in a sheet-like test object such as a flexible film. It is growing. Such a subject is difficult to maintain while maintaining a constant posture with respect to the measurement system, and the posture is likely to change, such as being partially deformed or totally bent.
上述の従来手法では、被検体表面からの反射光を被検光とし、該被検光と干渉計の基準面からの基準光とにより形成される干渉縞を観察しているため、被検体の姿勢が変化すると被検光と基準光との光路長が大きく変化してしまい、正確な測定を行うことができなくなる。また、多層構造の被検体における所定の被検層の厚みまたは厚みムラを測定することも原理的に非常に困難である。 In the conventional method described above, the reflected light from the subject surface is used as the test light, and the interference fringes formed by the test light and the reference light from the reference surface of the interferometer are observed. When the posture changes, the optical path length between the test light and the reference light changes greatly, and accurate measurement cannot be performed. It is also very difficult in principle to measure the thickness or thickness unevenness of a predetermined test layer in a test object having a multilayer structure.
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、姿勢が変化し得る状態で保持されたシート状の被検体において、測定対象となる所定の被検層の厚みまたは厚みムラを測定することが可能な厚み測定用光干渉測定装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and measures the thickness or thickness unevenness of a predetermined test layer to be measured in a sheet-like object held in a state in which the posture can change. An object of the present invention is to provide a thickness-measuring optical interference measurement apparatus capable of performing the above-described measurement.
本発明の厚み測定用光干渉測定装置は、姿勢が変化し得る状態で保持されたシート状の被検体において、測定対象となる所定の被検層の厚みまたは厚みムラを測定する厚み測定用光干渉測定装置であって、前記被検層の厚みの光学距離の2倍よりも短い可干渉距離を有する低可干渉光を出力する光源と、前記光源からの出力光を平行光からなる測定光として前記被検体に照射するとともに、前記低可干渉光源から出力された前記低可干渉光を2光束に分岐し、該2光束の一方を他方に対して所定の光路長分迂回させた後に1光束に再合波するパスマッチ経路部と、前記パスマッチ経路部において、前記2光束の一方の光路長を他方に対して微小変化させるフリンジスキャン機構を有する測定光照射手段と、前記被検体に対し前記測定光照射手段とは反対側に配され、前記被検層を透過した光束のうち、該被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を観察し得るように配された観察手段と、を備え、前記パスマッチ経路部は、前記光源から出力された光束を2光束に分岐するビームスプリッタと、分岐された2光束の一方を再帰反射させる第1反射ミラーと、分岐された2光束の他方を再帰反射させる第2反射ミラーとを有し、前記第1反射ミラー及び前記第2反射ミラーから再帰反射され、前記ビームスプリッタにおいて1光束に再合波するとともに、前記所定の光路長が、該所定の光路長と前記被検層の厚みの光学距離の2倍との差が、前記低可干渉光の可干渉距離以下となるように設定されていることを特徴とする。 The thickness measurement optical interference measurement apparatus of the present invention is a thickness measurement light for measuring the thickness or thickness unevenness of a predetermined test layer to be measured in a sheet-like object held in a state in which the posture can be changed. A light source for outputting low coherence light having a coherence distance shorter than twice the optical distance of the thickness of the test layer; and measurement light comprising parallel light as output light from the light source 1 and after the low coherent light output from the low coherent light source is split into two light beams, and one of the two light beams is detoured by a predetermined optical path length with respect to the other. A path match path unit that re-multiplexes with a light beam, a measurement light irradiation unit that has a fringe scan mechanism that minutely changes the optical path length of one of the two light beams with respect to the other in the path match path unit, and Measuring light irradiation hand Of the light beams transmitted through the test layer and passing through substantially the same position with respect to the test layer, the optical paths of each other due to the difference in the number of reflections on both sides of the test layer Observation means arranged so as to be able to observe interference fringes obtained by optical interference between light beams whose length differs by twice the optical distance of the thickness of the test layer, and the path match path section includes the light source A beam splitter that branches the light beam output from the beam into two beams, a first reflection mirror that retroreflects one of the two branched beams, and a second reflection mirror that retroreflects the other of the two branched beams. Then, the light beam is retroreflected from the first reflection mirror and the second reflection mirror and recombined into one light beam in the beam splitter, and the predetermined optical path length is equal to the predetermined optical path length and the thickness of the test layer. With twice the optical distance of But wherein the is set to be equal to or less than the coherence length of the low coherent light.
前記観察手段は、前記被検体に対し前記測定光照射手段とは反対側に配されていることが好ましい。 The observation means is preferably arranged on the opposite side of the subject from the measurement light irradiation means.
前記被検体を挟んで前記測定光照射手段と対向する位置に、該測定光照射手段から前記被検体に向けて照射され該被検体を透過した光を再帰反射する反射基準面が配され、前記観察手段は、前記被検体に対し前記測定光照射手段と同じ側に配されていることが好ましい。A reflective reference surface that retroreflects light that has been irradiated from the measurement light irradiation means toward the subject and transmitted through the subject is disposed at a position facing the measurement light irradiation means across the subject, The observation means is preferably arranged on the same side as the measurement light irradiation means with respect to the subject.
なお、被検体の姿勢の変化とは、被検体が部分的に変形したり、全体的に撓んだりすることや、変形は伴わずに全体的な傾きが変化する場合等を意味する。 Note that the change in the posture of the subject means that the subject is partially deformed or deflected as a whole, or the overall inclination is changed without being deformed.
また、上記「白色光」とは、複数の波長成分を含んだ光を意味するものであり、視覚的に白色と認識される光に限定されるものではない。 The “white light” means light including a plurality of wavelength components, and is not limited to light that is visually recognized as white.
さらに、上記「低可干渉光源」とは、白色光のように多数の波長成分を含んでいるために可干渉距離が短くなっている通常の低可干渉光源の他に、干渉縞の像を撮像素子で取り込んだ際に、通常の低可干渉光源が有する可干渉距離と等価の可干渉距離となるように調整された波長変調光源(特許第3621693号公報参照)を含む概念である。 Furthermore, the above-mentioned “low coherence light source” refers to an image of interference fringes in addition to a normal low coherence light source having a short coherence distance because it contains many wavelength components such as white light. This is a concept including a wavelength-modulated light source (see Japanese Patent No. 3621693) adjusted to have a coherence distance equivalent to that of a normal low coherence light source when captured by an image sensor.
また、上記「観察手段」とは、得られた干渉縞を投影し得るように、その結像面上に配されたスクリーンや、結像面上に配された撮像素子を有する撮像カメラ等を意味する。 The “observation means” refers to a screen arranged on the imaging plane, an imaging camera having an imaging element arranged on the imaging plane, etc. so that the obtained interference fringes can be projected. means.
本発明の厚み測定用光干渉測定装置によれば、平行光からなる測定光を被検体に照射し、該被検体の被検層を透過した光束のうち、該被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を観察するように構成されていることにより、以下のような効果を奏する。 According to the optical interference measuring apparatus for thickness measurement of the present invention, among the light beams that irradiate the subject with measurement light composed of parallel light and pass through the subject layer of the subject, they are substantially identical to the subject layer. Observe the interference fringes obtained by the optical interference of light beams whose optical path lengths are different from each other by twice the optical distance of the thickness of the test layer due to the difference in the number of reflections on both sides of the test layer. By being configured as described above, the following effects can be obtained.
すなわち、被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞は、測定中に被検体の姿勢が変化しても干渉する光束間の光路長差が殆ど変化しないので、被検体表面から反射された被検光と干渉計の基準面からの基準光とにより形成される干渉縞とは異なり、被検体の姿勢変化に影響を受けることなく観察することが可能である。 That is, interference fringes obtained by optical interference between light beams that pass through substantially the same position with respect to the test layer and whose optical path lengths differ from each other by twice the optical distance of the thickness of the test layer are being measured. Even if the posture of the subject changes, the optical path length difference between the interfering light beams hardly changes, so the interference formed by the test light reflected from the subject surface and the reference light from the reference plane of the interferometer Unlike stripes, it is possible to observe without being affected by the posture change of the subject.
したがって、可撓性を有するフィルムのような被検体で、測定中に被検体の姿勢が変化するような場合であっても、所定の被検層の厚みや厚みムラを測定することが可能となる。また、このような特長を有しているので、振動等により被検体の姿勢が変化し易いインプロセス計測への適用が有効である。 Therefore, it is possible to measure the thickness and thickness unevenness of a predetermined test layer even when the posture of the test subject changes during measurement, such as a flexible film. Become. Further, since it has such a feature, it is effective to apply it to in-process measurement in which the posture of the subject easily changes due to vibration or the like.
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
〈第1実施形態〉
図1は本発明の第1実施形態に係る厚み測定用光干渉測定装置の概略構成図であり、図2および図3はその光干渉の原理を示す模式図(図2は被検体が単層構造の場合を示し、図3は被検体が2層構造の場合を示している)である。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical interference measuring apparatus for thickness measurement according to a first embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are schematic diagrams showing the principle of the optical interference (FIG. 2 shows a single layer of a subject). FIG. 3 shows a case where the object has a two-layer structure.
図1に示す厚み測定用光干渉測定装置1(以下「第1実施形態装置1」と称することがある)は、姿勢が変化し得る状態で保持された、可撓性を有するフィルム等のシート状の被検体5において、測定対象となる所定の被検層の厚みまたは厚みムラを測定するものであり、測定系10および解析演算部20を備えてなる。なお、図1において1点鎖線で示すのは、測定系10の光軸Xである。
A thickness-measuring optical interference measuring device 1 shown in FIG. 1 (hereinafter sometimes referred to as “first embodiment device 1”) is a sheet such as a flexible film held in a state in which the posture can be changed. The target object 5 is for measuring the thickness or thickness unevenness of a predetermined test layer to be measured, and includes a measurement system 10 and an
上記測定系10は、測定光照射手段を構成する光源11、ビーム径拡大用の発散レンズ12およびコリメータレンズ14と、被検体5に対し測定光照射手段とは反対側に配された観察手段を構成する収束レンズ16、撮像レンズ17および撮像カメラ18とを備えてなる。
The measurement system 10 includes a light source 11 constituting the measurement light irradiation means, a diverging lens 12 and a
一方、上記解析演算部20は、縞解析等のための各種演算を行う解析装置21と、解析結果等を表示する画像表示装置22と、解析装置21に対する各種入力を行うための入力装置23とを備えてなる。
On the other hand, the
この第1実施形態装置1において、光源11から出力された光束は、発散レンズ12およびコリメータレンズ14を介して平行光からなる測定光に変換され、光軸Xに沿って被検体5に照射される。照射された測定光のうち被検体5を透過した光束は、収束レンズ16および撮像レンズ17を介して撮像カメラ18に取り込まれる。
In the first embodiment apparatus 1, the light beam output from the light source 11 is converted into measurement light composed of parallel light via the diverging lens 12 and the
この撮像カメラ18は、CCD等の撮像素子を備え、被検体5を透過した光束のうち、上記被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を撮像するように構成されている。
The
この点について、図2および図3を用いてより詳細に説明する。図2に示すように、単層構造を有する被検体5Aを測定する場合、被検層は被検体5A自体となる。撮像カメラ18により撮像されるのは、被検体5Aの内部で1回も反射することなく被検体5Aを透過した光束L1と、被検体5Aの表面5Aaを透過した後、被検体5Aの裏面5Abおよび表面5Aaで1回ずつ内部反射された後、被検体5Aを透過した光束L2との光干渉によって形成される干渉縞である。すなわち、光束L1と光束L2とは、互いの光路長が被検体5Aの厚みの光学距離の2倍だけ異なっており、被検体5Aの厚みが位置によって異なる(厚みムラがある)場合、その厚みムラの情報が担持された干渉縞が、撮像カメラ18により撮像されることになる。
This point will be described in more detail with reference to FIGS. As shown in FIG. 2, when measuring a
撮像カメラ18により撮像された干渉縞は、解析装置21において解析され、これにより被検体5Aの厚みや厚みムラが計測される。
The interference fringes imaged by the
なお、原理的には、被検体5Aの内部で4回以上反射した後、被検体5Aを透過する光束も存在するが、このような光束は光量が大きく減衰するため、干渉縞の形成に影響しないとみなせる。また、光源11としては、単色レーザ光等の高可干渉光を出力する高可干渉光源や、被検体5Aの厚みによっては、LED、SLD、ハロゲンランプ等の可干渉距離の短い低可干渉光を出力する低可干渉光源を用いることが可能である。低可干渉光源を用いる場合は、出力する低可干渉光の可干渉距離が、光束L1と光束L2との光路長差よりも長いことが条件となる。また、低可干渉光源として、前掲の特許第3621693号公報に記載された波長変調光源を用いることも可能である。
In principle, there is also a light beam that passes through the
さらに、このような低可干渉光源として白色光源を用いた場合、形成される干渉縞には、干渉する光束間の光路長差に応じた色情報が担持されるので、この色情報に基づき被検体5Aの厚みや厚みムラを測定することが可能である。なお、色情報に基づき光路長差を解析する手法としては、例えば、特開平9−236404号公報に記載された手法を用いることができる。この手法は、2系の白色光の干渉により得られた白色干渉縞の色をスペクトル分析することによって、白色干渉縞の色と光路差との関係を示すスケール曲線を形成し、このスケール曲線に基づき、光路差未知の2系の白色光により生じるスペクトル分布から、該2系の光路差を求めるものである。
Further, when a white light source is used as such a low coherence light source, the formed interference fringes carry color information according to the optical path length difference between the interfering light beams. It is possible to measure the thickness and thickness unevenness of the
一方、図3に示すように、ベース層51の表面に被検層としての膜層52が形成されてなる2層構造を有する被検体5Bを測定する場合を考察する。この場合、撮像カメラ18により撮像されるのは、図示した光束L11と光束L12との光干渉や、光束L13と光束L14との光干渉によって形成される干渉縞である。すなわち、光束L11と光束L12、および光束L13と光束L14は、互いの光路長が膜層52の厚みの光学距離の2倍だけ異なっており、膜層52の厚みが位置によって異なる(厚みムラがある)場合、その厚みムラの情報が担持された干渉縞が、撮像カメラ18により撮像されることになる。なお、光束L13と光束L14との光干渉によって形成される干渉縞が有効となるのは、ベース層51が高精度な平行性を有しており、その厚みムラが無視し得る場合である。
On the other hand, as shown in FIG. 3, a case where a subject 5B having a two-layer structure in which a
ここで、光束L11は、被検体5Bの内部で1回も反射することなく被検体5Bを透過した光束であり、光束L12は、被検体5Bの表面5Baを透過した後、ベース層51と膜層52との境界面53と表面5Baで1回ずつ反射されて、被検体5Bを透過した光束である。また、光束L13は、膜層52を透過した後、被検体5Bの裏面5Bbで内部反射され、さらに境界面53で反射された後、ベース層51を透過した光束であり、光束L14は、膜層52を透過した後、被検体5Bの裏面5Bbで内部反射され、さらにベース層51を透過した後、表面5Baで反射されて被検体5Bを透過した光束である。
Here, the light beam L 11 is a light beam transmitted through the
撮像カメラ18により撮像された干渉縞は、解析装置21において解析され、これにより膜層52の厚みや厚みムラが計測される。
The interference fringes picked up by the
なお、光源11として高可干渉光源を用いた場合は、光束L11と光束L13や光束L12と光束L14との光干渉(互いの光路長がベース層51の厚みの2倍だけ異なっている光束同士の光干渉)も生じることになるが、ベース層51が高精度な平行性を有している場合は、ベース層51自体の厚みが位置によって変化しない(ベース層51自体の厚みムラが無い)とみなせるので、このような他の光干渉は干渉縞の形成に影響しないとみなせる。一方、ベース層51の厚みムラが無視し得ない場合は、高可干渉光源を用いた測定は困難となる。このような場合は、可干渉距離が膜層52の厚みの光学距離の2倍よりは長く、かつベース層51の厚みの光学距離の2倍よりも短い低可干渉光を出力する低可干渉光源を光源11として用いることにより、光束L11と光束L13との光干渉や光束L12と光束L14との光干渉が生じないようにすることが可能となる。また、単層構造の被検体5Aの場合と同様に、白色光源を光源11として用いた測定解析も可能である。
When a high coherence light source is used as the light source 11, the light interference between the light beam L 11 and the light beam L 13, or the light beam L 12 and the light beam L 14 (the optical path length of each other is different by twice the thickness of the
〈第2実施形態〉
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図4は本発明の第2実施形態に係る厚み測定用光干渉測定装置の概略構成図であり、図5および図6はその光干渉の原理を示す模式図(図5は被検体が単層構造の場合を示し、図6は被検体が2層構造の場合を示している)である。
Second Embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an optical interference measuring apparatus for thickness measurement according to a second embodiment of the present invention, and FIGS. 5 and 6 are schematic diagrams showing the principle of the optical interference (FIG. 5 shows a single-layered object). FIG. 6 shows a case where the object has a two-layer structure.
図4に示す厚み測定用光干渉測定装置1A(以下「第2実施形態装置1A」と称することがある)は、被検体5の所定の被検層の厚みまたは厚みムラを測定するものであり、測定系10Aおよび解析演算部20Aを備えてなる。なお、図4において測定系10Aの光軸XAを1点鎖線で示す。
An optical interference measuring apparatus 1A for thickness measurement shown in FIG. 4 (hereinafter also referred to as “second embodiment apparatus 1A”) measures the thickness or thickness unevenness of a predetermined test layer of the subject 5. The measurement system 10A and the
上記測定系10Aは、測定光照射手段を構成する光源11A、ビーム径拡大用の発散レンズ12A、ビームスプリッタ13Aおよびコリメータレンズ14Aと、被検体5に対し測定光照射手段と同じ側に配された観察手段を構成する撮像レンズ17Aおよび撮像カメラ18Aと、被検体5を挟んで測定光照射手段と対向する位置に配された反射基準板15Aとを備えてなる。なお、反射基準板15Aは、測定光照射手段から被検体5に向けて照射され該被検体5を透過した光を再帰反射する反射基準面15Aaを有してなり、該反射基準面15Aaが光軸XAと垂直となるように傾き調整ステージ19A上に載置保持されている。
The measurement system 10A is arranged on the same side as the measurement light irradiation means with respect to the subject 5 with the light source 11A constituting the measurement light irradiation means, the diverging
一方、上記解析演算部20Aは、縞解析等のための各種演算を行う解析装置21Aと、解析結果等を表示する画像表示装置22Aと、解析装置21Aに対する各種入力を行うための入力装置23Aとを備えてなる。
On the other hand, the
この第2実施形態装置1Aにおいて、光源11Aから出力された光束は、発散レンズ12A、ビームスプリッタ13Aおよびコリメータレンズ14Aを介して平行光からなる測定光に変換され、光軸XAに沿って被検体5に照射される。照射された測定光のうち被検体5を透過した光束は、反射基準板15Aの反射基準面15Aaで再帰反射され、その一部が再び被検体5を透過してコリメータレンズ14Aに入射し、撮像レンズ17Aを介して撮像カメラ18Aに取り込まれる。
In the second embodiment apparatus 1A, the light beam emitted from the light source 11A is a diverging
この撮像カメラ18Aは、上記撮像カメラ18と同様にCCD等の撮像素子を備え、被検体5を透過した光束のうち、上記被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を撮像するように構成されている。
The
この点について、図5および図6を用いてより詳細に説明する。図5に示すように、単層構造を有する被検体5Aを測定する場合、被検層は被検体5A自体となる。撮像カメラ18Aにより撮像されるのは、図示した光束L21と光束L22との光干渉および光束L21と光束L23との光干渉によって形成される干渉縞である。すなわち、光束L21と光束L22および光束L21と光束L23は、互いの光路長が被検体5Aの厚みの光学距離の2倍だけ異なっており、被検体5Aの厚みが位置によって異なる(厚みムラがある)場合、その厚みムラの情報が担持された干渉縞が、撮像カメラ18Aにより撮像されることになる。
This point will be described in more detail with reference to FIGS. As shown in FIG. 5, when a subject 5A having a single layer structure is measured, the subject layer is the subject 5A itself. Is being imaged by the
ここで、光束L21は、被検体5Aの内部で1回も反射することなく被検体5Aを透過した後、反射基準面15Aaで再帰反射され、再び被検体5Aの内部で1回も反射することなく被検体5Aを透過した光束であり、光束L22は、被検体5Aの表面5Aaを透過した後、被検体5Aの裏面5Abおよび表面5Aaで1回ずつ反射されて被検体5Aを透過し、さらに反射基準面15Aaで再帰反射されて被検体5Aを透過した光束である。また、光束L23は、被検体5Aの内部で1回も反射することなく被検体5Aを透過した後、反射基準面15Aaで再帰反射されて被検体5Aの裏面5Abを透過し、さらに被検体5Aの表面5Aaおよび裏面5Abで1回ずつ反射されて被検体5Aを透過した光束である。
Here, the light beam L 21 passes through the subject 5A without being reflected once within the subject 5A, is then retroreflected by the reflection reference surface 15Aa, and is again reflected once within the
撮像カメラ18Aにより撮像された干渉縞は、解析装置21Aにおいて解析され、これにより被検体5Aの厚みや厚みムラが計測される。
The interference fringes imaged by the
なお、原理的には、被検体5Aの内部で4回以上反射した後、測定光照射手段側に戻る光束も存在するが、このような光束は光量が大きく減衰するため、干渉縞の形成に影響しないとみなせる。また、光源11Aとしては、レーザ光等の高可干渉光を出力する高可干渉光源や、被検体5Aの厚みによっては、可干渉距離の短い低可干渉光を出力する低可干渉光源を用いることが可能である。低可干渉光源を用いる場合は、出力する低可干渉光の可干渉距離が、光束L21と光束L22および光束L21と光束L23との光路長差よりも長いことが条件となる。 In principle, there is also a light beam that is reflected four times or more inside the subject 5A and then returns to the measurement light irradiation means side. However, such a light beam greatly attenuates the amount of light, so that interference fringes are formed. It can be regarded as not affecting. As the light source 11A, a high coherence light source that outputs high coherence light such as laser light, or a low coherence light source that outputs low coherence light with a short coherence distance depending on the thickness of the subject 5A is used. It is possible. When using the low coherent light source, the coherence length of the output low coherent light, it is a condition longer than the optical path length difference between the light beams L 21 and the light beam L 22 and the light beam L 21 and the light beam L 23.
さらに、上記第1実施形態と同様に、低可干渉光源として白色光源を用いることも可能である。また、高可干渉光源を用いる場合、図示のように反射基準面15Aaに対して検体5Aを傾けて保持し、被検体5Aの表裏面5Aa,5Abで外部反射された光束が上記撮像カメラ18Aに入射しないようにすることが好ましい。これにより、被検体5Aの表裏面5Aa,5Abで外部反射された光束が絡んだ不要な光干渉によるノイズの発生を大幅に抑制することが可能となる。
Further, as in the first embodiment, a white light source can be used as the low coherence light source. When a high coherence light source is used, the
一方、図6に示すように、ベース層51の表面に被検層としての膜層52が形成されてなる2層構造を有する被検体5Bを測定する場合、撮像カメラ18Aにより撮像されるのは、図示した光束L31と、光束L32または光束L33との光干渉や、光束L34と光束L35との光干渉によって形成される干渉縞である。すなわち、光束L31と、光束L32または光束L33、および光束L34と光束L35とは、互いの光路長が膜層52の厚みの光学距離の2倍だけ異なっており、膜層52の厚みが位置によって異なる(厚みムラがある)場合、その厚みムラの情報が担持された干渉縞が、撮像カメラ18Aにより撮像されることになる。なお、光束L34と光束L35との光干渉によって形成される干渉縞が有効となるのは、ベース層51が高精度な平行性を有しており、その厚みムラが無視し得る場合である。
On the other hand, as shown in FIG. 6, when a subject 5B having a two-layer structure in which a
ここで、光束L31は、被検体5Bの内部で1回も反射することなく被検体5Bを透過した後、反射基準面15Aaで再帰反射され、再び被検体5Bの内部で1回も反射することなく被検体5Bを透過した光束であり、光束L32は、被検体5Bの表面5Baを透過した後、ベース層51と膜層52との境界面53および表面5Baで1回ずつ反射されて被検体5Bを透過し、さらに反射基準面15Aaで再帰反射されて被検体5Bを透過した光束である。また、光束L33は、被検体5Bの内部で1回も反射することなく被検体5Bを透過した後、反射基準面15Aaで再帰反射されてベース層51を透過し、さらに被検体5Bの表面5Baおよび境界面53で1回ずつ反射されて膜層52を透過した光束である。また、光束L34は、膜層52を透過した後、裏面5Bbおよび境界面53で1回ずつ反射されて被検体5Bを透過し、さらに反射基準面15Aaで再帰反射されて被検体5Bを透過した光束であり、光束L35は、膜層52を透過した後、裏面5Bbおよび表面5Baで1回ずつ内部反射されて被検体5Bを透過し、さらに反射基準面15Aaで再帰反射されて被検体5Bを透過した光束である。
Here, the light beam L 31 is transmitted through the
撮像カメラ18Aにより撮像された干渉縞は、解析装置21Aにおいて解析され、これにより膜層52の厚みや厚みムラが計測される。
The interference fringes imaged by the
なお、光源11Aとして高可干渉光源を用いた場合は、光束L31と光束L34による光干渉や光束L32または光束L33と光束L35による光干渉も生じることになるが、ベース層51が高精度な平行性を有している場合は、このような他の光干渉は干渉縞の形成に影響しないとみなせる。一方、ベース層51の厚みムラが無視し得ない場合は、高可干渉光源を用いた測定は困難となる。このような場合は、可干渉距離が膜層52の厚みの光学距離の2倍よりは長く、かつベース層51の厚みの光学距離の2倍よりも短い低可干渉光を出力する低可干渉光源を光源11Aとして用いることにより、光束L31と光束L34による光干渉や光束L32または光束L33と光束L35による光干渉が生じないようにすることが可能となる。また、単層構造の被検体5Aの場合と同様に、白色光源を光源11Aとして用いた測定解析も可能である。
In the case of using a high-coherent light source as a light source 11A, but will also light interference by the light beam L 31 and the light beam L 34 due to light interference and light beam L 32 or the light beam L 33 and the light beam L 35 occurs, the
〈第3実施形態〉
次に、本発明の第3実施形態について説明する。図7は本発明の第3実施形態に係る厚み測定用光干渉測定装置の概略構成図である。なお、この第3実施形態を示す図7において、上記第2実施形態と概念的に共通する構成要素については、図4で用いた符号に付けた文字「A」を文字「B」に置き換えた符号を用いることとし、重複する部分については詳細な説明は省略する。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a schematic configuration diagram of an optical interference measuring apparatus for thickness measurement according to a third embodiment of the present invention. In FIG. 7 showing the third embodiment, the component “A” conceptually common to the second embodiment is replaced with the letter “B” in the reference numeral used in FIG. Reference numerals are used, and detailed description of overlapping parts is omitted.
図7に示す厚み測定用光干渉測定装置1B(以下「第3実施形態装置1B」と称することがある)は、光源11Bと発散レンズ12Bとの間に、パスマッチ経路部30を備えている点において上記第2実施形態装置1Aと異なっており、測定系10Bおよび解析演算部20B等の他の構成は、第2実施形態装置1Aと同様である。
A thickness-measuring optical interference measurement apparatus 1B (hereinafter also referred to as “third embodiment apparatus 1B”) shown in FIG. 7 includes a path
上記パスマッチ経路部30は、光源11Bから出力された光束を2光束に分岐するビームスプリッタ31と、分岐された2光束の一方を再帰反射させる第1反射ミラー32と、分岐された2光束の他方を再帰反射させる第2反射ミラー33と、第1および第2反射ミラー32,33から再帰反射され、ビームスプリッタ31において1光束に再合波された低可干渉光を、光軸XBに沿って測定系10Bに入射させるための第3および第4反射ミラー34,35とを備えてなる。
The path match
上記第1反射ミラー32は、ピエゾ素子等から構成される位置調整機構36によって保持されており、該位置調整機構36によってビームスプリッタ31までの距離が変化せしめられるようになっている。なお、この位置調整機構36は、フリンジスキャン測定を行う際に、上記2光束のうちの一方の光路長を他方に対して微小変化させるフリンジスキャン機構としても機能する。
The first reflecting
このパスマッチ経路部30は、被検体5の被検層の厚みの光学距離の2倍よりも短い可干渉距離を有する低可干渉光を出力する低可干渉光源(白色光源を含む)が用いられる場合に有効となる。すなわち、パスマッチ経路部30において、第1反射ミラー32からビームスプリッタ31までの距離を調整することにより、ビームスプリッタ31において分岐された2光束のうち、第1反射ミラー32で反射される一方の光束を、他方の光束に対して所定の光路長分迂回させる。このとき、この所定の光路長と被検層の厚みの光学距離の2倍との差が、光源11Bから出力される低可干渉光の可干渉距離以下となるように設定することにより、被検層の厚み情報を担持した干渉縞を得ることが可能となる。
The path match
すなわち、図5に示す態様において、被検体5の厚みの光学距離の2倍よりも短い可干渉距離を有する低可干渉光を測定光として用い、かつパスマッチ経路部30を経由しないで測定光を被検体5Aに照射した場合には、光束L21と、光束L22または光束L23との光干渉は起きない。これに対し、パスマッチ経路部30を経由させて測定光を被検体5Aに照射した場合には、パスマッチ経路部30において長い方の経路を経由した後、光束L21と同じ光路を辿る光束と、パスマッチ経路部30において短い方の経路を経由した後、光束L22または光束L23と同じ光路を辿る光束との光干渉が生じるため、被検体5Aの厚み情報を担持した干渉縞を得ることが可能となる。
That is, in the embodiment shown in FIG. 5, the low coherence light having a coherence distance shorter than twice the optical distance of the thickness of the subject 5 is used as the measurement light, and the measurement light is not passed through the path
同様に、図6に示す態様において、膜層52の厚みの光学距離の2倍よりも短い可干渉距離を有する低可干渉光を測定光として用い、かつパスマッチ経路部30を経由しないで測定光を被検体5Bに照射した場合には、光束L31と、光束L32または光束L33との光干渉、および光束L34と光束L35との光干渉は起きない。これに対し、パスマッチ経路部30を経由させて測定光を被検体5Bに照射した場合には、パスマッチ経路部30において長い方の経路を経由した後、光束L31と同じ光路を辿る光束と、パスマッチ経路部30において短い方の経路を経由した後、光束L32または光束L33と同じ光路を辿る光束との光干渉、およびパスマッチ経路部30において長い方の経路を経由した後、光束L34と同じ光路を辿る光束と、パスマッチ経路部30において短い方の経路を経由した後、光束L35と同じ光路を辿る光束との光干渉が生じるため、膜層52の厚み情報を担持した干渉縞を得ることが可能となる。なお、このようなパスマッチ経路部の機能については、特開平9−21606号公報等において詳述されている。
Similarly, in the embodiment shown in FIG. 6, the low coherence light having a coherence distance shorter than twice the optical distance of the thickness of the
また、図6に示す態様のように、ベース層51の厚みの光学距離が膜層52の厚みの光学距離よりもかなり大きいような場合、パスマッチ経路部30を有する第3実施形態装置1Bによれば、光束L31と光束L34との光干渉や光束L32と光束L35との光干渉は生じない。このため、ベース層51の厚みムラが無視し得ない場合においても、膜層52の厚みや厚みムラを高精度に測定することが可能となる。
Further, as in the embodiment shown in FIG. 6, when the optical distance of the thickness of the
なお、上述した各実施形態においては、被検体5(5A,5B)として、可撓性を有するフィルムを例示しているが、本発明は、液晶パネル等の可撓性を有しない板状の被検体に対しても適用し得る。 In each of the above-described embodiments, a flexible film is exemplified as the subject 5 (5A, 5B). However, the present invention is a plate-like shape having no flexibility such as a liquid crystal panel. It can also be applied to a subject.
また、上述した各実施形態においては、単層構造の被検体5Aおよび2層構造の被検体5Bを例示しているが、本発明は、3層以上の多層構造の被検体に対しても適用し得る。
Further, in each of the above-described embodiments, the single-
1,1A,1B 厚み測定用光干渉測定装置
5,5A,5B 被検体
5Aa,5Ba 表面
5Ab,5Bb 裏面
10,10A,10B 測定系
11,11A,11B 光源
12,12A,12B 発散レンズ
13A,13B,31 ビームスプリッタ
14,14A,14B コリメータレンズ
15A,15B 反射基準板
15Aa,15Ba 反射基準面
16 収束レンズ
17,17A,17B 撮像レンズ
18 撮像カメラ
19 傾き調整ステージ
20,20A,20B 解析演算部
21,21A,21B 解析装置
22,22A,22B 画像表示装置
23,23A,23B 入力装置
30 パスマッチ経路部
32〜35 第1〜第4反射ミラー
36 位置調整機構(フリンジスキャン機構)
51 ベース層
52 膜層
L1〜L3,L11〜L14,L21〜L23,L31〜L35 光束
X,XA,XB 光軸
1, 1A, 1B Thickness measurement optical
51
Claims (3)
前記被検層の厚みの光学距離の2倍よりも短い可干渉距離を有する低可干渉光を出力する光源と、
前記光源からの出力光を平行光からなる測定光として前記被検体に照射するとともに、前記低可干渉光源から出力された前記低可干渉光を2光束に分岐し、該2光束の一方を他方に対して所定の光路長分迂回させた後に1光束に再合波するパスマッチ経路部と、前記パスマッチ経路部において、前記2光束の一方の光路長を他方に対して微小変化させるフリンジスキャン機構を有する測定光照射手段と、
前記被検層を透過した光束のうち、該被検層に対し互いに略同一の位置を通過しつつ、該被検層両面での反射回数の違いにより互いの光路長が該被検層の厚みの光学距離の2倍だけ異なる光束同士の光干渉によって得られる干渉縞を観察し得るように配された観察手段と、
を備え、
前記パスマッチ経路部は、前記光源から出力された光束を2光束に分岐するビームスプリッタと、分岐された2光束の一方を再帰反射させる第1反射ミラーと、分岐された2光束の他方を再帰反射させる第2反射ミラーとを有し、前記第1反射ミラー及び前記第2反射ミラーから再帰反射され、前記ビームスプリッタにおいて1光束に再合波するとともに、前記所定の光路長が、該所定の光路長と前記被検層の厚みの光学距離の2倍との差が、前記低可干渉光の可干渉距離以下となるように設定されていること
を特徴とする厚み測定用光干渉測定装置。 A thickness-measuring optical interference measuring apparatus for measuring thickness or thickness unevenness of a predetermined test layer to be measured in a sheet-like test object held in a state in which the posture can change,
A light source that outputs low coherence light having a coherence distance shorter than twice the optical distance of the thickness of the test layer;
Irradiating the subject with output light from the light source as measurement light composed of parallel light , branching the low coherence light output from the low coherence light source into two light beams, one of the two light beams being the other A path match path unit that detours by a predetermined optical path length and then recombines into one beam, and a fringe scan mechanism that minutely changes the optical path length of one of the two beams relative to the other in the path match path unit. a measuring light irradiation means having,
Among the light beams transmitted through the test layer, the optical path lengths of the test layers are different depending on the number of reflections on both surfaces of the test layer while passing through substantially the same position with respect to the test layer. Observation means arranged so as to be able to observe interference fringes obtained by optical interference between light beams different from each other by an optical distance of
With
The path match path section includes a beam splitter that branches the light beam output from the light source into two light beams, a first reflection mirror that retroreflects one of the two branched light beams, and a second reflection of the other of the two branched light beams. A second reflecting mirror that is retroreflected from the first reflecting mirror and the second reflecting mirror and recombines into one light beam in the beam splitter, and the predetermined optical path length is equal to the predetermined optical path. The difference between the length and twice the optical distance of the thickness of the test layer is set to be less than or equal to the coherence distance of the low coherence light.
An optical interference measuring apparatus for thickness measurement characterized by the above .
前記観察手段は、前記被検体に対し前記測定光照射手段と同じ側に配されていることを特徴とする請求項1記載の厚み測定用光干渉測定装置。 2. The optical interference measuring apparatus for thickness measurement according to claim 1, wherein the observation unit is arranged on the same side as the measurement light irradiation unit with respect to the subject.
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