JP5008086B2 - 調圧機能付高速ガス切替装置 - Google Patents
調圧機能付高速ガス切替装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5008086B2 JP5008086B2 JP2008134963A JP2008134963A JP5008086B2 JP 5008086 B2 JP5008086 B2 JP 5008086B2 JP 2008134963 A JP2008134963 A JP 2008134963A JP 2008134963 A JP2008134963 A JP 2008134963A JP 5008086 B2 JP5008086 B2 JP 5008086B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- valve
- supply
- pressure
- switching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
Claims (5)
- 第1流量制御バルブを介して第1供給ガスを真空装置に供給する第1管路と、第2流量制御バルブを介して第2供給ガスを供給する第2管路とを第1三方向バルブで連結して、第1供給ガスと第2供給ガスのいずれかのガスを第1三方向バルブから第3流量制御バルブを介して真空装置に供給可能とし、
前記第2管路の第2流量制御バルブと前記第1三方向バルブとの間の管路と、第4流量制御バルブを介して排気する排気管路とを第2三方向バルブで連結するとともに、排気管路の第4流量制御バルブと第2三方向バルブとの間の管路に前記第1管路から分岐した管路を連結して、第1供給ガスと第2供給ガスのいずれかのガスを第4流量制御バルブを介して排気可能とし、
前記第1三方向バルブと第2三方向バルブとの間の管路に第1オンオフバルブを設けると共に、前記第1管路と排気管路を連結する管路に第2オンオフバルブを設け、
第1供給ガスの供給時には第1オンオフバルブと第2オンオフバルブとを閉じるとともに、第1三方向バルブ及び第2三方向バルブを全て開放し、
第2供給ガスの供給時には第1オンオフバルブと第2オンオフバルブとを開放すると共に、第1三方向バルブの第1管路側と、第2三方向バルブの排気管路側を閉じることを特徴とする調圧機能付高速ガス切替装置。 - 前記調圧機能付高速ガス切替装置を複数直列に接続することにより、3種類以上の供給ガスの切り替えを行うことを特徴とする請求項1記載の調圧機能付き高速ガス切替装置。
- 前記調圧機能付高速ガス切替装置をプラズマによって各種処理を行うプラズマ処理装置に用いることを特徴とする請求項1記載の調圧機能付高速ガス切替装置。
- 前記調圧機能付高速ガス切替装置をガスセンサの応答時間の測定装置におけるガス供給装置として用いることを特徴とする請求項1記載の調圧機能付高速ガス切替装置。
- 前記バルブは電磁弁などの高速動作のバルブから成るガス切替バルブであり、バイパス排気、及び圧力制御機構を備えたことを特徴とする請求項1記載の調圧機能のついた高速ガス切替装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008134963A JP5008086B2 (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 調圧機能付高速ガス切替装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008134963A JP5008086B2 (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 調圧機能付高速ガス切替装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009279527A JP2009279527A (ja) | 2009-12-03 |
JP5008086B2 true JP5008086B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=41450559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008134963A Expired - Fee Related JP5008086B2 (ja) | 2008-05-23 | 2008-05-23 | 調圧機能付高速ガス切替装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5008086B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106771078B (zh) * | 2017-01-06 | 2023-05-30 | 中国科学院地球化学研究所 | 一种界面二氧化碳交换通量连续自动测定装置 |
JP2019158758A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの応答時間評価装置及び方法 |
CN117612920B (zh) * | 2024-01-23 | 2024-04-05 | 上海邦芯半导体科技有限公司 | 反应气体切换***及等离子体处理装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2918892B2 (ja) * | 1988-10-14 | 1999-07-12 | 株式会社日立製作所 | プラズマエッチング処理方法 |
JPH03142922A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体気相成長装置 |
JPH04240198A (ja) * | 1991-01-14 | 1992-08-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 気相薄膜成長方法 |
JP4908045B2 (ja) * | 2006-04-17 | 2012-04-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
-
2008
- 2008-05-23 JP JP2008134963A patent/JP5008086B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009279527A (ja) | 2009-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101565437B1 (ko) | 반도체 제조 장치용의 가스 공급 장치 | |
TWI452610B (zh) | Gas supply devices for semiconductor manufacturing equipment | |
KR101557522B1 (ko) | 가스 감압 공급 장치, 이것을 구비하는 실린더 캐비닛, 밸브 박스 및 기판 처리 장치 | |
JP6216389B2 (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
KR20090025823A (ko) | 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 장치 및 그 방법 | |
TWI381258B (zh) | 氣體供應單元 | |
US20120000542A1 (en) | Mass flow controller, mass flow controller system, substrate processing device, and gas flow rate adjusting method | |
JP5008086B2 (ja) | 調圧機能付高速ガス切替装置 | |
JP6022987B2 (ja) | タイヤ試験装置の空気圧回路 | |
KR20170033236A (ko) | 유량 제어기의 출력 유량을 구하는 방법 | |
KR102596165B1 (ko) | 질량 유량 제어 시스템 및 당해 시스템을 포함하는 반도체 제조 장치 및 기화기 | |
US8056579B2 (en) | Mass flow controller | |
JPH0815079A (ja) | 圧力洩れ測定装置及び圧力洩れ測定方法 | |
TWI836282B (zh) | 用以偵測和校正實時產品基板的強化處理和硬體架構 | |
JP2008248395A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の調圧方法 | |
JP2011118654A (ja) | 半導体製造装置および流量制御装置 | |
WO2021229787A1 (ja) | プラズマ処理装置の検査方法 | |
CN111855113A (zh) | 退火机台、漏率检测装置及检测方法 | |
KR102388518B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치의 샤워 플레이트를 검사하는 방법 | |
JP2826479B2 (ja) | ガス供給装置及びその操作方法 | |
CN221302467U (zh) | 一种用于质量流量验证器的校准装置 | |
JP2001308013A (ja) | 半導体製造装置の排気制御機構 | |
JP4511236B2 (ja) | 半導体製造装置および測定ずれ検出方法 | |
JP2002115800A (ja) | 流量計測機能を具えた圧力制御装置 | |
JPH0318674A (ja) | ガス圧力制御方法及び真空装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120522 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |