JP5008076B2 - 光デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
さらに、本電極構造は、平板電極の場合と比較して電界分布が複雑であり、そのため、電界分布の電極構造依存性も大きい。特に、電極構造が小さい場合には、許容される製造誤差が小さくなるので、歩留まりが問題となる。
また、各電極が制御する光デバイスが1個である場合、一方の電極下には、光デバイスを配置しないことになり、余分な面積を消費してしまうので、高集積化という観点からは不利な構造と言える。
齋藤冨士郎、超高速光デバイス、共立出版株式会社、p.115、p.125。
(1)光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位を有する第1の基板と光デバイスを集積させるための第2の基板を用意する工程と、
第2の基板上の一部に第1の電極配線を形成する工程と、
第1及び第2の基板の少なくとも一方の基板上面にSODを塗布する工程と、
第1の基板のコア層を構成する材料からなる部位が形成された側と第2の基板の第1の電極配線が形成された側とを接合する工程と、
接合した基板を加熱する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位を残して第1の基板を除去する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位に所望の加工を施して、2次元フォトニック結晶スラブ構造であるコア層とする工程と、
コア層上に低屈折率絶縁膜を形成する工程と、
コア層上の低屈折率絶縁膜上の一部に第2の電極配線を形成する工程
とを含む、光デバイスの製造方法。
(2)光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位を有する第1の基板と光デバイスを集積させるための第2の基板を用意する工程と、
第1の基板の光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位上に低屈折率絶縁膜を形成する工程と、
上記低屈折率絶縁膜上の一部に第1の電極配線を形成する工程と、
第1及び第2の基板の少なくとも一方の基板上面にSODを塗布する工程と、
第1の基板の第1の電極配線が形成された側と第2の基板とを接合する工程と、
接合した基板を加熱する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位を残して第1の基板を除去する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位に所望の加工を施して、2次元フォトニック結晶スラブ構造であるコア層とする工程と、
コア層上に低屈折率絶縁膜を形成する工程と、
コア層上の低屈折率絶縁膜上の一部に第2の電極配線を形成する工程
とを含む、光デバイスの製造方法。
(3)上記コア層上に低屈折率絶縁膜を形成する工程において、SODを塗布する工程が含まれることを特徴とする上記(1)又は(2)に記載の光デバイスの製造方法。
(4)上記第2の基板には、電子回路が形成されていることを特徴とする上記(1)乃至(3)のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
(5)上記第2の基板には、光回路が形成されていることを特徴とする上記(1)乃至(4)のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
(6)上記第2の基板が、Si基板又はSOI基板であることを特徴とする上記(1)乃至(5)のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
(7)上記第1の基板が有する光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位が、化合物半導体からなることを特徴とする上記(1)乃至(6)のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
(8)コア層を覆う低屈折率絶縁膜の一部に、低屈折率絶縁膜とは異なる材料を導入する工程を含むことを特徴とする上記(1)乃至(7)のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
(9)上記光デバイス上に光素子を1つ以上積層する工程を含むことを特徴とする上記(1)乃至(8)のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
まず、光デバイス作製のための化合物半導体基板(例えば、InP基板)を用意する。ここで、コア層には大きな電界吸収効果が期待できる量子井戸構造(例えば、InGaAs/InAlAs多重量子井戸)を導入しておく。化合物半導体基板には基板剥離のためのエッチストップ層(例えば、InGaAsP層)を導入しておく。また、光デバイスを集積するためのSi基板を用意する(図1)。
そして、低屈折率絶縁性材料の原料を含有する溶液を用いて、電極配線が形成されたSi基板と化合物半導体基板のウエハ接合を行う(図3)。
本明細書においては、低屈折率絶縁性材料の原料を含有する溶液のことを、SOD(Spin On Dielectric)と略称する。
そして露出した化合物半導体コア層に、エッチング等を用いて2DPC構造を形成させる(図5)。
次に2DPC構造の形成されたコア層上に低屈折率絶縁性材料を被着させ、クラッド層を形成させる(図6)。
また、2DPCスラブの上下に存在する電極の構造は、簡単に変えることができるので、電界分布を効率よく制御することが可能である。
図5の工程において、コア層にビアプラグ用貫通孔を形成させる(図8)。次に、基板上に低屈折率絶縁性材料を被着させ、クラッド層を形成させる(図9)。クラッド層の一部を選択的に除去し、第1の電極配線に対するビアプラグを導入する。また、第2の電極配線を形成させる(図10)。第1、第2の電極配線は、例えば、Si基板上のLSI配線と接続される。
また、上記実施例では、コア層を、量子井戸構造を有する化合物半導体としたが、本発明では、光デバイスとして用いられる任意の材料(例えば、InAs量子ドットを有するGaAs、不純物を添加したSi)を用いることが可能である。但し、電界制御型光デバイスとしては、一般に、電気光学効果、電界吸収効果の大きな材料が望まれる。
ここで、化合物半導体(例えば、InP、GaAs)は、光デバイスを実現するための代表的な材料である。
ここで、Si基板及びSOI基板は、電子回路及び光回路を実現するための代表的な基板である。
光集積回路と電子集積回路の同一基板上への集積は、デバイスの高機能化、高集積化を実現できることから、光ルータ等の複雑なシステムを構築するためのキーテクノロジーとして、現在、注目を集めている。
また、本発明を用いて作製された電界制御型2DPCスラブ光デバイスの上に、様々な機能素子(例えば、光素子)を積層してもよい。
本発明は、光・電子デバイスの積層化に適した製造法である。積層化により、劇的な小型化の実現は勿論、従来にない複雑な機能を有する光デバイスの実現も可能となる。
本発明においては、上記実施例で示した以外の基板剥離法を用いることも、勿論、可能である。その場合、必ずしもエッチストップ層を導入した基板を用意する必要はない。他の基板剥離法としては、例えば、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法、水素イオン注入による剥離法、犠牲層を用いた剥離法が挙げられる。
勿論、他の方法(例えば、ワイヤボンディング、リフトオフ法)を用いて電極配線を導入してもよい。
このような、段差を有する電極配線構造は、LSI配線技術(例えば、プラグ形成技術、Cuシングルダマシン法、Cuデュアルダマシン法)を用いることで容易に実現できる。LSI配線技術に適応した材料をクラッド層として利用している利点は、実用上、非常に大きい。
図16は、実際に作製を行った2DPCスラブ構造の模式図である。光デバイスのコア層となるべき部位としては化合物半導体のGaAsを、第2の基板としてはSi基板を用いた。また、SODとしては有機ポリマー(CYCLOTENE樹脂)を用いた。
上記の構造に、電極構造を付加する工程を加えることで、図7で示した2DPCスラブ光デバイスが実現される。
Claims (9)
- 光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位を有する第1の基板と光デバイスを集積させるための第2の基板を用意する工程と、
第2の基板上の一部に第1の電極配線を形成する工程と、
第1及び第2の基板の少なくとも一方の基板上面にSODを塗布する工程と、
第1の基板のコア層を構成する材料からなる部位が形成された側と第2の基板の第1の電極配線が形成された側とを接合する工程と、
接合した基板を加熱する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位を残して第1の基板を除去する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位に所望の加工を施して、2次元フォトニック結晶スラブ構造であるコア層とする工程と、
コア層上に低屈折率絶縁膜を形成する工程と、
コア層上の低屈折率絶縁膜上の一部に第2の電極配線を形成する工程
とを含む、光デバイスの製造方法。 - 光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位を有する第1の基板と光デバイスを集積させるための第2の基板を用意する工程と、
第1の基板の光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位上に低屈折率絶縁膜を形成する工程と、
上記低屈折率絶縁膜上の一部に第1の電極配線を形成する工程と、
第1及び第2の基板の少なくとも一方の基板上面にSODを塗布する工程と、
第1の基板の第1の電極配線が形成された側と第2の基板とを接合する工程と、
接合した基板を加熱する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位を残して第1の基板を除去する工程と、
コア層を構成する材料からなる部位に所望の加工を施して、2次元フォトニック結晶スラブ構造であるコア層とする工程と、
コア層上に低屈折率絶縁膜を形成する工程と、
コア層上の低屈折率絶縁膜上の一部に第2の電極配線を形成する工程
とを含む、光デバイスの製造方法。 - 上記コア層上に低屈折率絶縁膜を形成する工程において、SODを塗布する工程が含まれることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光デバイスの製造方法。
- 上記第2の基板には、電子回路が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
- 上記第2の基板には、光回路が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
- 上記第2の基板が、Si基板又はSOI基板であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
- 上記第1の基板が有する光デバイスのコア層を構成する材料からなる部位が、化合物半導体からなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
- コア層を覆う低屈折率絶縁膜の一部に、低屈折率絶縁膜とは異なる材料を導入する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
- 上記光デバイス上に光素子を1つ以上積層する工程を含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の光デバイスの製造方法。
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