JP5006761B2 - 位置合わせ方法、位置合わせ装置、露光方法、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
位置合わせ方法、位置合わせ装置、露光方法、露光装置及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
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Description
yli=yliave+(Mp−Mpave)×Y+(Rp−Rpave)×X+Sy
xri=xriave+(Mp−Mpave)×X+(Rp−Rpave)×Y+Sx
yri=yriave+(Mp−Mpave)×Y+(Rp−Rpave)×X+Sy
・・・(式1)
但し、式1において、(X、Y)は、S1のショット領域の中心位置から各計測マークの位置までの距離である。また、(Sx、Sy)は、1番目の基板のS1のショット領域の中心位置ずれ量−S1のショット領域の平均値の中心位置ずれ量である。
yli=yliave+(M’p−Mpave)×Y+(R’s−Rsave)+Syj
xri=xriave+(M’s−Msave)+(R’p−Rpave)×Y+Sxj
yri=yriave+(M’p−Mpave)×Y+(R’s−Rpave)+Syj
・・・(式2)
但し、式2において、Yは各ショット領域の中心位置からの各計測マークまでの距離である。また、(Sxj、Syj)(j=1、2、3、4)は、1番目の基板のjのショット領域の中心位置ずれ量−jのショット領域の平均値の中心位置ずれ量である。
10 照明光学系
20 原版
25 原版ステージ
27 Y軸駆動モータ
29 レーザ干渉計
30 投影光学系
40 基板
45 基板ステージ
47 Y軸駆動モータ
49 レーザ干渉計
50 搬送ユニット
60 観察光学系
70 制御部
Claims (5)
- 原版と、前記原版のパターンが形成される基板のショット領域との位置を合わせる位置合わせ方法であって、
少なくとも1つの基板に形成された複数の計測マークのうち第1の数の計測マークを計測する計測ステップと、
前記計測ステップで計測された前記第1の数の計測マークに基づいて前記基板のショット領域の格子情報を算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出された格子情報に基づいて前記複数の計測マークのうち前記第1の数よりも少ない第2の数の計測マークを計測した場合に算出される前記基板のショット領域の格子情報を予測する予測ステップと、
前記算出ステップで算出された格子情報と前記予測ステップで予測された格子情報とのずれ量が許容範囲内にある場合に、前記複数の計測マークのうち前記第2の数の計測マークを計測する計測モードに移行させる移行ステップとを有することを特徴とする位置合わせ方法。 - 前記格子情報は、前記基板の平均倍率及び平均回転成分を含むことを特徴とする請求項1記載の位置合わせ方法。
- 前記複数の計測マークのうち前記第2の数の計測マークを計測する計測モードに移行した場合に、前記第2の数の計測マークの計測結果に基づいて算出された前記基板のショット領域の格子情報と前記予測ステップで予測された格子情報とのずれ量が許容範囲内にない場合に、前記複数の計測マークのうち前記第1の数の計測マークを計測する計測モードに移行させる移行ステップを更に有することを特徴とする請求項1記載の位置合わせ方法。
- 原版を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板に形成された計測マークを計測する計測部と、
前記計測部の計測モードを制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記計測部で計測された複数の計測マークのうち第1の数の計測マークに基づいて前記基板のショット領域の格子情報を算出し、
前記算出された格子情報に基づいて前記複数の計測マークのうち前記第1の数よりも少ない第2の数の計測マークを計測した場合に算出される前記基板のショット領域の格子情報を予測し、
前記算出された格子情報と前記予測された格子情報とのずれ量が許容範囲内にある場合に、前記計測部の計測モードを、前記複数の計測マークのうち前記第2の数の計測マークを計測する計測モードに移行させる、ことを特徴とする露光装置 - 請求項4記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記ステップで露光された基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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