JP4996931B2 - セラミック部品の製造方法 - Google Patents
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Description
しかし、セラミックグリーンシート70,積層体71は脆く破損しやすくなっており、得られるセラミック部品の歩留りが低下するという問題があった。セラミック部品の歩留りの低下は、特に、台座20に貼着した状態の粘着テープ60から積層体71を剥離する工程(図3(d)参照)において発生しやすく、この工程における歩留りの向上が要望されていた。
(1)側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤層を介して基材フィルムを台座に貼着する工程と、台座に貼着した前記基材フィルム表面にセラミックグリーンシートを保持させる工程と、このセラミックグリーンシート上に少なくとも1枚のセラミックグリーンシートを積層してセラミックグリーンシート積層体を形成する工程と、セラミックグリーンシート積層体を形成した後、前記粘着剤層の粘着力を低下させ、基材フィルム表面にセラミックグリーンシート積層体を保持したまま前記台座から前記基材フィルムを剥離する工程と、ついでセラミックグリーンシート積層体から前記基材フィルムを剥離する工程とを含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法。
(2)側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤層を介して基材フィルムを台座に貼着する工程と、台座に貼着した前記基材フィルム表面にセラミックグリーンシートを保持させる工程と、このセラミックグリーンシート上に少なくとも1枚のセラミックグリーンシートを積層してセラミックグリーンシート積層体を形成する工程と、前記セラミックグリーンシート積層体を切断して複数のチップを形成する工程と、複数のチップを形成した後、前記粘着剤層の粘着力を低下させ、基材フィルム表面に複数のチップを保持したまま前記台座から前記基材フィルムを剥離する工程と、この基材フィルムから複数のチップを剥離する工程とを含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法。
(3)前記基材フィルムが剛性を有する前記(1)または(2)記載のセラミック部品の製造方法。
上記したような側鎖結晶性ポリマーは、例えば特開2000−351951号公報に側鎖結晶化可能ポリマーとして記載されており、ニッタ株式会社製の「インテリマーテープ(登録商標)・クールオフタイプ」が好適に採用可能である。
なお、その他の構成は、前記した第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
2 粘着剤層
10 粘着テープ
20 台座
30 セラミックグリーンシート
31 セラミックグリーンシート積層体
40 チップ
Claims (3)
- 側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤層を介して基材フィルムを台座に貼着する工程と、
台座に貼着した前記基材フィルム表面にセラミックグリーンシートを積層する工程と、
このセラミックグリーンシート上に少なくとも1枚のセラミックグリーンシートを積層してセラミックグリーンシート積層体を形成する工程と、
セラミックグリーンシート積層体を形成した後、前記粘着剤層を冷却手段によって冷却して粘着力を低下させ、基材フィルム表面にセラミックグリーンシート積層体を積層したまま前記台座から前記基材フィルムを剥離する工程と、
ついでセラミックグリーンシート積層体から前記基材フィルムを剥離する工程とを含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法。 - 側鎖結晶性ポリマーを主成分とする粘着剤層を介して基材フィルムを台座に貼着する工程と、
台座に貼着した前記基材フィルム表面にセラミックグリーンシートを積層する工程と、
このセラミックグリーンシート上に少なくとも1枚のセラミックグリーンシートを積層してセラミックグリーンシート積層体を形成する工程と、
前記セラミックグリーンシート積層体を切断して複数のチップを形成する工程と、
複数のチップを形成した後、前記粘着剤層を冷却手段によって冷却して粘着力を低下させ、基材フィルム表面に複数のチップを積層したまま前記台座から前記基材フィルムを剥離する工程と、
この基材フィルムから複数のチップを剥離する工程とを含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法。 - 前記基材フィルムが剛性を有する請求項1または2記載のセラミック部品の製造方法。
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