JP4980600B2 - Magnetic sensor - Google Patents

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Description

本発明は、ホール素子を備えた磁気センサに関し、より詳細には、実装面積を小さくして小型化し、かつ高感度の磁気センサに関する。   The present invention relates to a magnetic sensor provided with a Hall element, and more particularly to a highly sensitive magnetic sensor with a small mounting area and a small size.

従来の磁気センサであるホール効果を有するホール素子やホールＩＣ、そして磁気抵抗効果を有する半導体磁気抵抗素子や強磁性体磁気抵抗素子やＭＲＩＣは、ＶＴＲ、フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ、ＣＰＵファンなどのドライブモータ用の回転位置検出センサや永久磁石との組み合わせでスイッチやエンコーダなどの用途に広く用いられている。これら電子部品の小型化に伴って、磁気センサもより薄型化や実装面積を小さくする要求が益々強まっている。   A Hall element or Hall IC having a Hall effect, which is a conventional magnetic sensor, and a semiconductor magnetoresistive element, a ferromagnetic magnetoresistive element or MRIC having a magnetoresistive effect, are a VTR, a floppy (registered trademark) disk, a CD-ROM, It is widely used for applications such as switches and encoders in combination with a rotational position detection sensor for a drive motor such as a DVD or CPU fan or a permanent magnet. As these electronic components are miniaturized, there is an increasing demand for magnetic sensors that are thinner and have a smaller mounting area.

図１は、従来の磁気センサを説明するための裏面透視図で、図中符号１はリードフレーム、２ａ〜２ｄは外部リード部、３はアイランド部、４はペレット（ホール素子）、５ａ〜５ｄは内部電極、６はホール素子受感部、７ａ〜７ｄは金属細線を示している。   FIG. 1 is a rear perspective view for explaining a conventional magnetic sensor. In FIG. 1, reference numeral 1 is a lead frame, 2a to 2d are external lead portions, 3 is an island portion, 4 is a pellet (hall element), and 5a to 5d. Denotes an internal electrode, 6 denotes a Hall element sensing part, and 7a to 7d denote thin metal wires.

リードフレーム１は、外部との電気的接続を得るために四隅に配置された外部リード部２ａ〜２ｄを有している。また、ペレット４は、リードフレーム１のアイランド部３の中央部に搭載され、ホール素子受感部６と内部電極５ａ〜５ｄを備えている。また、金属細線７ａ〜７ｄは、リードフレーム１の外部リード部２ａ〜２ｄと内部電極５ａ〜５ｄとを接続するものである。さらに、アイランド部３に搭載されるペレット４は、略直方体をしており、その各辺は、外部リード部２ａ〜２ｄのＸＹ配置方向に対して平行又は垂直のいずれかになるように配置されている。   The lead frame 1 has external lead portions 2a to 2d arranged at four corners in order to obtain electrical connection with the outside. The pellet 4 is mounted at the center of the island portion 3 of the lead frame 1 and includes a Hall element sensing portion 6 and internal electrodes 5a to 5d. The thin metal wires 7a to 7d connect the external lead portions 2a to 2d of the lead frame 1 and the internal electrodes 5a to 5d. Further, the pellet 4 mounted on the island part 3 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and each side thereof is arranged so as to be either parallel or perpendicular to the XY arrangement direction of the external lead parts 2a to 2d. ing.

また、ホール素子受感部６は、４端子ホール素子であり、この４端子に対応するように内部電極５ａ〜５ｄが設けられている。また、この４端子ホール素子の配置パターンは、図２に示すように、Ｘ字型の配置パターンになっている。さらに、アイランド部３の形状は、その辺がペレット４の各辺と平行又は垂直のいずれかになるように配置されている。   The Hall element sensing unit 6 is a four-terminal Hall element, and internal electrodes 5a to 5d are provided so as to correspond to the four terminals. The arrangement pattern of the four-terminal Hall element is an X-shaped arrangement pattern as shown in FIG. Furthermore, the shape of the island part 3 is arranged so that the side thereof is either parallel or perpendicular to each side of the pellet 4.

本発明に関連する先行技術を開示したものとしては、例えば、特許文献１に記載のものがある。この特許文献１のものは、縦型の実装タイプで極めて薄型でかつ小型の磁電変換素子を提供するもので、外部との電気的な接続用端子となる接続面を有するリードフレームと、このリードフレーム上に載置され、感磁部と内部電極を備えたペレットと、リードフレームと内部電極とを接続した金属細線と、ペレットと金属細線とリードフレームの一部とを封止する樹脂とを備えたものである。ここで用いられているホール素子の配置パターンはＸ字型パターンである。また、特許文献２には、四隅に設けられた外部リード部のＸＹ配置方向に対して、各辺が平行又は垂直のいずれかになるように配置されたアイランド部及びその上に搭載された基板が開示されている。   As what disclosed the prior art relevant to this invention, there exists a thing of patent document 1, for example. The thing of this patent document 1 is a vertical mounting type and provides an extremely thin and small magnetoelectric conversion element. A lead frame having a connection surface serving as a terminal for electrical connection to the outside, and this lead A pellet placed on the frame and provided with a magnetic sensing portion and an internal electrode; a fine metal wire connecting the lead frame and the internal electrode; and a resin that seals the pellet, the fine metal wire, and a part of the lead frame. It is provided. The hall element arrangement pattern used here is an X-shaped pattern. Further, Patent Document 2 discloses an island portion arranged so that each side is either parallel or perpendicular to the XY arrangement direction of external lead portions provided at four corners, and a substrate mounted thereon. Is disclosed.

特開２００５−９３８２３号公報JP 2005-93823 A 特開平１１−１２１８３０号公報JP-A-11-121830

上述したように、従来の金属細線７ａ〜７ｄは、外部リード部２ａ〜２ｄの四隅からペレット４の内部電極５ａ〜５ｄのうち、最短距離にある内部電極にそれぞれ接続されている。つまり、外部リード部２ａは内部電極５ａと接続され、外部リード部２ｂは内部電極５ｂと接続され、外部リード部２ｃは内部電極５ｃと接続され、外部リード部２ｄは内部電極５ｄとそれぞれ接続されている。しかしながら、金属細線７ａ〜７ｄの配線が短いことから、ワーヤーボンディングの位置がずれることによる金属細線７ａ〜７ｄの長さに余裕を持たせることができず、ワイヤーループが描けないといった問題点があった。   As described above, the conventional fine metal wires 7a to 7d are connected to the internal electrodes at the shortest distance among the internal electrodes 5a to 5d of the pellet 4 from the four corners of the external lead portions 2a to 2d. That is, the external lead portion 2a is connected to the internal electrode 5a, the external lead portion 2b is connected to the internal electrode 5b, the external lead portion 2c is connected to the internal electrode 5c, and the external lead portion 2d is connected to the internal electrode 5d. ing. However, since the wires of the thin metal wires 7a to 7d are short, there is a problem that the length of the thin metal wires 7a to 7d due to the shift of the position of wire bonding cannot be given and a wire loop cannot be drawn. It was.

また、リードフレーム１の四隅に配置された外部リード部２ａ〜２ｄとペレット４の位置関係は、外部リード部２ａ〜２ｄとペレット４との対抗辺との距離で規定され、この距離を短くするには限界があるという問題点があった。   Further, the positional relationship between the external lead portions 2a to 2d arranged at the four corners of the lead frame 1 and the pellet 4 is defined by the distance between the opposing sides of the external lead portions 2a to 2d and the pellet 4, and this distance is shortened. There was a problem that there was a limit.

また、図２に示すような４端子ホール素子の場合に、外部応力がＸＹ方向に働くと、裏面のモールド樹脂にクラックが入りやすくなり、ホール素子の信頼性を損なう結果となる。また、リードフレームや金属細線の変形を生じ、ホール素子受感部６の形状の変形が生じて電気磁気特性が不安定になるという問題点があった。つまり、図２に示すように、ホール素子の端子１１ａと１１ｄ、及び１１ｂと１１ｃの間で応力の影響を大きく受ける結果、図３に示すように、ＨｂｃとＨｄａの抵抗変化により出力が変動するという問題点があった。   In the case of a four-terminal Hall element as shown in FIG. 2, if external stress acts in the XY direction, cracks are likely to occur in the mold resin on the back surface, resulting in a decrease in the reliability of the Hall element. In addition, there is a problem that the lead frame and the fine metal wire are deformed, the shape of the Hall element sensing portion 6 is deformed, and the electromagnetic characteristics are unstable. That is, as shown in FIG. 2, as a result of being greatly affected by the stress between the terminals 11a and 11d and 11b and 11c of the Hall element, the output fluctuates due to the resistance change of Hbc and Hda as shown in FIG. There was a problem.

つまり、ホール素子のＹ方向で反るような力が働くと、図２に示したホール素子受感部６は、Ｘ軸に対して対称に曲がる応力によって、図３に示したホール素子の等価回路において端子１１ｂ−１１ｃ間と端子１１ａ−１１ｄ間に曲げ応力が働き、半導体のピエゾ抵抗効果により、ＨｂｃとＨｄａの抵抗がアップする。これにより、例えば、図３に示した端子１１ａ−１１ｃ間に電圧を印加して、出力される端子１１ｂ−１１ｄ間の電圧は、もともと４つの抵抗体Ｈａｂ、Ｈｂｃ、Ｈｃｄ、Ｈｄａが等しいとすると０である。ところが曲げ応力によりＨｂｃとＨｄａの抵抗がアップすることによって、端子１１ｂ及び１１ｄのそれぞれの分圧比が変わり、微少であるが出力電圧が発生することになる。   That is, when a force that warps in the Y direction of the Hall element is applied, the Hall element sensing unit 6 shown in FIG. 2 is equivalent to the Hall element shown in FIG. In the circuit, bending stress acts between the terminals 11b-11c and between the terminals 11a-11d, and the resistance of Hbc and Hda is increased by the piezoresistance effect of the semiconductor. Thus, for example, when a voltage is applied between the terminals 11a-11c shown in FIG. 3 and the output voltage between the terminals 11b-11d is originally equal to the four resistors Hab, Hbc, Hcd, Hda. 0. However, when the resistance of Hbc and Hda increases due to the bending stress, the voltage division ratio of each of the terminals 11b and 11d changes, and an output voltage is generated although it is very small.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ホール素子を搭載したペレットの配置を考慮して、実装面積を小さくして小型化を図るとともに、外部応力に影響されることの少ない高感度の磁気センサを提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems. The object of the present invention is to reduce the mounting area by reducing the mounting area in consideration of the arrangement of the pellets on which the Hall elements are mounted, as well as external stress. An object of the present invention is to provide a highly sensitive magnetic sensor that is less affected by

本発明は、外部との電気的接続を得るために四隅に配置された外部リード部を有するリードフレームと、該リードフレームのアイランド部の中央部に搭載され、ホール素子受感部と内部電極を備えたペレットと、前記リードフレームの前記外部リード部と前記ペレット上の前記内部電極とを接続する金属細線と、前記ペレットと前記金属細線とを覆うモールド樹脂とを備えた直方体のノンリードの磁気センサにおいて、前記アイランド部に搭載される前記ペレットは、該ペレットの各辺が、前記モールド樹脂による前記直方体の長辺に対して４５度傾くと同時に前記アイランド部も同様に４５度傾き、前記ホール素子受感部の配置は、十字型で前記長辺に対して垂直又は平行に配置され、前記外部リード部は、前記モールド樹脂の内部において内部から裏面へ直接繋がり裏面で外部と面接続することを特徴とする。 The present invention provides a lead frame having external lead portions arranged at four corners to obtain an electrical connection with the outside, and a central portion of the island portion of the lead frame, and a Hall element sensing portion and an internal electrode A rectangular parallelepiped non-lead magnetic sensor comprising: a pellet provided; a metal wire connecting the external lead portion of the lead frame and the internal electrode on the pellet; and a mold resin covering the pellet and the metal wire. in the pellets to be mounted on the island portion, each side of the pellet, 45 Do傾Kutodojini said island portion-out similarly 45 Do傾 to the cuboid long sides by the mold resin, wherein The Hall element sensing part is arranged in a cross shape and perpendicular or parallel to the long side, and the external lead part is placed inside the mold resin. Characterized by connecting the outside surface directly connected back surface from the inside to the back.

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記金属細線の長さは、異なる長さで構成されていることを特徴とする。 The invention according to claim 2 is characterized in that, in the invention according to claim 1, the lengths of the thin metal wires are different .

本発明によれば、アイランド部に搭載されるペレットは、このペレットの各辺が、外部リード部のＸＹ配置方向に対して４５度の傾きを有するように配置されているので、金属細線の配線を従来のものより長く取ることができ、ワイヤーボンディングの位置がずれることによる金属細線の長さに余裕を持たせることができて、ワイヤーループが描けるという効果を奏する。   According to the present invention, the pellet mounted on the island portion is arranged so that each side of the pellet has an inclination of 45 degrees with respect to the XY arrangement direction of the external lead portion. Can be taken longer than the conventional one, and it is possible to provide a margin for the length of the fine metal wire due to the displacement of the wire bonding position, thereby producing an effect of drawing a wire loop.

また、ペレットのＹ軸上の端部をリードフレームの四隅に配置された外部リード部の間に向けて近接配置されてことができるので、外部リード部とペレットの対抗辺との距離を確保しつつ全体的にコンパクトにすることができ、その結果、実装面積を小さくすることができて小型化が可能となった。   In addition, since the end of the pellet on the Y-axis can be placed close to the external lead located at the four corners of the lead frame, the distance between the external lead and the opposing side of the pellet is secured. However, the overall size can be reduced, and as a result, the mounting area can be reduced and the size can be reduced.

また、ペレットに搭載されたホール素子の配置パターンを十字型パターンとしたので、ホール素子の端子間でのＸＹ方向の外部応力の影響を大きく受けることはなく、ホール素子の電気磁気特性が安定するという効果を奏する。   In addition, since the arrangement pattern of the Hall elements mounted on the pellet is a cross-shaped pattern, it is not greatly affected by external stress in the XY directions between the terminals of the Hall elements, and the electromagnetic characteristics of the Hall elements are stabilized. There is an effect.

以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
図４（ａ），（ｂ）は、本発明の磁気センサの一実施例を説明するための構成図で、図４（ａ）はリードフレームの裏面透視図、図４（ｂ）はダイシング後の磁気センサの側面図、図５は、本発明の磁気センサの一実施例を説明するための全体裏面透視図である。図中符号２１はリードフレーム、２２ａ〜２２ｄは外部リード部、２３はアイランド部、２４はペレット（ホール素子）、２５ａ〜２５ｄは内部電極、２６はホール素子受感部、２７ａ〜２７ｄは金属細線、２８はモールド樹脂を示している。なお、磁気センサは最終的にダイシングで切断されるので、図４（ａ）に示した点線部分が磁気センサの寸法、つまり、図４（ｂ）に示した寸法になる。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIGS. 4A and 4B are configuration diagrams for explaining an embodiment of the magnetic sensor of the present invention. FIG. 4A is a rear perspective view of the lead frame, and FIG. 4B is after dicing. FIG. 5 is a side perspective view of the entire magnetic sensor for explaining an embodiment of the magnetic sensor of the present invention. In the figure, reference numeral 21 is a lead frame, 22a to 22d are external lead parts, 23 is an island part, 24 is a pellet (Hall element), 25a to 25d are internal electrodes, 26 is a Hall element sensing part, and 27a to 27d are fine metal wires. , 28 indicates a mold resin. Since the magnetic sensor is finally cut by dicing, the dotted line portion shown in FIG. 4A has the dimensions of the magnetic sensor, that is, the dimensions shown in FIG.

本発明に係る磁気センサは、リードフレーム２１とペレット２４と金属細線２７ａ〜２７ｄを備えたものである。リードフレーム２１は、外部との電気的接続を得るために四隅に配置された外部リード部２２ａ〜２２ｄを有するものである。また、ペレット２４は、リードフレーム２１のアイランド部２３の中央部に搭載され、ホール素子受感部２６と内部電極２５ａ〜２５ｄを備えたものである。また、金属細線２７ａ〜２７ｄは、リードフレーム２１の外部リード部２２ａ〜２２ｄとペレット２４上の内部電極２５ａ〜２５ｄとを接続するものである。   The magnetic sensor according to the present invention includes a lead frame 21, a pellet 24, and fine metal wires 27a to 27d. The lead frame 21 has external lead portions 22a to 22d arranged at four corners in order to obtain electrical connection with the outside. The pellet 24 is mounted at the center of the island portion 23 of the lead frame 21 and includes a Hall element sensing portion 26 and internal electrodes 25a to 25d. The thin metal wires 27 a to 27 d connect the external lead portions 22 a to 22 d of the lead frame 21 and the internal electrodes 25 a to 25 d on the pellet 24.

アイランド部２３に搭載されたペレット２４は、その各辺が、外部リード部２２ａ〜２２ｄのＸＹ配置方向に対して４５度の傾きを有するように配置されているとともに、ペレット２４のＹ軸上の端部が、外部リード部２２ａと２２ｂの間に向けて近接配置されている。これに伴い、ペレット２４を搭載するアイランド部２３の形状も、ペレット２４の各辺に沿った平行な傾斜部分を有するとともに、Ｙ軸両方向に向いた２つの台形凸形状部分を有している。つまり、ペレット２４のＹ軸上端部方向及びＹ軸下端部方向に対してそれぞれ上向き台形凸形状部分と下向き台形凸形状部分が設けられている。   The pellet 24 mounted on the island portion 23 is arranged so that each side thereof has an inclination of 45 degrees with respect to the XY arrangement direction of the external lead portions 22a to 22d, and on the Y axis of the pellet 24. The end portion is disposed close to the outer lead portions 22a and 22b. Along with this, the shape of the island portion 23 on which the pellet 24 is mounted also has parallel inclined portions along each side of the pellet 24 and two trapezoid convex portions facing both directions of the Y axis. That is, an upward trapezoidal convex shape portion and a downward trapezoidal convex shape portion are provided with respect to the Y axis upper end portion direction and the Y axis lower end portion direction of the pellet 24, respectively.

このように、ペレット２４の各辺を、外部リード部２２ａ〜２２ｄの四隅のＸＹ配置方向に対して４５度の傾きを有するように配置し、しかも、外部リード部２２ａと２２ｂの中間のＹ軸方向にペレット２４のＹ軸上端部を近接配置するようにしたので、全体的な寸法が短縮できて小型化が可能となる。   Thus, each side of the pellet 24 is arranged so as to have an inclination of 45 degrees with respect to the XY arrangement directions of the four corners of the external lead portions 22a to 22d, and in addition, an intermediate Y axis between the external lead portions 22a and 22b. Since the upper end of the Y-axis of the pellet 24 is arranged close to the direction, the overall dimensions can be shortened and the size can be reduced.

また、図４に示すように、外部リード部２２ａ〜２２ｄの内側端部と、ペレット２４の各辺に平行なアイランド部２３の傾斜部分との距離Ｂを確保しつつ、外部リード部２２ａ〜２２ｄの内側端部と、内部電極２５ａ〜２５ｄとの距離Ａを取ることができる。   Further, as shown in FIG. 4, the external lead portions 22a to 22d are secured while maintaining a distance B between the inner end portions of the external lead portions 22a to 22d and the inclined portions of the island portion 23 parallel to the sides of the pellet 24. The distance A between the inner end of each of the electrodes and the internal electrodes 25a to 25d can be taken.

また、ペレット２４に設けられたホール素子受感部２６は、４端子ホール素子で構成され、この４端子に対応して内部電極２５ａ〜２５ｄが設けられている。また、この４端子ホール素子の配置パターンは、ペレット２４の４５度の傾き配置に合わせて十字型パターンに配置されている。   The Hall element sensing unit 26 provided in the pellet 24 is configured by a four-terminal Hall element, and internal electrodes 25a to 25d are provided corresponding to the four terminals. In addition, the arrangement pattern of the four-terminal Hall elements is arranged in a cross pattern in accordance with the 45 ° inclination arrangement of the pellets 24.

これにより、内部電極２５ａ〜２５ｄの配置は、内部電極２５ａと２５ｃはＸ軸上に配置され、内部電極２５ｂと２５ｄがＹ軸上に配置されることになる。そして、内部電極２５ａ〜２５ｄと外部リード部２２ａ〜２２ｄのうち、外部リード部２２ａと内部電極２５ａ（十字型左端）が金属細線２７ａで接続され、外部リード部２２ｂと内部電極２５ｂ（十字型上端）が金属細線２７ｂで接続され、外部リード部２２ｃと内部電極２５ｃ（十字型右端）が金属細線２７ｃで接続され、外部リード部２２ｄと内部電極２５ｄ（十字型下端）が金属細線２７ｄで接続されている。   As a result, the internal electrodes 25a to 25d are arranged such that the internal electrodes 25a and 25c are arranged on the X axis, and the internal electrodes 25b and 25d are arranged on the Y axis. Among the internal electrodes 25a to 25d and the external lead portions 22a to 22d, the external lead portion 22a and the internal electrode 25a (cross-shaped left end) are connected by a thin metal wire 27a, and the external lead portion 22b and the internal electrode 25b (cross-shaped top end) ) Are connected by a thin metal wire 27b, the external lead 22c and the internal electrode 25c (cross-shaped right end) are connected by a thin metal wire 27c, and the external lead 22d and the internal electrode 25d (cross-shaped lower end) are connected by a thin metal wire 27d. ing.

しかも、金属細線２７ａと２７ｃとは同じ長さであって、金属細線２７ｂと２７ｄの長さよりも長く配線されている。つまり、複数の外部リード部２２ａ〜２２ｄと複数の内部電極２５ａ〜２５ｄとを接続する金属細線２７ａ〜２７ｄは、交差の生じないように時計回り又は反時計回りに順次配線され、長さの異なる２種類の金属細線からなっている。   Moreover, the fine metal wires 27a and 27c have the same length and are wired longer than the fine metal wires 27b and 27d. That is, the thin metal wires 27a to 27d that connect the plurality of external lead portions 22a to 22d and the plurality of internal electrodes 25a to 25d are sequentially wired clockwise or counterclockwise so as not to cross each other, and have different lengths. It consists of two types of fine metal wires.

このように金属細線を配線することにより、図１に示した従来のものと比較して、本発明の金属細線２７ａ〜２７ｄは、従来の全て同じ長さの金属細線７ａ〜７ｄに比べて長く取ることができ、異なる長さで構成できるので、ワイヤーボンディングの位置がずれることによる金属細線の長さに余裕を持たせることができ、ワイヤーループが描けるという効果を有する。   By wiring the metal thin wires in this way, the metal thin wires 27a to 27d of the present invention are longer than the conventional metal thin wires 7a to 7d of the same length as compared with the conventional one shown in FIG. Since it can be taken and can be configured with different lengths, it is possible to provide a margin for the length of the fine metal wire due to the displacement of the position of wire bonding, and it is possible to draw a wire loop.

また、上述したように、ペレット２４の各辺を外部リード部２２ａ〜２２ｄの四隅のＸＹ配置方向に対して４５度の傾きを有するようにし、ホール素子の配置パターンを十字型の配置パターンとしたので、図２に示したＸ字型の従来のように、ホール素子の端子間でのＸＹ方向の外部応力の影響を大きく受けることはなく、ホール素子の電気磁気特性が安定するという効果を有する。   Further, as described above, each side of the pellet 24 has an inclination of 45 degrees with respect to the XY arrangement direction of the four corners of the external lead portions 22a to 22d, and the Hall element arrangement pattern is a cross-shaped arrangement pattern. Therefore, unlike the X-shaped conventional example shown in FIG. 2, it is not greatly affected by the external stress in the XY direction between the terminals of the Hall element, and has the effect of stabilizing the electromagnetic characteristics of the Hall element. .

従来の磁気センサを説明するためのリードフレームの裏面透視図である。It is a back surface perspective view of a lead frame for explaining a conventional magnetic sensor. 図１におけるホール素子の配置パターンを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the arrangement pattern of the Hall element in FIG. 図２の等価回路の回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram of the equivalent circuit of FIG. 2. （ａ），（ｂ）は、本発明の磁気センサの一実施例を説明するための構成図で、（ａ）はリードフレームの裏面透視図、（ｂ）はダイシング後の磁気センサの側面図である。(A), (b) is a block diagram for demonstrating one Example of the magnetic sensor of this invention, (a) is a back surface perspective view of a lead frame, (b) is a side view of the magnetic sensor after dicing. It is. 本発明の磁気センサを説明するための全体裏面透視図である。It is the whole back surface perspective view for demonstrating the magnetic sensor of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１，２１ リードフレーム
２ａ〜２ｄ，２２ａ〜２２ｄ 外部リード部
３，２３ アイランド部
４，２４ ペレット（ホール素子）
５ａ〜５ｄ，２５ａ〜２５ｄ 内部電極
６，２６ ホール素子受感部
７ａ〜７ｄ，２７ａ〜２７ｄ 金属細線
１１ａ〜１１ｄ ホール素子の端子
２８ モールド樹脂
1,21 Lead frames 2a to 2d, 22a to 22d External lead part 3, 23 Island part 4, 24 Pellet (Hall element)
5a to 5d, 25a to 25d Internal electrodes 6, 26 Hall element sensing parts 7a to 7d, 27a to 27d Metal thin wires 11a to 11d Hall element terminals 28 Mold resin

Claims (2)

外部との電気的接続を得るために四隅に配置された外部リード部を有するリードフレームと、該リードフレームのアイランド部の中央部に搭載され、ホール素子受感部と内部電極を備えたペレットと、前記リードフレームの前記外部リード部と前記ペレット上の前記内部電極とを接続する金属細線と、前記ペレットと前記金属細線とを覆うモールド樹脂を備えた直方体のノンリードの磁気センサにおいて、
前記アイランド部に搭載される前記ペレットは、該ペレットの各辺が、前記モールド樹脂による前記直方体の長辺に対して４５度傾くと同時に前記アイランド部も同様に４５度傾き、前記ホール素子受感部の配置は、十字型で前記長辺に対して垂直又は平行に配置され、前記外部リード部は、前記モールド樹脂の内部において内部から裏面へ直接繋がり裏面で外部と面接続することを特徴とする直方体のノンリードの磁気センサ。 A lead frame having external lead portions arranged at four corners to obtain electrical connection with the outside; and a pellet mounted on the center portion of the island portion of the lead frame and provided with a Hall element sensing portion and an internal electrode; In a non-lead magnetic sensor of a rectangular parallelepiped comprising a metal fine wire connecting the external lead portion of the lead frame and the internal electrode on the pellet, and a mold resin covering the pellet and the metal fine wire,
The pellets to be mounted on the island portion, each side of the pellet, 45 Do傾Kutodojini said island portion-out similarly 45 Do傾 to the cuboid long sides by the mold resin, the Hall element The sensing part is arranged in a cross shape so as to be perpendicular or parallel to the long side, and the external lead part is directly connected from the inside to the back side inside the mold resin and is connected to the outside on the back side. A rectangular parallelepiped non-lead magnetic sensor. 前記金属細線の長さは異なる長さで構成されていることを特徴とする請求項１記載の直方体のノンリードの磁気センサ。   2. The rectangular parallelepiped non-lead magnetic sensor according to claim 1, wherein the metal thin wires have different lengths.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5649277B2 (en) 2008-12-22 2015-01-07 ローム株式会社 Semiconductor device
JP5572622B2 (en) 2009-05-15 2014-08-13 ローム株式会社 Semiconductor device
JP5629264B2 (en) 2009-09-11 2014-11-19 ローム株式会社 Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP6105898B2 (en) * 2012-10-26 2017-03-29 旭化成エレクトロニクス株式会社 Magnetic sensor and manufacturing method thereof
JP6842236B2 (en) * 2015-12-28 2021-03-17 ローム株式会社 Magnetic sensor module
JP6899244B2 (en) * 2016-04-20 2021-07-07 ローム株式会社 Semiconductor device
US10211179B2 (en) * 2016-04-20 2019-02-19 Rohm Co., Ltd. Semiconductor device
JP6986385B2 (en) * 2016-08-22 2021-12-22 ローム株式会社 Semiconductor device, mounting structure of semiconductor device
JP6928463B2 (en) * 2016-12-09 2021-09-01 ローム株式会社 Hall element module
JP7009157B2 (en) * 2016-12-28 2022-01-25 ローム株式会社 Semiconductor device
JP7208725B2 (en) * 2017-09-04 2023-01-19 ローム株式会社 semiconductor equipment
JP7450576B2 (en) * 2021-03-22 2024-03-15 株式会社東芝 semiconductor equipment

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5379393A (en) * 1976-12-24 1978-07-13 Toshiba Corp Hall power generator device
JPS5615074U (en) * 1979-07-13 1981-02-09
JPS5658290A (en) * 1979-10-18 1981-05-21 Toshiba Corp Hall element
JPS6057985A (en) * 1983-09-09 1985-04-03 Denki Onkyo Co Ltd Formation of electrode for magneto-electricity converting element
JPS6384176A (en) * 1986-09-29 1988-04-14 Toshiba Corp Magnetic focusing type hall element and manufacture thereof
JPH0273751U (en) * 1988-11-26 1990-06-05
JPH05145140A (en) * 1991-11-21 1993-06-11 Sharp Corp Mold type hole element
JPH09297038A (en) * 1996-05-08 1997-11-18 Hitachi Cable Ltd Hall element
JP3464369B2 (en) * 1997-10-17 2003-11-10 旭化成電子株式会社 Method of manufacturing thin high-sensitivity Hall element
JP2005005473A (en) * 2003-06-11 2005-01-06 Asahi Kasei Electronics Co Ltd Hall element
JP4807928B2 (en) * 2003-09-18 2011-11-02 旭化成エレクトロニクス株式会社 Surface-mount vertical magnetoelectric transducer

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