JP4965466B2 - レーザ発振器 - Google Patents

Description

この発明は、レーザ発振器に関し、特にその光学素子の取付け構造に係るものである。

図１４は特許文献１に記載され従来の不安定型共振器を用いたレーザ発振器を示す構成断面図である。図において、５１，５２はそれぞれ凹面状の例えばＣｕより成る全反射ミラー（曲率半径Ｒ₁＝１ｍ）及び拡大ミラー（曲率半径Ｒ₂＝２ｍ）で、全反射ミラー５１及び拡大ミラー５２は共振器長１．５ｍで配設され、負枝構成の共焦点構成（拡大率Ｍ＝２）となっている。５３，５４はそれぞれ全反射ミラー５１及び拡大ミラー５２が装着されたミラー押さえ、５５，５６は全反射ミラー５１及び拡大ミラー５２に接触して両ミラー５１，５２を冷却する平板で構成されたミラー冷却板である。

５７は例えばＣｕより成るスクレーパミラーで、不安定型共振器内からリング状のレーザビーム出力を取り出すようになっている。５８は例えばＺｎＳｅより成る透過ミラーで、レーザビームが透過ミラー５８を通過することによりレーザ発振器外へ出射される。５９はレーザ媒質で、例えばＣｏ₂レーザ等のガスレーザの場合は放電などにより励起されたガス媒質、ＹＡＧ等の固体レーザの場合はフラッシュランプ等により励起された固体媒質である。６０はレーザビーム径を制御するアパーチャ、６１は不安定型共振器の周囲を覆う筐体、６２は全反射ミラー５１と拡大ミラー５２により構成される不安定型共振器の内部に発生したレーザビーム、６３は透過ミラー５８により外部に取り出されたリング状のレーザビームである。

図１５は図１４に記載され拡大ミラー５２周辺のミラーの取付け構造を示す断面図である。図において、５２ａ，５２ｂはそれぞれ拡大ミラー５２の開口径、ミラー径を示し、（５２ｂ−５２ａ）が熱接触部に相当している。６４は拡大ミラー５２を装着したミラー押え５４をミラー冷却板５６に固定するボルトである。６５は拡大ミラー５２の背面に設けられたＯリングで、このＯリング６５が拡大ミラー５２を押すことにより、拡大ミラー５２はミラー冷却板５６に圧着され、拡大ミラー５２とミラー冷却板５６の熱接触が保証されるようになっている。なお、図１５では拡大ミラー５２（光学素子）周辺のミラーの取付け構成を示したが、全反射ミラー５１（光学素子）周辺のミラーの取付け構成もこれと同様である。

次に、作用について説明する。レーザビーム６２は全反射ミラー５１と拡大ミラー５２の間を往復し、この往復の間にレーザ媒質５９により増幅される。このようにして増幅されたレーザビーム６２の一部はスクレーパミラー５７により反射され、透過ミラー５８を通ってレーザ発振器の外部に取り出される。取り出されたレーザビーム６３は、不安定型共振器の構成が共焦点配置であるため、平行ビームとなる。この場合、全反射ミラー５１と拡大ミラー５２はレーザ光に対して若干の吸収率を有しているため、レーザビーム６２が不安定型共振器内を往復している間に、全反射ミラー５１と拡大ミラー５２に熱が吸収される。この熱は水冷されたミラー冷却板５５，５６の表面の接触面から放熱され、ミラー温度の上昇を防止する。

図１６は特許文献２に記載されたミラー（光学素子）の取付け構造を示す要部断面図である。ミラー８２の反射面側をベンドブロック８３に当接させミラーを取付けている。レーザ発振器内部に使用される上記ミラーは、発振するレーザ光の波長の１／１０以下という高い平面度が求められる。ベンドブロック８３のミラー８２との接触面（ミラー取付用平面部）８５に平面度１μｍ以下の超高精度平面加工を施すことで、押付け力によるミラ

ー８２の倣い変形を防止している。なお、８１はレーザ光、８４は支持台、８６は取付ネジ、８７,８８は調整用ネジ、８９は冷却水通路、９０は防塵用部材である。また、図１４の共振器においても、特許文献２に開示された超高精度平面加工を、ミラー冷却板５５，５６のミラー接触面側に施し、ミラーの倣い変形を低減することが、一般的になされている。

図１７は特許文献３に記載され露光装置を有する光学装置におけるレンズの保持構造を示す分解斜視図である。レンズ９７を３点の向かい合う突起部９５を有する保持部材（押環）９１、９２で両側から挟み込むことによって、レンズ９７が保持部材（押環）９１、９２により倣い変形を受けることを防止する構造となっている。保持部材９１,９２の変形で、レンズ（光学素子）に曲げモーメントが作用しない構造となっている。なお、９６は鏡筒、９３,９４はレンズの湾曲面である。

特開平３−２５７９７９号公報（第５図、第６図） 特開平８−２５７７８２号公報（図１） 特開平２００２−１４１２７０号公報（図１）

図１４に示す共振器では、ミラー押さえ５３,５４のミラー冷却板５５、５６との接触面は平面度が悪いため、ミラー押さえ５３,５４をミラー冷却板５５、５６に押しつけ、ボルト６４で締結固定したとき、ミラー冷却板５５,５６がミラー押さえ５３,５４に倣い変形し、その結果ミラー５１,５２がミラー冷却板５５,５６に倣い変形する問題がある。ミラー冷却板５５,５６と筐体６１の接触面についても、両接触面の平面度が悪いため、同じ現象が発生し、ミラー冷却板５５,５６を筐体に固定したとき、ミラー冷却板５５,５６が筐体６１に倣い変形し、ミラー５１,５２が変形する。

前記変形を防止するために、ミラー押さえ５３,５４及びミラー冷却板５５,５６の筐体６１側、ミラー冷却板５５,５６のミラー押さえ５３,５４側、及び筐体６１の接触面に超高精度平面加工を施しておけば、倣い変形を防止できるが、超高精度平面加工は非常に高いコストとなる問題があり、また、筐体６１のように大きな部品は加工装置の制約で加工できない問題もある。

図１６に示すミラーの取付け構造においても、ベンドブロック８３に超高精度加工（平面度１μｍ以下）を施す必要があるが、超高精度加工機の制約でベンドブロック８３のような大きな部品は加工できない問題がある。ベンドブロック８３に超高精度加工できないと、ミラー８２がベンドブロック８３によって倣い変形を起こし、平面度が許容値を満たさなくなる。

図１７に示される光学装置の保持構造においては、レンズ９７と保持部材９１,９２が
点接触しているため、伝熱面積が非常に小さく、レンズ９７の冷却性能が不足する。また、光学素子がＺｎＳｅ等の比較的柔らかい材質の場合、突起部９５周辺に集中する応力によって、凹んだり、屈折率が部分的に変化したりするため、光学的に有効な領域（例えば光ビームが通過する領域）と３点接触の突起部分を離す必要があり、結果的に光学素子の直径が大きくなり、大幅なコストアップとなる。

また、気密保持のため、光学素子と保持部材の間にＯリングを設けた場合、光学素子は３点接触のため、Ｏリングを潰した時に発生する反力によって、光学素子の点接触していない部分が反る問題がある。この反りを低減するために、素子の厚みを大きくし、光学素子の曲げ剛性を向上させることが考えられるが、光学素子は非常に高価なため大幅なコストアップになる。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、光学素子が当接され光学素子を冷却する冷却フランジを、フランジ押さえとベースで挟んで締結固定する時に、冷却フランジがフランジ押さえやベースに倣い変形することを抑制し、冷却フランジに接触する光学素子の平面度を高精度に保つことを目的とする。

この発明に係わるレーザ発振器は、光学素子を冷却フランジに当接して前記光学素子を冷却し、前記冷却フランジをフランジ押さえとベースで挟んで前記冷却フランジを固定するレーザ発振器において、前記光学素子はミラー又はレンズであり、前記フランジ押さえと前記冷却フランジは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、前記３カ所の突起は三角形の頂点に配置され、前記冷却フランジと前記ベースは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、前記フランジ押さえと前記冷却フランジが接触する３点と前記冷却フランジと前記ベースが接触する３点が互いに向かい合う位置に配置され、前記冷却フランジを挟んだ前記フランジ押さえと前記ベースを締結部材で締結固定し、前記６個の突起が接触する面は、前記締結部材による締結力の方向に垂直な位置関係にあるものである。

この発明のレーザ発振器によれば、光学素子が当接され光学素子を冷却する冷却フランジを、３点接触構造でフランジ押さえとベースで挟んで締結固定し、６個の突起が接触する面は、前記締結部材による締結力の方向に垂直な位置関係にあることによって、締結固定時に冷却フランジがフランジ押さえやベースに倣い変形することが抑制され、冷却フランジに接触する光学素子の平面度を高精度に保つことができる。また、高精度加工を光学素子が当接される冷却フランジの面に施せば光学素子の平面度を高精度に保つことができ、低コストである。

実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＢ−Ｂ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。ミラー３は冷却フランジ４の面８に当接され、冷却フランジ４の面８は平面度１μｍ以下の超高精度加工が施されている。冷却フランジ４は小さな部品のため、加工装置の制約を受けずに容易に超高精度平面加工ができる。また、超高精度平面加工は、部品の最も高い面しか加工できないが、冷却フランジ４の加工面８は最も高い面のため加工は可能である。７はＯリングである。

冷却フランジ４は冷却水路１５に水を流すことで冷却される。冷却フランジ４は、熱伝導性を確保するため、アルミニウム材を使用している。ミラー３（例えば共振ミラー）は冷却フランジ４と超高精度平面同士で接触しているため、熱伝達は良く、十分にミラー３は冷却される。冷却フランジ４はフランジ押さえ１とベース２の間に挟まれている。なお、ベース２はレーザ発振器の筐体などである。フランジ押さえ１にはボルト５（締結部材）の３ヵ所の通し孔、ベース２にはボルト５の３ヶ所のネジ穴が加工されており、３本のボルト５ａ，５ｂ，５ｃを締めることによって、冷却フランジ４は強く挟み込まれ固定される。これにより、ミラー３（光学素子）は、Ｏリング７を介してフランジ押さえ１で冷却フランジ４に圧着され、ミラー３は十分に冷却される。

フランジ押さえ１には、冷却フランジ４との接触面側に、突起６が３カ所ある。即ち、突起６ａ，６ｂ，６ｃがある。この突起６が冷却フランジ４と接触している。同様に、ベース２にも、冷却フランジ４との接触面側に突起９が３カ所ある。即ち、突起９ａ，９ｂ，９ｃがある。この突起９で冷却フランジ４と接触している。また、突起６の３箇所の突起６ａ，６ｂ，６ｃと突起９の３箇所の突起９ａ，９ｂ，９ｃはそれぞれ互いに向かい合う位置関係（突起６ａと９ａ，突起６ｂと９ｂ，突起６ｃと９ｃがそれぞれ光軸と平行な同一直線上に位置する関係）に配置されている。フランジ押さえ１と冷却フランジ４間の突起６は冷却フランジ４側に設けても良い。冷却フランジ４とベース２間の突起９は冷却フランジ４側に設けても良い。

なお、軸周りにおける、フランジ押さえ１とベース２の位置決めは、例えば、フランジ押さえ１とベース２の外周面にけがき線などのマークを予め設けておき、各マークを観察しながら、各突起をそれぞれ同一直線上に合致させることにより行う。また、突起６ａ，９ａとボルト５ａ、突起６ｂ，９ｂとボルト５ｂ、突起６ｃ，９ｃとボルト５ｃは、それぞれ冷却フランジの同一半径方向上に配置され、１２０°間隔で３半径方向に配置されている。そのため、実施の形態１では、突起６ａ，６ｂ，６ｃと突起９ａ，９ｂ，９ｃは正三角形の頂点の位置に配置されている。

６個の突起６ａ，６ｂ，６ｃ，９ａ，９ｂ，９ｃが接触する面は、締結部材であるボルトの締め付ける方向に対して垂直な位置関係にある。ボルトの締め付ける方向に対して垂直でない場合は、挟み込みによって、冷却フランジ４が横滑りするためである。実施の形態１では、冷却フランジ４のフランジ押さえ１側の面（突起６ａ，６ｂ，６ｃが接触する面）とベース２側の面（突起９ａ，９ｂ，９ｃが接触する面）とがボルトの締め付ける方向に対して垂直であるが、これに限らず、６個の突起６ａ，６ｂ，６ｃ，９ａ，９ｂ，９ｃが接触する面がそれぞれ別々の６面であっても、それらが互いにボルトの締め付ける方向に対して垂直であればよい。

ボルト５は冷却フランジ４の直径つまり外周よりも外側に配置されており、ボルト５と冷却フランジ４が接触しないようにしている。ボルト５を強く締め込んだ時、ボルト５は若干変形する。仮に、冷却フランジ４とボルト５が固定されていれば、ボルト５の変形によって冷却フランジ４が変形しミラー３も変形するが、実施の形態１の構造では、ボルト５と冷却フランジ４が接触しないため、ボルト５が変形しても、冷却フランジ４が変形することはない。

次に、３点突起を持つ２つの部品で冷却フランジを挟み込み、互いの突起が向かい合う位置にあると平面度が良くなる理由を説明する。図２は突起が４点（４），（５），（６）,（７）ずつある場合の接触状態を示す説明図で、その（ａ）は正面図、その（ｂ）は（ａ）の矢印Ｑから見た側面図である。簡単のため、突起は正方形の頂点に配置した場合について考える。突起が４点あっても、機械加工誤差によって、４点が全て同一平面上にあることはなく、４点のうちの３点のみが面に接触すると考えられる。その（ｂ）はフランジ押さえ２１の突起２２（４）とベース２５の突起２４（７）が冷却フランジ２３に接触していない場合を示す。図中の矢印Ｆ及びｆはフランジ押さえ２１とベース２５を締結固定したときに、突起から冷却フランジ２３に作用する力を表している。突起が正方形の頂点に配置されているため、ｆ₄とＦ₇は同じ大きさで、ｆ₄×ｌ₂の大きさのねじりモーメントが図２のＯ―Ｏ断面に作用し、冷却フランジ２３が変形することになる。

次に突起が３点ずつの場合について考える。図３は突起が３点（１）（２）（３）ずつある場合の接触状態示す説明図で、その（ａ）は正面図、その（ｂ），（ｃ）は（ａ）の矢印Ｐから見た側面図である。簡単のため、突起は正三角形の頂点に配置した場合について考える。その（ｂ）はフランジ押さえ２１とベース２５の３点ずつの突起２２と突起２４が向かい合う位置にある場合を示す。その（ｃ）はフランジ押さえ２１の突起２２（１）とベース２５の突起２４（１）がｌ₁だけずれた場合を示す。その（ｃ）のように、突起が向かい合う位置になく、突起２２（1）と突起２４（１）の位置が比較的近い距離ｌ₁だけずれている場合は、冷却フランジ２３にはＦ₁×ｌ₁の大きさの曲げモーメントが作用し、冷却フランジ２３が変形する。ここで、Ｆ₁とｆ₁はｌ₁が比較的近い距離のため、ほぼ同じ値とみなしている。

これに対して、その（ｂ）のように突起２２と突起２４が向かい合う位置にある場合は、作用・反作用の法則により、Ｆ₁とｆ₁、Ｆ₂とｆ₂、Ｆ₃とｆ₃は大きさが等しく向きが反対になるため、Ｆ₁とｆ₁、Ｆ₂とｆ₂、Ｆ₃とｆ₃の合力はそれぞれ０となり、冷却フランジ２３に曲げモーメントは発生しない。結果、冷却フランジ２３が変形することはなく、冷却フランジ２３に当接するミラーの平面度は高精度に保持される。なお、突起は正三角形の頂点に配置することが荷重分布上望ましいが、これに限ることはなく、３点の突起は一直線上にない三角形の頂点であればよい。

実施の形態１の構造では、超高精度平面加工を施しているのは、ミラー３が接触（当接）する冷却フランジ４の１面だけで、他の接触面は通常の機械加工のため、低コストである。また、超高精度平面加工を施す冷却フランジ４は小さな部品のため、加工装置の制約を受けず、加工が容易である。また、フランジ押さえ１側に設けた通し孔から、ボルト５を通して固定しているが、ベース２側に通し孔を開け、フランジ押さえ１にネジ穴を加工して、ベース２側からボルト５を通して固定してもよい。さらに、ミラー３の変わりにレンズ（光学素子）を用いてもよく、ベンドミラーの場合は、ベースとしてはベンドブロックが該当する。

実施の形態１では、冷却フランジ４の両面からそれぞれ３箇所ずつの向かい合う突起を持った部品によって冷却フランジ４を挟み込むため、締結固定しても、冷却フランジ４に曲げモーメントが作用せず、冷却フランジ４の平面度が高精度に保たれる。結果として、冷却フランジ４に押圧（当接）されたミラーの平面度も高精度に保たれる。また、高価な超高精度平面加工が施される面はミラーが押圧される冷却フランジの１面だけでもよく、低コストとなる。また、超高精度加工を施す部品は比較的小さいため、加工装置の制約を受けずに、容易に加工できる。

また、ミラーの変形を抑制するために、ミラーの両側をそれぞれ直接３点接触構造で押えてミラーを固定するのでは、ミラーの冷却能力が低下する。実施の形態１では、冷却フランジの両側を３点接触構造で押え冷却フランジを固定し、冷却フランジの変形を抑制している。そのため、冷却フランジとミラーの接触面積を少なくすることなく、つまり、冷却能力を落とすことなく、ミラーの変形を抑制できる。

実施の形態２．
図４は実施の形態２によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＤ−Ｄ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。なお、各図を通じて、同一符号は同一または相当部分を示す。実施の形態１のＯリング７に代わって、コイルバネ１０を介してフランジ押さえ１でミラー３を冷却フランジ４にお押圧するようにしたものである。

また、実施の形態１では、ボルト５を冷却フランジ４の外側に配置したが、実施の形態２では冷却フランジ４にボルト５の直径よりも大きな貫通孔３１を設け、ボルト５をその貫通孔３１に通すようにしている。ボルト５と冷却フランジ４が接触しないため、ボルト５が変形しても、冷却フランジ４が変形することはなく、ミラーの平面度は高精度に保たれる。

実施の形態３．
図５は実施の形態３によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＦ−Ｆ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。ミラー３を冷却フランジ４に押圧するのは、弾性部材ではなく、ボルト１１でミラー３を冷却フランジ４に押圧するようにしたものである。フランジ押さえ１にねじ孔を加工しておき、ボルト１１を締め付けることで、ミラー３を冷却フランジ４に押しつけている。

実施の形態４．
図６は実施の形態４によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＨ−Ｈ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ断面図である。フランジ押さえ１とベース２との締結をボルト５ではなく、クランプ１２（締結部材）で挟み込むようにしたものである。

実施の形態５．
図７は実施の形態５によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＪ−Ｊ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。フランジ押さえ１と冷却フランジ４間の３ヶ所の突起１３（１３ａ,１３ｂ,１３ｃ）を冷却フランジ４側に設けたものである。また、冷却フランジ４とベース２間の３ヶ所の突起１４（１４ａ,１４ｂ,１４ｃ）を冷却フランジ４側に設けたものである。突起１３、１４はミラーが接触する面８よりも低くしている。超高精度平面加工は、最も高い面しか加工できないためである。

実施の形態６．
図８は実施の形態６によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＬ−Ｌ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＫ−Ｋ断面図である。ミラー３にボルト１１（１１ａ,１１ｂ,１１ｃ）を通す孔を加工しておき、冷却フランジ４にネジ穴加工をしておく。ボルト１１（１１ａ,１１ｂ,１１ｃ）を締め付けることでミラー３を冷却フランジ４に押しつけている。また、突起６ａとボルト５ａ,１１ａ、突起６ｂとボルト５ｂ,１１ｂ、突起６ｃとボルト５ｃ,１１ｃは、それぞれ冷却フランジの同一半径方向上に配置され、１２０°間隔で３半径方向に配置されている。

実施の形態７．
図９は実施の形態７によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＮ−Ｎ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＭ−Ｍ断面図である。図９のレーザ発振器では、突起の先端面を球面状にしたものである。図１０および図１１は先端面が平面状と球面状の場合の接触状態を説明する図である。突起の先端面が平面状の場合は図１０のように、加工誤差によって、フランジ押さえ２１の突起２２とベース２５の突起２４の先端平面と冷却フランジ２３の平面との平行度にズレが生じる。このときＦ₇とｆ₇の間に最大で接触面先端の直径分のズレｌ₃が発生し、冷却フランジにはＦ₇×ｌ₃の大きさの曲げモーメントが作用する。その結果、冷却フランジ２３及びミラーが変形することになる。

これに対して、突起の先端面が球面状の場合は図１１のように、接触位置が一定しており、Ｆ₇とｆ₇の間にズレは生じない。その結果、曲げモーメントが発生しないため、冷却フランジ２３及びミラーの変形の平面度は高精度に保持される。突起の先端面は球面状であるが、球面は円球面でなくてもよい。楕円球面であっても良い。要は突起の先端が一点に収束し丸みのある球面であればよい。その結果、突起の先端と平面（冷却フランジ２３の平面）との接触面積が小さくなるため、突起から作用する曲げモーメントの発生を防止でき、取付けた光学素子（ミラー）の平面度を高精度に保つことができる。

実施の形態８．
図１２は実施の形態８によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＳ−Ｓ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＲ−Ｒ断面図である。レーザ発振器内部の気密性を保つため、フランジ押さえ１と冷却フランジ４の間、冷却フランジ４とベース２の間にそれぞれＯリング２６,２７を挟んだものである。この例では、Ｏリング２６に対する第一のＯリング溝はフランジ押さえ１側に設けている。Ｏリング２７に対する第二のＯリング溝はベース２側に設けている。しかし、Ｏリング溝は、冷却フランジ４側に設けてよい。Ｏリング２６の第一のＯリング溝の周囲面（フランジ押さえ１の面）とそれに対向する冷却フランジ４の面の間には隙間２９を設けて、フランジ押さえ１と冷却フランジ４は突起６だけで接触している。Ｏリング２７の第ニのＯリング溝の周囲面（ベース２の面）とそれに対向する冷却フランジ４の面の間には隙間３０を設けて、冷却フランジ４とベース２は突起９だけで接触している。

隙間２９,３０を設けない場合、冷却フランジ４がフランジ押さえ１やベース２に接触
し、３点接触ではなくなるため、冷却フランジ４がフランジ押さえ１やベース２に倣い変形するが、隙間を設けることで、倣い変形を防止している。なお、隙間は、フランジ押さえ１やベース２の僅かな変形量より大きければよく、数十μｍ程度とした。これはＯリングの線径に対して十分小さいため、圧力差によってＯリングが溝からはみ出すことはない。

次にＯリング２６、２７の反力による冷却フランジ４の反りについて説明する。Ｏリングを潰したときに発生する反力は冷却フランジ４の全周囲に作用する。これは、突起によって両端固定された梁に等分布荷重が加えられた状態であり、冷却フランジ４の突起による保持点以外の部分に反りが発生し、柔らかいミラー３は冷却フランジ４に倣い変形することが懸念される。これに対して、この構造では、冷却フランジ４の厚みを大きくすることで、曲げ剛性を向上させ、Ｏリングの反力による冷却フランジ４の反りを防止している。冷却フランジ４は光学素子に比べて安価な部品のため、厚みを大きくしても低コストである。

実施の形態９．
図１３は実施の形態９によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示し、その（ａ）は（ｂ）のＵ−Ｕ断面図、その（ｂ）は（ａ）のＴ−Ｔ断面図である。実施の形態８をさらに改良して、ミラー３と冷却フランジ４の間にＯリング２８を加え、ミラー３の側面に冷却水の流路を作ることで、ミラー３の側面を直接水冷し冷却性能を向上させたものである。フランジ押さえ１と冷却フランジ４並びに冷却フランジ４とベース２との間のＯリング２６、２７については、実施例８と同様に隙間２９,３０を設け、倣い変形を防止している。

この発明の実施の形態１によるレーザ発振器のミラーの取付構造を示す断面図である。 突起が４点ずつある場合の接触状態を示す説明図である。 突起が３点ずつある場合の接触状態を示す説明図である。 実施の形態２によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。 実施の形態３によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。 実施の形態４によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。 実施の形態５によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。 実施の形態６によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。 実施の形態７によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。

突起の先端面が平面状の場合の冷却フランジへのモーメント発生を示す説明図である。 突起の先端面が球面状の場合、冷却フランジにモーメントが発生しにくいことを示す説明図である。 実施の形態８によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。 実施の形態９によるレーザ発振器のミラーの取付け構造を示す断面図である。 従来の不安定型共振器を用いたレーザ発振器を示す構成断面図である。 図１４の拡大ミラー部の断面図である。 従来のミラーの取付け構造を示す要部断面図である。 従来の露光装置を有する光学装置におけるレンズの保持構造を示す分解斜視図である。

符号の説明

１ フランジ押さえ ２ ベース
３ ミラー ４ 冷却フランジ
５ ボルト ６ フランジ押さえの突起
７ Ｏリング ８ 超高精度平面加工面
９ ベースの突起 １０ コイルバネ
１１ ボルト １２ クランプ
１３ 冷却フランジのフランジ押さえ側突起
１４ 冷却フランジのベース側突起 １５ 冷却水路

２１ フランジ押さえ ２２ フランジ押さえの突起
２３ 冷却フランジ ２４ ベースの突起
２５ ベース ２６ Ｏリング
２７ Ｏリング ２８ Ｏリング
２９ 隙間 ３０ 隙間
３１ 貫通孔 ５１ 全反射ミラー
５２ 拡大ミラー ５３ ミラー押さえ
５４ ミラー押さえ ５５ ミラー冷却板

５６ ミラー冷却板 ５７ スクレーパミラー
５８ 透過ミラー ５９ レーザ媒質
６０ アパーチャ ６１ 筐体
６２ レーザビーム ６３ レーザビーム
６４ ボルト ６５ Ｏリング
８１ レーザ光 ８２ ミラー
８３ ベンドブロック ８４ 支持台
８５ ミラー取付用平面部 ８６ 取付ネジ

８７ 調整用ネジ ８８ 調整用ネジ
８９ 冷却水通路 ９０ 防塵用部材
９１ 保持部材（押環） ９２ 保持部材（押環）
９３ 湾曲面 ９４ 湾曲面
９５ 突起部 ９６ 鏡筒
９７ レンズ

Claims (9)

1. 光学素子を冷却フランジに当接して前記光学素子を冷却し、前記冷却フランジをフランジ押さえとベースで挟んで前記冷却フランジを固定するレーザ発振器において、
   前記光学素子はミラー又はレンズであり、
   前記フランジ押さえと前記冷却フランジは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、前記３カ所の突起は三角形の頂点に配置され、
   前記冷却フランジと前記ベースは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、
   前記フランジ押さえと前記冷却フランジが前記突起で接触する３点と前記冷却フランジと前記ベースが前記突起で接触する３点が互いに向かい合う位置に配置され、
   前記冷却フランジを挟んだ前記フランジ押さえと前記ベースを締結部材で締結固定し、
   前記６個の突起が接触する面は、前記締結部材による締結力の方向に垂直な位置関係にあることを特徴とするレーザ発振器。
2. 光学素子を冷却フランジに当接して前記光学素子を冷却し、前記冷却フランジをフランジ押さえとベースで挟んで前記冷却フランジを固定するレーザ発振器において、
   前記フランジ押さえと前記冷却フランジは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、前記３カ所の突起は三角形の頂点に配置され、
   前記冷却フランジと前記ベースは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、
   前記フランジ押さえと前記冷却フランジが前記突起で接触する３点と前記冷却フランジと前記ベースが前記突起で接触する３点が互いに向かい合う位置に配置され、
   前記冷却フランジを挟んだ前記フランジ押さえと前記ベースを締結部材で締結固定すると共に、
   前記フランジ押さえで前記光学素子を前記冷却フランジに押圧して前記光学素子を保持するようにしたことを特徴とするレーザ発振器。
3. 前記フランジ押さえで前記光学素子を前記冷却フランジに押圧して前記光学素子を保持するようにしたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器。
4. 前記フランジ押さえと前記冷却フランジが前記突起で接触する３点は正三角形の頂点に配置されるようにしたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器。
5. 光学素子を冷却フランジに当接して前記光学素子を冷却し、前記冷却フランジをフランジ押さえとベースで挟んで前記冷却フランジを固定するレーザ発振器において、
   前記フランジ押さえと前記冷却フランジのいずれかに設けた第一Ｏリング溝にＯリングを設けて、前記フランジ押さえと前記冷却フランジを前記Ｏリングによって気密保持すると共に、前記第一のＯリング溝の周囲面と前記第一のＯリンク溝の周囲面に対向する面との間に隙間を設け、
   前記フランジ押さえと前記冷却フランジは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、前記３カ所の突起は三角形の頂点に配置され、
   前記冷却フランジと前記ベースのいずれかに設けた第ニのＯリング溝にＯリングを設けて、前記冷却フランジと前記ベースを前記Ｏリングによって気密保持すると共に、前記第二のＯリング溝の周囲面と前記第二のＯリンク溝の周囲面に対向する面との間に隙間を設け、
   前記冷却フランジと前記ベースは両者のいずれかに設けた３カ所の突起で接触し、
   前記フランジ押さえと前記冷却フランジが前記突起で接触する３点と前記冷却フランジと前記ベースが前記突起で接触する３点が互いに向かい合う位置に配置され、
   前記冷却フランジを挟んだ前記フランジ押さえと前記ベースを締結部材で締結固定するように構成されたことを特徴とするレーザ発振器。
6. 前記フランジ押さえと前記冷却フランジのいずれかに設けた第一Ｏリング溝にＯリングを設けて、前記フランジ押さえと前記冷却フランジを前記Ｏリングによって気密保持すると共に、前記第一のＯリング溝の周囲面と前記第一のＯリンク溝の周囲面に対向する面との間に隙間を設け、
   かつ、前記冷却フランジと前記ベースのいずれかに設けた第ニのＯリング溝にＯリングを設けて、前記冷却フランジと前記ベースを前記Ｏリングによって気密保持すると共に、前記第二のＯリング溝の周囲面と前記第二のＯリンク溝の周囲面に対向する面との間に隙間を設けたことを特徴とする請求項1記載のレーザ発振器。
7. ３ヶ所の前記突起の先端面は球面状であることを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器。
8. 前記締結部材はボルトであり、前記冷却フランジを挟んだ前記フランジ押さえと前記ベースを、前記冷却フランジ外周の外側に配置される前記ボルトで締結するようにしたことを特徴とする請求項1記載のレーザ発振器。
9. 前記締結部材はボルトであり、前記冷却フランジには前記ボルトの直径より大きい貫通孔を設け、前記冷却フランジを挟んだ前記フランジ押さえと前記ベースを前記貫通孔を貫通する前記ボルトで締結するようにしたことを特徴とする請求項1記載のレーザ発振器。

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