JP4963206B2

JP4963206B2 - Position adjustment device

Info

Publication number: JP4963206B2
Application number: JP2006234724A
Authority: JP
Inventors: 功山田
Original assignee: MYTECH CO Ltd
Current assignee: MYTECH CO Ltd
Priority date: 2006-08-31
Filing date: 2006-08-31
Publication date: 2012-06-27
Anticipated expiration: 2026-08-31
Also published as: JP2008056414A

Description

この発明は位置調整台装置に関し、特に、重量物を搭載して位置や方向を容易に微調整可能な位置調整台装置に関する。 The present invention relates to a position adjustment table apparatus, and more particularly to a position adjustment table apparatus that can carry a heavy object and can easily finely adjust its position and direction.

従来、重量物を支持し、かつ位置を微調整する必要がある場合には、例えばボルトおよびナットにより長さが調整可能な支持脚を３本使用して支持台を支える構造が採用されていた。例えば下記に示す特許文献１にはこのような脚として利用可能なジャッキの位置調整具が開示されている。このジャッキ装置は、ジャッキと、ジャッキを一方向に移動可能に支持するジャッキ支持台と、ジャッキ支持台を一方向と直角な他方向に移動可能に支持する基台とを備えている。 Conventionally, when a heavy object is supported and the position needs to be finely adjusted, a structure that supports the support base using three support legs whose lengths can be adjusted by bolts and nuts, for example, has been adopted. . For example, Patent Document 1 shown below discloses a jack position adjuster that can be used as such a leg. The jack device includes a jack, a jack support that supports the jack so that the jack can move in one direction, and a base that supports the jack support so that the jack can move in another direction perpendicular to the one direction.

そして、ジャッキ支持台に、ジャッキの一方向の位置を固定するロック機構と、ジャッキの一方向の位置を微調整する微調整機構とを設け、基台に、ジャッキ支持台の他方向の位置を固定するロック機構と、ジャッキ支持台の他方向の位置を微調整する微調整機構とが設けられている。ジャッキ支持台及び基台のロック機構と微調整機構により、ジャッキを高さ方向だけでなく、前後方向及び左右方向にも移動させることができ、ジャッキの３方向の位置を調整できる。
特開２００４−２５６２６９号公報 The jack support base is provided with a lock mechanism for fixing the position in one direction of the jack and a fine adjustment mechanism for finely adjusting the position in one direction of the jack, and the position of the jack support base in the other direction is provided on the base. A locking mechanism for fixing and a fine adjustment mechanism for finely adjusting the position in the other direction of the jack support base are provided. The jack support base and the base locking mechanism and fine adjustment mechanism allow the jack to be moved not only in the height direction but also in the front-rear direction and the left-right direction, and the position of the jack in three directions can be adjusted.
JP 2004-256269 A

シンクロトロンなどの素粒子の加速装置においては、内部を真空にして実験を行うパイプの周囲に大型の電磁石装置を設置した実験装置ユニットを多数連結して加速装置が構成されている。この大型の電磁石装置は正確な位置に設置する必要がある。そこで、この電磁石装置を搭載する支持台を例えば上記したような長さおよび位置を調整可能な３本の脚で支持する構成を採用していた。 In an acceleration device for elementary particles such as a synchrotron, an acceleration device is configured by connecting a large number of experimental device units each having a large electromagnet device installed around a pipe in which an experiment is performed in a vacuum. This large electromagnet device needs to be installed at an accurate position. Therefore, a configuration has been adopted in which the support base on which the electromagnet device is mounted is supported by, for example, three legs whose length and position can be adjusted as described above.

しかし、工具を使用して３本の脚の位置や長さをそれぞれ個別に調整する必要があり、調整に手間と時間がかかると共に調整および維持の精度が悪いという問題点があった。
この発明の目的は、上記したような従来技術の問題点を解決し、重量物を搭載して位置や方向を容易にかつ高精度で微調整可能な位置調整台装置を提供することにある。 However, it is necessary to individually adjust the positions and lengths of the three legs using a tool, and there are problems that adjustment takes time and labor, and accuracy of adjustment and maintenance is poor.
An object of the present invention is to solve the above-described problems of the prior art, and to provide a position adjusting table device that can carry a heavy object and can easily and finely adjust the position and direction with high accuracy.

本発明の位置調整台装置は、基台と、前記基台上に設置された第１の摺動装置と、前記第１の摺動装置上に搭載された第１の移動板と、前記第１の移動板の前記基台に対する位置を規制する第１の位置規制装置と、前記基台上に設置された第２の摺動装置と、前記第２の摺動装置上に搭載された第２の移動板と、前記第２の移動板の前記基台に対する位置を規制する第２の位置規制装置と、前記第１の移動板上に固着された、高さを調整可能な第１のジャッキ装置と、前記第２の移動板上に固着された、高さを調整可能な第２のジャッキ装置と、前記第２の移動板上に固着された、高さを調整可能な第３のジャッキ装置と、一端が前記第１のジャッキ装置の上部に固着された第１の球面軸受と、一端が前記第２のジャッキ装置の上部に固着された第２の球面軸受と、一端が前記第３のジャッキ装置の上部に固着された第３の球面軸受と、第２の球面軸受の他端に装着された第３の摺動装置と、第３の球面軸受の他端に装着された第４の摺動装置と、前記第１球面軸受の他端および前記第３、第４の摺動装置によって支持された搭載台とを備えたことを主要な特徴とする。 The position adjustment stand device of the present invention includes a base, a first sliding device installed on the base, a first moving plate mounted on the first sliding device, and the first A first position restricting device for restricting a position of one movable plate relative to the base; a second sliding device installed on the base; and a second mounted on the second sliding device. 2 movable plates, a second position regulating device for regulating the position of the second movable plate with respect to the base, and a first adjustable in height that is fixed on the first movable plate. A jack device, a second jack device adjustable on the height fixed to the second movable plate, and a third adjustable height fixed to the second movable plate. A jack device, a first spherical bearing having one end secured to the top of the first jack device, and one end secured to the top of the second jack device. A second spherical bearing, a third spherical bearing having one end fixed to the upper part of the third jack device, a third sliding device attached to the other end of the second spherical bearing, And a mounting base supported by the other end of the first spherical bearing and the third and fourth sliding devices. Main features.

また、上記した位置調整台装置において、前記第１および第２の摺動装置は、前記基台上に平行に固着された、前記第１および第２の摺動装置が共用する第１のレールおよび第２のレールを備え、前記第１の摺動装置は、前記第１のレールに嵌合する１個のリニアガイド装置および前記第２のレールに嵌合する２個のリニアガイド装置を備え、前記第２の摺動装置は、前記第１のレールに嵌合する２個のリニアガイド装置および前記第２のレールに嵌合する１個のリニアガイド装置を備え、前記第１および第２の移動板はそれぞれ形状が略５角形であり、一部が重なるように配置されており、それぞれ前記３個のリニアガイド装置によって独立して支持される点にも特徴がある。 Further, in the above-described position adjustment table device, the first and second sliding devices are first rails fixed in parallel on the base and shared by the first and second sliding devices. And the second rail, wherein the first sliding device includes one linear guide device fitted to the first rail and two linear guide devices fitted to the second rail. The second sliding device includes two linear guide devices fitted to the first rail and one linear guide device fitted to the second rail, the first and second Each of the movable plates has a substantially pentagonal shape, and is arranged so as to partially overlap each other, and is characterized in that each of the movable plates is independently supported by the three linear guide devices.

また、上記した位置調整台装置において、前記ジャッキ装置は、底部が閉じた外筒および前記外筒と摺動可能に係合している内筒からなり、外筒の底部にはボルトが固着されており、前記ボルトと嵌合するためのネジ溝が内筒の内側に設けられている点にも特徴がある。 Further, in the above-described position adjustment base device, the jack device includes an outer cylinder whose bottom is closed and an inner cylinder that is slidably engaged with the outer cylinder, and a bolt is fixed to the bottom of the outer cylinder. Further, another feature is that a thread groove for fitting with the bolt is provided on the inner side of the inner cylinder.

本発明の位置調整台装置によれば、以下のような効果がある。
（１）平行移動する２つの移動板の位置ををそれぞれ独立して調整することにより、搭載物の平行移動および回転が可能であり、調整の自由度が増すので調整が容易となる。また、調整に工具等を使用せず、ハンドルやレバーを手動操作するのみで調整が可能である。 According to the position adjustment stand apparatus of the present invention, the following effects are obtained.
(1) By independently adjusting the positions of the two moving plates that move in parallel, the mounted object can be moved and rotated in parallel, and the degree of freedom in adjustment increases, making adjustment easier. Further, the adjustment can be performed only by manually operating a handle or a lever without using a tool or the like for the adjustment.

（２）移動板の構成を採用することにより、構造が非常に簡単で、高精度な調整、維持が可能である。また、重量物でも安定して支持可能である。
（３）移動板の構成を採用することにより、ジャッキ装置の高さ方向のストロークを大きく取ることができ、調整範囲が拡大する。 (2) By adopting the configuration of the moving plate, the structure is very simple and high-precision adjustment and maintenance are possible. Further, even a heavy object can be stably supported.
(3) By adopting the configuration of the moving plate, the stroke in the height direction of the jack device can be increased, and the adjustment range is expanded.

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。なお、実施例としてはシンクロトロンなどの素粒子の加速装置に使用される大型の電磁石装置の支持台に本発明を適用する実施例を開示するが、本発明の位置調整台装置は任意の装置に適用可能である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, although the Example which applies this invention to the support stand of the large sized electromagnet apparatus used for the acceleration | stimulation apparatus of elementary particles, such as a synchrotron, as an Example is disclosed, the position adjustment stand apparatus of this invention is arbitrary apparatuses. It is applicable to.

図１は、本発明の位置調整台装置の構成を示す正面図（上段）およびＡ−Ａ平面における断面図（下段）である。なお断面図においては円形のジャッキ装置の内部構造は省略してある。また、図２は、本発明の位置調整台装置の構成を示す側面図である。図２においては、一方の位置調整ハンドル５４関連の部材は省略してある。また、図３は、第２、第３のジャッキ装置の部分の構造を示す断面図である。 FIG. 1 is a front view (upper stage) showing a configuration of the position adjusting table apparatus of the present invention and a sectional view (lower stage) in the AA plane. In the sectional view, the internal structure of the circular jack device is omitted. Moreover, FIG. 2 is a side view which shows the structure of the position adjustment stand apparatus of this invention. In FIG. 2, members related to one of the position adjustment handles 54 are omitted. FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of the second and third jack devices.

本発明の位置調整台装置に搭載する装置の一例である電磁石装置１０は内部にパイプ１１を備え、その周囲に電磁石が配置されている。重量は１トン程度有り、人が直接移動させることは不可能である。そして加速器の中心軸と電磁石装置１０の中心軸１３を合わせて設置する必要がある。従って、例えばパイプ１１の両端において、中心軸１３の高さ、水平面内の位置および方向を調整する必要がある。 An electromagnet device 10, which is an example of a device mounted on the position adjustment table device of the present invention, includes a pipe 11 inside, and an electromagnet is disposed around the pipe 11. The weight is about 1 ton and cannot be moved directly by a person. The central axis of the accelerator and the central axis 13 of the electromagnet device 10 need to be installed together. Therefore, for example, at both ends of the pipe 11, it is necessary to adjust the height of the central shaft 13 and the position and direction in the horizontal plane.

本発明の位置調整台装置は大きく分けて、搭載台２０、３本のボルトナット式ジャッキ装置２１、２６、３１、上移動板４０および下移動板４１、基台５０からなる。長方形の基台５０上には基台の短辺と平行に２本のレール５１、５２が固着されている。このレール５１、５２にはそれぞれ３個のリニアガイドキャリッジ（４３、４６、３９および４４、４７、４９）が係合している。 The position adjusting base apparatus of the present invention is roughly divided into a mounting base 20, three bolt and nut type jack devices 21, 26, 31, an upper moving plate 40, a lower moving plate 41, and a base 50. On the rectangular base 50, two rails 51 and 52 are fixed in parallel with the short side of the base. Three linear guide carriages (43, 46, 39 and 44, 47, 49) are engaged with the rails 51, 52, respectively.

リニアガイド装置は、図３の下部に断面図が示されているごとく、リニアガイドキャリッジ内に循環する多数の鋼製ボールを内蔵し、レール上を直線状に移動可能なガイド装置である。レール５１の断面は例えば図示されているような逆台形であり、リニアガイドキャリッジ４３内部のボール６５がレール５１の２つの鋭角の帯状突起をそれぞれ挟むように係合している。従って、リニアガイドキャリッジ４３はレール５１と平行にのみ移動可能であり、レール５１から外れることはない。なお、このようなレールおよびリニアガイドキャリッジは市販されている。 As shown in the sectional view at the bottom of FIG. 3, the linear guide device is a guide device that incorporates a large number of steel balls circulating in the linear guide carriage and can move linearly on the rail. The cross section of the rail 51 is, for example, an inverted trapezoid as shown in the figure, and the ball 65 inside the linear guide carriage 43 is engaged so as to sandwich the two acute-angle band-shaped protrusions of the rail 51. Therefore, the linear guide carriage 43 can move only in parallel with the rail 51 and does not come off the rail 51. Such rails and linear guide carriages are commercially available.

３個のリニアガイドキャリッジ４３、３９、４７は下移動板４１に固着されており、３個のリニアガイドキャリッジ４４、４６、４９はスペーサ３８、４５、４８を介して上移動板４０に固着されている。上移動板４０および下移動板４１はほぼ同型の略５角形の鋼板である。下移動板４１の中央部には長方形の孔４２が設けられている。上移動板４０および下移動板４１はそれぞれ２本のレール５１、５２上を独立して所定の距離だけ移動可能に構成されている。 The three linear guide carriages 43, 39, 47 are fixed to the lower moving plate 41, and the three linear guide carriages 44, 46, 49 are fixed to the upper moving plate 40 via spacers 38, 45, 48. ing. The upper moving plate 40 and the lower moving plate 41 are substantially pentagonal steel plates having substantially the same type. A rectangular hole 42 is provided at the center of the lower moving plate 41. The upper moving plate 40 and the lower moving plate 41 are configured to be movable on the two rails 51 and 52 independently by a predetermined distance.

位置調整ハンドル５３、５４はそれぞれ基台５０に固着された支持板５５、５６に回転可能に保持されている。位置調整ハンドル５３、５４のネジを切った軸５７、５８はそれぞれ下移動板４１、上移動板４０に固着され、ネジ孔を有するステーと嵌合している。従って、ハンドル５３あるいはハンドル５４を回転させることによって、基台５０に対する下移動板４１、上移動板４０の短辺方向の位置を独立して調整可能である。 The position adjustment handles 53 and 54 are rotatably held by support plates 55 and 56 fixed to the base 50, respectively. Threaded shafts 57 and 58 of the position adjusting handles 53 and 54 are fixed to the lower moving plate 41 and the upper moving plate 40, respectively, and are fitted with stays having screw holes. Therefore, by rotating the handle 53 or the handle 54, the positions of the lower moving plate 41 and the upper moving plate 40 in the short side direction with respect to the base 50 can be adjusted independently.

上移動板４０には第１のジャッキ装置である１本のボルトナット式ジャッキ装置３１が、下移動板４１には第２、第３のジャッキ装置である２本のボルトナット式ジャッキ装置２１、２６がボルト（６６）により固着されている。ジャッキ装置２１、２６、３１は、外筒２１および外筒２１と摺動可能に係合している内筒６３からなる。外筒２１の底部にはボルト６２が固着されており、内筒６３の内側に設けられたネジ溝（ナット）がボルト６２と嵌合している。従って、レバー２２を使用して内筒６３を回転させることにより、外筒２１に対して内筒６３を伸縮可能である。 The upper moving plate 40 has one bolt-nut type jack device 31 as a first jack device, and the lower moving plate 41 has two bolt-nut type jack devices 21 as second and third jack devices, 26 is fixed by a bolt (66). The jack devices 21, 26, and 31 include an outer cylinder 21 and an inner cylinder 63 that is slidably engaged with the outer cylinder 21. Bolts 62 are fixed to the bottom of the outer cylinder 21, and screw grooves (nuts) provided inside the inner cylinder 63 are fitted with the bolts 62. Therefore, the inner cylinder 63 can be expanded and contracted with respect to the outer cylinder 21 by rotating the inner cylinder 63 using the lever 22.

ジャッキ装置２１、２６、３１の内筒６３の上部は球面軸受２３の球面部材６１の底部と固着されている。球面軸受２３は表面の一部が球面である球面部材６１および球面部材６１を任意の方向に回動可能に包み込む内面が球面の一部であるケース（２３）からなる。球面部材６１およびケース（２３）の僅かな隙間には潤滑油が満たされている。内部の球面部材６１はケース（２３）に対して球面部材６１を構成する球の中心を中心として所定の角度範囲内で任意の方向に傾斜および回転が可能である。なお、このような球面軸受は市販されている。 The upper part of the inner cylinder 63 of the jack devices 21, 26, 31 is fixed to the bottom part of the spherical member 61 of the spherical bearing 23. The spherical bearing 23 includes a spherical member 61 whose surface is partly spherical, and a case (23) whose inner surface enclosing the spherical member 61 so as to be rotatable in an arbitrary direction is part of the spherical surface. A small gap between the spherical member 61 and the case (23) is filled with lubricating oil. The inner spherical member 61 can be tilted and rotated in any direction within a predetermined angle range with respect to the case (23) around the center of the sphere constituting the spherical member 61. Such spherical bearings are commercially available.

下移動台４１に固着された２本のジャッキ装置２１、２６の上部の球面軸受２３、２７のケースはレール２４、２８にそれぞれ固着されており、レール２４、２８には、搭載台２０に固着されたリニアガイドキャリッジ２５、２９がそれぞれ係合している。レール２４、２８およびリニアガイドキャリッジ２５、２９の構成は下部のレール６５およびリニアガイドキャリッジ４３と同一であり、基台５０の長辺と平行に装着されている。上移動台４０に固着された１本のジャッキ装置３１の上部の球面軸受３３のケースはスペーサ３４を介して搭載台２０に固着されている。 The cases of the spherical bearings 23 and 27 at the upper part of the two jack devices 21 and 26 fixed to the lower moving table 41 are fixed to the rails 24 and 28, respectively. The rails 24 and 28 are fixed to the mounting table 20. The linear guide carriages 25 and 29 are engaged with each other. The configurations of the rails 24 and 28 and the linear guide carriages 25 and 29 are the same as those of the lower rail 65 and the linear guide carriage 43, and are mounted parallel to the long side of the base 50. The case of the spherical bearing 33 at the upper part of one jack device 31 fixed to the upper moving table 40 is fixed to the mounting table 20 via a spacer 34.

次に、位置調整台装置１０の調整方法ついて説明する。搭載台２０を所定の高さに調整するためには、３本のジャッキ装置のレバー２２、３２を同時に同じ方向に同じ角度だけ回転させることにより調整可能である。基台５０が水平でない場合など、搭載台２０を基台５０に対して傾斜させる必要がある場合には、３本のジャッキ装置のレバー２２、３２を個別に回転させることにより調整する。 Next, an adjustment method of the position adjustment table device 10 will be described. In order to adjust the mounting base 20 to a predetermined height, the levers 22 and 32 of the three jack devices can be adjusted simultaneously by rotating them in the same direction by the same angle. When it is necessary to incline the mounting base 20 with respect to the base 50 such as when the base 50 is not horizontal, adjustment is performed by individually rotating the levers 22 and 32 of the three jack devices.

この場合、３本のジャッキ装置のそれぞれに球面軸受２３、２７、３３が装着されており、更に２本のジャッキ２１、２６と搭載台２０の当接部にはそれぞれリニアガイドキャリッジ２５、２９が装着されているので、ジャッキ装置等に無理な力がかかることは無く、レバーの回転も容易となる。 In this case, spherical bearings 23, 27, 33 are mounted on each of the three jack devices, and linear guide carriages 25, 29 are provided at the contact portions of the two jacks 21, 26 and the mounting base 20, respectively. Since it is mounted, an excessive force is not applied to the jack device and the lever can be easily rotated.

搭載台２０を短辺方向に移動させる場合には、２つの位置調整ハンドル５３、５４を同時に同じ方向に同じ角度だけ回転させる。また、搭載台２０を基台５０に対して水平面内で回転させる場合には、位置調整ハンドル５３または位置調整ハンドル５４の一方を所定の角度だけ回転させることにより、搭載台２０の一端が他端よりも大きく移動するように回転する。また、双方のハンドルを同時に反対方向に回転させることにより、ほぼ搭載台２０の中央を中心として回転する。 When the mounting base 20 is moved in the short side direction, the two position adjusting handles 53 and 54 are simultaneously rotated in the same direction by the same angle. When the mounting table 20 is rotated in the horizontal plane with respect to the base 50, one end of the mounting table 20 is rotated at a predetermined angle by rotating one of the position adjustment handle 53 or the position adjustment handle 54. Rotate to move more than. Further, by rotating both handles in the opposite direction at the same time, the handle 20 rotates about the center of the mounting base 20.

これらの場合においても、３本のジャッキ装置のそれぞれに球面軸受２３、２７、３３が装着されており、更に２本のジャッキ２１、２６と搭載台２０の当接部にはそれぞれリニアガイドキャリッジ２５、２９が装着されているので、ジャッキ装置等に無理な力がかかることは無く、ハンドルの回転も容易となる。 Also in these cases, spherical bearings 23, 27, 33 are mounted on the three jack devices, respectively, and the linear guide carriage 25 is provided at the contact portion between the two jacks 21, 26 and the mounting base 20, respectively. , 29 is attached, so that an excessive force is not applied to the jack device or the like, and the handle can be easily rotated.

以上、実施例を開示したが、本発明の位置調整台装置には以下のような変形例も考えられる。実施例においては、ハンドルやレバーを手動で操作して調整する例を開示したが、調整ハンドルやレバーの代わりにモータを装着し、モータによって回動させるようにしてもよい。 As mentioned above, although the Example was disclosed, the following modifications can also be considered to the position adjustment stand apparatus of this invention. In the embodiment, an example in which adjustment is performed by manually operating a handle or a lever has been disclosed. However, a motor may be mounted instead of the adjustment handle or lever, and the motor and the lever may be rotated.

２枚の移動板が重なって配置される例を開示したが、重ならずに同じ高さに配置することも可能である。この場合、レールもそれぞれ２本ずつ使用してもよいし、中央の２本は共用して合計３本を使用しても実施可能である。 Although an example in which two moving plates are arranged in an overlapping manner has been disclosed, it is also possible to arrange them at the same height without overlapping. In this case, two rails may be used, or the central two rails may be shared and a total of three rails may be used.

本発明の位置調整台装置は、電磁石装置に限らず、位置の調整が必要な任意の装置を搭載する台として利用可能である。 The position adjustment stand device of the present invention is not limited to an electromagnet device, and can be used as a stand on which any device that requires position adjustment is mounted.

本発明の位置調整台装置の構成を示す正面図（上段）およびＡ−Ａ平面における断面図（下段）である。They are the front view (upper stage) which shows the structure of the position adjustment stand apparatus of this invention, and sectional drawing (lower stage) in an AA plane. 本発明の位置調整台装置の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the position adjustment stand apparatus of this invention. ジャッキ装置の部分の構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the part of a jack apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１０…電磁石装置（搭載装置）
２０…搭載台
２１、３１…ボルト式ジャッキ装置
２２、３２…レバー
２３、２７、３３…球面軸受
２４、２８、５１、５２…レール
２５、２９、３９、４３、４４、４６、４７、４９…リニアガイドキャリッジ
４０…上移動板
４１…下移動板
５０…基台
５３、５４…位置調整ハンドル 10 ... Electromagnet device (mounting device)
20 ... Mounting base 21, 31 ... Bolt-type jack device 22, 32 ... Lever 23, 27, 33 ... Spherical bearing 24, 28, 51, 52 ... Rail 25, 29, 39, 43, 44, 46, 47, 49 ... Linear guide carriage 40 ... upper moving plate 41 ... lower moving plate 50 ... bases 53, 54 ... position adjustment handle

Claims

基台と、
前記基台上に設置された第１の摺動装置と、
前記第１の摺動装置上に搭載された第１の移動板と、
前記第１の移動板の前記基台に対する位置を規制する第１の位置規制装置と、
前記基台上に設置された第２の摺動装置と、
前記第２の摺動装置上に搭載された第２の移動板と、
前記第２の移動板の前記基台に対する位置を規制する第２の位置規制装置と、
前記第１の移動板上に固着された、高さを調整可能な第１のジャッキ装置と、
前記第２の移動板上に固着された、高さを調整可能な第２のジャッキ装置と、
前記第２の移動板上に固着された、高さを調整可能な第３のジャッキ装置と、
一端が前記第１のジャッキ装置の上部に固着された第１の球面軸受と、
一端が前記第２のジャッキ装置の上部に固着された第２の球面軸受と、
一端が前記第３のジャッキ装置の上部に固着された第３の球面軸受と、
第２の球面軸受の他端に装着された第３の摺動装置と、
第３の球面軸受の他端に装着された第４の摺動装置と、
前記第１球面軸受の他端および前記第３、第４の摺動装置によって支持された搭載台と
を備えたことを特徴とする位置調整台装置。 The base,
A first sliding device installed on the base;
A first moving plate mounted on the first sliding device;
A first position regulating device for regulating a position of the first moving plate with respect to the base;
A second sliding device installed on the base;
A second moving plate mounted on the second sliding device;
A second position restricting device for restricting the position of the second moving plate relative to the base;
A first jack device that is fixed on the first moving plate and capable of adjusting a height;
A second jack device, the height of which is fixed on the second moving plate, the height of which can be adjusted;
A third jack device, the height of which is adjustable, fixed on the second moving plate;
A first spherical bearing having one end secured to the top of the first jack device;
A second spherical bearing having one end secured to the top of the second jack device;
A third spherical bearing having one end secured to the top of the third jack device;
A third sliding device mounted on the other end of the second spherical bearing;
A fourth sliding device attached to the other end of the third spherical bearing;
A position adjusting table device comprising: the other end of the first spherical bearing and a mounting table supported by the third and fourth sliding devices.

前記第１および第２の摺動装置は、前記基台上に平行に固着された、前記第１および第２の摺動装置が共用する第１のレールおよび第２のレールを備え、
前記第１の摺動装置は、前記第１のレールに嵌合する１個のリニアガイド装置および前記第２のレールに嵌合する２個のリニアガイド装置を備え、前記第２の摺動装置は、前記第１のレールに嵌合する２個のリニアガイド装置および前記第２のレールに嵌合する１個のリニアガイド装置を備え、
前記第１および第２の移動板はそれぞれ形状が略５角形であり、一部が重なるように配置されており、それぞれ前記３個のリニアガイド装置によって独立して支持される
ことを特徴とする請求項１に記載の位置調整台装置。 The first and second sliding devices include a first rail and a second rail that are fixed in parallel on the base and are shared by the first and second sliding devices,
The first sliding device includes one linear guide device fitted to the first rail and two linear guide devices fitted to the second rail, and the second sliding device. Comprises two linear guide devices fitted to the first rail and one linear guide device fitted to the second rail,
Each of the first and second moving plates has a substantially pentagonal shape, and is arranged so as to partially overlap each other, and is independently supported by the three linear guide devices. The position adjustment stand apparatus according to claim 1.

前記ジャッキ装置は、底部が閉じた外筒および前記外筒と摺動可能に係合している内筒からなり、外筒の底部にはボルトが固着されており、前記ボルトと嵌合するためのネジ溝が内筒の内側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の位置調整台装置。

The jack device includes an outer cylinder whose bottom is closed and an inner cylinder that is slidably engaged with the outer cylinder, and a bolt is fixed to the bottom of the outer cylinder so as to be fitted with the bolt. The position adjustment stand device according to claim 1, wherein the screw groove is provided inside the inner cylinder.