JP4943495B2 - 光学素子成型装置 - Google Patents
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- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims description 164
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 81
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Description
図1に示す光学素子成型装置100は、金型(成形型)1、光源2、ビームスプリッタ3〜5、および、光検出器6を備える構成である。
図3に示す光学素子成型装置300と、図1に示す光学素子成型装置100と、の相違点は、以下のとおりである。
2、2a、2b 光源
3 ビームスプリッタ(ビーム分割機構)
4 ビームスプリッタ(成型部反射機構)
5 ビームスプリッタ(平坦部反射機構)
6 光検出器
11a 金型上
11b 金型下
12a 成型部上
12b 成型部下
12ac 頂点上
12bc 頂点下
13a 平坦部上
13b 平坦部下
34 ミラー(成型部反射機構)
35 ミラー(平坦部反射機構)
100、300 光学素子成型装置
Claims (4)
- 光学素子の有効口径を成型する成型部と、該成型部の周囲に配置された平坦部と、が設けられた型が、対向配置されてなる成形型と、
対向配置された各型の成型部間の平行偏芯を検出する光検出器と、を備える光学素子成型装置であって、
入射されたビームを、対向配置された各型の平坦部へと導き、かつ、各平坦部での反射を経て得られたビームを、光検出器へと導くための平坦部反射機構と、
入射されたビームを、対向配置された各型の成型部へと導き、かつ、各成型部での反射を経て得られたビームを、光検出器へと導くための成型部反射機構と、を備え、
上記光検出器は、
上記平坦部反射機構によって光検出器へと導かれたビームに基づいて、対向配置された各型の傾斜角度を検出すると共に、上記成型部反射機構によって光検出器へと導かれたビームに基づいて、上記平行偏芯を検出するものであり、
上記平坦部反射機構および成型部反射機構はビームを入射させるための1つの光源を備え、
上記平坦部反射機構は、各型の上記各平坦部間で反射を繰り返した後、上記光検出器側へ戻すビームスプリッタを備え、
上記成型部反射機構は、各型の上記各成型部間で反射を繰り返した後、上記光検出器側へ戻すビームスプリッタを備えている
ことを特徴とする光学素子成型装置。 - 上記光源から入射されたビームを、少なくとも2つのビームに分割し、分割したビームの一方を光検出器に向けて出射すると共に、分割したビームの他方を上記平坦部反射機構および成型部反射機構に向けて出射するビーム分割機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の光学素子成型装置。
- 対向配置された各型の成型部は、上記成形型において複数組設けられており、
上記成型部反射機構は、対向配置された各型の成型部の、少なくとも2組に対して、上記平行偏芯を検出するためのものであることを特徴とする請求項1または2に記載の光学素子成型装置。 - 対向配置された各型の成型部の組み合わせ毎に、上記成型部反射機構が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の光学素子成型装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009289526A JP4943495B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 光学素子成型装置 |
TW099139757A TWI448380B (zh) | 2009-12-21 | 2010-11-18 | Optical element forming device |
CN 201010557095 CN102101752B (zh) | 2009-12-21 | 2010-11-25 | 光学元件成型装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009289526A JP4943495B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 光学素子成型装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011126760A JP2011126760A (ja) | 2011-06-30 |
JP4943495B2 true JP4943495B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=44154842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009289526A Expired - Fee Related JP4943495B2 (ja) | 2009-12-21 | 2009-12-21 | 光学素子成型装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4943495B2 (ja) |
CN (1) | CN102101752B (ja) |
TW (1) | TWI448380B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10281320B2 (en) * | 2015-12-29 | 2019-05-07 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Optical detection system with light sampling |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04342429A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-27 | Olympus Optical Co Ltd | 光学素子成形装置 |
TWI319745B (en) * | 2005-03-18 | 2010-01-21 | Mold capable of adjusting the concentricity | |
JP2007153669A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Fujinon Corp | ガラス光学素子の成形型の芯出装置、及びその芯出方法 |
CN101049720B (zh) * | 2006-04-05 | 2010-09-01 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 模具对芯侦测器、侦测方法及具有该对芯侦测器的模具组合 |
JP4646074B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2011-03-09 | Hoya株式会社 | ガラス製プリフォーム群の製造方法および光学素子の製造方法 |
-
2009
- 2009-12-21 JP JP2009289526A patent/JP4943495B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-18 TW TW099139757A patent/TWI448380B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-11-25 CN CN 201010557095 patent/CN102101752B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI448380B (zh) | 2014-08-11 |
JP2011126760A (ja) | 2011-06-30 |
CN102101752B (zh) | 2013-06-05 |
TW201127614A (en) | 2011-08-16 |
CN102101752A (zh) | 2011-06-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111005 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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