JP4933374B2 - 乾式洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、洗浄対象物に付着した塵埃や粉体を、水や溶剤を使わずに固体洗浄媒体を用いて除去する装置に関する。特に電子写真装置（複写機やレーザプリンタ等）で用いられるトナーが付着した、比較的複雑な形状の部品の乾式洗浄装置に関する。

複写機、ファクシミリ、プリンタ等の事務機器メーカでは、資源循環型社会実現のため、使用済みの製品ないしユニットをユーザから回収後に分解・清掃・再組立し、部品として再使用したり、樹脂材料として利用したりするリサイクル活動を積極的に行っている。これらの製品ないしユニットに使用されている部品を再利用するためには、それらユニットや部品に付着している微粒子粉体であるトナーを除去し清浄化する工程が必要であり、清浄化に必要なコストや環境負荷を減らすことが大きな課題となっている。
水や溶剤を使用した湿式の洗浄方法の場合、トナーを含んだ廃液の処理および洗浄後の乾燥処理のエネルギー消費や環境負荷が大きく高コストである点が問題となっている。
一方、エアブローによる乾式洗浄方法の場合、付着力の強いトナーに対しては洗浄能力が十分ではなく、人手によるウェス拭きなどの後工程が必要なため、清浄化は製品リユース・リサイクルにおけるボトルネック工程の１つとなっている。
また、ドライアイスを使ったブラスト洗浄では、ドライアイスを大量に消費するためランニングコストが高く、環境負荷も大きい点が問題である。

水や溶剤を使用しない乾式の洗浄方法として、例えば特許文献１がある。これは帯電性の洗浄対象部材を弾性変形可能な接触部材とともに回転円筒内で撹拌し、除電しながら洗浄対象部材に付着している塵埃の付着力を弱めて除去するものである。しかし、撹拌による接触部材と洗浄対象部材の接触力は十分とはいえず、付着力の強い塵埃の除去は困難である。
また、特許文献２に示すようなブラスト装置では、洗浄媒体として粒状固体を用いているため、洗浄対象物の汚れを除去するだけでなく洗浄対象物の表面を削り取って梨地状に荒らしてしまい、洗浄による対象物への傷が許されない場合には適用できない。また，粒状固体（洗浄媒体）を粒状固体搬送管で供給して空気流に混入させる一般的な方法では、洗浄媒体として薄片状の洗浄媒体を用いた場合、薄片状の洗浄媒体は粒状固体に比べて流動性が悪いため、特に大量の洗浄媒体を供給した場合には搬送管が閉塞しやすく、安定した供給が難しい。
上記の課題を解決する手段として、当出願人は特許文献３に示す乾式洗浄媒体を利用した洗浄方法および洗浄装置を発明し、上記課題を解決するに至った。
しかしながら特許文献３では投入する圧縮空気流のエネルギーの利用効率が十分でなく、洗浄工程におけるコストおよび環境負荷を低減する余地があった。
特許文献３では洗浄媒体を加速するエアブローノズルと洗浄対象物との間にメッシュ等の分離手段を配置した構成であったため、エアブローノズルで発生する気流が弱められて洗浄媒体の衝突速度が不足し、比較的付着力が強い汚れの洗浄対象に対して洗浄能力が不十分な場合があった。

特許第３２８８４６２号公報 特許第３４６８９９５号公報 特開２００７−０２９９４５号公報

本特許は、上記先願特許の課題を解決するものである。
薄片状の洗浄媒体を用いた乾式洗浄装置において、圧縮空気流のエネルギーを効率よく用いて、洗浄媒体が対象物に衝突する頻度と速度を高め、環境負荷の低減・洗浄効率の向上を実現する。

請求項１に記載の発明では、薄片状の樹脂フィルムからなる可撓性の洗浄媒体を収容する洗浄槽と、洗浄対象物を保持する保持手段とを有し、前記洗浄媒体を前記洗浄対象物に衝突させて該洗浄対象物に付着している付着物を除去する乾式洗浄装置において、前記洗浄槽内に洗浄媒体加速ノズルと補助加速ノズルとを有し、前記洗浄媒体加速ノズルは、前記洗浄対象物の下方の位置に配置され、前記洗浄媒体加速ノズルの先端部分を頂点とする前記洗浄槽の壁面から構成される凸構造を有し、前記洗浄対象物に向けて前記洗浄媒体加速ノズルの先端より圧縮空気を噴射させて、前記洗浄媒体を噴射気流で加速して前記洗浄対象物に衝突させ、前記補助加速ノズルは、前記洗浄槽の壁面に配置され、該壁面に沿って下方へ向かう気流を発生させて、前記補助加速ノズルからの気流を前記凸構造を形成する洗浄槽の壁面に沿って流し、前記洗浄媒体を前記洗浄媒体加速ノズルの先端に向けて飛翔させることを特徴とする。

請求項２に記載の発明では、請求項１記載の乾式洗浄装置において、前記洗浄媒体加速ノズルで加速された前記洗浄媒体を前記洗浄対象物に偏向する洗浄媒体偏向部材を有することを特徴とする。

請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の乾式洗浄装置において、前記洗浄槽の内壁が略円筒形状であることを特徴とする。
請求項４に記載の発明では、請求項１または２に記載の乾式洗浄装置において、前記洗浄槽の内壁が略球形状であることを特徴とする。
請求項５に記載の発明では、請求項１ないし４のいずれか１つに記載の乾式洗浄装置において、前記洗浄槽内の気流の方向に沿って前記洗浄槽の内面に多数の溝を形成したことを特徴とする。
請求項６に記載の発明では、請求項５に記載の乾式洗浄装置において、前記溝のピッチが、使用する洗浄媒体の大きさ以下であることを特徴とする。

本発明によれば、第一のノズルおよび第二のノズルによって発生する気流が互いのノズル付近において略同一方向となるようにしたため、互いのノズルで発生した気流をさらに強めあう相乗作用が得られる。すなわち、少ないエア消費量で洗浄槽内にループ状の流れが形成され、洗浄媒体が滞留することなく洗浄槽内を繰返し循環できる。また、第二のノズルと第一のノズルの２段階で加速することにより洗浄媒体の速度を高めることができる。
すなわち、より少ないエネルギー消費で洗浄媒体を循環させ、洗浄媒体の速度を高めて洗浄対象物に衝突させることができるため、洗浄工程における環境負荷を減らすことができる。

はじめに、本明細書中で用いる用語について説明する。
「乾式」洗浄とは、洗浄媒体として水や溶剤等の液体を使用せず、常温で固体の洗浄媒体を使用することをさす。
「気流」、「エアブロー」「エアノズル」とは、一般的な空気の流れだけでなく窒素ガスや二酸化炭素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスなど、さまざまな気体の流れも含むものとする。同様に、「圧縮空気」は他の圧縮気体に置き換えた場合も含むものとする。
「固体」の洗浄媒体とは、金属、樹脂、多孔質体、布等の材質で、粒状、棒状、筒状、繊維状、または薄片状の固体を指す。
「薄片状」の可撓性洗浄媒体とは、面積１〜１０００ｍｍ^２、厚み１〜５００μｍ程度の樹脂フィルム片、布片、紙片、金属薄片で、矩形、円形、楕円形、三角形、多角形、その他不定形状の薄片固体を指す。
「略円筒形状」とは、完全な円筒だけでなく、楕円筒や、円筒面の一部を変形させた形状も含むものとする。
同様に、「略球形状」とは、完全な球だけでなく、その一部を変形させた形状も含むものとする。
２つの気流の方向が「略同一方向とは」、所定の位置における２つの気流ベクトルのなす角が０〜４５°であることを指す。

以下の実施例においては、洗浄対象物として複写機やレーザープリンタ等の電子写真装置に使用された製品ないしユニットを分解したものであり、除去対象付着物として複写機やレーザープリンタ等の電子写真装置に使用される乾式トナー（平均粒径５〜１０μｍ程度の粉塵）を想定しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、一般的な粉体や塵埃付着物の洗浄装置や塗膜除去装置等にも応用可能である。なお、その場合洗浄対象物および付着物の性状に応じて洗浄媒体の種類および気流の流速を適切に選択すればよい。
例えば、洗浄対象物が傷つきやすい場合は、洗浄媒体として樹脂フィルム等の柔軟素材で、かつ厚みの薄いものを使用すれば、薄片が柔軟に撓むので洗浄対象を傷つけることがない。また、塗膜の除去等、強い除去力が必要な場合は金属薄片などを使用すれば強い除去作用が得られる。

＜薄片状の洗浄媒体の洗浄作用について＞
比較的付着力が強く、エアブローのみでは除去しにくい粉塵等の付着物であっても、ノズルから噴出する気流によって加速された洗浄媒体が接触・衝突することによって洗浄対象物から分離することができる。特に、薄片状の洗浄媒体を用いた場合、気流との相互作用（高速飛翔、長滞空時間等）、接触・衝突時の作用（エッジによる掻き取り、滑り接触による摺擦等）の作用により高い洗浄品質と洗浄効率が得られる。
これらは、従来のブラストショット材やバレル研磨用のメディア材にはない画期的な特徴である。

＜薄片状の洗浄媒体特有の課題について＞
薄片状の洗浄媒体は、静電気力等により壁面へ付着しやすく、洗浄媒体同士も互いに密着しやすいため、壁面に沿った姿勢で積み重なって滞留・堆積しやすい。そして、一旦層状に滞留・堆積すると洗浄媒体同士の付着や摩擦等の相互作用力が大きく、粒状の洗浄媒体に比べて流動性が著しく悪くなるという特徴をもっている。また、薄片状の洗浄媒体は洗浄媒体の面積が大きいため、吸引口や流路を覆って詰まりやすいという特性がある。
本特許で開示する洗浄装置は、上記薄片状の洗浄媒体特有の特徴と課題を踏まえ、洗浄槽内で薄片状の洗浄媒体を気流で動かし洗浄するのに適した構成となっている。
なお、本明細書中で壁面とは、洗浄槽の内壁面（底面、側面、蓋など）を指す。
また、壁面に沿う気流を用いて洗浄媒体を運ぶ場合、壁面で囲まれることにより気流の広がりが抑制されノズルから離れた位置でも流速が維持されるため、少ない圧縮空気の消費量で洗浄媒体を運ぶことができる。ダクトやホースを用いて洗浄媒体を気流搬送する場合には洗浄媒体がダクトやホースに詰まる恐れがあるが、壁面を利用して気流搬送する場合には片側が開放されているので詰まる恐れがないという効果もある。

図１は本発明の第１の実施例を説明するための図である。同図（ａ）は中央断面概略図、同図（ｂ）は側断面図である。
同図において符号１は洗浄槽、２は洗浄媒体加速ノズル、３は補助加速ノズル、５は圧縮空気源、６は電磁弁、７は分離手段、８は排気口、９は集塵装置（フィルタ）、１０は切替弁、Ｆは気流、Ｒは洗浄媒体再生手段、Ｗは洗浄対象物（ワーク）、ＷＨはワーク保持手段（ワークホルダ）をそれぞれ示す。
初めに装置の構成を説明する。
・洗浄槽
洗浄槽１は洗浄対象物Ｗおよび洗浄媒体４（後述）を収容する、略円筒形の中空体である。
洗浄槽１の底面は、中央部１ａが尾根状に突出し、洗浄媒体加速ノズル２が配置されている。また、洗浄槽の上面（洗浄媒体加速ノズルの対向面）１ｂも、同様に尾根状に突出させた形状である。洗浄媒体加速ノズル２から噴出した気流Ｆ２が洗浄対象物Ｗに衝突しない場合は尾根状の突出部１ｂに衝突し、洗浄槽１内面に沿ってループ状の循環流を形成する。

図２は補助加速ノズルと洗浄槽内壁面の溝を説明するための図である。
同図において符号１ｃは壁面の溝、４は洗浄媒体、Ｔは付着物をそれぞれ示す。
洗浄槽のループ状の循環流形成を促進するため、洗浄槽１の周方向に溝１ｃを形成してもよい。溝１ｃを形成することにより、整流化され、安定したループ状の循環流が形成される。さらに、溝１ｃのピッチを洗浄媒体４の大きさ（幅や長さ）より小さくすることにより、洗浄槽１内壁と洗浄媒体４の接触面積が減るため、洗浄媒体４の磨耗や摩擦帯電を低減する効果が得られる。
さらに、洗浄媒体４と洗浄槽１との間に空間が形成され、間に気流Ｆが入り込んで洗浄媒体４を浮上させる効果も得られるため、洗浄槽１内壁と洗浄媒体４との間の摩擦が著しく減り、薄片状の洗浄媒体４特有の課題である「堆積時の流動性悪化」の問題を解決することができる。
具体的には、幅数ｍｍの薄片状の洗浄媒体４に対し、溝１ｃのピッチを１〜５ｍｍ程度にすることにより、著しい流動化効果が得られた。

・ワーク保持手段
洗浄対象物Ｗは、ワーク保持手段ＷＨにより、洗浄槽内にセットできるようになっている。
ワーク保持手段ＷＨは、円筒のワイヤーフレーム等で構成され、内部に洗浄対象物Ｗを収容する。また、ワークホルダＷＨの一端は回転軸として洗浄槽１に対して軸支され、洗浄槽１外のモータ等（図示せず）に接続されている。ワークホルダＷＨが回転することにより、内部のワークＷも回転し、ワーク全面が洗浄されることになる。
なお、本発明におけるワーク保持手段ＷＨは、上述の方式に限られるものではなく、洗浄対象物Ｗの形状、特性に合わせて適切な方式（ねじ留め、挟んで固定、洗浄対象物の穴を利用してピンで固定など）を選択することができる。ただし、洗浄媒体４が洗浄対象物Ｗに接触・衝突するのをできるだけ妨げないような構造・形状とすることが望ましい。

・洗浄媒体加速ノズル／補助加速ノズル
図３は洗浄槽内壁面に設けた補助加速ノズルの他の配置例を示す図である。
図４は洗浄媒体加速ノズルの断面を示す図である。
同図において符号θＦは、洗浄媒体加速ノズル付近における２種類の気流のなす角を示す。
洗浄槽１の内底面には、中央の尾根状部１ａに洗浄媒体加速ノズル２がワークＷの回転軸方向に配置されている。ノズルの噴出穴は、尾根１ａの稜線に沿って列状に並んでいる。
また、洗浄槽１の両内側底面には補助加速ノズル３が配置されている。補助加速ノズル３は、図２に示すように列状に配置してもよいし、図３に示すように洗浄槽内面に分散して配置してもよい。補助加速ノズル３は、洗浄媒体加速ノズル２へ向かう方向に洗浄槽１の壁面に沿って気流を噴出する。両ノズルには、コンプレッサー、圧力タンクないし高圧ブロワ等の圧縮空気源５から圧縮空気が供給される。また、各ノズルへの圧縮空気の供給を制御できる電磁弁６等を使用し、制御装置からの指令により自動でノズルの気流を制御させてもよい。
補助加速ノズル３によって洗浄槽１内に発生する気流Ｆ３は、壁面に沿って流れ、洗浄媒体加速ノズル２付近の壁面において洗浄媒体加速ノズルからの気流Ｆ２の噴出方向と略同一方向（なす角θＦが０〜４５°）となる。

図５は補助加速ノズル付近における気流を説明するための断面図である。
同図において符号θＦ’は補助加速ノズル付近における２種類の気流のなす角を示す。
洗浄媒体加速ノズル２によって洗浄槽１内に発生する気流（洗浄槽内の循環流）Ｆ２は、補助加速ノズル３付近の壁面において補助加速ノズル３からの気流Ｆ３の噴出方向と略同一方向（なす角θＦ’が０〜４５°）となる。
これらは、上述した洗浄槽１の形状、および洗浄媒体加速ノズル２／補助加速ノズル３の配置（位置と姿勢）によって達成している。ノズルから発生する気流と、洗浄槽１内の気流の干渉によるエネルギー損失が少なく、洗浄媒体を効果的に加速することができる。
なお、洗浄槽１の中央部では、補助加速ノズル３の気流Ｆ３と洗浄媒体加速ノズル２の気流Ｆ２が合わさることにより、非常に強い流れが発生するため、洗浄能力を著しく高めることができる。
本発明においては、図４に示した構成と、図５に示した構成は、両方あれば申し分ないが、少なくともどちらか一方があれば良い。

・洗浄媒体再生手段
洗浄槽１の内壁面には、洗浄媒体再生手段Ｒが備えられている。洗浄媒体再生手段Ｒは、洗浄媒体４と付着物Ｔを分離して付着物Ｔのみを洗浄槽１外へ排出する機能を持つ。具体的には、洗浄媒体４の大きさより小さい開口を多数備えた分離手段（パンチング板ないし網、メッシュ等）７および排気口８から構成される。分離手段７は、洗浄槽１内壁の一部を構成する。分離手段７および排気口８を通過した粉塵等の付着物Ｔは、さらにフィルタ等で分離される。
洗浄媒体加速ノズル２および補助加速ノズル３が洗浄槽１内に吹き込む気流Ｆ２、Ｆ３により、分離手段７において洗浄槽１内から外へ向かう気流Ｆ４が発生する。さらに、排気口８を洗浄槽外の集じん装置９等にホース等で接続し、負圧で吸引することにより分離手段７における気流Ｆ４の流速を増加させ、付着物Ｔの分離排出能力を高くすることが好ましい。
なお、分離手段７へ洗浄媒体４が吸い寄せられ、分離手段７が完全に閉塞されてしまわないよう、複数の洗浄媒体再生手段Ｒ（例えば、Ｒａ、Ｒｂ）を交互に切り替えて動作させ、個々の洗浄媒体再生手段Ｒは断続的に動作させるのが好ましい。具体的には、複数の分離手段７にそれぞれ接続された複数の集塵装置９を交互に切り替えて動作させるか、１つの集塵装置９から切り替え弁１０で分配して複数の分離手段７を切り替えて動作させればよい。図１では、２つの分離手段７ａおよび７ｂを切り替え弁１０で切り替える場合の構成図を示す。
洗浄媒体再生手段Ｒを複数備え、それらの動作時期をずらすことにより、いずれかの洗浄媒体再生手段Ｒが常に動作している状態になるため、洗浄媒体４の再生能力を高く保つことができる。

＜装置動作＞
洗浄槽１の側面ないし上面等に配置されたワーク投入／取出し口（図示せず）より、洗浄対象物Ｗをワーク保持手段ＷＨにセットし、ワーク投入／取出し口を閉めて洗浄槽１内を密閉し、以下に詳述する洗浄工程を行う。
・洗浄工程
（１）補助加速ノズル３に圧縮空気を供給すると、洗浄槽１底面および壁面に沿った気流Ｆ３が発生するため、初期状態で洗浄槽１の底面に落下していた洗浄媒体４は、洗浄槽底面に沿って洗浄媒体加速ノズル２へと運ばれる。
また、洗浄槽１内の空間を浮遊していた洗浄媒体４は、重力で洗浄槽底面に落下するや否や、洗浄槽底面および壁面に沿った流れＦ３に乗って洗浄媒体加速ノズル２へ運ばれる。
本発明の構成では、洗浄槽底面および壁面に沿った流れＦが形成されることにより洗浄媒体４が洗浄槽底面に堆積滞留することがなく、効率的に洗浄槽１内を循環するため、洗浄対象物Ｗに衝突する洗浄媒体４の頻度を飛躍的に増加させることができる。

（２）洗浄媒体加速ノズル２へ運ばれた洗浄媒体４は、洗浄媒体加速ノズル２から噴出する空気流Ｆ２によって洗浄対象物Ｗ方向へさらに加速されて高速で洗浄対象物Ｗに衝突する（以下ノズルの口を区別する必要が無いときは単に気流Ｆと呼ぶ）。
本発明の構成では、補助加速ノズル３によって加速された洗浄媒体４を洗浄媒体加速ノズル２がさらに加速する方式をとっているため、洗浄媒体４の速度を飛躍的に高めることができる。また、補助加速ノズル３による気流Ｆ３と洗浄媒体加速ノズル２による気流Ｆ２が互いに強めあう方向になるため、エネルギーロスが少なく、少ない投入エネルギー（圧縮空気の消費量）で効率的に洗浄媒体４を加速することが可能である。

（３）洗浄媒体４が洗浄対象物Ｗに高速で接触または衝突することにより、洗浄対象物Ｗに付着している付着物Ｔは叩き落とされる。叩き落とされた付着物Ｔと洗浄媒体４は、洗浄槽１内の気流Ｆに乗って洗浄媒体再生手段Ｒへ運ばれる。
（４）気流Ｆに乗って運ばれた付着物Ｔと洗浄媒体４のうち、付着物Ｔは分離手段７の開口穴を通過し洗浄槽１より排出される。一方、洗浄媒体４は分離手段７に衝突し、分離手段７との摩擦、衝突による衝撃や振動の作用により、洗浄媒体４に付着していた付着物Ｔも分離される（洗浄媒体の「再生」作用）。
（５）洗浄媒体再生手段Ｒの吸引作用を間欠的に停止することにより、洗浄媒体再生手段Ｒに吸い寄せられていた洗浄媒体４は、洗浄媒体再生手段Ｒから離れ、洗浄槽１内の循環気流Ｆに乗って再び運ばれる。

上記（１）〜（５）の動作の繰り返しにより、洗浄媒体４を洗浄槽１内で循環させながら洗浄対象物Ｗに高速で衝突させ、付着物Ｔを除去することができる。
さらに、ワークホルダＷＨを回転させ、洗浄対象物Ｗの姿勢を変化させることにより、洗浄対象物Ｗの全面にムラなく洗浄媒体４を衝突させることができる。
本発明の構成によれば、比較的付着力が強く、エアブローのみでは除去しにくい粉塵であっても、高速で飛翔する洗浄媒体４が接触・衝突することによって洗浄対象物Ｗから分離することができる。
特に、薄片状の洗浄媒体４を用いた場合、前述の理由により高い洗浄品質と洗浄効率が得られ、洗浄対象物Ｗを傷つけることもないという優れた効果を発揮する。さらに、洗浄媒体４に付着している粉塵Ｔは洗浄媒体再生手段Ｒで効果的に除去され、洗浄媒体４の清浄度が常に保たれるため、洗浄媒体４に付着している粉塵Ｔが洗浄対象物Ｗに再付着することがなく、高い洗浄品質が得られる。

図６は本発明の他の実施例を示す図である。同図（ａ）は中央断面概略図、同図（ｂ）は側断面図である。
洗浄槽の両側面には、洗浄媒体加速ノズル２が、洗浄槽壁面に沿って下向きに気流を噴出するよう配置されている。
洗浄槽底部には、尾根状の洗浄媒体偏向部材が配置されており、上記洗浄媒体加速ノズル２からの気流Ｆ２および洗浄媒体４は、洗浄槽内底面および洗浄媒体偏向部材１ａに沿って流れ、洗浄対象物Ｗに向けて上向きに偏向される。
洗浄媒体加速ノズル２からの気流Ｆ２および洗浄媒体４は、洗浄対象物Ｗまたは洗浄槽壁面に衝突した後、再び洗浄媒体加速ノズル２で加速されて洗浄槽内を循環する。洗浄槽内にはループ状の循環流Ｆが形成され、洗浄媒体加速ノズル２からの気流Ｆ２が循環流を強める方向に噴出するため、流れの損失が少なく圧縮空気のエネルギーを無駄なく利用することができる。（洗浄槽内に形成された循環流を利用して洗浄媒体４の加速を行なうため、より少ない圧縮空気の消費で洗浄媒体４を加速することができる）
また、洗浄槽底面においては洗浄媒体加速ノズル２からの気流が強く作用しているため、洗浄媒体４が底面に滞留することがない。よって、洗浄媒体４が洗浄対象物Ｗに接触する頻度が高くなり、短時間で洗浄を終えることが可能になる。すなわち、圧縮空気エネルギーの利用効率が高まり、より少ない消費エネルギーで洗浄することが可能になる。
その他の装置構成と動作は実施例１と同様である。

図７は本発明の更に他の実施例を示す図である。同図（ａ）は中央断面概略図、同図（ｂ）は側断面図である。
本実施例では、補助加速ノズル３を底面中央に、洗浄媒体加速ノズル２を洗浄槽両側面の中央付近の高さに配置してある。
補助加速ノズル３は、洗浄槽底面に沿って両側に気流Ｆ３を吹き出すと、洗浄槽内には図の矢印で示したようなループ状の気流Ｆが発生する。洗浄媒体４は洗浄槽壁面に沿って上昇し、洗浄媒体加速ノズル２付近に送られる。
洗浄媒体加速ノズル２は補助加速ノズル３で加速された洗浄媒体４を洗浄対象物Ｗに向けてさらに加速する。ここで、補助加速ノズル３により洗浄槽１内に発生した気流Ｆ３の方向は、洗浄媒体加速ノズル２付近の壁面において洗浄媒体加速ノズル２の噴出方向と略同一方向であるため、補助加速ノズル３による気流のエネルギおよび洗浄媒体４の運動エネルギを無駄にすることなく、洗浄媒体加速ノズル２によりさらに速度を増すことが可能になる。
洗浄対象物Ｗに衝突した洗浄媒体４は、重力によって下方に落下し、再び補助加速ノズル３の気流Ｆ３によって運ばれる。また、一部の洗浄媒体４は分離手段７の方へ運ばれて再生処理を受けた後、下方に落下する。
ワークホルダＷＨは実施例１、２とは異なり、上方より支持され、上下方向に昇降することができるようになっている。ワークホルダＷＨの昇降動作により、洗浄媒体加速ノズル２と洗浄対象物Ｗの相対位置が変化し、洗浄対象物Ｗの全面を洗浄することができる。
その他の装置構成と動作は実施例１と同様である。

図８は本発明の更に他の実施例を示す図である。
本実施例は、洗浄槽１を略球形状としたものである。
洗浄媒体加速ノズル２は洗浄槽１の底面中央部から上に向けて気流Ｆ２を吹き出す。
補助加速ノズル３は、洗浄槽壁面中央付近の周上に、壁面に沿って下向きに気流Ｆ３を噴出するよう配置されている。
洗浄槽１の底部中央の洗浄媒体加速ノズル２周囲には洗浄媒体偏向部材１ａが配置され、補助加速ノズル３で加速された気流Ｆ３および洗浄媒体４を上向きに偏向する。洗浄槽１の周上に配置された複数の補助加速ノズル３の気流Ｆ３が洗浄槽底部中央で合流し、上向きの強い噴流となって洗浄対象物Ｗに向かう。
洗浄槽内壁には、補助加速ノズル３から洗浄媒体偏向部材１ａに向かう流れをスムーズにするよう、洗浄媒体偏向部材１ａから放射状に溝を形成することが好ましい。
洗浄槽１の上部には洗浄媒体再生手段Ｒが配置されている。
洗浄槽中央には、洗浄対象物Ｗを収容する網籠状のワークホルダＷＨが設置されている。
その他の装置構成と動作は実施例２と同様である。

本発明の第１の実施例を説明するための図である。 補助加速ノズルと壁面の溝を説明するための図である。 補助加速ノズルの他の配置例を示す図である。 洗浄媒体加速ノズルの断面を示す図である。 補助加速ノズル付近における気流を説明するための図である。 本発明の他の実施例を示す図である。 本発明の更に他の実施例を示す図である。 本発明の更に他の実施例を示す図である。

符号の説明

１ 洗浄槽
２ 洗浄媒体加速ノズル
３ 補助加速ノズル
４ 洗浄媒体
５ 圧縮空気源
７ 分離手段
Ｆ 気流
Ｗ 洗浄対象物（ワーク）
ＷＨ ワーク保持手段（ワークホルダ）

Claims (6)

1. 薄片状の樹脂フィルムからなる可撓性の洗浄媒体を収容する洗浄槽と、
   洗浄対象物を保持する保持手段とを有し、
   前記洗浄媒体を前記洗浄対象物に衝突させて該洗浄対象物に付着している付着物を除去する乾式洗浄装置において、
   前記洗浄槽内に洗浄媒体加速ノズルと補助加速ノズルとを有し、
   前記洗浄媒体加速ノズルは、前記洗浄対象物の下方の位置に配置され、前記洗浄媒体加速ノズルの先端部分を頂点とする前記洗浄槽の壁面から構成される凸構造を有し、前記洗浄対象物に向けて前記洗浄媒体加速ノズルの先端より圧縮空気を噴射させて、前記洗浄媒体を噴射気流で加速して前記洗浄対象物に衝突させ、
   前記補助加速ノズルは、前記洗浄槽の壁面に配置され、該壁面に沿って下方へ向かう気流を発生させて、前記補助加速ノズルからの気流を前記凸構造を形成する洗浄槽の壁面に沿って流し、前記洗浄媒体を前記洗浄媒体加速ノズルの先端に向けて飛翔させることを特徴とする乾式洗浄装置。
2. 請求項１記載の乾式洗浄装置において、
   前記洗浄媒体加速ノズルで加速された前記洗浄媒体を前記洗浄対象物に偏向する洗浄媒体偏向部材を有することを特徴とする乾式洗浄装置。
3. 請求項１または２に記載の乾式洗浄装置において、
   前記洗浄槽の内壁が略円筒形状であることを特徴とする乾式洗浄装置。
4. 請求項１または２に記載の乾式洗浄装置において、
   前記洗浄槽の内壁が略球形状であることを特徴とする乾式洗浄装置。
5. 請求項１ないし４のいずれか１つに記載の乾式洗浄装置において、
   前記洗浄槽内の気流の方向に沿って前記洗浄槽の内面に多数の溝を形成したことを特徴とする乾式洗浄装置。
6. 請求項５に記載の乾式洗浄装置において、
   前記溝のピッチが、使用する洗浄媒体の大きさ以下であることを特徴とする乾式洗浄装置。

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