JP4932689B2 - Position shift detection device - Google Patents
Position shift detection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4932689B2 JP4932689B2 JP2007308645A JP2007308645A JP4932689B2 JP 4932689 B2 JP4932689 B2 JP 4932689B2 JP 2007308645 A JP2007308645 A JP 2007308645A JP 2007308645 A JP2007308645 A JP 2007308645A JP 4932689 B2 JP4932689 B2 JP 4932689B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection device
- position shift
- positional deviation
- space
- burn
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Description
本発明は位置ズレ検出装置に係り、特に半導体デバイス等の挿抜装置などにおける位置ズレ検出等に適用して有用な位置ズレ検出装置に関するものである。 The present invention relates to a position shift detection apparatus, and more particularly to a position shift detection apparatus useful for application to position shift detection in an insertion / extraction apparatus such as a semiconductor device.
従来から半導体デバイスの検査装置等において、検査対象としての半導体デバイスをコネクタやバーンインボード等に着脱させる挿抜装置が用いられている。 2. Description of the Related Art Conventionally, in a semiconductor device inspection apparatus or the like, an insertion / extraction apparatus that attaches / detaches a semiconductor device to be inspected to / from a connector, a burn-in board or the like has been used.
即ち、ＬＳＩやＩＣ等の半導体デバイスの品質および信頼性レベルを得るために、故障メカニズムに即した試験を実施し、潜在的な欠陥を含む半導体デバイスを除去する試験としてスクリーニング試験が行われる。 That is, in order to obtain the quality and reliability level of semiconductor devices such as LSIs and ICs, a test in accordance with a failure mechanism is performed, and a screening test is performed as a test for removing semiconductor devices including potential defects.
この種のスクリーニング試験の一種としてバーンイン試験が多く実施されている。 A burn-in test is often performed as a kind of this kind of screening test.
このバーンイン試験は、熱耐性が比較的低い内部セル構造を有するメモリＩＣ等の半導体デバイスの初期不良を除去することを目的として行われるもので、複数の半導体デバイスを一括して高温下に曝して、高電圧を印加し、初期不良期から偶発不良期に入る半導体デバイスを測定し評価するものである。 This burn-in test is performed for the purpose of removing an initial failure of a semiconductor device such as a memory IC having an internal cell structure having a relatively low heat resistance. A plurality of semiconductor devices are exposed to a high temperature at a time. A semiconductor device that is applied with a high voltage and enters an accidental failure period from an initial failure period is measured and evaluated.
バーンイン試験では、前工程において、半導体デバイスが収容されているトレイ等から半導体デバイスを取り出して、試験用の基板であるバーンインボードに設けられた複数のＩＣソケットに差し込んで装着する作業が行われる。 In the burn-in test, in the previous process, a semiconductor device is taken out from a tray or the like in which the semiconductor device is stored, and inserted into a plurality of IC sockets provided on a burn-in board, which is a test substrate.
また、後工程において、試験が終了した半導体デバイスをバーンインボードから取り外して、試験結果に基づいて、トレイ等へ選別して収容する作業が行われる。 Further, in the post-process, an operation is performed in which the semiconductor device that has been tested is removed from the burn-in board, and is selected and stored in a tray or the like based on the test result.
ところで、上述のバーンイン試験の前工程および後工程において行われる作業は、挿抜装置によって自動化されている。 By the way, the work performed in the pre-process and post-process of the burn-in test described above is automated by an insertion / extraction device.
ここで、従来の挿抜装置の概略的構成及び動作を、図１０を参照して簡単に説明する。 Here, a schematic configuration and operation of a conventional insertion / extraction apparatus will be briefly described with reference to FIG.
図１０に示す挿抜装置Ｍは、トレイ１１０を保持するトレイ保持部１０２と、複数のバーンインボードＢを格納して移送するバーンインボードラック１０３と、被検査体としての半導体デバイスＤを保持して移送する２組のハンドリング機構１０４，１０５と、アライメントステージ１０６が配置されている。
An insertion / extraction apparatus M shown in FIG. 10 holds and transfers a
挿抜装置Ｍには、制御装置としてのホストコンピュータ１０８が接続されており、ホストコンピュータ１０８によって各種制御が行われるようになっている。 A host computer 108 as a control device is connected to the insertion / extraction device M, and various controls are performed by the host computer 108.
また、このホストコンピュータ１０８には、バーンインテスタ１０９が接続されており、バーンインテスタ１０９も、ホストコンピュータ１０８によって制御されるようになっている。バーンインボードラック１０３には、複数のバーンインボードＢが収納されており、バーンインボードラック１０３を図示しない移動機構に装着することにより、挿抜装置Ｍ内にて昇降可能に設置される。
The host computer 108 is connected to a burn-in
そして、挿抜装置Ｍを稼働させることにより、バーンインボードラック１０３が移動機構によって昇降され、バーンインボードラック１０３の上段側から順にバーンインボードＢが引き出される。
Then, by operating the insertion / extraction apparatus M, the burn-in
次に、トレイ１１０内の半導体デバイスＤのバーンインボードＢへの装着方法について図１１を用いて説明する。トレイ保持部１０２には、複数枚のトレイ１１０が積み重なる形で配設されており、トレイ１１０内に、半導体デバイスＤが収納されている。
Next, a method for mounting the semiconductor device D in the
そして、挿抜装置Ｍの稼働によって、最下部のトレイ１１０は移動機構１１１により前方へ引き出され所定の位置へセットされる。そして、所定の位置にセットされたトレイ１１０からハンドリング機構１０４により半導体デバイスＤはアライメントステージ１０６へ搬送される。
With the operation of the insertion / extraction device M, the
次いで、ハンドリング機構１０５により、アライメントステージ１０６からバーンインボードＢへ搬送され、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに実装される。
Next, the
そして、上述の一連の動作を繰り返し、バーンインボードＢ上の全てのＩＣソケットに半導体デバイスＤが装着されると、図示しないプリテスタによりバーンインボードＢ上の全ての半導体デバイスＤが電気試験される。ここで不良が発見された場合は再度装着を仕直したり、あるいは、次の半導体デバイスＤと交換したりする。 When the above-described series of operations are repeated and the semiconductor devices D are mounted in all the IC sockets on the burn-in board B, all the semiconductor devices D on the burn-in board B are electrically tested by a pretester (not shown). If a defect is found here, the mounting is performed again or the next semiconductor device D is replaced.
このような試験により、バーンインボードＢ上の全ての半導体デバイスＤが良品と判断されると、このバーンインボードＢは、バーンインボードラック１０３へ収納されて、半導体デバイスＤが装着されていない他のバーンインボードＢが引き出されて再び半導体デバイスＤの装着動作が行われる。
When all the semiconductor devices D on the burn-in board B are determined to be non-defective products through such a test, the burn-in board B is stored in the burn-in
また、バーンインボードラック１０３内に、半導体デバイスＤが装着されたバーンインボードＢが満杯になると、バーンインボードラック１０３は、バーンインテスタ１０９のチャンバに入れられバーンイン試験が行われる。
When the burn-in board B in which the semiconductor device D is mounted becomes full in the burn-in
さらに、バーンイン試験の終了後、試験済みのバーンインボードラック１０３は、再び挿抜装置Ｍに運ばれて収納される。
Furthermore, after the burn-in test is completed, the tested burn-in
このような挿抜装置としては特開２０００−２９２４８８号公報等に示されるものなどがある。
ところで、上記従来の挿抜装置において、半導体デバイスＤは、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに精度良く実装される必要がある。そのため、アライメントステージ１０６の半導体デバイスセット部は、半導体デバイスＤとのクリアランスが厳密に形成され、かつバーンインボードＢとの位置調精度も良く固定される必要がある。
By the way, in the conventional insertion / extraction apparatus, the semiconductor device D needs to be accurately mounted on the IC socket S on the burn-in board B. Therefore, the semiconductor device set portion of the
また、アライメントステージ１０６などを所定の位置でロックするロック機構も精度よく係止させる必要がある。
In addition, it is necessary to accurately lock the lock mechanism that locks the
しかしながら、ハンドリング機構１０５や移動機構１１１を動作させる際の振動等の何らかの原因によりアライメントステージ１０６やロック機構の係止位置に位置ズレを生ずる場合がある。
However, there is a case where the misalignment position of the
このような位置ズレを生じた際に、ハンドリング機構１０５等の運転を続けると、バーンインボードＢ上のＩＣソケットＳに対して半導体デバイスＤが位置ズレした状態で挿抜されることとなり、半導体デバイスＤに撓みや応力が働いて故障や破損の原因となり、また、ＩＣソケットＳにも必要以上の負荷がかかりバーンインボードＢおよびＩＣソケットＳの劣化を早めるという問題があった。
If the operation of the
この問題を解消するためには、上述のような位置ズレを生じた際には直ちに検出して、ハンドリング機構１０５等の運転を停止させる必要がある。
In order to solve this problem, it is necessary to immediately detect the occurrence of such a positional shift and stop the operation of the
一方で、影響のない範囲の位置ズレであるにも関わらず挿抜装置を頻繁に停止させていたのでは試験効率が著しく低下するという不都合がある。 On the other hand, if the insertion / extraction apparatus is frequently stopped in spite of the positional shift in the range where there is no influence, there is a disadvantage that the test efficiency is remarkably lowered.
また、精度良く位置ズレを検出しようとするとコストが嵩み易いという難点もあった。 In addition, there is a problem that the cost is likely to increase if the positional deviation is detected with high accuracy.
そこで、本発明は、低コストで精度良く位置ズレを検出することのできる位置ズレ検出装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a position shift detection device that can detect a position shift with high accuracy at low cost.
上記課題を解決するために、請求項１の発明に係る位置ズレ検出装置は、底側に開口部を有する筒状の空間と該空間に連通する通気孔とを有する第１の部材と、該第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、前記空間に連通する通気孔を有し、当該通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり前記第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、当該テーパー部を前記空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、前記第１の部材と前記第３の部材との間に形成される隙間および前記第２の部材と前記テーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、該計測手段の計測結果に基づいて、前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, a positional deviation detection device according to the invention of claim 1 includes a first member having a cylindrical space having an opening on the bottom side and a vent hole communicating with the space, A spherical or conical second member that is slidably received from the bottom side in the cylindrical space of the first member, and a vent hole that communicates with the space, at the end of the vent hole Is formed with a tapered portion that extends toward the space and is engaged with a part of the second member, and with the tapered portion facing the space with respect to the end of the first member. A third member arranged to be movable in the horizontal direction, a gap formed between the first member and the third member, and a gap formed between the second member and the tapered portion Based on the measurement result of the flow rate or pressure of the fluid flowing through the Characterized in that it comprises detecting means for detecting a horizontal position displacement between the first member and the third member.
請求項２の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記計測手段は、流量計または圧力計で構成されることを特徴とする。 The positional deviation detection device according to the invention of claim 2 is characterized in that the measuring means is constituted by a flow meter or a pressure gauge.
請求項３の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記流体の流路の途中には、レギュレータまたは真空発生器が配置されることを特徴とする。 The positional deviation detection device according to a third aspect of the present invention is characterized in that a regulator or a vacuum generator is disposed in the middle of the fluid flow path.
請求項４の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第１の部材，前記第２の部材および前記第３の部材からなる検出ユニットを複数備えることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a positional deviation detection device comprising a plurality of detection units each including the first member, the second member, and the third member.
請求項５の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記各検出ユニットは、１または２以上の前記計測手段を備え、前記検出手段は、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検出ユニットの少なくとも一方における前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出することを特徴とする。 According to a fifth aspect of the present invention, in each of the detection units, each of the detection units includes one or more measurement units, and the detection unit includes at least one of the detection units based on a measurement result of the measurement unit. A positional deviation in the horizontal direction between the first member and the third member on one side is detected.
請求項６の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記検出手段は、所定の閾値を格納する閾値格納手段と、前記計測手段で計測された流体の流量または圧力が前記閾値を超えたか否かを判定する判定手段とをさらに備えることを特徴とする。
In the positional deviation detection apparatus according to the invention of
請求項７の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第２の部材を前記第３の部材側に付勢する付勢手段をさらに備えることを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, the positional deviation detection device further includes biasing means for biasing the second member toward the third member.
請求項８の発明に係る位置ズレ検出装置は、前記第１の部材と前記第３の部材との接触面には、突起が形成またはスペーサが介在されることを特徴とする。 The positional deviation detection device according to an eighth aspect of the present invention is characterized in that a protrusion is formed or a spacer is interposed on a contact surface between the first member and the third member.
本発明によれば以下の効果を奏することができる。 According to the present invention, the following effects can be obtained.
すなわち、請求項１に記載の発明によれば、計測手段による流体の流量または圧力の計測結果に基づいて第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出しているので、精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。 That is, according to the first aspect of the present invention, since the displacement in the horizontal direction between the first member and the third member is detected based on the measurement result of the flow rate or pressure of the fluid by the measuring means, There is an effect that the positional deviation can be detected with high accuracy.
請求項２に記載の発明によれば、計測手段は、流量計または圧力計で構成されるのでコストを低減できるという効果がある。 According to invention of Claim 2, since a measurement means is comprised with a flow meter or a pressure gauge, there exists an effect that cost can be reduced.
請求項３に記載の発明によれば、流体の流路の途中にレギュレータまたは真空発生器が配置されているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。 According to the third aspect of the present invention, since the regulator or the vacuum generator is arranged in the middle of the fluid flow path, there is an effect that the positional deviation can be detected with higher accuracy.
請求項４に記載の発明によれば、第１の部材，第２の部材および第３の部材からなる検出ユニットを複数備えているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。 According to the fourth aspect of the present invention, since a plurality of detection units including the first member, the second member, and the third member are provided, it is possible to detect the positional deviation with higher accuracy. is there.
請求項５に記載の発明によれば、各検出ユニットは、１または２以上の計測手段を備え、検出ユニットの少なくとも一方における第１の部材と第３の部材との水平方向の位置ズレを検出しているので、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。 According to the fifth aspect of the present invention, each detection unit includes one or two or more measuring units, and detects a horizontal positional shift between the first member and the third member in at least one of the detection units. Therefore, there is an effect that the positional deviation can be detected with higher accuracy.
請求項６に記載の発明によれば、検出手段は、所定の閾値を格納する閾値格納手段と、計測手段で計測された流体の流量または圧力が閾値を超えたか否かを判定する判定手段とをさらに備えているので、的確に位置ズレを検出することができるという効果がある。
According to the invention described in
請求項７に記載の発明によれば、付勢手段により球状または円錐状の第２の部材が第３の部材が有するテーパー部側に付勢されているので、求心性を高め原点へ復帰し易くすることができ、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。 According to the seventh aspect of the present invention, the spherical or conical second member is urged by the urging means toward the tapered portion side of the third member, so that the centripetality is improved and the origin is restored. There is an effect that the positional deviation can be detected with higher accuracy.
請求項８に記載の発明によれば、より精度良く位置ズレを検出することができるという効果がある。 According to the eighth aspect of the invention, there is an effect that the positional deviation can be detected with higher accuracy.
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しつつさらに具体的に説明する。ここで、添付図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。なお、ここでの説明は本発明が実施される最良の形態であることから、本発明は当該形態に限定されるものではない。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described more specifically with reference to the drawings. Here, in the accompanying drawings, the same reference numerals are given to the same members, and duplicate descriptions are omitted. In addition, since description here is the best form by which this invention is implemented, this invention is not limited to the said form.
図１は本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要と動作を示す側方図、図２は第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の適用例を示す側面図、図１は本発明の第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置の概要を示す側方図、図３は本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットの概要と動作を示す側方図、図４〜図９は位置ズレ検出の実験例を示す表とグラフである。 FIG. 1 is a side view showing an outline and operation of a positional deviation detection device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view showing an application example of the positional deviation detection device according to the first embodiment. FIG. 1 is a side view showing an outline of a positional deviation detection device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 shows an outline and operation of a positional deviation detection unit according to a second embodiment of the present invention. 4 to 9 are tables and graphs showing experimental examples of positional deviation detection.
図１（ａ）に示すように、第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍ１は、底側に開口部２００を有する筒状の空間２０１と、この空間２０１に連通する通気孔１ｂとを有する第１の部材Ｐ１と、この第１の部材Ｐ１の筒状の空間２０１に底側から摺動自在に収容される球状の第２の部材Ｐ２（例えば、直径１５／６４インチの鋼球等）と、空間２０１に連通する通気孔２０２を有し、この通気孔２０２の端部には空間２００側に向かって広がり第２の部材Ｐ２の一部が係合されるテーパー部Ｔが形成され、このテーパー部Ｔを空間２００に対向させた状態で第１の部材Ｐ１の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材Ｐ３とから構成されている。
As shown in FIG. 1A, the positional deviation detection device M1 according to the first embodiment includes a
なお、第２の部材Ｐ２は球状に限らず円錐状であってもよい。 The second member P2 is not limited to a spherical shape, and may be a conical shape.
テーパー部Ｔの形状も特には限定されないが、例えば図２に示すように上方に１２０度の開きを持つようにできる。 The shape of the taper portion T is not particularly limited, but for example, as shown in FIG.
また、特に限定されないが、筒状の空間２０１の内径は略８ｍｍとされ、球状の第２の部材Ｐ２はこの筒状の空間２０１内に僅かなクリアランスをもって昇降可能に収容される。
Although not particularly limited, the
また、空間２０１内には第２の部材Ｐ２を第３の部材Ｐ３側に付勢する付勢手段としてのスプリング４が設けられている。このスプリング４により第２の部材Ｐ２のガタつきを抑えるとともに、後述する流体の負荷に対する抗力を適当に保つことができる。
In the
第３の部材Ｐ３の通気孔２０２の下端部には流体（本実施の形態では空気）を送り込む（あるいは吸い込む）ための通気部材６が係合されている。
A
なお、通気部材６を介して空気を送り込む場合には第２の部材Ｐ２に正圧が加わることとなり、逆に通気部材６を介して空気を吸い込む場合には部材Ｐ２に負圧が加わることとなるが、後述するように本発明に係る位置ズレ検出装置Ｍ１は何れの場合にも位置ズレを検出することができる。
When air is sent through the
また、通気部材６には通気管８ａが接続され、通気管８ａは流量計（計測手段）７を介して通気管８ｂに接続され、さらに通気管８ｂは精密レギュレータ９に接続され、精密レギュレータ９は通気管８ｃを介してポンプ等の空圧源１０に接続されている。
A
また、流量計７にはマイクロコンピュータ等で構成される制御部Ｃが接続され、流量計７による計測結果が送信されるようになっている。
The
なお、流量計７に代えて圧力センサを設けるようにしてもよい。また、精密レギュレータ９と空圧源１０に代えて真空発生器を設けることもできる（負圧とする場合）。
A pressure sensor may be provided instead of the
ここで、特に限定はされないが、流量計７としてはＳＭＣ社製のＰＭＦ７１０Ｓ−Ｃ４−Ｃ−Ｍ（計測範囲：０〜１０Ｌ／ｍｉｎ、分解能：０．０１Ｌ／ｍｉｎ）を用いることができる。
Here, although not particularly limited, PMF710S-C4-C-M (measurement range: 0 to 10 L / min, resolution: 0.01 L / min) manufactured by SMC can be used as the
また、流量計７に代えて使用可能な圧力センサとしては、キーエンス社製のＡＰ−Ｃ４０あるいはＡＰ−４４（計測範囲：１０１．３〜−１０１．３ｋＰａ、分解能：標準０．１ｋＰａ）を挙げることができる。
Further, as a pressure sensor that can be used in place of the
また、特に限定はされないが、精密レギュレータ９としては、ＳＭＣ社製のＩＲ２０２０−０２ＢＧ（計測範囲：０．００５〜０．８ＭＰａ、感度：１．６ｋＰａ以内、繰り返し性：±４ｋＰａ以内）を用いることができる。 Further, although not particularly limited, as the precision regulator 9, IR2020-02BG manufactured by SMC (measurement range: 0.005 to 0.8 MPa, sensitivity: within 1.6 kPa, repeatability: within ± 4 kPa) should be used. Can do.
また、精密レギュレータ９に代えて使用可能な真空発生器としては、ＰＩＳＣＯ社製のＶＧＨ１０Ｅ−６６−ＤＣ２４Ｌ（到達真空度：−９３ｋＰａ、吸込流量：２７Ｌ／ｍｉｎ）を挙げることができる。 Moreover, as a vacuum generator which can be used in place of the precision regulator 9, there can be mentioned VGH10E-66-DC24L (degree of ultimate vacuum: -93 kPa, suction flow rate: 27 L / min) manufactured by PISCO.
そして、図１（ｂ）に示すように、例えば第３の部材Ｐ３に右方向の力Ｆが加わった場合には、第３の部材Ｐ３のテーパー部Ｔに沿って第２の部材Ｐ２が上方に変位すると共に第３の部材Ｐ３自体が水平方向（図上は右側）に位置ズレ量Ｚ１で移動する。 As shown in FIG. 1B, for example, when a rightward force F is applied to the third member P3, the second member P2 moves upward along the tapered portion T of the third member P3. And the third member P3 itself moves in the horizontal direction (right side in the figure) by a displacement Z1.
これにより、第１に部材Ｐ１の下端部と第３の部材Ｐ３のテーパー部Ｔとの間に空気が流通可能な空隙６００が形成される。なお、確実に流体が流通するように、第１に部材Ｐ１の下端部と第３の部材Ｐ３との接触面に、突起が形成またはスペーサが介在されるようにすると良い。
Thus, first, a
図１（ａ）の構成によれば、第２の部材Ｐ２には通気部材６を介して正圧の空気が供給されており、空隙６００に対応した空気が外部に放出される。これにより、流量計７で流出する空気量が測定され、その測定値が制御部Ｃに送られる。
According to the configuration of FIG. 1A, positive pressure air is supplied to the second member P2 through the
制御部Ｃは、内蔵する記憶装置（例えば、フラッシュメモリ等：閾値格納手段）に所定の閾値と判定プログラム等を格納しており、流量計７で計測された流体（空気）の流量または圧力が閾値を超えたか否かを判定している。
The control unit C stores a predetermined threshold and a determination program in a built-in storage device (for example, flash memory or the like: threshold storage means), and the flow rate or pressure of the fluid (air) measured by the
そして、制御部Ｃで流体（空気）の流量または圧力が閾値を超えたと判定された場合には、所定の位置ズレを検出したものとして、特定の機器（特には限定されない）等の動作を停止させる等の措置をとることができる。 When the control unit C determines that the flow rate or pressure of the fluid (air) has exceeded the threshold value, the operation of a specific device (not particularly limited) is stopped as a predetermined positional deviation is detected. Measures can be taken.
なお、検出できる位置ズレの方向は水平面であれば特に制限はなく、左右方向（Ｘ，Ｙ方向）の何れの方向に第１の部材Ｐ１あるいは第３の部材Ｐ３が位置ズレを生じても検出することができる。 In addition, there is no restriction | limiting in particular if the direction of the position shift which can be detected is a horizontal surface, It will detect even if the 1st member P1 or the 3rd member P3 produces position shift in any direction of the left-right direction (X, Y direction). can do.
また、後述する第２の実施の形態によれば第１の部材Ｐ１あるいは第３の部材Ｐ３のθ方向（回転方向）の位置ズレも検出可能である。 Further, according to a second embodiment to be described later, it is possible to detect a displacement in the θ direction (rotational direction) of the first member P1 or the third member P3.
ここで、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍ１の適用例を図２を参照して説明する。 Here, an application example of the positional deviation detection apparatus M1 according to the first embodiment will be described with reference to FIG.
図２では、例えば半導体デバイス等を載置するステージ部５００が第１の部材Ｐ１と一体的に形成され、第３の部材Ｐ３は水平方向に延設される板状部Ｅに連結されている。
In FIG. 2, for example, a
また、ステージ部５００はロック機構Ｌにより解除可能に係止されている。
The
そして、何らかの影響によりステージ部５００または板状部Ｅに水平方向の力が加わった場合には、位置ズレ検出装置Ｍ１によりその位置ズレ量が流体（空気）の流量変化（或いは圧力変化）として検出され、所定の閾値を超えた場合には位置ズレを検出したとして、例えば半導体デバイスの移送装置を停止させたり、ロック機構Ｌを解除して位置合わせを行う等の措置をとることができる。
When a horizontal force is applied to the
次に、図３を参照して本発明の第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵについて説明する。 Next, a positional deviation detection unit U according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
本実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵは、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍを２個並設した構成となっている。 The positional deviation detection unit U according to the present embodiment has a configuration in which two positional deviation detection devices M according to the first embodiment are arranged side by side.
即ち、図３（ａ）に示す例では、位置ズレ検出装置Ｍ１とＭ２が左右に並設され、一つの第３の部材Ｐ３Ａが共有されるようになっている。 That is, in the example shown in FIG. 3A, the positional deviation detection devices M1 and M2 are arranged side by side so that one third member P3A is shared.
また、第３の部材Ｐ３Ａに形成される通気孔２０２Ａ，２０２Ｂにはそれぞれ通気部材６Ａ，６Ｂが接続され、通気管８ａを介して流量計７（或いは圧力センサ）に接続されており、制御部Ｃに電気的に接続されている。
In addition,
この第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵによれば、例えば図３（ｂ）に示すように、位置ズレ検出装置Ｍ１の第２の部材Ｐ２Ａの中心軸Ｊ１を中心として所定の回転角度θだけ回転するような位置ズレが第３の部材Ｐ３Ａに生じた場合に、位置ズレ検出装置Ｍ１では第２の部材Ｐ２Ａは変位しないので流体の放出は生じない。しかし、一方の位置ズレ検出装置Ｍ２において位置ズレ量Ｚ２の変位が生じるので、位置ズレ検出装置Ｍ２から放出される流体（空気）の流量あるいは圧力を計測することにより、水平面で生じた回転角θの位置ズレを検出することができる。 According to the positional deviation detection unit U according to the second embodiment, for example, as shown in FIG. 3B, a predetermined rotation about the central axis J1 of the second member P2A of the positional deviation detection device M1. When a positional shift that rotates by the angle θ occurs in the third member P3A, the second member P2A is not displaced in the positional shift detection device M1, and therefore no fluid is released. However, since the displacement of the displacement amount Z2 occurs in one displacement detection device M2, the rotation angle θ generated in the horizontal plane is measured by measuring the flow rate or pressure of the fluid (air) discharged from the displacement detection device M2. Can be detected.
また、同様に位置ズレ検出装置Ｍ２側の第２の部材Ｐ２Ｂの中心軸Ｊ２を中心として所定の回転角度θだけ回転するような位置ズレも検出することができる。 Similarly, it is possible to detect a positional shift that rotates by a predetermined rotation angle θ about the central axis J2 of the second member P2B on the position shift detection device M2 side.
次に、図４〜図１０に、上記第１の実施の形態に係る位置ズレ検出装置Ｍおよび第２の実施の形態に係る位置ズレ検出ユニットＵにおけるズレ量と圧力あるいは流量との関係を示す。 Next, FIGS. 4 to 10 show the relationship between the displacement amount and the pressure or the flow rate in the displacement detection device M according to the first embodiment and the displacement detection unit U according to the second embodiment. .
図４の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に１００ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。 Table (a) and graph (b) in FIG. 4 show the results of measuring the flow rate (10 times) using a positive pressure of 100 kPa for measurement of the deviation amount of 0 to 150 μm.
図５の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に１５０ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。 Table (a) and graph (b) in FIG. 5 show the results of measuring the flow rate (10 times) using a positive pressure of 150 kPa for measurement of the deviation amount of 0 to 150 μm.
図６の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に２００ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。 The table (a) and graph (b) in FIG. 6 show the results of measuring the flow rate (10 times) using a positive pressure of 200 kPa for measurement of the deviation amount of 0 to 150 μm.
図７の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に２５０ｋＰａの正圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。 The table (a) and graph (b) in FIG. 7 show the results of measuring the flow rate (10 times) using a positive pressure of 250 kPa for measuring the deviation amount of 0 to 150 μm.
図８の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に負圧を用い、流量を計測（１０回）した結果を示している。 Table (a) and graph (b) of FIG. 8 show the results of measuring the flow rate (10 times) using negative pressure for measurement of the deviation amount of 0 to 150 μm.
図９の表（ａ）とグラフ（ｂ）は、ズレ量０〜１５０μｍの計測に負圧を用い、圧力を計測（１０回）した結果を示している。 Table (a) and graph (b) in FIG. 9 show the results of measuring the pressure (10 times) using negative pressure for measurement of the deviation amount of 0 to 150 μm.
各図のグラフを参照すると分かるように、ズレ量と流量或いは圧力は略比例しており、本発明によれば、第１の部材Ｐ１（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）と第３の部材Ｐ３（Ｐ３Ａ）の位置ズレを的確に検出することができることが分かる。 As can be seen from the graphs in each figure, the amount of displacement and the flow rate or pressure are substantially proportional. According to the present invention, the first member P1 (P1A, P1B) and the third member P3 (P3A) It can be seen that the positional deviation can be accurately detected.
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本明細書で開示された実施の形態はすべての点で例示であって開示された技術に限定されるものではないと考えるべきである。即ち、本発明の技術的な範囲は、上記の実施の形態における説明に基づいて制限的に解釈されるものでなく、あくまでも特許請求の範囲の記載に従って解釈すべきであり、特許請求の範囲の記載技術と均等な技術および特許請求の範囲内でのすべての変更が含まれる。 Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and are not limited to the disclosed technology. Should not be considered. That is, the technical scope of the present invention should not be construed restrictively based on the description in the above embodiment, but should be construed according to the description of the scope of claims. All modifications that fall within the scope of the claims and the equivalent technology are included.
本発明による位置ズレ検出装置は、半導体デバイス等の挿抜装置などにおける位置ズレ検出に適用することができる。 The position shift detection apparatus according to the present invention can be applied to position shift detection in an insertion / extraction apparatus such as a semiconductor device.
Ｃ 制御部（判定手段）
６００ 空隙
Ｅ 板状部
Ｊ１，Ｊ２ 中心軸
Ｌ ロック機構
Ｍ，Ｍ１，Ｍ２ 位置ズレ検出装置
Ｕ 位置ズレ検出ユニット
Ｐ１，Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ 第１の部材
Ｐ２，Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ 第２の部材
Ｐ３，Ｐ３Ａ 第３の部材
５００ ステージ部
C Control unit (determination means)
600 Gap E Plate-like part J1, J2 Center axis L Lock mechanism M, M1, M2 Position deviation detection device U Position deviation detection unit P1, P1A, P1B First member P2, P2A, P2B Second member P3, P3A First 3
Claims (8)
該第１の部材の前記筒状の空間に底側から摺動自在に収容される球状または円錐状の第２の部材と、
前記空間に連通する通気孔を有し、当該通気孔の端部には前記空間側に向かって広がり前記第２の部材の一部が係合されるテーパー部が形成され、当該テーパー部を前記空間に対向させた状態で前記第１の部材の端部に対して水平方向に移動可能に配置される第３の部材と、
前記第１の部材と前記第３の部材との間に形成される隙間および前記第２の部材と前記テーパー部とで形成される隙間を介して流通する流体の流量または圧力の計測手段と、
該計測手段の計測結果に基づいて、前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する検出手段と、
を備えることを特徴とする位置ズレ検出装置。 A first member having a cylindrical space having an opening on the bottom side and a vent hole communicating with the space;
A spherical or conical second member slidably received from the bottom side in the cylindrical space of the first member;
A vent hole communicating with the space is formed, and a tapered portion that extends toward the space side and engages with a part of the second member is formed at an end portion of the vent hole, and the tapered portion is A third member disposed so as to be movable in the horizontal direction with respect to the end of the first member in a state of being opposed to the space;
Means for measuring the flow rate or pressure of the fluid flowing through the gap formed between the first member and the third member and the gap formed by the second member and the tapered portion;
Detecting means for detecting a horizontal displacement between the first member and the third member based on a measurement result of the measuring means;
A position shift detection device comprising:
前記検出手段は、前記計測手段の計測結果に基づいて、前記検出ユニットの少なくとも一方における前記第１の部材と前記第３の部材との水平方向の位置ズレを検出する、
ことを特徴とする請求項４に記載の位置ズレ検出装置。 Each detection unit includes one or more of the measurement means,
The detection means detects a horizontal position shift between the first member and the third member in at least one of the detection units based on a measurement result of the measurement means.
The position shift detection device according to claim 4.
所定の閾値を格納する閾値格納手段と、
前記計測手段で計測された流体の流量または圧力が前記閾値を超えたか否かを判定する判定手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の位置ズレ検出装置。 The detection means includes
Threshold storage means for storing a predetermined threshold;
Determining means for determining whether the flow rate or pressure of the fluid measured by the measuring means exceeds the threshold;
The positional deviation detection device according to claim 1, further comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007308645A JP4932689B2 (en) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | Position shift detection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007308645A JP4932689B2 (en) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | Position shift detection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009133669A JP2009133669A (en) | 2009-06-18 |
| JP4932689B2 true JP4932689B2 (en) | 2012-05-16 |
Family
ID=40865695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007308645A Active JP4932689B2 (en) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | Position shift detection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4932689B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102013203340A1 (en) * | 2013-02-28 | 2014-08-28 | Nagel Maschinen- Und Werkzeugfabrik Gmbh | Method and device for fluidic geometry measurement |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4321091Y1 (en) * | 1964-04-28 | 1968-09-05 | ||
| JPS6120802A (en) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Osaka Kiko Co Ltd | Method and instrument for measuring work |
| JPH0464008A (en) * | 1990-07-04 | 1992-02-28 | Hitachi Ltd | Inspecting method for die casting |
| JP3390971B2 (en) * | 2000-02-29 | 2003-03-31 | 株式会社東京精密 | Method and apparatus for measuring the inner diameter of a hole |
| JP4565725B2 (en) * | 2000-09-28 | 2010-10-20 | 本田技研工業株式会社 | Air micro apparatus for measuring axis deviation and measuring method |
| JP4713197B2 (en) * | 2005-03-31 | 2011-06-29 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | Positioning device and air micro measurement device |
-
2007
- 2007-11-29 JP JP2007308645A patent/JP4932689B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2009133669A (en) | 2009-06-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI664432B (en) | Method for determining pressure setting value for inspection of wafer inspection device | |
| TWI438853B (en) | The detection method of the probe tip, the alignment method, and the memory medium and the probe device | |
| JP2019526796A (en) | Offline vision support method and apparatus for vision alignment of integrated circuit devices | |
| JP4821246B2 (en) | Electronic component mounting method | |
| JP2013191741A (en) | Probe device, and probe card attachment method of probe device | |
| JP5375528B2 (en) | Electronic component inspection equipment | |
| JP4932689B2 (en) | Position shift detection device | |
| JP2024014956A (en) | Prober and probe inspection method | |
| KR20180035856A (en) | IC test system | |
| JP2007080960A (en) | Apparatus and method for adjusting transfer system | |
| JP2023090977A (en) | Tilt angle detection device and tilt angle detection method | |
| JP5527463B2 (en) | Electronic component conveyor | |
| JP2016148574A (en) | Electronic component carrier device and electronic component inspection apparatus | |
| JP2020161575A (en) | Component mounting device, sliding state measurement device of component holding part, and sliding state measurement method of the component holding part | |
| CN115335712A (en) | Substrate inspection device | |
| JP2901594B1 (en) | Metal ball arrangement method and arrangement device | |
| JP2004068940A (en) | Straight line guide device and mask inspection device using the same | |
| JP6616981B2 (en) | Ball inspection repair device | |
| KR102277216B1 (en) | Apparatus and method of testing sensors of a stocker | |
| KR20080014167A (en) | Apparatus for counting wafer in loadlock chamber | |
| WO2023162158A1 (en) | Nozzle inspection machine and nozzle inspection method | |
| WO2024122025A1 (en) | Wafer transfer hand, wafer exchange device, charged particle beam device, and vacuum device | |
| JP2019113471A (en) | Electronic component conveying device and electronic component inspection device | |
| JP2010114378A (en) | Positive pressure inspection device, electronic component mounting machine using the same, and positive pressure inspection method | |
| JP2001264387A (en) | Suction head and its control system in loader/unloader device for burn-in board |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101122 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120202 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120215 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4932689 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |