JP4929981B2 - 固体撮像素子 - Google Patents
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Description
14 ゲート酸化膜
15 2層構造のリング状ゲート電極
15a、28a ポリシリコン層
15b、28b 金属シリサイド
16 ソース領域
17 ソース近傍領域
18 フォトダイオードを構成するP-型領域
19 転送ゲート電極
20 メタル配線
21 遮光膜
26 ドレイン領域
28 2層構造の転送ゲート電極
29、30、32 2層構造の遮光膜
31 絶縁層
Claims (4)
- 入射光を光電変換して電荷を生成する、基板部の表面に形成された光電変換領域と、
前記光電変換領域とは離間して前記基板部の表面上に形成された遮光性のリング状ゲート電極と、
前記基板部の表面における、前記リング状ゲート電極の中央開口部に対応する領域に形成されたソース領域と、
前記ソース領域の周囲に前記リング状ゲート電極の外周に達しないように、かつ、前記ソース領域に接続するように前記基板部に形成され、前記光電変換領域から転送された前記電荷を蓄積するソース近傍領域と、
前記光電変換領域、前記リング状ゲート電極、前記ソース領域、及び前記ソース近傍領域に離間して前記基板部の表面に形成されたドレイン領域と、
前記基板部の表面上における、前記光電変換領域と前記リング状ゲート電極との間の領域に、前記リング状ゲート電極の一部を絶縁層を介して覆うように形成され、前記光電変換領域で生成された電荷を前記ソース近傍領域に転送する遮光性の転送ゲート電極と、
前記リング状ゲート電極及び前記転送ゲート電極の上方に形成され、少なくとも前記ソース領域にコンタクト配線を介して接続する配線層と、
前記基板部の表面上で、かつ、前記絶縁層よりも下側の領域であって、前記光電変換領域、前記リング状ゲート電極、前記ドレイン領域、及び前記転送ゲート電極が形成されている領域を除く領域に、前記リング状ゲート電極に電気的に接続しないように間隙を有して形成された第1の遮光膜と、
前記絶縁層上で、かつ、前記配線層よりも下側の領域に、前記間隙を覆うように前記間隙に沿って形成された第2の遮光膜と、
を備えていることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記リング状ゲート電極及び前記第1の遮光膜は、第1のポリシリコン層の上面に第1の金属シリサイド層が積層された第1の多層膜をパターニングすることで一度に形成され、
前記転送ゲート電極及び前記第2の遮光膜は、第2のポリシリコン層の上面に第2の金属シリサイド層が積層された第2の多層膜をパターニングすることで一度に形成されていることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記光電変換領域に対応する領域に開口部を有する第3の遮光膜が、前記配線層の上方に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子。
- 前記入射光を前記光電変換領域に向けて集光するレンズ部が、前記第3の遮光膜の上方に形成されていることを特徴とする請求項3記載の固体撮像素子。
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