JP4929202B2 - 逆浸透膜モジュールの洗浄方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明は、逆浸透膜モジュールの洗浄方法及び装置に関するものであり、特に設備が大型化することなく、さらに洗浄液が原因による逆浸透膜の劣化が生じないように洗浄液を調整することができ、逆浸透膜の汚れ成分が洗浄液とともに循環しない逆浸透膜モジュールの洗浄方法及び装置に関する。

逆浸透膜モジュールに海水などの原水を供給し、逆浸透膜の分子レベルの細孔を通して水を透過させ、イオン分及び非イオン性物質の透過を阻止することで溶質の分離を行い純水として透過水を取り出す逆浸透膜モジュールは、不純物の除去性能が高く、運転操作が簡単であることから、純水を製造するために広く用いられている。このような純水製造装置では、逆浸透膜によって不純物を分離するため、長期間使用していると逆浸透膜が汚染されて透過流束が低下するので、洗浄が必要になる。

図５は、従来技術に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図である。
従来技術における逆浸透膜モジュールを用いた純水の製造及び逆浸透膜モジュールの洗浄方法について図５を用いて説明する。
まず、純水の製造時の運転について説明する。
図５において１は海水などの原水、２は逆浸透膜モジュール、３は透過水、４は透過水タンク、５は濃縮水である。
図５において、海水などの原水１は後述する逆浸透膜モジュール２で水と不純物とを分離することができる圧力まで昇圧され、逆浸透膜モジュール２に送られる。逆浸透膜モジュール２は、例えば酢酸セルロース製や芳香族ポリアミド製の逆浸透膜を中空糸型やスパイラル型に構成し、容器内に収納したものであり、逆浸透作用により前記原水１を前記逆浸透膜を透過した透過水３と、前記逆浸透膜を透過することなく不純物濃度が高められた濃縮水５に分離する。前記透過水３は純水として透過水タンク４に貯留され、前記濃縮水５は外部に排出され処理される。

次に逆浸透膜モジュール２の洗浄について説明する。
逆浸透膜モジュール２の洗浄は、浸透膜の汚染物に応じて酸又はアルカリ等による薬品洗浄を行う。膜の汚染の状態によっては酸洗浄を行った後、さらにアルカリ洗浄を行う場合もある。
洗浄を行う場合、前記透過水タンク４に貯留された透過水を、洗浄液タンク７に所定量だけ供給する。その後、酸又はアルカリ等の洗浄薬品８を洗浄薬品ポンプ９によって洗浄液タンク７へ導入する。そして、洗浄液タンク７内に設けられた攪拌機１２を回転させ攪拌を行うことで、洗浄液タンク７内では前記透過水と洗浄薬品が混合され、所定の薬品濃度の洗浄液が調整される。前記所定の薬品濃度の洗浄液が調整されると、原水１の逆浸透膜モジュール２への供給を停止した状態で、洗浄液ポンプ１１を用いて洗浄液タンク７→洗浄液ポンプ１１→逆浸透膜モジュール２→洗浄液タンク７の順に前記洗浄液を循環ライン１０内を循環させて逆浸透膜の洗浄を行う。

図５においては、攪拌機１２を設けたタンク内で水と洗浄薬品を攪拌することで洗浄液の調整を行ったが、特許文献１にはタンク→ポンプ→タンクの順に循環する混合用の循環ラインを設け、該混合用の循環ライン内を循環する水中に洗浄薬品を導入し、循環によって洗浄液の調整を行う技術が開示されている。

特開２００２−３０７０５８号公報

しかしながら、図５で説明した技術及び特許文献１に開示された技術は何れも、所定の薬品濃度の洗浄液を調整するために、調整用のタンクを設ける必要があり、設備が大型化するという問題があった。特に、逆浸透モジュールは、通常多数の逆浸透モジュールを並列に配置し、広い場所を使用することから、さらに広い場所を使用することを避けるために洗浄に使用する設備を出来る限り小型化する必要がある。
また、タンクにおける攪拌が不十分で局所的に薬品濃度が濃い洗浄液が調整されてしまった場合、逆浸透膜の耐薬品性によっては膜の劣化を引き起こしてしまう可能性がある。
さらに、浸透膜の汚れ成分が洗浄液に溶解する溶解成分である場合や、懸濁物として洗浄液とともに循環する成分である場合、汚れ成分が洗浄液とともに循環して洗浄能力が低下する。

従って、本発明はかかる従来技術の問題に鑑み、タンクを設ける必要がないため設備が大型化することなく、さらに洗浄液が原因による逆浸透膜の劣化が生じないように洗浄液の薬品濃度を調整することができ、逆浸透膜の汚れ成分が洗浄液とともに循環しない逆浸透膜モジュールの洗浄方法及び装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため本発明においては、
隣接する複数の逆浸透膜モジュールの夫々の原水供給口を連結した入口側滞留部と、前記隣接する複数の逆浸透膜モジュールの濃縮水取り出し口夫々を連結した出口側滞留部とを具え、前記側滞留部と入口側滞留部を循環ラインによって接続するとともに、前記入口側滞留部上流側の原水供給部側に、該入口側滞留部への原水の供給を停止させる開閉弁を設け、更にそれぞれの逆浸透膜モジュールで原水を分離して得られる透過水を出口側滞留部を介して透過水タンクへ送られるように構成した逆浸透膜モジュール装置の洗浄方法において
前記原水開閉弁により入口側滞留部への原水の供給を停止させた状態で、前記循環ポンプを駆動させることにより、透過水タンクの透過水の一部を、前記出口側滞留部より前記循環ラインを経由して入口側滞留部、逆浸透膜モジュール内部及びその逆浸透膜モジュールの出口側滞留部の順に循環させると共に、前記循環している水中に前記洗浄薬品を所定量導入して、前記洗浄液を調整することを特徴とする。

水を循環させ、該水中に所定量の洗浄薬品を導入することで、循環によって前記水と洗浄薬品が混合され、所定濃度の洗浄薬品の水溶液である洗浄液を調整することができる。前記循環中に前記入口側滞留部及び出口側滞留部で循環中の水の滞留が起こるため、循環による水と洗浄薬品の混合が可能となる。
これによりタンクなどの大型の設備を設ける必要がないため、逆浸透膜モジュールの洗浄に係る設備の小型化が可能となり、さらにタンクを要しないため循環流量がタンクを要する場合と比較するとタンク貯留分だけ少なくなり、従って必要な洗浄薬品量も少なくてよい。

また、前記循環している水中の洗浄薬品の濃度又は該洗浄薬品の濃度に対応して変動する物性値を検出し、該検出値が所定値を越えたときに、前記洗浄薬品の導入流量を減少させるか、前記洗浄薬品の導入を停止することを特徴とする。
前記洗浄薬品の濃度に対応して変動する物性値の例として、洗浄薬品が酸（ＨＣｌ）又はアルカリ（ＮａＯＨ）である場合にはｐＨ、洗浄薬品が酸化剤（Ｈ_２Ｏ_２）である場合には酸化還元電位（ＯＲＰ）、洗浄薬品が蛍光あるいは吸収を持つ薬品である場合にはＵＶなどが挙げられる。
また前記所定値は、逆浸透モジュールの膜の耐薬品性、洗浄薬品の種類などによって決定し、基準値以内であれば膜を劣化させないような値とする。

これにより、循環中に洗浄薬品濃度が局所的に濃くなり、前記検出値が所定値を越えた場合には、洗浄薬品の循環ラインへの導入流量が減少されるか導入が停止されるため、さらに洗浄薬品濃度が濃くなることを防止することができ、局所的に洗浄薬品濃度が濃い洗浄液が逆振動膜モジュール内に導入されて膜を劣化させることを抑制することができる。

前記洗浄薬品が酸又はアルカリであり、前記物性値が水素イオン濃度（ｐＨ）であることを特徴とする。
酸又はアルカリは、洗浄薬品濃度が変化するとｐＨも変化する。ｐＨは濃度の変化を高い精度で追従し、またｐＨを測定するためのｐＨ計は安価で構造も簡単であることから、安価で高い精度で薬品濃度の変化を検知することができる。

また、前記循環している水の体積流量Ｆ_ｗと、前記循環している水中に導入する洗浄薬品の体積流量Ｆ_ｃを、前記洗浄液中の水量と洗浄薬品量の体積比をＶ_ｗ／Ｖ_ｃとしたとき、下記の（１）式が成立するように設定することを特徴とする。
Ｆ_ｃ／Ｆ_ｗ＜Ｖ_ｃ／Ｖ_ｗ・・・（１）

（１）が成立することにより、循環中の水中に洗浄薬品が導入された位置で局所的に薬品濃度が高濃度になることを避けることができ、高濃度の洗浄液が逆浸透膜モジュール内に流れ込んで膜の劣化を引き起こすことを防止することができる。

また、課題を解決するための装置発明として、
隣接する複数の逆浸透膜モジュールの夫々の原水供給口を連結した入口側滞留部と、前記隣接する複数の逆浸透膜モジュールの濃縮水取り出し口夫々を連結した出口側滞留部とを具え、前記出口側滞留部と入口側滞留部を循環ラインによって接続するとともに、前記入口側滞留部上流側の原水供給部側に、該入口側滞留部への原水の供給を停止させる開閉弁を設け、更にそれぞれの逆浸透膜モジュールで原水を分離して得られる透過水を出口側滞留部を介して透過水タンクへ送られるように構成された逆浸透膜モジュールの洗浄装置であって
前記出口側滞留部と入口側滞留部間が循環可能に接続させた前記循環菅に介設された循環ポンプと、前記循環ライン内に洗浄薬品を導入する手段と、を設け、
前記原水開閉弁により入口側滞留部への原水の供給を停止させた状態で、前記循環ポンプを駆動させることにより、透過水タンクよりの透過水の一部を、前記出口側滞留部より前記循環ラインを経由して入口側滞留部、逆浸透膜モジュール内部及び出口側滞留部の順に循環させると共に、前記循環している水中に前記洗浄薬品を所定量導入して、前記洗浄液を調整することを特徴とする。

また、前記循環している水中の洗浄薬品の濃度又は該洗浄薬品の濃度に対応して変動する物性値を検出する検出手段と、該検出値が所定値を越えたときに、前記洗浄薬品の導入流量を減少させるか、前記洗浄薬品の導入を停止する制御装置を設けたことを特徴とする。

また、前記洗浄薬品が酸又はアルカリであり、前記検出手段が水素イオン濃度計（ｐＨ計）であることを特徴とする。

さらに、前記循環ラインに、前記洗浄液中の汚れ成分を除去する手段を介設したことを特徴とする。
汚れ成分を除去する手段は例えばろ過器、吸着剤などが挙げられる。
これにより、逆浸透膜モジュールから洗浄液によって除去された汚れ成分が、洗浄液とともに循環して洗浄液の洗浄能力が低下させることを防止することができる。

以上記載のごとく本発明によれば、タンクを設ける必要がないため設備が大型化することなく、さらに洗浄液が原因による逆浸透膜の劣化が生じないように洗浄液の薬品濃度を調整することができ、逆浸透膜の汚れ成分が洗浄液とともに循環しない逆浸透膜モジュールの洗浄方法及び装置を提供することができる。

以下、図面を参照して本発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但しこの実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。

図１は実施例１に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図であり、図２は逆浸透膜モジュール周辺の構成図である。
まず、純水の製造時の運転について説明する。
図１において１は海水などの原水、２は逆浸透膜モジュール、３は透過水、４は透過水タンク、５は濃縮水である。
図１において、海水などの原水１は図示しない昇圧用ポンプなどによって後述する逆浸透膜モジュール２で水と不純物とを分離することができる圧力まで昇圧され、逆浸透膜モジュール２に送られる。逆浸透膜モジュール２は、例えば酢酸セルロース製やポリアミド製の逆浸透膜を中空糸型やスパイラル型に構成し、容器内に収納したものであり、逆浸透作用により前記原水１を前記逆浸透膜を透過した透過水３と、前記逆浸透膜を透過することなく不純物濃度が高められた濃縮水５に分離する。前記透過水３は純水として透過水タンク４に貯留され、前記濃縮水５は外部に排出される。

また、図２に２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅで示したように、逆浸透膜モジュール２は１本だけでなく複数本が並列に配置される。図２においては５本の逆浸透膜モジュールを横に並べて配置しているが、並列に配置する逆浸透膜モジュールの本数や配置の方向特に制限はなく、数十本の逆浸透モジュールを縦に並べて配置することもある。
このように、複数本の逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅが並列に配置される場合、前記原水１は逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅの入口部に設けられた入口ヘッダ２１に導入され、該入口ヘッダ２１からそれぞれの逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅに導入される。それぞれの逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅで原水を分離して得られる透過水３は出口ヘッダ２３に導入された後、透過水タンク４へ送られる。またそれぞれの逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅで得られる濃縮水５は濃縮液ヘッダ２２に導入された後、外部に排出される。

次に逆浸透膜モジュール２の洗浄について説明する。
逆浸透膜モジュールの洗浄は、膜の汚染物に応じて酸又はアルカリ等による薬品洗浄を行う。膜の汚染の状態によっては酸洗浄を行った後、さらにアルカリ洗浄を行う場合もある。
図１において、８は酸又はアルカリ等の洗浄薬品、９は洗浄薬品８を後述する循環ライン１０へ導入する洗浄薬品ポンプ、１０は所定濃度の洗浄薬品の水溶液である洗浄液を循環させる循環ライン、１１は前記洗浄液を循環させるための洗浄液ポンプであり、６は前記循環ラインに透過水タンク４中から導入される洗浄用透過水である。なお、循環ライン１０は、図２に示したように入口ヘッダ２１及び出口ヘッダ２２に接続されている。

逆浸透膜モジュール２の洗浄を行う場合、まず原水１の逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅへの供給、即ち入口側滞留部２１への供給を停止した状態で、透過水タンク４に貯留された透過水の一部を洗浄用透過水６として前記循環ライン１０中に所定量だけ供給し、洗浄液ポンプ１１を起動して前記循環ライン１０内を循環させる。これにより前記洗浄用透過水は、洗浄液ポンプ１１→入口側滞留部２１→各逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅ→出口側滞留部２３→洗浄液ポンプ１１の順に循環する。なお、循環中の洗浄用透過水が透過水タンク４側に流れないようにする必要があるため、各逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅの出口側（滞留部）、即ち逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅと出口ヘッド２３との間にそれぞれ弁（不図示）を設けておき洗浄時には該弁を閉止するようにするとよい。

さらに、前記洗浄用透過水を循環させたまま、洗浄薬品８を洗浄薬品用ポンプ９によって前記循環ライン１０中に所定量に達するまで連続的に導入し、その後該導入を停止する。前記洗浄薬品８を導入する所定量は、前記循環ライン１０中に導入した洗浄薬品８の量と洗浄用透過水６の量との比が、逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅを洗浄するために必要な洗浄液中の洗浄薬品と水との比と同じになるような量とする。

また、前記循環ライン１０中を循環する洗浄用透過水の体積流量Ｆ_ｗと、前記循環ライン１０中に導入する洗浄薬品の体積流量Ｆ_ｃの関係を、最終的に必要な洗浄液中の洗浄用透過水量と洗浄薬品量の体積比をＶ_ｗ／Ｖ_ｃとしたとき、下記の（１）式が成立するように体積流量Ｆ_ｗ及びＦ_ｃを設定する。
Ｆ_ｃ／Ｆ_ｗ＜Ｖ_ｃ／Ｖ_ｗ・・・（１）
（１）が成立することにより、循環中の洗浄用透過水中に洗浄薬品が導入された位置で局所的に薬品濃度が高濃度になることを避けることができ、高濃度の洗浄液が逆浸透膜モジュール内に流れ込んで膜の劣化を引き起こすことを防止することができる。
ここで前記体積流量Ｆ_ｗ及びＦ_ｃの調整は例えば洗浄液ポンプ１１及び洗浄薬品ポンプ９の吐出側に流量計を設け、該流量計による検知値に応じて洗浄液ポンプ１１及び洗浄薬品ポンプ９のストロークを調整したり、別途流量調整弁を設けて該流量調整弁開度を調整するようにしてもよいが、設備全体を小型化するためには（１）式が成立するように洗浄液ポンプ１１と洗浄薬品ポンプ９の能力、及び循環ライン１０と洗浄薬品を導入するラインの配管径を選択し、流量計を設けないようにするとよい。例えば洗浄液ポンプ１１と洗浄薬品ポンプ９をそれぞれ定格運転させたときに（１）式が成立するようなポンプ能力及び配管径を選択しておく。

このようにして、所定量の洗浄用透過水を循環させたまま、該洗浄用透過水中に所定量の洗浄薬品を導入することで、循環によって洗浄用透過水と洗浄薬品が混合され、所定の濃度の洗浄液となる。本発明においては、図２に示したように循環ライン１０を入口ヘッダ２１及び濃縮液ヘッダ２２に接続しているため、入口ヘッダ２１及び濃縮液ヘッダ２２が滞留部となり、循環による洗浄用透過水と洗浄薬品の混合が可能である。
そして、前記洗浄用透過水と洗浄薬品が混合され洗浄液となった後もそのまま循環を続けることで、逆浸透膜モジュール２ａ〜２ｅの洗浄を行うことができる。

これにより、タンク等の大型設備が必要なくなるため、小型の設備で逆浸透膜モジュールを洗浄することができ、さらにタンクを要しないため循環流量がタンクを要する場合と比較するとタンク貯留分だけ少なくなり、従って必要な洗浄薬品量も少なくてよい。

図３は実施例２に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図である。
図１と同一符号は同一物を示し、センサ１４及びその付帯物を設けたこと以外は実施例１と同じであるため、実施例１と同一箇所については説明を省略する。

本実施例２においては、循環ライン１０中であり、洗浄液ポンプ９の吐出側にセンサ１４を設けている。センサ１４は洗浄液中の洗浄薬品濃度又は該濃度に対応して変動する物性値を検出するものである。
例えば、逆浸透膜モジュール２中の有機物汚れを洗浄するために洗浄薬品としてアルカリ（ＮａＯＨ）を使用する場合、洗浄液中の洗浄薬品濃度変化に対応してｐＨが変化するため、センサ１４をｐＨ計とすることができる。また逆浸透膜モジュール２中の金属（ＦｅＯＨ_３）汚れを洗浄するために洗浄薬品として酸（ＨＣｌ）を使用する場合、洗浄液にアルカリを使用する場合と同様に洗浄液中の洗浄薬品濃度変化に対応してｐＨが変化するため、センサ１４をｐＨ計とすることができる。また洗浄薬品が酸化剤（Ｈ_２Ｏ_２）である場合にセンサ１４を酸化還元電位（ＯＲＰ）センサとしたり、洗浄薬品が蛍光あるいは吸収を持つ薬品である場合にセンサ１４をＵＶ計とすることができる。

さらに、循環ライン１０内の洗浄液中の洗浄薬品濃度が局所的に濃くなり、センサ１４による検出値が所定の基準値を越えると前記ポンプ９を停止して洗浄薬品の循環ラインへの導入を停止するように制御する。
これにより、さらに洗浄薬品濃度が濃くなることを防止することができ、局所的に洗浄薬品濃度が濃い洗浄液が逆浸透膜モジュール２内に導入されて膜を劣化させることを抑制することができる。また洗浄薬品ポンプ９を停止するのではなく、ポンプストロークを下げて洗浄薬品導入流量を下げるようにしても同様の効果が得られる。
また、センサ１４による検出値が前記所定の基準値を越えた時に、洗浄薬品の循環ライン１０への導入流量を下げるか停止すれば同様の効果が得られるので、洗浄薬品ポンプ９の吐出側に流量調整弁を設けておき、センサ１４による検出値が基準値を越えた時に該流量調整弁の開度を調整するように制御してもよい。

前記洗浄薬品の循環ライン１０への導入流量を下げるか停止する基準となる前記基準値は、逆浸透モジュールの膜の耐薬品性、洗浄薬品の種類などによって決定し、基準値以内であれば膜を劣化させないような値とする。
洗浄薬品がアルカリ（ＮａＯＨ）でポリアミド系の膜を使用し、センサ１４としてｐＨ計を使用する場合、前記基準値として例えばｐＨ＝１２とすることができ、このときセンサ１４による検出ｐＨ値が１２を越えると洗浄薬品の循環ライン１０への導入流量を下げるか停止する。
また洗浄薬品が酸（ＨＣｌ）で酢酸セルロースの膜を使用し、センサ１４としてｐＨ計を使用する場合、前記基準値として例えばｐＨ＝１とすることができ、このときセンサ１４による検出ｐＨ値が１未満となると洗浄薬品の循環ライン１０への導入流量を下げるか停止する。

図４は実施例３に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図である。
図１と同一符号は同一物を示し、ろ過器１３を設けたこと以外は実施例１と同じであるため、実施例１と同一箇所については説明を省略する。

本実施例３においては、循環ライン１０中にろ過器１３を設けている。逆浸透膜モジュール２における汚れ成分を洗浄液で除去した場合、その汚れ成分は洗浄液とともに循環ライン１０内を循環し洗浄液の洗浄能力を低下させることがあるが、ろ過器１３を設けることで汚れ成分をろ過器で除去することができるため、汚れを循環させることなく、従って洗浄液の洗浄能力を低下させずに洗浄を行うことができる。
また、汚れ成分が洗浄液に溶解しない場合はろ過器１３を設ければ充分であるが、汚れ成分が洗浄液に溶解する場合はろ過器１３で汚れ成分を除去することができない場合があるため、ろ過器１３に換えて吸着剤を用いて汚れ成分を除去するとよく、ろ過器１３と吸着剤を循環ライン１０中に直列に配置して洗浄液に溶解性の汚れ成分と非溶解性の汚れ成分を除去するようにしてもよい。

タンクを設ける必要がないため設備が大型化することなく、さらに洗浄液が原因による逆浸透膜の劣化が生じないように洗浄液の薬品濃度を調整することができ、逆浸透膜の汚れ成分が洗浄液とともに循環しない逆浸透膜モジュールの洗浄方法及び装置として利用することができる。

実施例１に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図である。 逆浸透膜モジュール周辺の構成図である。 実施例２に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図である。 実施例３に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図である。 従来技術に係る逆浸透膜モジュール及びその洗浄装置を示す構成図である。

符号の説明

１ 原水
２ 逆浸透膜モジュール
３ 透過水
４ 透過水タンク
５ 濃縮水
８ 洗浄薬品
１０ 循環ライン
１１ 洗浄液ポンプ
１３ ろ過器
１４ センサ
２１ 入口ヘッダ（原水滞留部）
２２ 濃縮液ヘッダ（濃縮水滞留部）
２３ 出口ヘッダ

Claims (8)

1. 隣接する複数の逆浸透膜モジュールの夫々の原水供給口を連結した入口側滞留部と、前記隣接する複数の逆浸透膜モジュールの濃縮水取り出し口夫々を連結した出口側滞留部とを具え、前記出口側滞留部と入口側滞留部を循環ラインによって接続するとともに、前記入口側滞留部上流側の原水供給部側に、該入口側滞留部への原水の供給を停止させる開閉弁を設け、更にそれぞれの逆浸透膜モジュールで原水を分離して得られる透過水を出口側滞留部を介して透過水タンクへ送られるように構成した逆浸透膜モジュール装置の洗浄方法において
   前記原水開閉弁により入口側滞留部への原水の供給を停止させた状態で、前記循環ポンプを駆動させることにより、透過水タンクの透過水の一部を、前記循環ラインを経由して洗浄液ポンプより入口側滞留部、逆浸透膜モジュール内部及びそのモジュール出口側滞留部の順に循環させると共に、前記循環している水中に前記洗浄薬品を所定量導入して、前記洗浄液を調整することを特徴とする逆浸透膜モジュールの洗浄方法。
2. 前記循環している水中の洗浄薬品の濃度又は該洗浄薬品の濃度に対応して変動する物性値を検出し、
   該検出値が所定値を越えたときに、前記洗浄薬品の導入流量を減少させるか、前記洗浄薬品の導入を停止することを特徴とする請求項１記載の逆浸透膜モジュールの洗浄方法。
3. 前記洗浄薬品が酸又はアルカリであり、前記物性値が水素イオン濃度（ｐＨ）であることを特徴とする請求項２記載の逆浸透膜モジュールの洗浄方法。
4. 前記循環している水の体積流量Ｆ_ｗと、前記循環している水中に導入する洗浄薬品の体積流量Ｆ_ｃを、前記洗浄液中の水量と洗浄薬品量の体積比をＶ_ｗ／Ｖ_ｃとしたとき、下記の（１）式が成立するように設定することを特徴とする請求項１〜３何れか１に記載の逆浸透膜モジュールの洗浄方法。
   Ｆ_ｃ／Ｆ_ｗ＜Ｖ_ｃ／Ｖ_ｗ・・・（１）
5. 隣接する複数の逆浸透膜モジュールの夫々の原水供給口を連結した入口側滞留部と、前記隣接する複数の逆浸透膜モジュールの濃縮水取り出し口夫々を連結した出口側滞留部とを具え、前記側滞留部と入口側滞留部を循環ラインを介して接続するとともに、前記入口側滞留部上流側の原水供給部側に、該入口側滞留部への原水の供給を停止させる開閉弁を設け、更にそれぞれの逆浸透膜モジュールで原水を分離して得られる透過水を側滞留部を介して透過水タンクへ送られるように構成された逆浸透膜モジュールの洗浄装置であって
   前記逆浸透膜モジュールの出口側滞留部と入口側滞留部間が循環可能に接続させた前記循環菅に介設された循環ポンプと、前記循環ライン内に洗浄薬品を導入する手段と、を設け、
   前記原水開閉弁により入口側滞留部への原水の供給を停止させた状態で、前記循環ポンプを駆動させることにより、透過水タンクよりの透過水の一部を、前記循環ラインを経由して洗浄液ポンプより入口側滞留部、逆浸透膜モジュール内部及びその逆浸透膜モジュール出口側滞留部の順に循環させる共に、前記循環している水中に前記洗浄薬品を所定量導入して、前記洗浄液を調整することを特徴とする逆浸透膜モジュールの洗浄装置。
6. 前記循環している水中の洗浄薬品の濃度又は該洗浄薬品の濃度に対応して変動する物性値を検出する検出手段と、
   該検出値が所定値を越えたときに、前記洗浄薬品の導入流量を減少させるか、前記洗浄薬品の導入を停止する制御装置を設けたことを特徴とする請求項５記載の逆浸透膜モジュールの洗浄装置。
7. 前記洗浄薬品が酸又はアルカリであり、前記検出手段が水素イオン濃度計（ｐＨ計）であることを特徴とする請求項６記載の逆浸透膜モジュールの洗浄装置。
8. 前記循環ラインに、前記洗浄液中の汚れ成分を除去する手段を介設したことを特徴とする請求項５記載の逆浸透膜モジュールの洗浄装置。

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