JP4925272B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本実施形態の半導体装置について図1〜図4を参照しながら説明するが、本実施形態では半導体装置として、図1に示すように実装基板(例えば、ガラスエポキシ樹脂基板など)40に実装して用いる加速度センサAを例示する。
本実施形態の加速度センサAの基本構成は実施形態1と略同じであって、図5に示すように、第1のカバー基板2の各溝部20bが、内底面から離れるほど開口面積が徐々に大きくなるテーパ状に形成されている点が相違し、他の構成は実施形態1と同様なので説明を省略する。
本実施形態の加速度センサAの基本構成は実施形態1と略同じであって、図6に示すように、互いに電気的に接続される第2の電気接続用金属層29と外部接続用電極25とが第1のカバー基板2の一面内方向(図6の左右方向)において第2の電気接続用金属層29よりも外部接続用電極25が内側に位置するように両者の形成位置をずらしてある。また、第1のカバー基板2は、第2の電気接続用金属層29と当該第2の電気接続用金属層29に電気的に接続された外部接続用電極25との間に蛇腹状構造部28が形成されるように上記一表面側の溝部20bの形成位置と上記他表面側の溝部20bの形成位置とを上記一面内方向にずらしてある。なお、他の構成は実施形態1と同様なので説明を省略する。
本実施形態の加速度センサAの基本構成は実施形態3と略同じであって、図7に示すように、外部接続用電極25と電気的に接続される配線26が溝部20bを避けて形成されている点が相違し、他の構成は実施形態3と同様なので説明を省略する。
1 センサ基板(機能基板)
2 第1のカバー基板
3 第2のカバー基板
9 接合部
13 撓み部(可撓性要素部)
19 第1の電気接続用金属層
20b 溝部
23 絶縁膜
25 外部接続用電極(半田リフロー用パッド)
26 配線
27 半田広がり防止部
28 蛇腹状構造部
29 第2の電気接続用金属層
40 実装基板
43 導体パターン
50 接合部
Claims (3)
- 半導体基板を用いて形成され薄肉の可撓性要素部を有する機能基板と、一表面側に機能基板の複数の第1の電気接続用金属層と接合された複数の第2の電気接続用金属層を有するとともに他表面側に複数の第2の電気接続用金属層それぞれと貫通孔配線を介して電気的に接続された複数の外部接続用電極を有する第1のカバー基板と、第1のカバー基板との間に機能基板を囲む形で第1のカバー基板の前記一表面側に接合された第2のカバー基板とを備え、第1のカバー基板は、第2の電気接続用金属層と当該第2の電気接続用金属層に電気的に接続された外部接続用電極とを機能基板の厚み方向において重ならないようにずらしてあり、第2の電気接続用金属層と当該第2の電気接続用金属層に電気的に接続された外部接続用電極との間の領域において前記一表面側および前記他表面側それぞれに、外部接続用電極と実装基板の導体パターンとの接合に伴い可撓性要素部に発生する応力を緩和する溝部が形成され、第2の電気接続用金属層と当該第2の電気接続用金属層に電気的に接続された外部接続用電極との間に蛇腹状構造部が形成されるように前記一表面側の溝部の形成位置と前記他表面側の溝部の形成位置とをずらしてあることを特徴とする半導体装置。
- 前記第1のカバー基板は、前記外部接続用電極が半田リフロー用パッドであり、半田リフロー用パッドの周辺に当該半田リフロー用パッドの材料に比べて半田濡れ性の低い材料からなる半田広がり防止部が形成されてなることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1のカバー基板の前記他表面側で前記外部接続用電極と前記貫通孔配線とを電気的に接続する配線が前記溝部を避けて形成されてなることを特徴とする請求項1または請求項2記載の半導体装置。
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