JP4920867B2 - アクチュエータおよびインクジェットヘッド - Google Patents
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Description
好ましくは、単一配向結晶あるいは単結晶膜を成膜しやすいスパッタ法、MO−CVD法である。
特に、直径10〜25μmの円状が好ましい。本発明では、吐出口が一直線状に並べらた形態を図示したが、千鳥状に交互に配置された形態であっても良い。
材質としては、金属、セラミックスが挙げられ、具体的には、Cr,SUS,Si,Pt,Irなどの金属やZrO2,Al2O3、SiO2,などのセラミックスである。
図4に本発明のアクチュエータを有するインクジェットヘッドの断面図を示す。図4で1および4は既に述べたように弾性膜および圧電/電歪膜である。31は、個別液室部の隔壁であり、Si基板である、32,33は吐出口および絞り部が作製されるための別基板であり、SUS基板を用いられている。個別液室の幅wは、60μmで、長さlは、1.2mmで、深さは250μmである。これらの液室構造はSOI基板を用いてICPプロセスにより加工作製した。
実施例1、2及び参考例1と比べて圧電膜を電歪膜の[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]0.65−[PbTiO3]0.35に変えた以外は、実施例1、2及び参考例1と同様にして素子を作製した。上記薄膜は、MO−CVD法により作製したことより、結晶性(結晶性97.2%)および密着性の良い薄膜となった。Aサイト元素のPbの組成比はBサイト元素のMg,Nb,Tiに対して0.96であった。また、吐出特性の結果は、最大吐出液滴が14pl以上であり、かつその時の吐出速度は、15m/sec以上であり良好であった。
Claims (6)
- ペロブスカイト型構造の圧電膜を有するアクチュエータであって、
前記ペロブスカイト型構造のAサイト成分の成分量aと、Bサイト成分の成分量bと、の関係が、0.8<a/b<0.96であり、前記圧電膜の断面における粒界の幅が0.02μm以上、0.05μm以下であることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記Aサイトの成分が鉛であることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記Bサイトの成分が、Zr,Ti,Nb,Zn,Mg,Sc,Ni,Inのうち少なくとも一種の元素を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。
- 前記圧電膜が、単一配向結晶膜であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 前記圧電膜の膜厚が1μm以上、10μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のアクチュエータ。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のアクチュエータを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
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