JP4920033B2 - イオン源におけるカソード及びカウンターカソード配置 - Google Patents
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Claims (22)
- イオン注入装置のためのイオン源において、
プラズマを生成し収容するように配置されたアークチャンバと、
上記アークチャンバ内へ電子を放出するように配置されたカソードと、
上記カソードによって放出された電子が向けられるように上記アークチャンバに配置された電極と、
上記電極をバイアスするように構成された1つ以上の電位源と、
上記電極をアノードとして作用するように正にバイアスする上記電位源と、上記電極をそのカウンターカソードとして作用するように負にバイアスする上記電位源との間を切り換えるように作動できる電位調整器と、
アークチャンバ壁部に対する正のバイアスと、上記アークチャンバ壁部に対する負のバイアスとの間を切り換えるように構成された別の電位調整器と、
を備えるイオン源。 - 真空チャンバを更に備え、上記電位調整器は、大気中に配設される、請求項1に記載のイオン源。
- 真空チャンバを備え、上記別の電位調整器は、大気中に配設される、請求項1又は2に記載のイオン源。
- 更に、上記電極が正にバイアスされ且つ上記アークチャンバ壁部が負にバイアスされ、また、各々その逆となるように、少なくとも第1のイオン生成モード及び第2のイオン生成モードに対して上記電位調整器及び上記別の電位調整器がセットされた状態で作動するように構成される、請求項1から3のいずれかに記載のイオン源。
- 更に、最初の切り換えが負のバイアスから正のバイアスへとなるようにして、上記電位調整器及び上記別の電位調整器を順次に作動させることにより、第1のイオン生成モードと第2のイオン生成モードとの間で切り換え及びその逆に切り換えるように構成される、
請求項4に記載のイオン源。 - 上記電位調整器は、更に、上記電極を電気的に分離させるように構成される、請求項1から5のいずれかに記載のイオン源。
- 上記別の電位調整器は、更に、上記アークチャンバ壁部を電気的に分離させるように構成される、請求項1に記載のイオン源。
- 上記電位調整器は、更に、上記電極を電気的に分離させるように構成され、上記イオン源は、更に、上記電極が電気的に分離され且つ上記アークチャンバが正であるような第3のイオン生成モードに対して上記電位調整器及び上記別の電位調整器がセットされた状態で作動するように構成される、請求項4又は5に従属するときの請求項6に記載のイオン源。
- 上記電位調整器は、上記電極を正にバイアスする第1の位置と、上記電極を負にバイアスする第2の位置との間を切り換えるように構成されたスイッチである、請求項1から8のいずれかに記載のイオン源。
- 上記電位調整器は、上記電極を正にバイアスする第1の位置と、上記電極を負にバイアスする第2の位置と、上記電極を電気的に分離させる第3の位置との間を切り換えるように構成されたスイッチである、請求項6から8のいずれかに記載のイオン源。
- 上記別の電位調整器は、上記カソードに関して正の電位を上記アークチャンバ壁部に与えるように配置された第1の位置と、上記電極に関して負の電位を上記アークチャンバ壁部に与えるように配置された第2の位置との間を切り換えるように構成されたスイッチである、請求項1に記載のイオン源。
- 上記別の電位調整器は、上記アークチャンバ壁部を正にバイアスするように配置された第1の位置と、上記アークチャンバ壁部を負にバイアスするように配置された第2の位置と、上記アークチャンバ壁部を電気的に分離させるように配置された第3の位置との間を切り換えるように構成されたスイッチである、請求項7に記載のイオン源。
- 上記カソードは、間接加熱カソードタイプのイオン源のチューブのエンドキャップ又はフィラメントである、請求項1から12のいずれかに記載のイオン源。
- 上記カソードは、イオン源のフィラメントに隣接して配設された電子リフレクターとして作動できる電極を更に備える、請求項13に記載のイオン源。
- 上記カソードによって放出された電子のための電子経路を画成する磁界を上記アークチャンバに与えるように構成されたマグネットアセンブリを更に備える、請求項1から14のいずれかに記載のイオン源。
- 請求項1から15のいずれかに記載のイオン源を含むイオン注入装置。
- 上記アークチャンバは、更に、出口開口を備え、上記イオン注入装置は、更に、上記アークチャンバ内に含まれたプラズマから上記出口開口を通してイオンを引き出し、その引き出されたイオンをターゲットに注入するために供給するよう作動できる引出電極を備える、請求項16に記載のイオン注入装置。
- 上記アークチャンバから引き出されたイオンを受け入れるように配設され且つターゲットへ注するため特定のエネルギーにて選択された質量及び荷電状態のイオンを供給するように作動できる質量分析ステージを更に備える、請求項17に記載のイオン注入装置。
- カソード及びそのカウンターカソードを有するようなイオン源を作動させるための方法であって、上記カソードを負にバイアスし、チャンバ壁部を正にバイアスして、カソードと上記チャンバ壁部との間にプラズマを生ぜしめ、上記カウンターカソードを負にバイアスして電子をはね返すことを含む第1の反射動作モードと、上記カソードを負にバイアスし、上記カウンターカソードを正にバイアスして、上記カソードとそのカウンターカソードとの間にプラズマを生ぜしめるようにすることを含む第2の非反射動作モードと、
アークチャンバ壁部のバイアスを負から正へと切り換え、次いで、上記カウンターカソードのバイアスを正から負へ切り換えることにより、上記非反射モードから上記反射モードへ切り換えること、
を含む方法。 - 上記非反射動作モードにおいてアークチャンバ壁部を電気的に分離させることを更に含む、請求項19に記載の方法。
- 上記カウンターカソードが電気的に分離されるように上記カウンターカソードを切り離すことを更に含む、請求項19に記載の方法。
- 上記アークチャンバ壁部のバイアスが正であるようにし且つ上記カウンターカソードが電気的に分離されるように上記カウンターカソードを切り離すことにより、第3の動作モードへ切り換えることを更に含む、請求項19から21のいずれかに記載の方法。
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