JP4918673B2 - 圧電変換シート - Google Patents
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Description
最近、圧電アクチュエータを航空機、自動車、鉄道車両の振動制御や土木建築物の免振用に利用しようとする機運が高まっており、高変位で高出力のアクチュエータ材料への期待が高まっている。現在汎用されている圧電変換セラミックスのほとんどはペロブスカイト化合物のPZTを主成分としたものであるが、実用できる電気歪み(ΔL/L)は0.1%程度で、高変位で高出力用のアクチュエータとして利用するには不十分である。
最近、圧電変換材料を単結晶化し、ドメイン操作によって圧電変換特性の向上を図ろうとする研究が活発化している。例えば、Pb(Zn1/3Nb2/3)O3−PbTiO3系ベロブスカイト固溶体は単結晶化が可能であり、その菱面体構造を有する単結晶を[100]方向に分極することによって[100]方向に1%以上の変位量が得られことが明らかにされ、大きな注目を集めた[S.Park,and T.R.Shrout,J.Appl.Phys.82(1997)p1804 (非特許文献1)]。
一方、PZTを薄膜化し、強誘電体メモリやマイクロアクチュエータとして応用しようとする研究も盛んに行なわれており、[100]方向に配向化させたPZT薄膜が[111]方向に配向させたものよりも高いΔL/Lを示すことが見出されている[T.Iijima,T.Abe,and N.Sanada,Proceedings of The 9th US−Japan Seminar on Dielectric & Piezoelectric Ceramics,1999,p215 (非特許文献2)]。これらは、エンジニアードドメイン(Engineered domain)法と呼ばれる手法による単結晶に対するドメイン操作であり、最近の圧電特性向上のためのキーテクノロジーとなっている。もし、PZTが単結晶化できれば、エンジニアードドメイン法を適用してセラミックスよりもさらに大きな電気歪みが得られる可能性がある。しかし、残念ながら、実用できるような大きなPZTの単結晶粒子を得たという成功例はまだない。酸化鉛フラックス法という技術が多くの鉛含有材料の単結晶化に対して有効であるが、PZTに関しては、大きさが100μm前後の単結晶粒子が得られるに過ぎない。しかし、PZT単結晶がこのように小さな単結晶粒子であるとしても、それらを特定方向に揃えて並べる技術があれば、単結晶としての扱いが可能である。
この単結晶粒子の配向化技術については、すでに本発明者のうちの一人によって検討されている[関谷 忠、第一回「知的材料・構造システム」シンポジウム講演集、1999、p65(非特許文献3)]。これは、酸化鉛フラックス法によって得られるPZT単結晶粒子は、100μm前後の粒径に比較的良く揃ったキューブ型の形状をなすという特徴を利用したもので、液状ポリスチレン樹脂とPZT単結晶粒子を混合したものをガラス基板上でローラー圧延し、シート化するという方法である。これによって、コンポジットシート内のPZT単結晶粒子の多くが{100}面をシート面に平行にしてに並ぶという結果が生ずる。しかし、この場合に得られたシートは、PZT単結晶粒子の性質よりも、高分子の導電性が高かったため、PZT単結晶粒子の強誘電的性質が現れなかった結果となった。このシートが強誘電体・圧電体として機能するためには、高分子マトリックスの絶縁性をPZT単結晶粒子と比較して十分高める必要があり、今後の課題として残されていた。
非特許文献1 J.Appl.Phys.82(1997)p1804
非特許文献2 Proceedings of The 9th US−Japan Seminar on Dielectric & Piezoelectric Ceramics,1999,p215
非特許文献3 第一回「知的材料・構造システム」シンポジウム講演集、1999、p65
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明によれば、以下に示す圧電変換シートが提供される。
(1)ポリミド、シリコーンゴム、又はエポキシ樹脂からなるマトリックスと、該マトリックス中に分散したキューブ型チタン酸ジルコン酸鉛単結晶粒子とからなり、該単結晶粒子の[100]面がシート面と平行に配向し、かつ該単結晶粒子がシート面の表裏を貫通していることを特徴とする圧電変換シート。
(2)該単結晶粒子の割合が、シート中(50)〜(90)体積%であることを特徴とする前記(1)に記載の圧電変換シート。
第2図は、本発明の圧電変換シートの構造説明図である。
第3図は、後記参考例1における酸化鉛フラックス法によって合成したPZT単結晶粒子のSEM写真である。
第4図は、後記参考例2のシートを真上から見た顕微鏡写真である。
第5図は、後記参考例2におけるポリイミドを用いて作製したシート面のX線回折図と、同じPZT単結晶を粉末にして撮ったX線回折図とを比較したものである。
第6図は、ポリイミドを用いて作製した本発明の圧電変換シートの印加電圧に対する誘電分極率の変化(DEループ)の測定結果を示したものである。
第7図は、ポリイミドを用いて作製した本発明の圧電変換シートの印加電圧に対する厚み方向の圧電歪みの関係を示したものである。
第8図は、シリコーンゴムを用いて作製した本発明の圧電変換シートの印加電圧に対する誘電分極率の変化(DEループ)の測定結果を示したものである。
PZTにおいて、その[PbZrO3]/[PbTiO3]のモル比は、40/60〜70/30、好ましくは52/48〜60/40である。
本発明の圧電変換シートを製造するには、先ず、PZT単結晶粒子を、熱硬化性を有する液状又は溶液状のポリイミド前駆体、シリコーンゴム前駆体、又はエポキシ前駆体(以下、これらを高分子前駆体とも言う)に添加し、混合する。この混合物において、PZT単結晶粒子の割合は、50〜90体積%、好ましくは80〜90体積%である。
次に、この混合物を、第1図(a)に示すように、表面平滑な基板、例えば、ガラス基板上に載置し、この混合物の上から、第1図(b)に示すように、ローラー掛けをして、第1図(c)に示すように、その基板上にPZT単結晶粒子が配向した液状シートを形成し、これを加熱して、該高分子前駆体を硬化させる。この場合の加熱温度は、その高分子前駆体の種類によって異なるが、通常、ポリイミド前駆体の場合、150〜270℃、好ましくは200〜250℃であり、シリコーンゴム前駆体の場合、100〜190℃、好ましくは150〜180℃であり、エポキシ前駆体の場合、室温〜160℃、好ましくは120〜150℃である。
前記のようにしてPZT単結晶粒子を含む高分子のシートを形成するときには、そのPZT単結晶キューブ面は{100}面から構成されるので、PZT単結晶がその[100]軸をシート面に垂直にして配向化することになる。また、このローラー操作によってキューブの大きさと同じ厚さのシート、すなわち、PZT単結晶粒子が表裏を貫通したシートにすることができる。したがって、このシートは、1−3型と呼ばれる複合型圧電変換体に分類される。ローラー掛けされたシートは、適当な条件下で乾燥及び加熱した後、基板から剥離される。
第2図に前記のようにして得られた圧電変換シートの構造説明図を示す。
前記第1図及び第2図において、1は高分子物質、2はキューブ型PZT単結晶粒子、3は基板、4はローラを示す。
本発明で用いる液状又は溶液状のポリイミド前駆体は既に市販されているものである。このものは、通常、200〜250℃に加熱すれば、硬化して固体状のポリイミドを与える。このポリイミド前駆体としては、常温で液状のものか溶液状のものであればよく、従来公知の各種のものが用いられる。このようなものには、ポリアミド酸溶液(このものは、加脱水させることによりポリイミドを与える)の他、縮合型のポリイミド前駆体及び付加反応型のポリイミド前駆体等がある。
本発明においては、特に、下記式(1)で表される繰返し構造単位を有するポリイミド前駆体を好ましく用いることができる。
ただし、Rはアリール基である。
本発明で用いる液状又は溶液状のシリコーンゴム前駆体は既に市販されているものである。このものは、通常、150〜180℃に加熱すれば、硬化して固体状のシリコーンゴムを与える。このシリコーンゴム前駆体としては、常温で液状のものか溶液状のものであればよく、従来公知の各種のものが用いられる。このようなものとしては、例えば、下記式(2)で表される繰返し構造単位を有するものである。このシリコーンゴム前駆体には、触媒や架橋剤が配合される。
ただし、Rはアルキル基、あるいはアリール基である。
一方、本発明に用いるエポキシ樹脂は、下記式(3)で表される繰り返し構造単位を有するもので、液状の前駆体は市販品として容易に入手できるものである。このものは、適量の硬化剤を加えることによって常温では数時間、120〜150℃で加熱した場合30分程度で硬化する。
ただし、Epはエポキシ基、Rはアリール基である。
参考例1
(キューブ型PZT単結晶粒子の製造)
本発明においては、キューブ型PZT単結晶粒子は、酸化鉛フラックス法を用いて製造される。この場合、PZTセラミックスでは、菱面体相と正方晶相の相境界(Morphotropic phase boundary、MPB、PbZrO3/PbTiO3=52/48)の組成において最も高い圧電変換性を示すことが知られているが、その組成では大きな単結晶粒子とすることが困難である。そこで、それよりも幾分大きな結晶粒子が得られるという意味で、合成単結晶の組成としてはMPB組成よりも僅か菱面体相よりのPbZrO3/PbTiO3=55/45の組成を選んだ。出発原料としては、市販の試薬特級クラスのPbO、ZrO2及びTiO2を用いた。
これらをPbO:ペロブスカイト=2:1の比、すなわち3PbO+0.55ZrO2+0.45TiO2の組成に混合したものを60mlの白金ルツボに充填し、電気炉中、1150〜1200℃で5時間加熱することによって完全に溶融した後、2℃/時間の速度で徐冷した。酢酸溶液で過剰分のPbOを溶解除去することによってPZT単結晶粒子を分離した。
第3図は、得られたPZT単結晶粒子のSEM写真である。
大きさが100μm前後の比較的粒径の揃ったキューブ状の単結晶粒子が生成していることがわかる。これらの単結晶粒子は、X線回折の結果、菱面体構造のPZTであることが認められた。
参考例2
参考例1で得られたPZT単結晶粒子(30)体積部と液状ポリイミド(新日本理化株式会社社製、商品名「リカコートSN−20」)(70)体積部とを混合しものをガラス基板上でローラーにより圧延した。ローラーとしては、ローラーへのポリイミド混合物の付着を避けるため、テフロン(R)棒を用いた。次に、これをガラス基板ごと120℃で数時間乾燥し、ガラス基板からシートを剥離した。これによって、比較的柔軟なシートが得られる。
第4図に、シートを真上から見た顕微鏡写真を示す。相当数の結晶粒子が四角い面が上向きにして並んでいることが認められる。
第5図は、シート面のX線回折図と、同じPZT単結晶を粉末にして撮ったX線回折図を比較したものである。両X線回折図の比較から明らかなように、シートではPZT単結晶粒子が{100}面に対して強く配向していることがわかる。この配向度をLotgering法と呼ばれる計算式によって見積もると、約90%に達することがわかった。
第6図に、印加電圧に対する誘電分極率の変化(DEループ)の測定結果を示す。DEループは強誘電体特有の形状を呈していることがわかる。しかし、強誘電体としての性能を表す指標である飽和分極及び残留分極は、それぞれ9μC/cm2及び7μC/cm2といった具合であり、PZTセラミックスや薄膜のものと比べてかなり小さい。これは、すべてのPZT単結晶粒子がシート面に露出し、電極と接しているわけではないためであり、これを改善することによってさらに向上させることができると考えられる。いずれにしても、本発明手法によって得られる、PZT単結晶粒子とポリイミドとによる1−3型複合圧電変換シートは、強誘電体として機能することが明らかとなった。
第7図に、印加電圧に対するシートの厚み方向の圧電歪みの関係を示す。この図から、印加電圧の増加とともに歪みが増加し、PZTセラミックスに特有のバタフライ型の歪み曲線が観測される。
第8図に、このシートの印加電圧に対する誘電分極率の変化(DEループ)の測定結果を示す。この図は、強誘電体としての正常な形状をなしており、シリコーンゴムによるコンポジットシートも圧電体として機能することがわかる。
産業上の利用分野
一般のセラミックスでは、構成結晶粒子がランダムな方向を向いているので、その物性値は、各結晶粒子の物性値の平均の値として得られるが、本発明による圧電変換シートは、キューブ状のPZT単結晶粒子を[100]軸をシート面に垂直に配向させたものであるため、PZTの物性値としては{100}面固有の値を引き出すことができる。
また、本発明による圧電変換シートでは、PZT単結晶粒子が菱面体構造であって、その[100]軸がシート面に垂直に配向しているので、菱面体構造を有するPb(Zn1/3Nb2/3)O3−PbTiO3系単結晶や配向性PZT薄膜で成功したように、エンジニアードドメイン法を適用することによって大きな電気歪みが得られる可能性がある。これは、菱面体構造のペロブスカイトにおいて[100]軸はまさにエンジニアードドメインを適用するのに最適な軸であるからである。
本発明による圧電変換シートは高分子との複合体であり、柔軟性があるため、多少のカーブを与えても何の問題もない。そのため、センサやアクチュエータとして用いる場合、カーブ表面を有する装置に貼付して用いることができる。
Claims (1)
- ポリイミド又はシリコーンゴムからなるマトリックスと、該マトリックス中に分散したキューブ型で菱面体構造のチタン酸ジルコン酸鉛単結晶粒子とからなり、該単結晶粒子の{100}面がシート面と平行に配向し、かつ該単結晶粒子がシート面の表裏を貫通していることを特徴とする圧電変換シート。
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