JP4911598B2 - Insulation inspection device and insulation inspection method - Google Patents
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Description
本発明は、絶縁検査装置及び絶縁検査方法に関し、より詳しくは、被検査基板上に形成される複数の配線パターンに予め設定される複数の被検査点を所定順序で選択することによって行われる配線パターン間の絶縁検査において、該被検査点の離間距離に応じて検査条件の電圧を変化させて検査を行う絶縁検査装置及び絶縁検査方法に関する。 The present invention relates to an insulation inspection apparatus and an insulation inspection method, and more specifically, wiring performed by selecting a plurality of inspection points preset in a plurality of wiring patterns formed on a substrate to be inspected in a predetermined order. The present invention relates to an insulation inspection apparatus and an insulation inspection method for performing inspection by changing a voltage of an inspection condition in accordance with a separation distance between inspection points in an insulation inspection between patterns.
尚、本発明は、プリント配線パターン基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線パターン基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線パターンの検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線パターン基板を総称して「基板」という。 The present invention is not limited to a printed wiring pattern substrate, but includes, for example, a flexible substrate, a multilayer wiring pattern substrate, an electrode plate for a liquid crystal display and a plasma display, and various substrates such as a package substrate for a semiconductor package and a film carrier. In this specification, these various wiring pattern substrates are collectively referred to as “substrates”.
従来、複数の配線パターンを有する基板（回路基板）は、絶縁検査装置で各配線パターンについて、検査対象の配線パターンと他の配線パターンの絶縁状態の良否（十分な絶縁性が確保されているか否か）の判定を行うことにより、基板が良品であるか否かを検査する絶縁検査が行われている。 Conventionally, a substrate (circuit board) having a plurality of wiring patterns is inspected with respect to each wiring pattern by an insulation inspection apparatus (whether sufficient insulation is ensured) between the wiring pattern to be inspected and another wiring pattern. Insulation inspection is performed to inspect whether or not the substrate is a non-defective product.
この絶縁検査とは、一方の配線パターンに電圧を印加して、他方の配線パターンに流れる電流を測定することにより、これら配線パターン間の抵抗値を算出して、この抵抗値から絶縁状態を検査するものである。 In this insulation test, a voltage is applied to one wiring pattern and the current flowing through the other wiring pattern is measured to calculate the resistance value between these wiring patterns, and the insulation state is inspected from this resistance value. To do.
例えば、特許文献１に記載される公報には、検査対象の配線パターンの絶縁検査（短絡検査）を行う技術が開示されており、具体的には、検査対象の配線パターンと他の配線パターンとの間で所定電圧を印加することにより、配線パターン間の抵抗値を算出して、配線パターン間の絶縁状態の検査を行っている。
For example, the gazette described in
この種の検査方法では、配線パターン上に予め設けられているこの被検査点に導通接触する接触子を各被検査点にそれぞれ植設させることによって電流を供給したり、電圧を印加したり、さらに電気的信号を受信することで、配線パターン間の電気的特性を求めている。 In this type of inspection method, a current is supplied by applying a contact that is conductively connected to the inspection point provided in advance on the wiring pattern to each inspection point, a voltage is applied, Furthermore, the electrical characteristic between wiring patterns is calculated | required by receiving an electrical signal.
この特許文献１に開示されるような従来の絶縁検査の技術では、検査対象の配線パターンの絶縁状態を検査するために使用される電圧は、予め設定される一定の大きさの電圧を印加することにより絶縁検査が行われていた。つまり、この絶縁検査は、一定電圧を印加することにより検査が行われるものであり、配線パターン上の被検査点間の離間距離に応じるものではなかった。
In the conventional insulation inspection technique as disclosed in
特に近年では、基板の微細化が進み、配線パターン同士が近密に形成されるため、基板内部の配線パターン間の絶縁環境よりも、基板表面上の被検査点間の絶縁環境の方が低絶縁の環境である場合が生じている。このような場合、配線パターン間の絶縁環境により電圧が設定されると、この電圧を印加した際に、絶縁検査対象となる被検査点間又は被検査点に導通接触する接触子間で、空中放電が起こる可能性があり、適切な絶縁検査が行われないという問題もある。 In recent years, in particular, the miniaturization of the substrate has progressed, and the wiring patterns are formed in close proximity, so the insulation environment between test points on the substrate surface is lower than the insulation environment between the wiring patterns inside the substrate. In some cases, the environment is isolated. In such a case, when a voltage is set according to the insulation environment between the wiring patterns, when this voltage is applied, it is in the air between the inspection points to be inspected for insulation or between the contacts that are in conductive contact with the inspection point. There is also a problem that discharge may occur and proper insulation inspection is not performed.
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、被検査点の離間距離に応じて検査条件の電圧を変化させて検査を行う絶縁検査装置及び絶縁検査方法を提供する。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides an insulation inspection apparatus and an insulation inspection method for performing inspection by changing the voltage of the inspection condition in accordance with the separation distance of the point to be inspected.
請求項１記載の発明は、複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、配線パターン間の絶縁検査を行う絶縁検査装置であって、選択された被検査点間の距離が距離情報として記憶される記憶手段と、前記被検査点間に電位を与える電源手段と、前記電源手段が電位を与えた際の前記被検査点間の電気的特性を検出する検出手段と、前記検出手段が検出する電気的特性から、前記被検査点間の抵抗値を算出する算出手段と、前記算出手段の算出結果から前記被検査点間の絶縁の良否を判定する判定手段と、前記記憶手段の距離情報を所定群に区分し、前記区分に応じる電位を設定するとともに、前記電源手段が与える電位の大きさを制御する制御手段を有し、前記制御手段は、前記記憶手段に記憶される距離情報を基に、前記電位の大きさを決定することを特徴とする絶縁検査装置を提供する。 According to the first aspect of the present invention, in a substrate to be inspected on which a plurality of wiring patterns in which a plurality of inspection points are set in advance are formed, inspection points on different wiring patterns are selected from the plurality of inspection points, and wiring is performed. An insulation inspection apparatus for performing an insulation inspection between patterns, a storage means for storing a distance between selected inspection points as distance information, a power supply means for applying a potential between the inspection points, and the power supply means Detecting means for detecting an electrical characteristic between the inspected points when applying a potential, a calculating means for calculating a resistance value between the inspected points from the electrical characteristics detected by the detecting means, The determination means for determining the quality of the insulation between the points to be inspected from the calculation result of the calculation means, and the distance information of the storage means are divided into predetermined groups, potentials corresponding to the classification are set, and the power supply means gives Magnitude of potential A controlling unit for controlling said control means, based on the distance information stored in the storage means, to provide an insulation test apparatus characterized by determining the magnitude of the potential.
請求項２記載の発明は、複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、配線パターン間の絶縁検査を行う絶縁検査装置であって、選択された被検査点間の距離が距離情報として記憶される記憶手段と、前記被検査点間に電位を与える電源手段と、前記電源手段が電位を与えた際の前記被検査点間の電気的特性を検出する検出手段と、前記検出手段が検出する電気的特性から、前記被検査点間の抵抗値を算出する算出手段と、前記算出手段の算出結果から前記被検査点間の絶縁の良否を判定する判定手段と、前記電源手段が与える電位の大きさを制御する制御手段を有し、前記制御手段は、前記記憶手段に記憶される距離情報を基に、前記電位の大きさを決定し、前記被検査点として一点の被検査点を第一組として選択し、前記一点の被検査点以外の全ての被検査点を第二組として選択する選択手段を有し、前記制御手段は、前記第一組の被検査点と、前記第二組に属する被検査点のうち前記第一組の被検査点と最も近い距離にある被検査点との距離を距離情報として、前記第一組と前記第二組の電位を調整することを特徴とする絶縁検査装置を提供する。 According to a second aspect of the present invention, in a substrate to be inspected on which a plurality of wiring patterns in which a plurality of inspection points are set in advance are formed, inspection points on different wiring patterns are selected from the plurality of inspection points, and wiring An insulation inspection apparatus for performing an insulation inspection between patterns, a storage means for storing a distance between selected inspection points as distance information, a power supply means for applying a potential between the inspection points, and the power supply means Detecting means for detecting an electrical characteristic between the inspected points when applying a potential, a calculating means for calculating a resistance value between the inspected points from the electrical characteristics detected by the detecting means, A determination unit that determines whether the insulation between the inspected points is good or bad based on a calculation result of the calculation unit; and a control unit that controls a magnitude of a potential supplied by the power source unit. The control unit stores the storage unit in the storage unit Based on the distance information Selecting means for determining the magnitude of the potential, selecting one inspection point as the first inspection point as the first set, and selecting all inspection points other than the one inspection point as the second set; The control means includes a distance between the first set of inspection points and an inspection point that is closest to the first set of inspection points among the inspection points belonging to the second set. An insulation inspection apparatus characterized by adjusting the potentials of the first group and the second group as distance information is provided.
請求項３記載の発明は、前記制御手段は、前記記憶手段が、全ての被検査点間の距離を記憶する複数の距離情報から、最短の距離情報を有する距離情報を選出し、前記最短の距離情報に対応する大きさの電位もしくはこの大きさよりも小さい電位を、前記被検査点間に与えるように設定する請求項１又は２に記載の絶縁検査装置を提供する。
In the invention according to claim 3, the control means selects the distance information having the shortest distance information from the plurality of distance information in which the storage means stores the distances between all the points to be inspected, and the shortest The insulation inspection apparatus according to
請求項４記載の発明は、前記記憶手段は、全ての被検査点間の距離を複数の距離情報として記憶し、前記制御手段が、全ての距離情報に基づき被検査点間の距離に応じた電圧を設定する請求項１又は２に記載の絶縁検査装置を提供する。
According to a fourth aspect of the present invention, the storage means stores distances between all the inspection points as a plurality of distance information, and the control means responds to the distances between the inspection points based on all the distance information. The insulation inspection apparatus according to
請求項５記載の発明は、前記制御手段が調整する電位は、前記距離が長い場合には該電位が高く、該距離が短い場合には低くなるよう相対的に調整されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の絶縁検査装置を提供する。
The invention according to
請求項６記載の発明は、複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、該被検査点の絶縁検査を行う絶縁検査方法であって、前記複数の被検査点における二点の被検査点間の距離を距離情報とし、該距離情報を所定群に区分し、該区分に応じる電位を設定して記憶し、前記距離情報の区分を基にして、前記二点の被検査点間の電位を調整して印加することを特徴とする絶縁検査方法を提供する。 According to a sixth aspect of the present invention, in a substrate to be inspected on which a plurality of wiring patterns in which a plurality of inspection points are set in advance are formed, inspection points on different wiring patterns are selected from the plurality of inspection points, An insulation inspection method for performing an insulation inspection of points to be inspected, wherein distances between two points to be inspected at the plurality of points to be inspected are used as distance information, and the distance information is divided into predetermined groups, and according to the divisions. An insulation inspection method is provided in which a potential is set and stored, and a potential between the two points to be inspected is adjusted and applied based on the division of the distance information .
請求項７記載の発明は、複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、該被検査点の絶縁検査を行う絶縁検査方法であって、前記被検査点として一点の被検査点を第一組として選択し、前記一点の被検査点以外の全ての被検査点を第二組として選択し、前記第一組の被検査点と、前記第二組に属する被検査点のうち前記第一組の被検査点と最も近い距離にある被検査点との距離を距離情報として記憶し、前記距離情報を基にして、前記第一組と前記第二組の電位を調整して印加することを特徴とする絶縁検査方法を提供する。 According to a seventh aspect of the present invention, in a substrate to be inspected on which a plurality of wiring patterns in which a plurality of inspection points are preset are formed, inspection points on different wiring patterns are selected from the plurality of inspection points, An insulation inspection method for performing an insulation inspection of a point to be inspected, wherein one point to be inspected is selected as the first set as the point to be inspected, and all the points to be inspected other than the point to be inspected are a second set. The distance between the first set of points to be inspected and the point to be inspected that is closest to the first set of points to be inspected belonging to the second set is stored as distance information. Then, an insulation inspection method is provided in which the potentials of the first set and the second set are adjusted and applied based on the distance information .
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。 By providing these inventions, the above problems can be solved.
請求項１、２、６又は７に記載の発明によれば、各被検査点の距離情報が格納され、検査対象の配線パターンの絶縁検査が行われる場合には、この被検査点間の距離情報を基にして、この被検査点間に印加される電位の大きさが決定されることになる。 According to the first, second, sixth, or seventh aspect of the invention, when the distance information of each inspection point is stored and the insulation inspection of the wiring pattern to be inspected is performed, the distance between the inspection points. Based on the information, the magnitude of the potential applied between the test points is determined.
このため、被検査点間の距離に応じた電位を印加して絶縁検査を行うことができるようになり、被検査点間の絶縁検査を検査精度の高い電位で検査を行うことができ、被検査点間又は被検査点に接触配置される接触子間における空中放電の危険性を防止することができるる。
また、本発明によれば、被検査基板上の被検査点間の距離を用いて絶縁検査が行われることになるので、被検査基板の表面の被検査点の位置情報を把握することによって精度の高い検査を実施することができる。このため、基板の内部情報（配線パターンの形状や配置情報）を用いることなく、効果的な絶縁検査を行うことができる。
For this reason, it is possible to perform an insulation test by applying a potential according to the distance between the points to be inspected, and an insulation test between the points to be inspected can be performed with a potential having high inspection accuracy. It is possible to prevent the risk of air discharge between inspection points or between contacts arranged in contact with the inspection point.
Further, according to the present invention, since the insulation inspection is performed using the distance between the inspection points on the substrate to be inspected, the accuracy is obtained by grasping the position information of the inspection point on the surface of the substrate to be inspected. High inspection can be performed. Therefore, effective insulation inspection can be performed without using internal information (wiring pattern shape and arrangement information) of the substrate.
請求項３記載の発明によれば、被検査基板に設定される被検査点間の距離のうち最短の距離を有する距離情報を基に絶縁検査の電位が設定されることになるため、被検査基板の絶縁検査が行われるうえで、最も空気放電を防止することができる電位を印加することができ、空中放電を防止して効率よく絶縁検査を行うことができる。 According to the invention described in claim 3, since the potential of the insulation inspection is set based on the distance information having the shortest distance among the distances between the inspection points set on the inspection substrate, When the substrate insulation test is performed, a potential that can most prevent air discharge can be applied, and air discharge can be prevented and the insulation test can be performed efficiently.
請求項４記載の発明によれば、全ての被検査点間の距離を距離情報として記憶し、検査対象となる被検査点間の距離情報に応じて、その都度電位を変更することができ、空中放電を防止して効率よく絶縁検査を行うことができる。
According to the invention of
請求項５記載の発明によれば、被検査点間の距離が長くなれば高電位を印加し、一方で、被検査点間の距離が短くなれば低電位を印加して絶縁検査を行うので、被検査点間の距離に応じて電位の大きさを適宜に調整して絶縁検査を行うため、高精度な絶縁検査を行うことができる。 According to the fifth aspect of the present invention, when the distance between the points to be inspected becomes long, a high potential is applied. On the other hand, when the distance between the points to be inspected becomes short, a low potential is applied and the insulation inspection is performed. Since the insulation inspection is performed by appropriately adjusting the magnitude of the potential according to the distance between the points to be inspected, a highly accurate insulation inspection can be performed.
請求項１又は６記載の発明によれば、距離情報を所定群に区分して、その区分に応じる大きさの電位を印加することになるので、電位を与える電源手段の制御の回数を少なくして絶縁検査を行うことができ、検査時間を短縮することができる。
According to the invention described in
請求項２又は７記載の発明によれば、複数の被検査点を検査対象となる一つの被検査点を第一組とし、この被検査点以外の全ての被検査点である残りの被検査点を第二組とし、この第一組の被検査点と第二組の被検査点のうち第一組の被検査点と最も距離の近い被検査点との距離を第一組と第二組の被検査点間の距離として絶縁検査を行うので、絶縁検査を効率よく時間を短縮して行うことができる。
According to the invention described in
本発明を実施するための最良の形態を説明する。 The best mode for carrying out the present invention will be described.
図１は、本発明に係る絶縁検査装置の概略構成図である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an insulation inspection apparatus according to the present invention.
この図１で示される絶縁検査装置１は、電源手段２、電圧検出手段３、検出手段４、算出手段５３、判定手段５４、制御手段５２、記憶手段５１、切替手段７、第一端子８、第二端子９や表示手段１０を有している。 1 includes a power source means 2, a voltage detection means 3, a detection means 4, a calculation means 53, a determination means 54, a control means 52, a storage means 51, a switching means 7, a first terminal 8, A second terminal 9 and display means 10 are provided.
また、この絶縁検査装置１は、基板ＣＢに形成される複数の被検査点Ｐに圧接するためのプローブ（コンタクトプローブ）ＣＰが用いられている。このプローブＣＰにより、所定の被検査点に対して所定電位を与えたり、所定の被検査点から電気的特性を検出したりすることができる。図１の基板ＣＢは表面Ｆと裏面Ｂを有する基板が示されており、表面Ｆは比較的配線ピッチ（被検査点間距離）が狭いフリップフロップ面が示されており、裏面Ｂは比較的配線ピッチ（被検査点間距離）が広いボールグリッド面が示されている。図１の配線パターンは、一端が表面Ｆに形成され、他端が裏面Ｂに形成される配線パターンが示されているが、一端が表面Ｆに形成され、他端が表面Ｆに形成される配線パターンでもよい。この場合、絶縁検査には、どちらかの被検査点が用いられることになる。
In addition, the
尚、図１では、基板ＣＢに４つの被検査点Ｐ１〜Ｐ４が示されているが、特に限定されるものではなく、説明の都合上これらの数や形状が示されている。 In FIG. 1, four inspection points P1 to P4 are shown on the substrate CB, but are not particularly limited, and these numbers and shapes are shown for convenience of explanation.
これら被検査点Ｐに対して夫々プローブＣＰが一本ずつ示されているが、被検査点の数や位置は限定されるものではなく、被検査点の数や位置に応じて設定され、被検査点の絶縁検査が行われる場合には、少なくとも一つの被検査点に一本のプローブが接触する必要がある。この図１で示される実施形態では、配線パターンＰの一端が表面Ｆに配置され、この一端を被検査点として用いる場合を説明する。 Although one probe CP is shown for each of the inspection points P, the number and positions of the inspection points are not limited, and are set according to the number and positions of the inspection points. When an insulation inspection is performed on an inspection point, one probe needs to contact at least one inspection point. In the embodiment shown in FIG. 1, the case where one end of the wiring pattern P is arranged on the surface F and this one end is used as an inspection point will be described.
この図１で示される絶縁検査装置１では、二端子測定法を用いて被検査点間の抵抗値を算出するが、四端子測定法を用いて被検査点間の抵抗値を算出しても構わない。
In the
電源手段２は、検査対象の被検査点と他の被検査点の間である被検査点間（検査対象間）に、絶縁検査を行うための電位差（電圧）を与える。この電源手段２は、例えば、可変電圧源を用いることができ、絶縁検査を行うため所定電位を与える電圧を適宜に調整して供給する。 The power supply means 2 gives a potential difference (voltage) for performing an insulation inspection between inspection points (between inspection targets) between the inspection target point and another inspection point. For example, a variable voltage source can be used as the power supply means 2 and a voltage for applying a predetermined potential is appropriately adjusted and supplied in order to perform an insulation test.
この電源手段２は、後述する制御手段５２に接続されており、制御手段５２により電源手段２の出力値である電圧が調整される。 The power supply means 2 is connected to the control means 52 described later, and the control means 52 adjusts the voltage that is the output value of the power supply means 2.
尚、この電源手段２は、検査対象間に0〜500Ｖ程度の大きさの電圧を与えることができるように設定される。 The power supply means 2 is set so that a voltage of about 0 to 500 V can be applied between inspection objects.
電圧検出手段３は、検査対象間の電位差（電圧）を検出する。この電圧検出手段３は、例えば、電圧計を用いるこができるが特に限定されるものではない。この電圧検出手段３は、検査対象間の電圧を検出することができるので、電源手段２が印加する検査対象間の電圧を管理することができる。 The voltage detection means 3 detects a potential difference (voltage) between inspection objects. For example, a voltmeter can be used as the voltage detecting means 3, but it is not particularly limited. Since the voltage detection means 3 can detect the voltage between the inspection objects, the voltage between the inspection objects applied by the power supply means 2 can be managed.
検出手段４は、電源手段２が検査対象間に所定の電位を供給した場合の検査対象間での電気的特性を検出する。この検出手段４は、検査対象間の電気的特性を検出するが、より具体的には、電源手段２が所定電位を与えた場合の検査対象間の電流の大きさを検出する。このため、検出手段４は電流計を用いることができる。この電流計の検出値によって、検査対象間に流れる電流値を検出することができる。 The detecting means 4 detects electrical characteristics between the inspection objects when the power supply means 2 supplies a predetermined potential between the inspection objects. The detection means 4 detects electrical characteristics between inspection objects. More specifically, the detection means 4 detects the magnitude of current between inspection objects when the power supply means 2 applies a predetermined potential. Therefore, an ammeter can be used as the detection means 4. The current value flowing between the inspection objects can be detected by the detection value of the ammeter.
記憶手段５１は、検査対象の基板上に形成された配線パターンに設定される被検査点に関する情報が記憶されており、被検査点と被検査点の間の距離に関する距離情報が記憶されている。この被検査点は、実際にコンタクトプローブＣＰが接触する検査対象の基板に形成されるランドの位置情報を用いることもできる。また、被検査点はコンタクトプローブＣＰが接触する位置でもあるので、被検査点に導通接触するコンタクトプローブの各位置情報を用いることもできる。このため、検査対象の基板の表面の情報（被検査点に関する位置情報）さえ把握することができれば、容易に絶縁検査を実施することができる。 The storage means 51 stores information related to the inspection point set in the wiring pattern formed on the inspection target substrate, and stores distance information related to the distance between the inspection point and the inspection point. . As the point to be inspected, position information of a land formed on a substrate to be inspected which the contact probe CP actually contacts can be used. In addition, since the point to be inspected is also a position where the contact probe CP contacts, it is possible to use each position information of the contact probe that is in conductive contact with the point to be tested. For this reason, if even the information on the surface of the substrate to be inspected (position information on the point to be inspected) can be grasped, the insulation inspection can be easily performed.
例えば、図１で示される基板ＣＢでは、4つの被検査点Ｐが設定されており、被検査点Ｐ１に対して被検査点Ｐ２が距離ｄ１を有して配置され、被検査点Ｐ２と被検査点Ｐ３が距離ｄ２を有して配置され、被検査点Ｐ３と被検査点Ｐ４が距離ｄ３を有して配置されている。この場合、記憶手段５１には、この基板ＣＢの情報として以下のように記憶される。被検査点Ｐ１の情報として、被検査点Ｐ２に対して距離情報ｄ１、被検査点Ｐ３に対して距離情報ｄ１＋ｄ２、さらに、被検査点Ｐ４に対して距離情報ｄ１＋ｄ２＋ｄ３を有していると記憶されることになる（ｄ３＞ｄ２＞ｄ１）。
For example, in the substrate CB shown in FIG. 1, four inspection points P are set, and the inspection point P2 is arranged with a distance d1 with respect to the inspection point P1, and the inspection point P2 and the inspection point P2 are inspected. The inspection point P3 is arranged with a distance d2, and the inspection point P3 and the inspection point P4 are arranged with a distance d3. In this case, the
また、この記憶手段５１には、被検査点Ｐ２の情報として、被検査点Ｐ１に対して距離情報ｄ１、被検査点Ｐ３に対して距離情報ｄ２、被検査点Ｐ４に対して距離情報ｄ２＋ｄ３が記憶される。このように、基準となる被検査点から各被検査点までの距離情報が夫々記憶されることになる。 Further, in this storage means 51, as information on the inspection point P2, distance information d1 for the inspection point P1, distance information d2 for the inspection point P3, and distance information d2 + d3 for the inspection point P4. Remembered. In this way, distance information from each inspection point as a reference to each inspection point is stored.
尚、被検査点Ｐ１は、被検査点Ｐ２と距離ｄ１を有して配置されているため、被検査点Ｐ２は被検査点Ｐ１と距離ｄ１を有して配置されることになる。また、この距離は、二つの被検査点の最も接近する距離を定義しており、検査対象間の距離はこの被検査点間の距離が設定されている。 Since the inspection point P1 is arranged with a distance d1 from the inspection point P2, the inspection point P2 is arranged with a distance d1 from the inspection point P1. The distance defines the closest distance between the two inspection points, and the distance between the inspection targets is set as the distance between the inspection points.
この記憶手段５１に記憶される距離情報は、一つの被検査点を基準として、各被検査点との距離を距離情報として記憶することもできる。例えば、図１で示される基板ＣＢでは、被検査点Ｐ１に対して、被検査点Ｐ２との距離情報が距離ｄ１、被検査点Ｐ３との距離情報が距離ｄ２と被検査点Ｐ４との距離情報が距離ｄ３として記憶される。また、同様に被検査点Ｐ２乃至被検査点Ｐ４に関して記憶され、例えば、被検査点Ｐ４に対して、被検査点Ｐ１との距離情報が距離ｄ３、被検査点Ｐ２との距離情報が距離ｄ５と被検査点Ｐ３との距離情報が距離ｄ４として記憶されている。また、この記憶手段５１に記憶される距離情報は、上記の如き全ての被検査点間の距離を距離情報として記憶させずに、予め被検査点と最も近距離にある被検査点を特定し、この近距離の距離情報のみを記憶させることもできる。たとえば、図１で示される基板ＣＢでは、被検査点Ｐ１に対しては距離情報ｄ１が記憶され、被検査点Ｐ２に対しては距離情報ｄ１が記憶され、被検査点Ｐ３に対しては距離情報ｄ２が記憶され、被検査点Ｐ４に対しては距離情報ｄ３が記憶されるようにする。 The distance information stored in the storage means 51 can also store the distance from each inspection point as distance information on the basis of one inspection point. For example, in the substrate CB shown in FIG. 1, the distance information with respect to the inspection point P2 is the distance d1 and the distance information with the inspection point P3 is the distance between the distance d2 and the inspection point P4 with respect to the inspection point P1. Information is stored as distance d3. Similarly, the information about the inspected points P2 to P4 is stored. For example, the distance information about the inspected point P4 is the distance d3 and the distance information about the inspected point P2 is the distance d5. And distance information between the inspection point P3 and the distance d4 are stored. Further, the distance information stored in the storage means 51 specifies the inspected point closest to the inspected point in advance without storing the distances between all inspected points as distance information as described above. Only the distance information of this short distance can be stored. For example, in the substrate CB shown in FIG. 1, distance information d1 is stored for the inspection point P1, distance information d1 is stored for the inspection point P2, and distance is stored for the inspection point P3. Information d2 is stored, and distance information d3 is stored for the inspection point P4.
制御手段５２は、電源手段２の制御を行うことができ、電源手段２が与える電位の大きさを調整する信号を電源手段２へ送信する。この制御手段５２の制御信号によって、電源手段２はその出力電位（検査対象間に印加する電圧）が調整されることになる。 The control means 52 can control the power supply means 2 and transmits a signal for adjusting the magnitude of the potential provided by the power supply means 2 to the power supply means 2. The power supply means 2 adjusts its output potential (voltage applied between the inspection objects) by the control signal of the control means 52.
この制御手段５２は、記憶手段５１と情報の送受信ができるように接続されており、検査対象間の距離をこの記憶手段５１に問い合わせを行い、検査対象間の距離である距離情報を取得することができる。
The
このため、後述する選出手段６により検査対象となる被検査点Ｐが選択された場合には、制御手段５２はこの被検査点Ｐに関する距離情報を記憶手段５１から得ることになる。このため、制御手段５２は検査対象間の距離情報を基に電源手段２の出力制御（電圧の大きさ制御）を行うことができる。 For this reason, when the inspection point P to be inspected is selected by the selection means 6 to be described later, the control means 52 obtains distance information regarding the inspection point P from the storage means 51. For this reason, the control means 52 can perform the output control (voltage magnitude control) of the power supply means 2 based on the distance information between inspection objects.
この制御手段５２が行う電源手段２に対する調整は、絶縁検査を行う検査対象間の距離情報を記憶手段５１から受け取り、この距離情報に応じて電源手段２が印加する電圧を調整するが、距離情報（距離）が大きければ電圧を大きくし、距離情報（距離）が小さければ電圧を小さくなるように相対的に調整する。 The adjustment to the power supply means 2 performed by the control means 52 receives distance information between inspection objects to be subjected to insulation inspection from the storage means 51 and adjusts the voltage applied by the power supply means 2 according to the distance information. If the (distance) is large, the voltage is increased, and if the distance information (distance) is small, the voltage is relatively adjusted.
具体的には、この制御手段５２に、ｙ＝ａｘ＋ｂ（ａ，ｂは任意に設定しておく）となるような一次関数を設定しておき、最大の距離情報（＝ｘ）の場合に300V（＝ｙ）が印加されるように条件設定し、距離情報に応じて電圧を算出するように設定することもできる。 Specifically, a linear function such that y = ax + b (a and b are arbitrarily set) is set in the control means 52, and 300 V is obtained in the case of the maximum distance information (= x). It is also possible to set the condition so that (= y) is applied, and to calculate the voltage according to the distance information.
この制御手段５２は、さらに、記憶手段５１に記憶される複数の距離情報を所定群に区分けして、所定群に応じた電位を設定する。 The control means 52 further divides a plurality of distance information stored in the storage means 51 into predetermined groups and sets potentials corresponding to the predetermined groups.
この制御手段５２が行う区分けは、所定の群に所属するように全ての距離情報が区分けされる。例えば、第一群、第二群、第三群と第四群を設定し、例えば、10μｍ未満の距離（距離情報）は第一群、10μｍ以上15μｍ未満の距離は第二群、15μｍ以上20μｍ未満の距離は第三群、20μｍ以上の距離は第四群というグループ化を行うことが可能である。 In the classification performed by the control means 52, all distance information is classified so as to belong to a predetermined group. For example, the first group, the second group, the third group and the fourth group are set. For example, the distance (distance information) of less than 10 μm is the first group, the distance of 10 μm to 15 μm is the second group, 15 μm to 20 μm A distance of less than 3 can be grouped, and a distance of 20 μm or more can be grouped as a fourth group.
このように複数の所定群を設定することにより、設定される群の数だけ、絶縁検査を行う電圧の大きさを変化させればよい（第四群まで存在するので、4種類の電圧の大きさを設定する）。この場合、同じ群に所属する被検査点から順番に検査対象とすることによって、所定群毎に検査することが可能となり、電圧可変回数を4回に低減して検査時間を短縮することができる。 By setting a plurality of predetermined groups in this way, it is only necessary to change the magnitude of the voltage for performing the insulation test by the number of groups to be set (because there are up to the fourth group, there are four types of voltage magnitudes). Set). In this case, it is possible to inspect for each predetermined group by sequentially inspecting the inspection points belonging to the same group, and the voltage variable frequency can be reduced to 4 times to shorten the inspection time. .
また、検査処理される第一群乃至第四群は、絶縁検査を行う低電圧から高電圧となるように、また高電圧から低電圧となるように検査の順番を設定することもできる。 Further, the inspection order of the first group to the fourth group to be inspected can be set so as to change from a low voltage to a high voltage, and from a high voltage to a low voltage.
尚、被検査点Ｐの距離情報を予め記憶手段５１に所定群となるように記憶しておき、絶縁検査が実施される際に、群毎に検査が実施されるように設定することもできる。 The distance information of the point P to be inspected can be stored in advance in the storage means 51 so as to be in a predetermined group, and when the insulation inspection is performed, it can be set so that the inspection is performed for each group. .
算出手段５３は、検出手段４が検出する電気的特性から、検査対象の被検査点と他の被検査点の間である検査対象間の抵抗値を算出する。 The calculation means 53 calculates a resistance value between the inspection objects that is between the inspection point to be inspected and other inspection points from the electrical characteristics detected by the detection means 4.
この算出手段５３が行う具体的な抵抗値の算出方法は、電圧検出手段３が検出する電圧値と検出手段４が検出する電流値から、検査対象間の抵抗値を算出する。このように、算出することによって、検査対象間の抵抗値を算出することができ、検査対象間の絶縁状態を判定することが可能となる。 A specific resistance value calculation method performed by the calculation means 53 calculates a resistance value between inspection objects from a voltage value detected by the voltage detection means 3 and a current value detected by the detection means 4. Thus, by calculating, the resistance value between inspection objects can be calculated, and it becomes possible to determine the insulation state between inspection objects.
判定手段５４は、算出手段５３の算出結果（抵抗値）から、検査対象の被検査点と他の被検査点の間である検査対象間の絶縁の良否を判定する。 The determination means 54 determines the quality of the insulation between the inspection target points between the inspection target point and another inspection point from the calculation result (resistance value) of the calculation means 53.
この判定手段５４が行う判定は、予め良品の場合の抵抗値を基準値として設定しておき、この算出結果と基準値とを比較することにより、その良否を判定することができる。 The determination performed by the determination unit 54 can be determined by setting a resistance value in the case of a non-defective product as a reference value in advance and comparing the calculation result with the reference value.
絶縁検査の場合、検査対象間の絶縁性が確実に維持されているかどうかが問題であるため、基準値よりも算出結果が大きい場合には絶縁状態が良好であり、基準値よりも算出結果が小さい場合には絶縁状態が不良であると判断される。尚、この基準値は、検査対象間毎又は所定群毎に設定されることができる。 In the case of insulation inspection, the problem is whether the insulation between inspection objects is reliably maintained, so if the calculation result is larger than the reference value, the insulation state is good, and the calculation result is higher than the reference value. If it is smaller, it is determined that the insulation state is defective. This reference value can be set for each inspection object or for each predetermined group.
この判定手段５４が基板ＣＢに対して良品・不良品の判定を行った後には、後述する表示手段１０に良品又は不良品の表示が行われる。 After the determination unit 54 determines the non-defective product / defective product for the substrate CB, the non-defective product or the defective product is displayed on the display unit 10 described later.
選出手段６は、基板ＣＢの複数の被検査点Ｐから検査対象間となる２組の被検査点を選出し、検査対象の被検査点Ｐを特定する。この選出手段６が検査対象の被検査点Ｐを特定することにより、順次、絶縁検査が行われるように被検査点が選出される。 The selection means 6 selects two sets of inspection points between the inspection targets from the plurality of inspection points P of the substrate CB, and specifies the inspection points P to be inspected. When the selection means 6 specifies the inspection point P to be inspected, the inspection point is selected so that the insulation inspection is sequentially performed.
本発明での検査対象の被検査点Ｐとは、複数の被検査点Ｐから特定の一つの被検査点Ｐを示しており、例えば、電源手段２の上流側（プラス電極側）に接続される被検査点Ｐを示すこともできるし、電源手段２の下流側（マイナス電極側）に接続される被検査点Ｐを指し示すことができる。 The inspected point P to be inspected in the present invention indicates one specific inspected point P from a plurality of inspected points P, and is connected to, for example, the upstream side (plus electrode side) of the power supply means 2. The inspection point P can be indicated, or the inspection point P connected to the downstream side (minus electrode side) of the power supply means 2 can be indicated.
例えば、電源手段２の上流側に接続される被検査点Ｐを検査対象とする場合には、残りの全ての被検査点Ｐが並列に接続されるとともに、電源手段２の下流側に接続されることになる。また、電源手段２の下流側に接続される被検査点Ｐを検査対象とする場合には、残り全ての被検査点Ｐが並列に接続されるとともに、電源手段２の上流側に接続される。このように接続されることにより、検査対象の被検査点Ｐとその他残りの被検査点群の検査対象間を設定することになる。 For example, when the inspection point P connected to the upstream side of the power supply means 2 is to be inspected, all the remaining inspection points P are connected in parallel and connected to the downstream side of the power supply means 2. Will be. When the inspection point P connected to the downstream side of the power supply means 2 is to be inspected, all the remaining inspection points P are connected in parallel and connected to the upstream side of the power supply means 2. . By connecting in this way, the inspection target point P to be inspected and the inspection target of the remaining group of inspection points are set.
このように選出手段６が、検査対象となる一つの被検査点を第一組とし、残りの被検査点を第二組として組み分けし、第一組と第二組を検査対象間として、選出することになるので、被検査点の絶縁検査を効率良く検査することができ、検査時間を短縮することができる。 In this way, the selection means 6 classifies one inspection point to be inspected as the first set, the remaining inspection points as the second set, and the first and second sets as the inspection targets. Since the selection is made, the insulation inspection of the point to be inspected can be efficiently inspected, and the inspection time can be shortened.
この選出手段６が行う検査対象の被検査点の選出方法は、予め記憶手段５１に検査対象となる被検査点の順番が設定され、この順番に従って検査対象の被検査点が選出される方法を例示することができる。この選出方法は特に限定されるものではなく、検査対象となる被検査点が順序良く選出される方法であれば特に限定されない。 The method of selecting the inspection points to be inspected by the selection means 6 is a method in which the order of inspection points to be inspected is set in the storage means 51 in advance, and the inspection points to be inspected are selected according to this order. It can be illustrated. This selection method is not particularly limited, and is not particularly limited as long as the inspection points to be inspected are selected in order.
この選出手段６が行う具体的な被検査点の選出は、後述する切替手段７を用いることにより実施される。例えば、切替手段７の各スイッチ素子ＳＷのON/OFF制御を行うことにより、検査対象となる被検査点を選出することができる。
The selection of a specific point to be inspected performed by the selecting
本絶縁検査装置１では、検査対象となる被検査点が電源手段２と接続されるための上流側電源供給端子８１と接続されるように、スイッチ素子ＳＷ１がONされることになる。また同時に、上流側電圧検出手段９１とこの被検査点が接続されるようにスイッチ素子ＳＷ３がONされる。
In the
例えば、図１で示される実施形態では、被検査点Ｐ１を検査対象とする場合、選出手段６が、被検査点Ｐ１に接続する上流側電源供給端子８１と上流側電圧検出端子９１を選出し、これら端子８１、９１のスイッチ素子ＳＷ１とスイッチ素子ＳＷ３をONさせるように促す信号を送信する。この信号を切替手段７が受信することにより、スイッチ素子ＳＷ１とスイッチ素子ＳＷ３が動作することになる。
For example, in the embodiment shown in FIG. 1, when the inspection point P1 is an inspection object, the selection means 6 selects the upstream
また、この場合、検査対象の被検査点以外の被検査点Ｐ２〜Ｐ４（残りの被検査点）に対応するスイッチ素子ＳＷ２とスイッチ素子ＳＷ４がONされるように促す信号が送信される。 In this case, the switch elements SW2 and the switch elements SW4 corresponding to the inspection points P2 to P4 (remaining inspection points) other than the inspection point to be inspected are transmitted.
この選出手段６によって、基板ＣＢの複数の被検査点Ｐから検査対象となる被検査点Ｐが一つずつ選択され、全ての被検査点Ｐに関して絶縁検査が行われることになる。 The selection means 6 selects inspection points P to be inspected one by one from the plurality of inspection points P on the substrate CB, and insulation inspection is performed on all the inspection points P.
このように、被検査点Ｐが選出されることにより、絶縁検査を効率良く処理することができる。 In this way, by selecting the inspection point P, the insulation inspection can be processed efficiently.
この選出手段６が検査対象の被検査点Ｐを選出する場合には、制御手段５２は検査対象の被検査点Ｐの距離情報を記憶手段５１から受け取るとともに、最も被検査点間の距離が小さい距離情報を選択し、この距離情報に応じて電源手段２を調整する。
When the selecting
このため、検査対象間は、検査対象の一つの被検査点Ｐ（第一組）と残り複数の被検査点群（第二組）が形成されるが、この検査対象間の距離は、検査対象の被検査点Ｐとこの検査対象の被検査点と最も近い距離にある被検査点Ｐとの距離情報が用いられることになる。 For this reason, between the inspection objects, one inspection point P (first set) to be inspected and a plurality of remaining inspection point groups (second group) are formed. The distance information between the inspection point P to be inspected and the inspection point P closest to the inspection point to be inspected is used.
例えば、図１の基板ＣＢでは、被検査点Ｐ１と3つの被検査点Ｐ２〜Ｐ４によって、検査対象間が形成されるが、被検査点Ｐ１とこの被検査点Ｐ１と最も距離の近い被検査点Ｐ２の距離（ｄ１）が検査対象間の距離情報として用いられることになる。 For example, in the substrate CB of FIG. 1, an inspection object is formed by the inspection point P1 and the three inspection points P2 to P4, and the inspection point P1 and the inspection object having the closest distance to the inspection point P1 are formed. The distance (d1) of the point P2 is used as distance information between inspection objects.
尚、予め記憶手段５１に、被検査点毎に最も近い距離の被検査点とこの距離を距離情報として記憶させておくこともできる。 In addition, it is also possible to previously store in the storage means 51 the inspected point closest to each inspected point and this distance as distance information.
切替手段７は、各コンタクトプローブＣＰに導通接続される複数のスイッチ素子ＳＷから構成されている。この切替手段７は、選出手段６からの動作信号により、ON/OFFの動作が制御される。このため、この切替手段７のスイッチング動作により、検査対象となる被検査点の選択を行うことができる。 The switching means 7 is composed of a plurality of switch elements SW that are conductively connected to each contact probe CP. The switching means 7 is controlled to be turned ON / OFF by an operation signal from the selection means 6. For this reason, the point to be inspected can be selected by the switching operation of the switching means 7.
電源供給端子８は、検査対象間の電圧を供給するために、各被検査点ＰとコンタクトプローブＣＰを介して接続される。 The power supply terminal 8 is connected to each inspection point P via a contact probe CP in order to supply a voltage between inspection targets.
この電源供給端子８は、電源手段２の上流側（正極側）と被検査点を接続する上流側電源供給端子８１と、電源手段２の下流側（負極側）又は検出手段４と被検査点Ｐとを接続する下流側電源供給端子８２を有している。
The power supply terminal 8 includes an upstream
図１で示される如く、この電源供給端子８の上流側電源供給端子８１及び下流側電源供給端子８２は、保護抵抗Ｒを介して被検査点Ｐに対して設けられている。
As shown in FIG. 1, the upstream
これらの上流側電源供給端子８１と下流側電源供給端子８２は、夫々に切替手段７のスイッチ素子ＳＷを有しており、この切替手段７のスイッチ素子ＳＷのON/OFF動作により、接続状態／未接続状態が設定されることになる。
Each of the upstream
この保護抵抗Ｒは、静電気放電（electro-static discharge）保護用の抵抗である。 This protective resistance R is a resistance for electrostatic discharge protection.
電圧検出端子９は、検査対象間の電気的特性を検出するための電圧を検出するために、各被検査点ＰとコンタクトプローブＣＰを介して接続される。 The voltage detection terminal 9 is connected to each inspection point P via a contact probe CP in order to detect a voltage for detecting electrical characteristics between inspection objects.
この電圧検出端子９は、電圧検出手段３の上流側（正極側）と被検査点Ｐを接続する上流側電圧検出端子９１と、電圧検出手段３の下流側（負極側）と被検査点Ｐを接続する下流側電圧検出端子９２を有してなる。 The voltage detection terminal 9 includes an upstream voltage detection terminal 91 connecting the upstream side (positive electrode side) of the voltage detection means 3 and the inspection point P, and a downstream side (negative electrode side) of the voltage detection means 3 and the inspection point P. Has a downstream voltage detection terminal 92 for connecting the two.
図１で示される如く、この電圧検出端子９の上流側電圧検出端子９１及び下流側電圧検出端子９２は、保護抵抗Ｒを介して被検査点Ｐに対して設けられている。 As shown in FIG. 1, the upstream side voltage detection terminal 91 and the downstream side voltage detection terminal 92 of the voltage detection terminal 9 are provided with respect to the inspection point P via the protective resistor R.
これらの上流側電圧検出端子９１と下流側電圧検出端子９２は、電源供給端子８と同様、夫々に切替手段７のスイッチ素子ＳＷを有しており、この切替手段７のスイッチ素子ＳＷのON/OFF動作により、接続状態／未接続状態が設定されることになる。 The upstream side voltage detection terminal 91 and the downstream side voltage detection terminal 92 each have a switching element SW of the switching means 7 as in the case of the power supply terminal 8, and the switching element SW of the switching means 7 is turned ON / OFF. By the OFF operation, the connected / unconnected state is set.
電源供給端子８と電圧検出端子９は、図１で示される如く、被検査点Ｐに導通接触する一本のコンタクトプローブＣＰに対して、4つの端子が配置されることになるとともに、各端子のON/OFF制御を行う4つのスイッチ素子ＳＷが備えられることになる。 As shown in FIG. 1, the power supply terminal 8 and the voltage detection terminal 9 are arranged with four terminals for one contact probe CP that is in conductive contact with the point P to be inspected. The four switch elements SW that perform ON / OFF control are provided.
尚、図１では、上流側電源供給端子８１の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ１とし、上流側電圧検出端子９１の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ３とし、下流側電源供給端子８２の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ２とし、下流側電圧検出端子９２の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ４として示している。
In FIG. 1, the switch element that controls the operation of the upstream
表示手段１０は、絶縁検査結果を表示する。この表示手段１０が表示する絶縁検査の表示方法は、例えば、検査を行った基板に対して「良品」又は「不良品」を表示するように機能させることができる。 The display means 10 displays the insulation inspection result. The display method of the insulation inspection displayed by the display means 10 can function to display “non-defective product” or “defective product” on the inspected substrate, for example.
以上が本発明に係る絶縁検査装置１の構成の説明である。
The above is the description of the configuration of the
次に、本発明に係る絶縁検査装置１の動作の説明を行う。
Next, the operation of the
まず、絶縁検査装置１の記憶手段５１に検査対象となる基板ＣＢの全ての被検査点Ｐ間の距離を示す距離情報が記憶される（Ｓ１）。 First, distance information indicating distances between all the inspection points P of the substrate CB to be inspected is stored in the storage means 51 of the insulation inspection apparatus 1 (S1).
記憶手段５１に基板ＣＢの被検査点間の距離情報が記憶され、基板ＣＢが検査を行うことのできる検査台（図示せず）に配置される。 Information on the distance between the inspection points of the substrate CB is stored in the storage means 51, and the substrate CB is arranged on an inspection table (not shown) where inspection can be performed.
このとき、記憶手段５１には、距離情報以外に基板ＣＢの被検査点Ｐを検査するに必要な情報（例えば、被検査点の数情報、その被検査点の位置情報や被検査点の選択順番情報）などがさらに記憶される。 At this time, in addition to the distance information, the storage means 51 includes information necessary for inspecting the inspection point P of the substrate CB (for example, information on the number of inspection points, position information of the inspection points, and selection of inspection points). Order information) and the like are further stored.
記憶手段５１に距離情報が記憶され、所定の検査位置に基板ＣＢが配置されると、基板ＣＢに対して良不良検査が実施される。
When the distance information is stored in the
基板ＣＢの検査としては、まず、各被検査点Ｐが設定された配線パターンの導通検査が行われ、被検査点Ｐが設定された配線パターンの導通確認が行われる。この導通検査は、絶縁検査が実施される前に検査されることが好ましい。尚、この導通検査時において、不良が発見された基板ＣＢは不良品として回収され、絶縁検査は行われない。 As an inspection of the substrate CB, first, a continuity inspection of the wiring pattern in which each inspection point P is set is performed, and a continuity check of the wiring pattern in which the inspection point P is set is performed. This continuity test is preferably inspected before the insulation test is performed. At the time of this continuity test, the substrate CB in which a defect is found is collected as a defective product, and the insulation test is not performed.
基板ＣＢの導通検査が行われ、良品として判断された基板ＣＢは、絶縁検査が行われる。 A continuity test of the substrate CB is performed, and an insulation test is performed on the substrate CB determined as a non-defective product.
この絶縁検査では、まず、複数の被検査点Ｐから検査対象となる被検査点Ｐが第一組として選択される。また同時に、基板ＣＢの他の残り全ての被検査点Ｐが第二組として選択される（Ｓ２）。 In this insulation inspection, first, the inspection point P to be inspected is selected from the plurality of inspection points P as the first set. At the same time, all other remaining inspection points P of the substrate CB are selected as the second set (S2).
このとき、第一組と第二組の間が、抵抗値を算出するための検査対象間となる。 At this time, a space between the first set and the second set is between inspection targets for calculating the resistance value.
第一組と第二組の被検査点Ｐが夫々選出されると、まず、第一組の被検査点Ｐに対して、検査対象間に所定の電圧を印加することができるように、スイッチ素子ＳＷの制御が行われる。 When the first set and the second set of inspection points P are selected, first, a switch is applied to the first set of inspection points P so that a predetermined voltage can be applied between the inspection targets. The element SW is controlled.
例えば、図３では、被検査点Ｐ１が検査対象である第一組として選出された場合を示している。この被検査点Ｐ１に接続されるスイッチ素子ＳＷ１とスイッチ素子ＳＷ３がＯＮとなるように動作される。また一方で、被検査点Ｐ２乃至被検査点Ｐ４に接続されるスイッチ素子ＳＷ２とスイッチ素子ＳＷ４がONとなるように夫々動作される。 For example, FIG. 3 shows a case where the inspection point P1 is selected as the first set to be inspected. The switch element SW1 and the switch element SW3 connected to the inspection point P1 are operated so as to be turned on. On the other hand, the switch element SW2 and the switch element SW4 connected to the inspection point P2 to the inspection point P4 are operated so as to be turned on, respectively.
次に、選択された第一組の被検査点Ｐ１に関する距離情報が、記憶手段５１から取り出される。この場合、第一組の被検査点Ｐ１と、第二組の被検査点群のうちこの第一組の被検査点Ｐ１と最も近い距離にある被検査点（図３の実施例では被検査点Ｐ２）との距離が距離情報として設定される（Ｓ３）。 Next, distance information regarding the selected first set of inspection points P1 is retrieved from the storage means 51. In this case, the first set of inspected points P1 and the second set of inspected points, the inspected points that are closest to the first set of inspected points P1 (in the embodiment of FIG. The distance to the point P2) is set as distance information (S3).
尚、この図３で示される場合において、被検査点Ｐ２を第一組として選択した場合、被検査点Ｐ１、被検査点Ｐ３と被検査点Ｐ４が第二組として選択され、距離情報は被検査点Ｐ１の距離ｄ１となる。 In the case shown in FIG. 3, when the inspection point P2 is selected as the first set, the inspection point P1, the inspection point P3 and the inspection point P4 are selected as the second set, and the distance information The distance d1 of the inspection point P1.
検査対象間の距離情報が決定されると、この距離情報に応じる電圧が選出される（Ｓ４）。 When the distance information between the inspection objects is determined, a voltage corresponding to the distance information is selected (S4).
この電圧は、距離情報に応じて設定されるものであり、記憶手段５１に記憶されることになる。 This voltage is set according to the distance information and is stored in the storage means 51.
検査対象間の電圧が決定されると、この電圧に応じるように電源手段２により検査対象間に絶縁検査のための電圧が印加される（Ｓ５）。 When the voltage between the inspection objects is determined, a voltage for insulation inspection is applied between the inspection objects by the power supply means 2 in accordance with this voltage (S5).
そして、この検査対象間での絶縁検査が実施される。このとき、第一組と第二組の間で所定の電圧が印加されるように、第一組の被検査点Ｐ１に電流が供給される。次いで、第一組と第二組の間が所定電圧に設定されると、第一組と第二組との検査対象間の電流値を測定する（Ｓ６）。 And the insulation test | inspection between this test object is implemented. At this time, a current is supplied to the first set of test points P1 so that a predetermined voltage is applied between the first set and the second set. Next, when the voltage between the first set and the second set is set to a predetermined voltage, the current value between the inspection targets of the first set and the second set is measured (S6).
検査対象間の電流値が測定されると、所定電圧値とこの電流値により検査対象間の抵抗値が算出される（Ｓ７）。 When the current value between the inspection objects is measured, a resistance value between the inspection objects is calculated from the predetermined voltage value and the current value (S7).
検査対象間の抵抗値が算出されると、この抵抗値と絶縁状態の良否を判定する基準値と比較され、絶縁状態の良否が判定される（Ｓ８）。 When the resistance value between the inspection objects is calculated, the resistance value is compared with a reference value for determining the quality of the insulation state, and the quality of the insulation state is determined (S8).
このとき、絶縁状態に問題がなければ（良品と判定されれば）、未だ検査対象として第一組に選択されていない被検査点Ｐが第一組として選択され、絶縁検査が実施される。 At this time, if there is no problem in the insulation state (if it is determined to be non-defective), the inspection point P that has not yet been selected as the inspection target in the first set is selected as the first set, and the insulation inspection is performed.
そして、基板ＣＢに設けられる全ての被検査点Ｐが検査対象となるまで繰り返し実施される。 And it repeats until all the to-be-inspected points P provided in the board | substrate CB become inspection object.
図３では、検査対象の被検査点（第一組に選択された被検査点）を電源手段２の上流側（正極側）に接続して、絶縁検査を行う方法を示しているが、検査対象の被検査点を電源手段２の下流側（負極側）に接続して、絶縁検査を行うようにしてもよい。 FIG. 3 shows a method of performing an insulation test by connecting an inspection target point (inspected point selected as the first set) to the upstream side (positive electrode side) of the power supply means 2. The target inspection point may be connected to the downstream side (negative electrode side) of the power supply means 2 to perform the insulation inspection.
尚、上記にも説明したが、この絶縁検査装置１が行う検査対象の被検査点の順番は、検査対象となる被検査点の距離情報に応じて群に組分け（グループ化）されて行われることもできる。この場合、この群毎に電圧が設定され、この群に所属する被検査点がまず検査対象として絶縁検査され、その後、他の新たなる群に応じる電圧が設定され、この新たなる群に所属する被検査点が検査対象となり絶縁検査されることになる。
As described above, the order of inspection points to be inspected by the
このように、印加される電圧に応じて群分けされることによって、電圧の変化数を低減することができ、検査時間を短縮することが可能となる。 Thus, by grouping according to the applied voltage, the number of voltage changes can be reduced, and the inspection time can be shortened.
以上が本発明に係る絶縁検査装置の動作の説明である。 The above is the description of the operation of the insulation inspection apparatus according to the present invention.
また、これまでに述べた実施例では、記憶手段に記憶された距離情報に基づき、各被検査点間の距離に応じた電位を与えるとしているが、各被検査点間の距離にそれぞれ応じる電位でなく、特定の被検査点間の距離を基に固定の電位を設定して、絶縁検査を行うてよい方法もある。 In the embodiments described so far, the potential corresponding to the distance between the inspected points is given based on the distance information stored in the storage means. However, the potential corresponding to the distance between the inspected points is used. In addition, there is a method in which the insulation inspection may be performed by setting a fixed potential based on the distance between specific inspection points.
この場合、記憶手段には全ての被検査点間の距離情報を記憶させ、この記憶手段から、被検査点間の距離が最短である距離情報を選出する。そしてし、この最短の距離情報に応じた大きさの電位もしくはこの大きさよりも小さい電位を与えるという方法で絶縁検査することも可能である。 In this case, distance information between all the inspection points is stored in the storage means, and distance information with the shortest distance between the inspection points is selected from this storage means. Then, it is also possible to inspect the insulation by a method of applying a potential having a magnitude corresponding to the shortest distance information or a potential smaller than this magnitude.
この方法によっても、被検査点間又は被検査点に接触するコンタクトプローブ間の空中放電を防止することができ、効果的な絶縁検査を行うことができる。電位を与える電源手段の制御の回数を少なくして絶縁検査を行うことができ、検査時間を短縮することができる。 Also by this method, it is possible to prevent air discharge between inspection points or contact probes contacting the inspection points, and an effective insulation inspection can be performed. Insulation inspection can be performed by reducing the number of times of control of the power supply means for applying the potential, and the inspection time can be shortened.
１・・・・・絶縁検査装置
２・・・・・電源手段
３・・・・・電圧検出手段
４・・・・・検出手段
５１・・・・記憶手段
５３・・・・算出手段
５４・・・・判定手段
５５・・・・制御手段
Ｐ・・・・・被検査点
ＣＢ・・・・基板
ｄ１〜ｄ３５・被検査点間の距離
DESCRIPTION OF
Claims (7)
選択された被検査点間の距離が距離情報として記憶される記憶手段と、
前記被検査点間に電位を与える電源手段と、
前記電源手段が電位を与えた際の前記被検査点間の電気的特性を検出する検出手段と、
前記検出手段が検出する電気的特性から、前記被検査点間の抵抗値を算出する算出手段と、
前記算出手段の算出結果から前記被検査点間の絶縁の良否を判定する判定手段と、
前記記憶手段の距離情報を所定群に区分し、前記区分に応じる電位を設定するとともに、前記電源手段が与える電位の大きさを制御する制御手段を有し、
前記制御手段は、前記記憶手段に記憶される距離情報を基に、前記電位の大きさを決定することを特徴とする絶縁検査装置。 Insulation for performing insulation inspection between wiring patterns by selecting inspection points on different wiring patterns from the plurality of inspection points in a substrate to be inspected on which a plurality of wiring patterns in which a plurality of inspection points are set in advance are formed An inspection device,
Storage means for storing the distance between the selected inspection points as distance information;
Power supply means for applying a potential between the inspection points;
Detecting means for detecting electrical characteristics between the inspection points when the power supply means applies a potential;
Calculation means for calculating a resistance value between the inspection points from the electrical characteristics detected by the detection means;
Determination means for determining the quality of insulation between the inspection points from the calculation result of the calculation means;
The distance information of the storage means is divided into a predetermined group, and the control means for setting the potential according to the classification and controlling the magnitude of the potential supplied by the power supply means,
The insulation inspection apparatus characterized in that the control means determines the magnitude of the potential based on distance information stored in the storage means.
選択された被検査点間の距離が距離情報として記憶される記憶手段と、 Storage means for storing the distance between the selected inspection points as distance information;
前記被検査点間に電位を与える電源手段と、 Power supply means for applying a potential between the inspection points;
前記電源手段が電位を与えた際の前記被検査点間の電気的特性を検出する検出手段と、 Detecting means for detecting electrical characteristics between the inspection points when the power supply means applies a potential;
前記検出手段が検出する電気的特性から、前記被検査点間の抵抗値を算出する算出手段と、 Calculation means for calculating a resistance value between the inspection points from the electrical characteristics detected by the detection means;
前記算出手段の算出結果から前記被検査点間の絶縁の良否を判定する判定手段と、 Determination means for determining the quality of insulation between the inspection points from the calculation result of the calculation means;
前記電源手段が与える電位の大きさを制御する制御手段を有し、 Control means for controlling the magnitude of the potential applied by the power supply means;
前記制御手段は、前記記憶手段に記憶される距離情報を基に、前記電位の大きさを決定し、 The control means determines the magnitude of the potential based on distance information stored in the storage means,
前記被検査点として一点の被検査点を第一組として選択し、前記一点の被検査点以外の全ての被検査点を第二組として選択する選択手段を有し、 Selecting a point to be inspected as a first set as the point to be inspected, and selecting means for selecting all points to be inspected other than the point to be inspected as a second set;
前記制御手段は、前記第一組の被検査点と、前記第二組に属する被検査点のうち前記第一組の被検査点と最も近い距離にある被検査点との距離を距離情報として、前記第一組と前記第二組の電位を調整することを特徴とする絶縁検査装置。 The control means uses the distance between the first set of points to be inspected and the point to be inspected that is closest to the first set of points to be inspected belonging to the second set as distance information. An insulation inspection apparatus that adjusts the potential of the first set and the second set.
前記記憶手段が、全ての被検査点間の距離を記憶する複数の距離情報から、最短の距離情報を有する距離情報を選出し、 The storage means selects distance information having the shortest distance information from a plurality of distance information storing the distances between all the inspection points,
前記最短の距離情報に対応する大きさの電位もしくはこの大きさよりも小さい電位を、前記被検査点間に与えるように設定する請求項１又は２に記載の絶縁検査装置。 The insulation inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein a potential having a magnitude corresponding to the shortest distance information or a potential smaller than the magnitude is set between the points to be inspected.
前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、該被検査点の絶縁検査を行う絶縁検査方法であって、An insulation inspection method for selecting an inspection point on a different wiring pattern from the plurality of inspection points, and performing an insulation inspection of the inspection point,
前記複数の被検査点における二点の被検査点間の距離を距離情報とし、該距離情報を所定群に区分し、該区分に応じる電位を設定して記憶し、 The distance between two inspection points in the plurality of inspection points is distance information, the distance information is divided into a predetermined group, and a potential corresponding to the division is set and stored,
前記距離情報の区分を基にして、前記二点の被検査点間の電位を調整して印加することを特徴とする絶縁検査方法。 An insulation inspection method characterized by adjusting and applying a potential between the two inspection points based on the division of the distance information.
前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、該被検査点の絶縁検査を行う絶縁検査方法であって、Insulation inspection method for selecting an inspection point on a different wiring pattern from the plurality of inspection points, and performing an insulation inspection of the inspection point,
前記被検査点として一点の被検査点を第一組として選択し、前記一点の被検査点以外の全ての被検査点を第二組として選択し、 Select one inspection point as the first set as the inspection point, select all inspection points other than the one inspection point as the second set,
前記第一組の被検査点と、前記第二組に属する被検査点のうち前記第一組の被検査点と最も近い距離にある被検査点との距離を距離情報として記憶し、 Storing the distance between the first set of test points and the test point closest to the first set of test points among the test points belonging to the second set as distance information;
前記距離情報を基にして、前記第一組と前記第二組の電位を調整して印加することを特徴とする絶縁検査方法。 An insulation inspection method characterized by adjusting and applying the potentials of the first set and the second set based on the distance information.
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