JP4905029B2 - 光散乱観察装置 - Google Patents
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Description
レーザ光源からのレーザ光線を被測定物へ照射し、被測定物から出射されるレーザ光線をCCDカメラで撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置を前提とし、
上記被測定物がウェハー加工前のサファイアインゴットで構成され、レーザ光源とサファイアインゴットとの間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる2分の1波長板とガルバノミラーおよび反射ミラーが配置されると共に、2分の1波長板を透過したレーザ光線が上記ガルバノミラーと反射ミラーにより平面状に走査されて、サファイアインゴットの真上90度に配置された自動焦点調整機能を有するCCDカメラによりサファイアインゴット断面の散乱像が観察されるようになっており、かつ、上記2分の1波長板により、サファイアインゴットに照射されるレーザ光線の偏光が水平偏波または垂直偏波に選択的に切り換えられて、水平偏波を入射することによりサファイアインゴット中に存在するマイクロバブルが検出され、垂直偏波を入射することによりサファイアインゴット中に存在するマイクロバブル以外の大型のバブルと刃状転位による歪の大きい部分が検出されるようになっていることを特徴とする。
請求項1に記載の発明に係る光散乱観察装置を前提とし、
上記2分の1波長板を透過したレーザ光線がガルバノミラーと反射ミラーにより平面状に走査されて、サファイアインゴットの中心軸に対し垂直に走査されたサファイアインゴット断面の散乱像が観察されるようになっていることを特徴とする。
請求項1または2に記載の発明に係る光散乱観察装置を前提とし、
エンコーダ付きの垂直移動ステージにより上記サファイアインゴットを移動させて、垂直方向の異なる位置におけるサファイアインゴット断面の散乱像が観察されるようになっていることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項3に記載の発明に係る光散乱観察装置を前提とし、
サファイアインゴットの各断面における散乱像の画像情報と各断面における水平方向の位置情報および垂直方向の位置情報を保存し、保存された各情報に基づく画像処理によりサファイアインゴット内に存在する散乱体の位置と大きさが特定されるようになっていることを特徴とし、
また、請求項5に係る発明は、
請求項1、2、3または4に記載の発明に係る光散乱観察装置を前提とし、
上記サファイアインゴットが、エピタキシャル成長基板に適用されるウェハー加工前のサファイアインゴットであることを特徴とする。
2分の1波長板を透過したレーザ光線がガルバノミラーと反射ミラーにより平面状に走査されるため、2次元ステージを用いることなく被測定物であるサファイアインゴット断面の散乱像を観察できる効果を有する。
エンコーダ付きの垂直移動ステージにより被測定物を垂直方向へ移動させて垂直方向の異なる位置における被測定物断面の散乱像が観察されるため、2次元ステージを用いることなく被測定物であるサファイアインゴット内に存在する散乱体の位置と大きさをも観察できる効果を有する。
2 2分の1波長板
3 ガルバノミラー
4 反射ミラー
5 被測定物
6 垂直移動ステージ
7 CCDカメラ
8 コンピュータ
Claims (5)
- レーザ光源からのレーザ光線を被測定物へ照射し、被測定物から出射されるレーザ光線をCCDカメラで撮影して被測定物内に存在する散乱体を観察する光散乱観察装置において、
上記被測定物がウェハー加工前のサファイアインゴットで構成され、レーザ光源とサファイアインゴットとの間の光路上に、直線偏光の方位を回転させる2分の1波長板とガルバノミラーおよび反射ミラーが配置されると共に、2分の1波長板を透過したレーザ光線が上記ガルバノミラーと反射ミラーにより平面状に走査されて、サファイアインゴットの真上90度に配置された自動焦点調整機能を有するCCDカメラによりサファイアインゴット断面の散乱像が観察されるようになっており、かつ、上記2分の1波長板により、サファイアインゴットに照射されるレーザ光線の偏光が水平偏波または垂直偏波に選択的に切り換えられて、水平偏波を入射することによりサファイアインゴット中に存在するマイクロバブルが検出され、垂直偏波を入射することによりサファイアインゴット中に存在するマイクロバブル以外の大型のバブルと刃状転位による歪の大きい部分が検出されるようになっていることを特徴とする光散乱観察装置。 - 上記2分の1波長板を透過したレーザ光線がガルバノミラーと反射ミラーにより平面状に走査されて、サファイアインゴットの中心軸に対し垂直に走査されたサファイアインゴット断面の散乱像が観察されるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光散乱観察装置。
- エンコーダ付きの垂直移動ステージにより上記サファイアインゴットを移動させて、垂直方向の異なる位置におけるサファイアインゴット断面の散乱像が観察されるようになっていることを特徴とする請求項1または2に記載の光散乱観察装置。
- サファイアインゴットの各断面における散乱像の画像情報と各断面における水平方向の位置情報および垂直方向の位置情報を保存し、保存された各情報に基づく画像処理によりサファイアインゴット内に存在する散乱体の位置と大きさが特定されるようになっていることを特徴とする請求項3に記載の光散乱観察装置。
- 上記サファイアインゴットが、エピタキシャル成長基板に適用されるウェハー加工前のサファイアインゴットであることを特徴とする請求項1、2、3または4に記載の光散乱観察装置。
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