JP4904441B2 - ガラス母材の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るガラス母材の製造装置の構成を示す模式図である。図1に示すように、この製造装置100は、移送装置10と、移送装置10に移送管P1を介して接続した解離装置20と、解離装置20に移送管P2を介して接続した堆積装置30とを備える。
図5は、本発明の実施の形態2に係るガラス母材の製造装置の構成を示す模式図である。図5に示すように、この製造装置200は、図1に示した実施の形態1に係る製造装置100において、堆積装置30の移送装置10側の移送管P1の途中に分級装置70を介挿したものである。分級装置70はチャンバー71を備えている。
以下、本発明の実施例、比較例によって本発明をさらに具体的に説明する。本発明の実施例1として、図1に示す構成の製造方法において、解離装置を図2に示すエジェクタに置き換え、堆積装置を図4に示すOVD法用の装置に置き換えた装置によって、ガラス母材を製造した。
本発明の実施例として、図5に示す構成の製造方法において、分散装置を図6に示す邪魔板を備えた分級装置に置き換え、解離装置を図2に示すエジェクタに置き換え、堆積装置を図4に示すOVD法用の装置に置き換えた装置によって、ガラス母材を製造した。
つぎに、実施例1で使用した製造装置において、解離装置としてのエジェクタを動作させず、その他の点については実施例1と同様にしてガラス母材を製造した。
2、4 ガラス母材
10 移送装置
11 ホッパー
12 粉体定量供給装置
12a 移送部
13 ガス供給管
14 キャリアガス供給装置
16 移送管
17 三方弁
20 解離装置
21 解離部
22、42 ガス供給管
30、60 堆積装置
31、61 反応容器
31a、61a 排気口
32 引き上げ機構
33、63 多重管バーナ
33a、63a ガス供給口
40、50 解離装置
41 エジェクタ本体
51 インペラ
70、80 分級装置
71、81 チャンバー
82 邪魔板
100、100A、200 製造装置
F1、F2 バーナ火炎
G1 キャリアガス
G2 シリカ粉末含有キャリアガス
G3 解離分散用ガス
G41〜44、G71〜74 バーナ用ガス
G5、G8 排気ガス
G6 エジェクタガス
P1、P2 移送管
P3 通気管
S、S1、S2 シリカ粉末
Claims (17)
- シリカ粒子を含むシリカ粉末を出発材に堆積させてガラス母材を製造する方法であって、
シリカ粉末を移送する移送工程と、
前記移送工程において移送中のシリカ粉末に含まれるシリカ粒子の凝集体を解離分散する解離工程と、
前記移送され、シリカ粒子の凝集体を解離分散したシリカ粉末を出発材に堆積させる堆積工程と、
を含むことを特徴とするガラス母材の製造方法。 - 前記解離工程は、気流によって前記凝集体を解離分散することを特徴とする請求項1に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記解離工程は、エジェクタによって前記凝集体を解離分散することを特徴とする請求項1に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記解離工程は、前記エジェクタに水素、ヘリウム、および酸素の少なくとも1種類からなるエジェクタガスを供給することを特徴とする請求項3に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記解離工程は、前記シリカ粉末に物理的衝撃力を加えることによって前記凝集体を解離分散することを特徴とする請求項1に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記解離工程は、前記凝集体を1μm以下の粒径になるように解離分散することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のガラス母材の製造方法。
- 前記移送工程は、水素、ヘリウム、および酸素の少なくとも1種類からなるキャリアガスを用いてシリカ粉末を移送することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のガラス母材の製造方法。
- 前記解離工程の前または後に、前記シリカ粒子の凝集体を分級する分級工程を含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載のガラス母材の製造方法。
- シリカ粒子を含むシリカ粉末を出発材に堆積させてガラス母材を製造する方法であって、
シリカ粉末を移送する移送工程と、
前記移送工程において移送中のシリカ粉末に含まれるシリカ粒子の凝集体を分級する分級工程と、
前記移送され、シリカ粒子の凝集体を分級したシリカ粉末を出発材に堆積させる堆積工程と、
を含むことを特徴とするガラス母材の製造方法。 - シリカ粒子を含むシリカ粉末を出発材に堆積させてガラス母材を製造する装置であって、
シリカ粉末を移送する移送装置と、
前記移送装置に接続し、該移送装置によって移送中のシリカ粉末に含まれるシリカ粒子の凝集体を解離分散する解離装置と、
前記解離装置に接続し、前記移送され、シリカ粒子の凝集体を解離分散したシリカ粉末を出発材に堆積させる堆積装置と、
を備えることを特徴とするガラス母材の製造装置。 - 前記解離装置は、前記凝集体を解離分散するための気流を与えることを特徴とする請求項10に記載のガラス母材の製造装置。
- 前記解離装置は、エジェクタであることを特徴とする請求項10に記載のガラス母材の製造装置。
- 前記エジェクタは、水素、ヘリウム、および酸素の少なくとも1種類からなるエジェクタガスが供給されるものであることを特徴とする請求項12に記載のガラス母材の製造装置。
- 前記解離装置は、前記シリカ粉末に物理的衝撃力を加えることを特徴とする請求項10に記載のガラス母材の製造装置。
- 前記移送装置は、前記シリカ粉末を移送するための水素、ヘリウム、および酸素の少なくとも1種類からなるキャリアガスを供給することを特徴とする請求項10〜14のいずれか一つに記載のガラス母材の製造装置。
- 前記解離装置の前記移送装置側または前記堆積装置側に接続した、前記シリカ粒子の凝集体を分級する分級装置を備えることを特徴とする請求項10〜15のいずれか一つに記載のガラス母材の製造装置。
- シリカ粒子を含むシリカ粉末を出発材に堆積させてガラス母材を製造する装置であって、
シリカ粉末を移送する移送装置と、
前記移送装置に接続し、該移送装置によって移送中のシリカ粉末に含まれるシリカ粒子の凝集体を分級する分級装置と、
前記解離装置に接続し、前記移送され、シリカ粒子の凝集体を分級したシリカ粉末を出発材に堆積させる堆積装置と、
を備えることを特徴とするガラス母材の製造装置。
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