JP4901355B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
を有し、前記第1の状態で、該第1のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第1の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して第1の寸法を持つビーム断面を生成し、前記第2の状態で、該第2のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第1の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して前記第1の寸法と異なる寸法を持つビーム断面を生成するレーザ加工装置が提供される。
2 ズーム光学系
3 ホモジナイザ光学系
4 加工対象物
5 XYステージ
11 短尺用レンズアレイ系
12、13 長尺用レンズアレイ系
111、112、121、122、131、132 シリンドリカルレンズアレイ
32、33 リニアステージ機構
100 制御装置
Claims (6)
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
第1の位置に配置されたとき前記レーザビームが入射し、入射するレーザビームの進行方向に交差する第1の方向と平行な方向に並べられた複数のシリンドリカルレンズからなるレンズアレイを少なくとも1列含み、入射したレーザビームをレンズアレイの各シリンドリカルレンズに対応する複数の光線束に分割する第1のレンズアレイ系と、
第2の位置に配置されたとき前記レーザビームが入射し、前記第1の方向と平行な方向に並べられた複数のシリンドリカルレンズからなるレンズアレイを少なくとも1列含み、入射したレーザビームをレンズアレイの各シリンドリカルレンズに対応する複数の光線束に分割する第2のレンズアレイ系と、
前記第1のレンズアレイ系が前記第1の位置に配置され、かつ前記第2のレンズアレイ系がレーザビームの入射しない位置に退避された第1の状態と、前記第2のレンズアレイ系が前記第2の位置に配置され、かつ前記第1のレンズアレイ系がレーザビームの入射しない位置に退避された第2の状態とを切り換えるように、前記第1及び第2のレンズアレイ系を移動させる第1のレンズアレイ系移動機構と、
集光レンズと、
レーザビームが入射する加工対象物を保持するための保持台と
を有し、
前記第1の状態で、前記第1のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第1の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して第1の寸法を持つビーム断面を生成し、
前記第2の状態で、前記第2のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第1の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して前記第1の寸法と異なる寸法を持つビーム断面を生成し、
さらに、
前記第1のレンズアレイ系が含むレンズアレイを保持する第1の保持部材と、
前記第1の保持部材を移動可能に保持する第2の保持部材と、
前記第2の保持部材に対し、前記第1の保持部材に保持されたレンズアレイの各レンズが並ぶ方向に関して、該第1の保持部材を微動させる微動機構と
を有し、前記第1のレンズアレイ系移動機構は、前記第2の保持部材を移動させることにより前記第1のレンズアレイ系を移動させるレーザ加工装置。 - 前記第1及び第2のレンズアレイ系の少なくとも一方は、入射するレーザビームの進行方向に並べられた複数列のレンズアレイを含み、前記第1のレンズアレイ系移動機構は、レンズアレイ系が含む複数列のレンズアレイ同士の相対位置関係を固定したまま当該レンズアレイ系を移動させる請求項1に記載のレーザ加工装置。
- さらに、
第3の位置に配置されたとき前記レーザビームが入射し、入射するレーザビームの進行方向及び前記第1の方向と交差する第2の方向と平行な方向に並べられた複数のシリンドリカルレンズからなるレンズアレイを少なくとも1列含み、入射したレーザビームをレンズアレイの各シリンドリカルレンズに対応する複数の光線束に分割する第3のレンズアレイ系と、
第4の位置に配置されたとき前記レーザビームが入射し、前記第2の方向と平行な方向に並べられた複数のシリンドリカルレンズからなるレンズアレイを少なくとも1列含み、入射したレーザビームをレンズアレイの各シリンドリカルレンズに対応する複数の光線束に分割する第4のレンズアレイ系と、
前記第3のレンズアレイ系が前記第3の位置に配置され、かつ前記第4のレンズアレイ系がレーザビームの入射しない位置に退避された第3の状態と、前記第4のレンズアレイ系が前記第4の位置に配置され、かつ前記第3のレンズアレイ系がレーザビームの入射しない位置に退避された第4の状態とを切り換えるように、前記第3及び第4のレンズアレイ系を移動させる第2のレンズアレイ系移動機構と
を有し、
前記第3の状態で、該第3のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第2の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して第2の寸法を持つビーム断面を生成し、
前記第4の状態で、該第4のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第2の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して前記第2の寸法と異なる寸法を持つビーム断面を生成する請求項1または2に記載のレーザ加工装置。 - さらに、加工対象物が複数の種別に分類されており、該加工対象物の種別に基づいて前記第1のレンズアレイ系移動機構を制御する制御装置を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- さらに、加工対象物の表面に、加工すべき複数の単位領域が画定されており、該単位領域ごとに前記第1のレンズアレイ系移動機構を制御する制御装置を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
第1の位置に配置され、入射するレーザビームの進行方向に交差する第1の方向と平行な方向に並べられた複数のシリンドリカルレンズからなるレンズアレイを少なくとも1列含み、入射したレーザビームをレンズアレイの各シリンドリカルレンズに対応する複数の光線束に分割する第1のレンズアレイ系と、
第2の位置に配置され、前記第1の方向と平行な方向に並べられた複数のシリンドリカルレンズからなるレンズアレイを少なくとも1列含み、入射したレーザビームをレンズアレイの各シリンドリカルレンズに対応する複数の光線束に分割する第2のレンズアレイ系と、
前記第1のレンズアレイ系に入射するようにレーザビームを導き、かつ前記第2のレンズアレイ系にはレーザビームを入射させない第1の状態と、前記第2のレンズアレイ系に入射するようにレーザビームを導き、かつ前記第1のレンズアレイ系にはレーザビームを入射させない第2の状態とを切り換える光路切り換え光学系と、
集光レンズと、
レーザビームが入射する加工対象物を保持するための保持台と
を有し、
前記第1の状態で、該第1のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第1の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して第1の寸法を持つビーム断面を生成し、
前記第2の状態で、該第2のレンズアレイ系で分割された複数の光線束が前記集光レンズに入射し、該集光レンズは、入射した複数の光線束を前記保持台に保持された加工対象物の表面上で前記第1の方向に対応する方向に関し同一の範囲に重ね合わせて、加工対象物の表面上で当該方向に関して前記第1の寸法と異なる寸法を持つビーム断面を生成するレーザ加工装置。
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