JP4895177B2 - Vibrating transducer - Google Patents

Description

本発明は、プラントの配管に設置されて配管内の圧力或いは配管に設置されたオリフィスプレートで生じる差圧を固有周波数の変化により測定する振動式トランスデューサに係り、特に配管に生じるキャビテーションなどの水撃圧の検知／診断機能を備えた振動式トランスデューサに関する。 The present invention relates to a vibration transducer that is installed in a plant pipe and measures a pressure in the pipe or a differential pressure generated in an orifice plate installed in the pipe by a change in natural frequency, and in particular, water hammer such as cavitation generated in the pipe. The present invention relates to a vibratory transducer having a pressure detection / diagnosis function.

図７はプラントにおける一般的な配管例を示す。図７において、配管１０にはポンプ１１，１２、バルブ１３、圧力伝送器１４，オリフィスプレート１５及びそれを用いて流量測定を行う差圧伝送器１６等が接続されている。  FIG. 7 shows an example of general piping in a plant. In FIG. 7, pumps 11 and 12, a valve 13, a pressure transmitter 14, an orifice plate 15, and a differential pressure transmitter 16 for measuring a flow rate using the pump are connected to a pipe 10.

これらの圧力伝送器１４及び差圧伝送器１６からは、圧力或いは差圧が４−２０ｍＡの電流信号Ｓ１またはフィールドバスなどにデジタル信号Ｓ２に変換されて出力され、これらの信号Ｓ１またはＳ２は図示しないホストコンピュータ等で信号処理がなされる。   From these pressure transmitter 14 and differential pressure transmitter 16, the pressure or differential pressure is converted into a digital signal S2 and output as a current signal S1 of 4-20 mA or a field bus, and these signals S1 or S2 are shown in the figure. Signal processing is performed by a host computer that does not.

なお、これらの圧力伝送器１４及び差圧伝送器１６は、例えば、シリコン内の真空室に配置された振動梁の固有周波数が差圧／圧力により変化するのを利用して差圧／圧力を測定する振動式トランスデューサで構成されている。   Note that these pressure transmitter 14 and differential pressure transmitter 16 use, for example, the fact that the natural frequency of a vibrating beam arranged in a vacuum chamber in silicon changes depending on the differential pressure / pressure. It consists of a vibratory transducer to be measured.

ところで、配管１０では、配管１０に流れる流体の条件や接続された装置によりウオータハンマーやキャビテーションなどにより水撃圧が生じることがある。このキャビテーションは配管１０内の流体の圧力が局所的に飽和蒸気圧より低くなったときに、短時間に気泡が生じる現象である。この気泡が消滅する際に衝撃圧が発生する。その大きさは局所的にＧｐａのオーダーに達することもある。   By the way, in the pipe 10, water hammer pressure may be generated by a water hammer, cavitation, or the like depending on the condition of the fluid flowing in the pipe 10 or the connected device. This cavitation is a phenomenon in which bubbles are generated in a short time when the pressure of the fluid in the pipe 10 is locally lower than the saturated vapor pressure. An impact pressure is generated when the bubbles disappear. The size may reach the order of Gpa locally.

キャビテーションによる気泡の生成消滅の繰り返しで発生する水撃圧の振動は、配管の振動や、騒音だけでなく、ポンプや配管の疲労・損傷を引き起こすことがある。エロージョン（腐食）によるバルブや管壁の損傷もこれによるものである。   The vibration of water hammer pressure generated by repeated generation and disappearance of bubbles due to cavitation may cause not only vibration and noise of piping but also fatigue and damage of pumps and piping. This also causes damage to valves and pipe walls due to erosion (corrosion).

しかし、キャビテーションの発生は、プラントの運転条件、配管条件、流体の性質など様々な要因に依存しているため、その予知は容易ではない。このため、プラント運転中におけるキャビテーションの検知については重要度が高く、いくつかの手法が提案されている。   However, since the occurrence of cavitation depends on various factors such as plant operating conditions, piping conditions, and fluid properties, it is not easy to predict them. For this reason, the importance of detecting cavitation during plant operation is high, and several methods have been proposed.

第１の手法（作業員による測定）は、作業員によるプラントの巡回、マイクロフォンによる測定により、キャビテーション時に発生する騒音を検知する。
第２の手法（機器による測定）は、加速度センサなどによる配管が受ける衝撃を検知する。
第３の手法（特性変化による推定）は、ポンプや制御ループの特性変化の監視から、キャビテーションを推定する。 In the first method (measurement by workers), noise generated during cavitation is detected by patrol of the plant by workers and measurement by a microphone.
The second method (measurement by equipment) detects an impact received by the pipe by an acceleration sensor or the like.
The third method (estimation by characteristic change) estimates cavitation from monitoring characteristic changes of the pump and control loop.

なお、下記の特許文献１の第１図には、従来の振動式トランスデューサの構成が開示されている。
また、下記の特許文献２には、配管内にキャビテーションが存在するか否かを判断するために利用される監視システムが開示されている。 Note that FIG. 1 of Patent Document 1 below discloses the configuration of a conventional vibratory transducer.
Patent Document 2 below discloses a monitoring system that is used to determine whether or not cavitation exists in a pipe.

特公平７−１０４２１７号公報Japanese Examined Patent Publication No. 7-104217

特表２００４−５３７７７３号公報JP-T-2004-537773

しかし、このようなキャビテーションの検知手法には、次のような課題があった。先ず、作業員による測定、或いは機器による測定手法では、実際のプラントの運転では無数のノイズ源が存在し、検出が困難な場合がある。またプラント内には爆発性雰囲気など人の巡回が困難であり、電源供給が制限されているため、複雑な装置を持ち込めない場所が数多く存在するという課題があった。   However, such cavitation detection methods have the following problems. First, in the measurement by the worker or the measurement method by the equipment, there are innumerable noise sources in the actual operation of the plant, which may be difficult to detect. In addition, there is a problem that there are many places where complicated devices cannot be brought into the plant because it is difficult for people to visit such as an explosive atmosphere and power supply is limited.

次に、特性変化による推定手法では、直接的ではなく、特性測定する期間が必要である。また、ポンプその他制御ループを複数の機器の状態から判定するため、複雑なシステムが必要になるという課題もあった。   Next, the estimation method based on characteristic changes is not direct, but requires a period for measuring characteristics. Moreover, in order to determine a pump and other control loops from the states of a plurality of devices, there is a problem that a complicated system is required.

従って本発明の目的は、プラントで流量や圧力を測定する汎用の振動式トランスデューサにキャビテーション等の水撃圧を検知する水撃圧の検知機能を持たせ、特別な装置を用いることなく直接的に水撃圧を断続的にではなく常時検知できる振動式トランスデューサを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a general-purpose vibration transducer for measuring flow rate and pressure in a plant with a water hammer pressure detection function for detecting water hammer pressure such as cavitation, and directly without using a special device. It is an object of the present invention to provide a vibratory transducer that can constantly detect water hammer pressure rather than intermittently.

また、検知結果を特別な手段／経路を用いずに、振動式トランスデューサの出力である４−２０ｍＡ出力及びこれに重畳したデジタル信号ないしフィールドバスなどのデジタル信号を用いて、上位機種や作業員に知らせることができる振動式トランスデューサを提供することにある。   In addition, without using special means / paths, the detection results are output to the higher-level models and workers using the 4-20 mA output, which is the output of the vibration transducer, and the digital signal or digital signal such as fieldbus superimposed on the output. It is to provide a vibratory transducer that can be informed.

更に、防爆適応機器である振動式トランスデューサに水撃圧の検知機能を持たせることにより爆発性雰囲気の中でも水撃圧の検知が行える振動式トランスデューサを提供することにある。   It is another object of the present invention to provide a vibration transducer capable of detecting water hammer pressure even in an explosive atmosphere by providing a water hammer pressure detection function to the vibration transducer which is an explosion-proof adaptive device.

以上総合すると、本発明の目的は、プラントにおいて汎用的に使用される振動式トランスデューサにより安価で容易にキャビテーション等の水撃圧を検知する水撃圧検知機能を提供することにある。   In summary, an object of the present invention is to provide a water hammer pressure detection function that easily and easily detects water hammer pressure such as cavitation by a vibration transducer that is generally used in a plant.

このような課題を達成する本発明は以下のとおりである。
（１）
プラントの配管に設置されて前記配管内の圧力或いは前記配管に設置されたオリフィスプレートまたはピトー管で生じる差圧を測定するための振動子を有する振動式トランスデューサにおいて、前記振動子の伸張または圧縮に基づいて変化する固有周波数を常に検出して、１周期前の前記固有周波数の周期をＴ１、今回の前記固有周波数の周期をＴ２、前記固有周波数の急変を検知するための変更可能な係数をαとしたときに、（１−α）Ｔ１＜Ｔ２＜（１＋α）Ｔ１を満たしていないときに前記配管内に生じた水撃圧を検知する水撃圧検知手段を備えたことを特徴とする振動式トランスデューサ。
（２）前記固有周波数の周期Ｔ１およびＴ２は、前記固有周波数の１周期の間における基準クロックを計数することにより求めていることを特徴とする（１）記載の振動式トランスデューサ。
（３）前記水撃圧検知手段は、前記（１−α）Ｔ１＜Ｔ２＜（１＋α）Ｔ１を満たしていないことを検知した場合にカウントを１つ加算し、カウント値が上限値を超過したときに前記配管内に生じた水撃圧を検知することを特徴とする（２）記載の振動式トランスデューサ。 The present invention which achieves such a problem is as follows.
(1)
In resonant transducer having a vibrator for measure the differential pressure occurring in the orifice plate or pitot tube installed installed in pressure or the pipe in the pipe plant piping, stretching or compression of the vibrator The natural frequency that changes based on the above is always detected, the period of the natural frequency one period before is T1, the period of the natural frequency is T2, and the changeable coefficient for detecting a sudden change in the natural frequency is It is characterized by comprising water hammer pressure detecting means for detecting water hammer pressure generated in the pipe when (1-α) T1 <T2 <(1 + α) T1 is not satisfied. Vibrating transducer.
(2) The vibration type transducer according to (1), wherein the periods T1 and T2 of the natural frequency are obtained by counting a reference clock during one period of the natural frequency.
(3) When the water hammer pressure detecting means detects that the (1−α) T1 <T2 <(1 + α) T1 is not satisfied, the count is incremented by one and the count value exceeds the upper limit value. The vibratory transducer according to (2), wherein water hammer pressure generated in the pipe is sometimes detected.

以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。第１に、プラントにおいて汎用的に使用されている、流量や圧力を測定する振動式トランスデューサにキャビテーション等の水撃圧を検知する水撃圧の検知機能を持たせたので、特別な装置や経路を用いることなく、安価で容易に、水撃圧を直接的にかつ断続的にではなく連続的に検知できる効果がある。 As is apparent from the above description, the present invention has the following effects . First , since the vibration transducer for measuring flow rate and pressure, which is used for general purposes in plants, has a water hammer pressure detection function for detecting water hammer pressure such as cavitation, a special device or route is used. The water hammer pressure can be detected not directly and intermittently, but cheaply and easily without using the.

第２に、検知結果を特別な手段／経路を用いずに、振動式トランスデューサの出力である４−２０ｍＡ出力及びこれに重畳したデジタル信号ないしフィールドバスなどのデジタル信号を用いて、上位機種や作業員に知らせることができる効果がある。   Second, without using special means / paths for detection results, the 4-20 mA output, which is the output of the vibratory transducer, and the digital signal superimposed on it or digital signals such as fieldbus, etc. There is an effect that can inform the staff.

第３に、防爆適応機器である振動式トランスデューサに水撃圧の検知機能を持たせることにより爆発性雰囲気の中でも水撃圧の検知が行える効果がある。   Thirdly, by providing a vibration transducer that is an explosion-proof adaptive device with a water hammer pressure detection function, there is an effect that the water hammer pressure can be detected even in an explosive atmosphere.

以下、本発明について図面を用いて詳細に説明する。図１は、水撃圧検知手段を含む全体の演算手順を説明するフローチャート図であり、図２は図１に示す水撃圧検知手段等を具体的に実現するためのハードウエアの構成を示す構成図である。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a flowchart for explaining the entire calculation procedure including the water hammer pressure detection means, and FIG. 2 shows a hardware configuration for specifically realizing the water hammer pressure detection means and the like shown in FIG. It is a block diagram.

図３は図２に示すドライバー構成のうちセンサ部を示す構成図である。図４は図３に示すセンサ部を含む全体のドライバーの構成を示す構成図である。以下、これらの図２〜図４を用いて、本発明の振動式トランスデューサについてその構成の説明をする。   FIG. 3 is a configuration diagram showing a sensor unit in the driver configuration shown in FIG. FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the entire driver including the sensor unit shown in FIG. Hereinafter, the configuration of the vibratory transducer according to the present invention will be described with reference to FIGS.

先ず、図３、図４を用いてドライバーの構成について説明する。図３において、図３（Ａ）はセンサ部の断面図、図３（Ｂ）はその上面図である。   First, the configuration of the driver will be described with reference to FIGS. 3A is a cross-sectional view of the sensor portion, and FIG. 3B is a top view thereof.

センサ部２０は、例えば、伝導形式がｎ形のシリコン単結晶で出来たセンサーチップ２１に形成されたダイアフラム２２の上に一体に形成されたｐ形のシリコンで出来た第１振動子（２３Ａ、２４Ａ）、（２５Ｂ、２６Ｂ）と第２振動子２７Ａ、２８Ｂで構成されるＨ形の振動子２９Ａ、２９Ｂなどで出来ている。そして、振動子２９Ａはダイアフラム２２の中央部に、振動子２９Ｂはダイアフラム２２の端に配置されている。   The sensor unit 20 includes, for example, a first vibrator (23A, 23A, made of p-type silicon integrally formed on a diaphragm 22 formed on a sensor chip 21 made of a silicon single crystal whose conduction type is n-type. 24A), (25B, 26B) and H-shaped vibrators 29A, 29B composed of second vibrators 27A, 28B. The vibrator 29 </ b> A is disposed at the center of the diaphragm 22, and the vibrator 29 </ b> B is disposed at the end of the diaphragm 22.

ダイアフラム２２は、周囲に厚肉部を有するｎ形のシリコン基板の下面の中央部をエッチングして薄肉として凹部３０が形成されており、測定圧力がこの凹部３０または上部に印加されることによって全体として変位する。このダイアフラム２２の上面の結晶面（１００）の一部にはエッチングにより各振動子が収納されるＨ形状の凹部３１Ａ、３１Ｂが形成されている。   The diaphragm 22 has a concave portion 30 formed as a thin wall by etching the central portion of the lower surface of the n-type silicon substrate having a thick portion around it, and the measurement pressure is applied to the concave portion 30 or the upper portion. Displace as. H-shaped recesses 31 </ b> A and 31 </ b> B in which the respective vibrators are accommodated are formed by etching on a part of the crystal face (100) on the upper surface of the diaphragm 22.

この凹部３１Ａ、３１Ｂを跨ぐようにして、梁状の第１振動子（２３Ａ、２４Ａ）、（２５Ｂ、２６Ｂ）がそれぞれ結晶軸＜１００＞に平行にダイアフラム２２と一体にｐ形で形成され、これらの中央部をこれらの振動子に直角にｐ形の梁状の第２振動子２７Ａ、２７Ｂで結合してＨ形の振動子２９Ａ、２９Ｂが形成されている。   The beam-shaped first vibrators (23A, 24A), (25B, 26B) are formed in a p-type integrally with the diaphragm 22 in parallel with the crystal axis <100> so as to straddle the recesses 31A, 31B. These central portions are coupled to these vibrators at right angles by p-type beam-like second vibrators 27A and 27B to form H-shaped vibrators 29A and 29B.

この第１振動子２３Ａの両端には電極３２Ａと３３Ａが、更に第１振動子２４Ａの両端には電極３４Ａと３５Ａが形成されている。同様にして、第１振動子２５Ｂの両端には電極３２Ｂと３３Ｂが、更に第１振動子２６Ｂの両端には電極３４Ｂと３５Ｂが形成されている。   Electrodes 32A and 33A are formed at both ends of the first vibrator 23A, and electrodes 34A and 35A are formed at both ends of the first vibrator 24A. Similarly, electrodes 32B and 33B are formed at both ends of the first vibrator 25B, and electrodes 34B and 35B are formed at both ends of the first vibrator 26B.

第２振動子２７Ａ、２８Ｂの上部にはこれと平行に磁石３６Ａ、３６Ｂが配置され、第１振動子（２３Ａ、２４Ａ）と（２５Ｂ、２５Ｂ）に直角に磁場を発生させる。   Magnets 36A and 36B are arranged in parallel with the upper parts of the second vibrators 27A and 28B, and generate magnetic fields at right angles to the first vibrators (23A, 24A) and (25B, 25B).

ここで、ダイアフラム２２に一般的にプロセスの圧力Ｐ（Ｐ１、Ｐ２）が加わると、ダイアフラム２２に歪みが発生する。このときＨ形の振動子２９Ａ、２９Ｂは伸張または圧縮を受け、自身の張力が変化し、次式によって与えられる固有周波数ｆも変化する。   Here, when the process pressure P (P1, P2) is generally applied to the diaphragm 22, the diaphragm 22 is distorted. At this time, the H-shaped vibrators 29A and 29B are stretched or compressed to change their own tension, and the natural frequency f given by the following equation also changes.

ｆ＝4.73²h/(2πｌ²)・[E/(12ρ)・{1+0.2366(ｌ²/h)ε}]^1/2 （１）
ただし、ε=ε₀±ε_dp+ε_sp
ここに、Ｅ：シリコンのヤング率、ρ：シリコンの密度、ｌ：振動子の長さ、ｈ：振動子の厚さ、ε：張力、ε₀：初期張力、ε_dp： 差圧による張力変化、ε_sp：静圧による張力変化である。
この固有周波数ｆを測定することで、ダイアフラム２２に加わったプロセスの圧力Ｐ１、Ｐ２を測定することが出来る。 f = 4.73 ² h / (2πl ² ) ・ [E / (12ρ) ・ {1 + 0.2366 (l ² / h) ε}] ^1/2 (1)
Where ε = ε ₀ ± ε _dp + ε _sp
Where E: Young's modulus of silicon, ρ: silicon density, l: length of vibrator, h: thickness of vibrator, ε: tension, ε ₀ : initial tension, ε _dp : tension change due to differential pressure , Ε _sp : Changes in tension due to static pressure.
By measuring the natural frequency f, the pressures P1 and P2 of the process applied to the diaphragm 22 can be measured.

プロセスの圧力Ｐ（Ｐ１、Ｐ２）としては、図３において、差圧伝送器の場合は、ダイアフラム２２の上からオリフィスプレートの上流側の圧力Ｐ２が、下から下流側の圧力Ｐ１がそれぞれ印加される。圧力伝送器の場合は、ダイアフラム２２の上からプロセスの圧力Ｐ２が印加され、下の凹部３０側は大気圧ないし真空室に連結されている。   As the process pressure P (P1, P2), in the case of the differential pressure transmitter in FIG. 3, the pressure P2 on the upstream side of the orifice plate from the top of the diaphragm 22 and the pressure P1 on the downstream side from the bottom are respectively applied. The In the case of a pressure transmitter, the process pressure P2 is applied from above the diaphragm 22, and the lower recess 30 side is connected to an atmospheric pressure or a vacuum chamber.

次に、図４を用いて、図３に示す振動子２９Ａを駆動するドライバー４０Ａについて説明する。なお、振動子２９Ｂを駆動するドライバー４０Ｂについては、ドライバー４０Ａの構成と同一であり、振動子２９Ａの構成要素と同一の機能を有する部分には各々同一番号にＢなる添字を付して適宜にその説明を省略する。   Next, a driver 40A for driving the vibrator 29A shown in FIG. 3 will be described with reference to FIG. Note that the driver 40B for driving the vibrator 29B has the same configuration as that of the driver 40A, and parts having the same functions as those of the constituent elements of the vibrator 29A are each given the same number with a subscript B. The description is omitted.

励磁手段の１部として機能する入力トランス４１Ａの出力端子は電極３２Ａ、３３Ａに、その入力端子４２Ａの一端は増幅器４３Ａの出力端子に、他端はコモンラインにそれぞれ接続されている。   The output terminal of the input transformer 41A that functions as a part of the excitation means is connected to the electrodes 32A and 33A, one end of the input terminal 42A is connected to the output terminal of the amplifier 43A, and the other end is connected to the common line.

振動検出手段の１部として機能する出力トランス４４Ａの入力端子は電極３４Ａ、３５Ａに接続され、その出力端子４５Ａ、４６Ａは増幅器４３Ａの入力端にそれぞれ接続されている。
そして、増幅器４３Ａの出力端は波形整形回路４７Ａの入力端に接続され、その出力端からパルスが出力される。 The input terminal of the output transformer 44A that functions as a part of the vibration detecting means is connected to the electrodes 34A and 35A, and the output terminals 45A and 46A are respectively connected to the input terminals of the amplifier 43A.
The output terminal of the amplifier 43A is connected to the input terminal of the waveform shaping circuit 47A, and a pulse is output from the output terminal.

以上の構成において、入力トランス４１Ａに増幅器４３Ａから入力された電圧により、第１振動子２３Ａが磁石３６Ａの磁場との相互作用により励振されて振動する。この振動により第１振動子２４Ａは第２振動子２７Ａを介して振動させられ、この振動は磁石３６Ａとの相互作用により出力トランス４４Ａの入力端に起電力ｅを発生させる。   In the above configuration, the first vibrator 23A is excited by the interaction with the magnetic field of the magnet 36A and vibrates by the voltage input from the amplifier 43A to the input transformer 41A. Due to this vibration, the first vibrator 24A is vibrated through the second vibrator 27A, and this vibration generates an electromotive force e at the input end of the output transformer 44A by interaction with the magnet 36A.

この起電力ｅは出力トランス４４Ａを介して増幅器４３Ａに入力され増幅されて出力される。この増幅された電圧は入力トランス４１Ａに正帰還され、これが繰り返されて系が（１）式で示す固有周波数で自励発振する。この固有周波数は波形整形回路４７Ａでパルス信号に波形整形されて固有周波数ｆ_Ａとして出力される。 The electromotive force e is input to the amplifier 43A through the output transformer 44A, amplified and output. This amplified voltage is positively fed back to the input transformer 41A, and this is repeated to cause the system to self-oscillate at the natural frequency indicated by the equation (1). This natural frequency is outputted to waveform shaping in the pulse signal by the waveform shaping circuit 47A as the natural frequency f _A.

以上のように、振動子２９Ａは励振用の第１振動子２３Ａと、起電力検出用の第１振動子２４Ａとに分けられ、第２振動子２７Ａで第１振動子２３Ａと２４Ａの振動の腹の部分を機械的に結合するようにしたので、励磁電流ｉの成分が起電力ｅに重畳せず、高い励振成分の除去比（Ｓ／Ｎ比）が得られる。   As described above, the vibrator 29A is divided into the first vibrator 23A for excitation and the first vibrator 24A for detecting electromotive force, and the vibration of the first vibrator 23A and 24A is detected by the second vibrator 27A. Since the antinode portion is mechanically coupled, the excitation current i component is not superimposed on the electromotive force e, and a high excitation component removal ratio (S / N ratio) is obtained.

次に本発明の振動式トランスデューサの全体の構成・機能について図２を用いて説明するが、本発明の内部構成である図３、図４の構成については図２においてドライバー４０Ａ，４０Ｂとして示し、その説明を省略する。   Next, the overall configuration and function of the vibratory transducer according to the present invention will be described with reference to FIG. 2. The configurations of FIGS. 3 and 4 which are the internal configuration of the present invention are shown as drivers 40A and 40B in FIG. The description is omitted.

図２において、振動式トランスデューサ５０は、ドライバー４０Ａ，４０Ｂ、デジタル処理回路５１、ＭＰＵ（Micro Processor Unit）５２、Ｄ／Ａ（デジタル／アナログ）変換器５３、ＲＡＭ(Random Access read write Memory)５４、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory）５５、表示器５６、発振回路５７等で構成されている。   In FIG. 2, the vibratory transducer 50 includes drivers 40A and 40B, a digital processing circuit 51, an MPU (Micro Processor Unit) 52, a D / A (digital / analog) converter 53, a RAM (Random Access read write Memory) 54, It comprises an EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory) 55, a display 56, an oscillation circuit 57, and the like.

デジタル処理回路５１は、カウンター部５１ａ、キャビテーション検知部５１ｂを有している。カウンター部５１ａは、発振回路５７から基準クロックｆＫが供給され、これをベースとしてドライバー４０Ａ、４０Ｂから出力される固有周波数ｆＡ、ｆＢをカウントする。そして、キャビテーション検知部５１ｂは、プロセスの圧力Ｐ（Ｐ１、Ｐ２）がキャビテーション等による水撃圧を受け、固有周波数ｆＡ、ｆＢが大幅に変化したことを検知、判断する。 The digital processing circuit 51 includes a counter unit 51a and a cavitation detection unit 51b. Counter unit 51a, the reference clock fK is supplied from the oscillation circuit 57, which natural frequency fA outputted from the driver 40A, 4 0 B as a base, to count fB. Then, the cavitation detection unit 51b detects and determines that the process pressure P (P1, P2) has received water hammer pressure due to cavitation or the like and the natural frequencies fA and fB have changed significantly.

ＭＰＵ５２は、マイクロプロセッサであり、デジタル処理回路５１で固有周波数ｆ_Ａ、ｆ_Ｂがカウントされて出力され、その出力であるパルス数から、圧力Ｐを算出する。算出結果はＤ／Ａ変換器５３を介して圧力Ｐに応じた４―２０ｍＡ信号として、上位機種に伝達される。 The MPU 52 is a microprocessor, and the digital processing circuit 51 counts and outputs the natural frequencies f _A and f _B , and calculates the pressure P from the number of pulses as the output. The calculation result is transmitted to the host model as a 4-20 mA signal corresponding to the pressure P through the D / A converter 53.

また、Ｄ／Ａ変換器５３はモデムの機能を備えており、圧力Ｐの数値やアラームなどＭＰＵ５２からのデジタル情報を４―２０ｍＡ信号に重畳してデジタル信号として上位機種に伝送することが出来る。また、ファウンデーションフィールドバスやプロフィバスのようなフィールドバス通信機器の場合、IEC61158-2の規格に準拠したデジタル信号をバスラインに送信することが出来る。   The D / A converter 53 has a modem function, and can transmit digital information from the MPU 52 such as a numerical value of the pressure P and an alarm to a higher model by superimposing it on the 4-20 mA signal. In the case of a fieldbus communication device such as a foundation fieldbus or a profibus, a digital signal conforming to the standard of IEC61158-2 can be transmitted to the bus line.

さらに、ＭＰＵ５２は、定期的に予め機器の仕様として定められたドライバー４０Ａ、４０ＢやＥＥＰＲＯＭ５５の故障などの自己診断を行い、ＥＥＰＲＯＭ５５内に蓄えられた回数以上、機器に異常があった場合、バンアウト信号として、４―２０ｍＡの範囲外の電流（例えば、３．６ｍＡ以下または２１．６ｍＡ以上）を出力する。この場合、デジタル信号を４―２０ｍＡに重畳した通信の場合、またはフィールドバスの場合は、デジタル信号によってアラーム情報を送信することが出来る。   Further, the MPU 52 periodically performs self-diagnosis such as failure of the drivers 40A and 40B and the EEPROM 55 that are determined in advance as device specifications, and if the device has an abnormality more than the number of times stored in the EEPROM 55, As a result, a current outside the range of 4-20 mA (for example, 3.6 mA or less or 21.6 mA or more) is output. In this case, in the case of communication in which a digital signal is superimposed on 4-20 mA, or in the case of a fieldbus, alarm information can be transmitted by a digital signal.

ＲＡＭ５４およびＥＥＰＲＯＭ５５は、ＭＰＵ５２に内蔵或いは外付けされており、ＭＰＵ５２がプロセスの圧力Ｐ（Ｐ１、Ｐ２）を算出する際の補正係数や中間値を格納する。また、キャビテーション検知回数やキャビテーション検知に関するユーザ設定値に使用する設定値も格納する。そして、表示器５６は、ＬＣＤ等の外部表示機能であり、プロセスの圧力Ｐやアラームを周期的に表示することが出来る。   The RAM 54 and the EEPROM 55 are built in or externally attached to the MPU 52, and store correction coefficients and intermediate values when the MPU 52 calculates the process pressure P (P1, P2). In addition, the setting value used for the user setting value related to the number of cavitation detections and cavitation detection is also stored. The display 56 is an external display function such as an LCD, and can periodically display the process pressure P and an alarm.

次に、以上のように構成された図２に示す振動式トランスデューサ５０の動作について、図５、図６を用いて説明する。図５はカウンター部５１ａの動作原理を説明する波形図であり、図６はキャビテーション検知部５１ｂの動作を説明する波形図である。   Next, the operation of the vibratory transducer 50 configured as described above and shown in FIG. 2 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a waveform diagram for explaining the operation principle of the counter unit 51a, and FIG. 6 is a waveform diagram for explaining the operation of the cavitation detection unit 51b.

先ず、発振回路５７から図示しない同期回路の１方に基準クロックｆ_Ｋが供給され、この同期回路の他方には図５（ｂ）に示す固有周波数ｆ_Ａが入力されて、この非同期の固有周波数ｆ_Ａは、同期回路により基準クロックｆ_Ｋの立ち上りに同期した固有周波数Ｆ_Ａに変換される。 First, the reference clock f _K is supplied to the 1-way synchronization circuit (not shown) from the oscillation circuit 57, this is the other synchronous circuit is input natural frequency f _A shown in FIG. 5 (b), the natural frequency of the asynchronous f _A is converted into a natural frequency F _A synchronized with the rising edge of the reference clock f _K by the synchronization circuit.

そして、カウンター部５１ａは、基準クロックｆ_Ｋと固有周波数Ｆ_Ａが入力され、基準クロックｆ_Ｋをカウントする単位期間である図５（ａ）に示すゲート時間Ｔ_Ｇの間、固有周波数Ｆ_ＡをカウントしてＭＰＵ５２に送信する。 Then, the counter unit 51a is input reference clock _{f K} and the natural frequency _{F A} is, between the reference clock _{f K} is a unit period for counting shown in FIG. 5 (a) the gate time _{T G,} the natural frequency _{F A} Count and send to MPU 52.

ＭＰＵ５２は、具体的には、ゲート時間Ｔ_Ｇ＝４５ｍｓの間に固有周波数ｆ_Ａが４５００パルスであったらｆ_Ａ＝１００ｋＨｚと、９０００パルスであったらｆ_Ａ＝２００ｋＨｚと算出する。固有周波数ｆ_Ｂ側についても同様である。 Specifically, the MPU 52 calculates f _A = 100 kHz if the natural frequency f _A is 4500 pulses during the gate time T _G = 45 ms, and f _A = 200 kHz if the natural frequency f _A is 9000 pulses. The same applies to the natural frequency f _B side.

次に、キャビテーション検知部５１ｂについて説明する。キャビテーションの検知は、図６（ａ）に示すように、固有周波数ｆ_Ａが常時隣り合うパルスＰＸ、ＰＹの周期を以下の式（２）を以て比較する。
（１―α）Ｔ１＜Ｔ２＜（１＋α）Ｔ１ （２） Next, the cavitation detection unit 51b will be described. As shown in FIG. 6A, the cavitation is detected by comparing the periods of the pulses PX and PY where the natural frequency f _A is always adjacent by the following equation (2).
(1-α) T1 <T2 <(1 + α) T1 (2)

ここで、図６（ｂ）に示すように、Ｔ１は１個前の固有周波数の周期、Ｔ２は今回の固有周波数の周期であり、αは固有周波数の急変を検知するための変更可能な係数であり、０＜α＜１である。   Here, as shown in FIG. 6B, T1 is the period of the previous natural frequency, T2 is the period of the current natural frequency, and α is a changeable coefficient for detecting a sudden change in the natural frequency. And 0 <α <1.

一例を挙げると、ゲート時間Ｔ_Ｇは４５ｍｓ、固有周波数ｆ_Ａは圧力／温度にもよるが、およそ１００ｋＨｚの大きさである。従ってＴ１、Ｔ２の大きさはおよそ１０μｓ程度である。また、圧力Ｐに対する周波数変化率はおよそ１００ｋＰａ当たり１０ｋＨｚ前後である。 As an example, the gate time _TG is 45 ms, and the natural frequency f _A is approximately 100 kHz although it depends on the pressure / temperature. Accordingly, the sizes of T1 and T2 are about 10 μs. The frequency change rate with respect to the pressure P is approximately 10 kHz per 100 kPa.

以上のように、デジタル処理回路５１のキャビテーション検知部５１ｂの特徴は、ＭＰＵ５２により圧力Ｐを算出する前に、周波数の急変（パルス幅の急変）によりキャビテーションを検知しようとするものである。   As described above, the characteristic of the cavitation detection unit 51b of the digital processing circuit 51 is to detect cavitation by sudden change in frequency (rapid change in pulse width) before the pressure P is calculated by the MPU 52.

また、基準クロックｆ_Ｋの大きさは２ＭＨｚ程度の値であり、このクロックを用いてＴ１、Ｔ２をカウントする。なお、この基準クロックｆ_Ｋの大きさは、固有周波数ｆ_Ａの大きさの約２０倍以上なので、おおよそのＴ１、Ｔ２のカウントには十分である。 The size of the reference clock _{f K} is a value of about 2MHz, counting the T1, T2 using the clock. The size of the reference clock f _K is because more than about 20 times the size of the natural frequency f _A, is sufficient to approximate T1, T2 counts.

また、αの大きさは０．２から０．５の程度の大きさであり、変更可能な係数である。即ち、（２）式が成立しないということは、１０μｓという微小時間にプロセスの圧力Ｐが２０−５０％急変した場合に相当する。   Further, the magnitude of α is about 0.2 to 0.5, and is a changeable coefficient. That is, the fact that the formula (2) is not satisfied corresponds to a case where the process pressure P suddenly changes by 20 to 50% in a minute time of 10 μs.

通常のプロセスの運転状態においては、このようなプロセスの圧力Ｐの急変は存在しない。短時間のプロセスの圧力Ｐの変化としては、バルブ操作による水撃現象（Water Hammer）があるが、これは数ｍｓオーダーでの変化と考えられている。   Under normal process operating conditions, there is no such sudden change in process pressure P. As a change in the pressure P of the process for a short time, there is a water hammer phenomenon (Water Hammer) due to valve operation, which is considered to be a change in the order of several ms.

また、キャビテーションによる圧力の変化は、数μｓ−数百μｓのオーダーでの変化という実験結果が報告されている。従って、（２）式で示す方法によってキャビテーションの検知、或いはαの設定を変えることにより水撃現象についても検知できる。 Further, it has been reported that the pressure change due to cavitation is a change in the order of several μs to several hundreds μs. Therefore, it is possible to detect the water hammer phenomenon by detecting cavitation by the method shown in the equation (2) or changing the setting of α.

ＭＰＵ５２は、デジタル処理回路５１から送信されたパルスを用いて固有周波数ｆ_Ａを算出し、これにより式（１）に従ってプロセスの圧力Ｐを算定する。差圧の場合は、ＭＰＵ５２は固有周波数ｆ_Ａとｆ_Ｂを用いて次のようにして差圧ΔＰを算出する。
式（１）の両辺を２乗し、単純化すると、次の（３）式のようになる。
ｆ^２＝ｆ_０ ^２・（１＋Ｇ_ｆ・ε） （３）
ここに、ｆ_０：張力ゼロ時の固有周波数、 Ｇ_ｆ：振動子の自乗感度（＝0.2366・（ｌ／ｈ）^２）である。
このとき、ｆ_Ａ、ｆ_Ｂの圧力による変化Δｆ^２は下の（４）式、（５）式となる。
Δｆ_Ａ ^２＝ｆ_０Ａ ^２・Ｇ_ｆＡ（＋ε_ｄｐＡ＋ε_ｓｐＡ） （４）
Δｆ_Ｂ ^２＝ｆ_０Ｂ ^２・Ｇ_ｆＢ（−ε_ｄｐＢ＋ε_ｓｐＢ） （５）
式（４）、式（５）からａ、Ｋを定数として、差圧ΔＰ（＝Ｐ２−Ｐ１）は次の式（６）で算出することが出来る。
ΔＰ＝Ｋ（Δｆ_Ａ ^２−ａ・Δｆ_Ｂ ^２） ６） The MPU 52 calculates the natural frequency f _A using the pulse transmitted from the digital processing circuit 51, and thereby calculates the process pressure P according to the equation (1). In the case of differential pressure, the MPU 52 calculates the differential pressure ΔP using the natural frequencies f _A and f _B as follows.
When both sides of equation (1) are squared and simplified, the following equation (3) is obtained.
f ² = f ₀ ² · (1 + G _f · ε) (3)
Here, f _{0 is} the natural frequency when the tension is zero, and G _{f is} the square sensitivity of the vibrator (= 0.2366 · (l / h) ² ).
At this time, the change Δf ² due to the pressures of f _A and f _B is expressed by the following equations (4) and (5).
Δf _A ² = f _0A ² · G _fA (+ ε _dpA + ε _spA ) (4)
Δf _B ² = f _0B ² · G _fB (−ε _dpB + ε _spB ) (5)
From equations (4) and (5), a and K are constants, and the differential pressure ΔP (= P2−P1) can be calculated by the following equation (6).
ΔP = K (Δf _A ² −a · Δf _B ² ) 6)

今まで、振動式トランスデューサ５０の各部の構成・動作等については図２〜図６において説明してきたが、これらを踏まえて、次に、図１に示すフローチャート図を用いて、振動式トランスデューサ５０の通常動作とキャビテーション検知を含む水撃圧検知手段５８の全体の動作についてまとめて説明する。   Up to now, the configuration and operation of each part of the vibration transducer 50 have been described with reference to FIGS. 2 to 6. Next, based on these, the flow chart of FIG. The overall operation of the water hammer pressure detection means 58 including normal operation and cavitation detection will be described together.

ステップ１からスタートするが、このスタートは、電源投入を意味し、ドライバー４０Ａ，４０Ｂ、デジタル処理回路５１、ＭＰＵ５２、Ｄ／Ａ変換器５３、ＲＡＭ５４、ＥＥＰＲＯＭ５５を動作可能な状態にする。   Starting from Step 1, this start means turning on the power, and the drivers 40A and 40B, the digital processing circuit 51, the MPU 52, the D / A converter 53, the RAM 54, and the EEPROM 55 are made operable.

この後、ステップ２のセッテングにおいて、ＭＰＵ５２はＥＥＰＲＯＭ５５に記憶されていた圧力Ｐ演算のための係数や設定値を読み込む。またＭＰＵ５２はＥＥＰＲＯＭ５５に記憶されていた（２）式に示すαを読み込み、（２）式の判定に用いるためデジタル処理回路５１に送信する。さらに、ＭＰＵ５２はＥＥＰＲＯＭ５５に記憶されていた、ステップ７で使用する（２）式の判定回数の上限値（LIMIT）を読み込む。   Thereafter, in the setting in step 2, the MPU 52 reads the coefficient and setting value for the pressure P calculation stored in the EEPROM 55. The MPU 52 reads α shown in the equation (2) stored in the EEPROM 55 and transmits it to the digital processing circuit 51 for use in the determination of the equation (2). Further, the MPU 52 reads the upper limit value (LIMIT) of the number of determinations of the expression (2) used in step 7 and stored in the EEPROM 55.

ステップ３では通常動作を行う。デジタル処理回路５１によって、ドライバー４０Ａ，４０Ｂの出力である固有周波数ｆ_Ａ、ｆ_Ｂをカウントする。カウント値は定期的にＭＰＵ５２に送信される。送信の周期は、例えば約５０ｍｓ程度である。 In step 3, normal operation is performed. The digital processing circuit 51 counts the natural frequencies f _A and f _B that are the outputs of the drivers 40A and 40B. The count value is periodically transmitted to the MPU 52. The transmission cycle is about 50 ms, for example.

ＭＰＵ５２は、このカウント値からＲＡＭ５４、ＥＥＰＲＯＭ５５に記憶された計算結果と係数からプロセスの圧力Ｐまたは差圧ΔＰを算出する。ＭＰＵ５２は算出した圧力Ｐまたは差圧ΔＰをＤ／Ａ変換器５３を通して４−２０ｍＡの出力をしたり、デジタル信号を重畳して上位機種に伝送したり、或いは表示器５０に表示する。   The MPU 52 calculates the process pressure P or the differential pressure ΔP from the calculation result and coefficient stored in the RAM 54 and the EEPROM 55 from the count value. The MPU 52 outputs the calculated pressure P or differential pressure ΔP at 4-20 mA through the D / A converter 53, superimposes the digital signal and transmits it to a higher model, or displays it on the display 50.

また、ＭＰＵ５２はセンサ部２０などの部品故障やプロセスの圧力Ｐの異常等の診断を行い、異常があれば表示器５６や上位機種に対してその情報を出力する。   Further, the MPU 52 diagnoses a failure of a part such as the sensor unit 20 or an abnormality in the process pressure P, and if there is an abnormality, outputs the information to the display 56 or a higher model.

ステップ４では、デジタル処理回路５１において実行される図６に示す前後の隣接するパルス幅Ｔ１，Ｔ２を計数する。パルス幅Ｔ１，Ｔ２は、図６に示すように、固有周波数ｆ_Ａの1周期ＰＸ、ＰＹの間に存在する基準クロックｆ_Ｋの数を計数することにより算定する。 In step 4, the adjacent pulse widths T1 and T2 before and after shown in FIG. 6 executed in the digital processing circuit 51 are counted. Pulse width T1, T2 is calculated by counting as shown in FIG. 6, one period PX natural frequency f _A, the number of reference clock f _K existing between PY.

ステップ５において、隣接するパルス幅Ｔ２が（２）式に示す規定値α以上に変化していた場合、デジタル処理回路５１はその情報をＭＰＵ５２に送信する。ＭＰＵ５２はこの情報を受け取った場合、ステップ６でカウント（COUNT）を＋１にする。また、ステップ５において、隣接するパルス幅が規定値α以下の変化であった場合は、ステップ３に戻り通常動作を繰り返す。   In step 5, if the adjacent pulse width T <b> 2 has changed to a value equal to or larger than the specified value α shown in the equation (2), the digital processing circuit 51 transmits the information to the MPU 52. When receiving this information, the MPU 52 sets the count (COUNT) to +1 in step 6. On the other hand, if the adjacent pulse width is not more than the specified value α in step 5, the process returns to step 3 to repeat the normal operation.

ステップ７において、この カウント値が設定されたリミット値（LIMIT）を超えた場合、ＭＰＵ５２は水撃圧があったものと判定し、Ｄ／Ａ変換器５３を通して４−２０ｍＡの出力ないしデジタル信号により、ステップ８において警報送信を行う。なお、このリミット値はメーカまたはユーザによって変更が可能である。   In step 7, when this count value exceeds the set limit value (LIMIT), the MPU 52 determines that there is water hammer pressure, and outputs 4-20 mA or a digital signal through the D / A converter 53. In step 8, alarm transmission is performed. This limit value can be changed by the manufacturer or the user.

このカウント値はＭＰＵ５２の内部で記録として加算され、ＲＡＭ５４ないしＥＥＰＲＯＭ５５に記録される。ユーザは４−２０ｍＡ出力に重畳したデジタル信号またはフィールドバス通信により、この値を即時に或いは後から読むことが出来る。   This count value is added as a record inside the MPU 52 and recorded in the RAM 54 or the EEPROM 55. The user can read this value immediately or later by a digital signal superimposed on the 4-20 mA output or by fieldbus communication.

ステップ７において、カウント値が設定された上限値（LIMIT）を超えていなければ、ステップ３に戻り、通常動作を繰り返す。また、一定期間カウント値のアップが見られない場合はステップ７においてカウント値のクリアを行い、判定には使用しない。   In step 7, if the count value does not exceed the set upper limit (LIMIT), the process returns to step 3 to repeat the normal operation. If the count value is not increased for a certain period, the count value is cleared in step 7 and is not used for determination.

以上説明した本発明に係る振動式トランスデューサ５０によれば、図７に示す圧力伝送器１４、或いは差圧伝送器１６に代えて用いることにより、本来のプロセス圧や差圧の測定の他に、配管１０に生じるキャビテーションやウオータハンマーなどの水撃圧をも検知することができる効果がある。   According to the vibratory transducer 50 according to the present invention described above, by using it instead of the pressure transmitter 14 or the differential pressure transmitter 16 shown in FIG. 7, in addition to the measurement of the original process pressure and differential pressure, There is an effect that it is possible to detect water hammer pressure such as cavitation and water hammer generated in the pipe 10.

本発明の１実施例の全体動作を説明するフローチャート図である。It is a flowchart figure explaining the whole operation | movement of one Example of this invention. 図１に示す実施例を実現する全体構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the whole structure which implement | achieves the Example shown in FIG. 図２に示す実施例のセンサ部の構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the sensor part of the Example shown in FIG. 図２に示す実施例のドライバーの構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the driver of the Example shown in FIG. 図２に示す実施例のカウンター部の動作を説明する波形図である。It is a wave form diagram explaining operation | movement of the counter part of the Example shown in FIG. 図２に示す実施例のキャビテーション検知部の動作を説明する波形図である。It is a wave form diagram explaining operation | movement of the cavitation detection part of the Example shown in FIG. プラントにおける従来の一般的な配管の構成図である。It is a block diagram of the conventional general piping in a plant.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 配管
１１、１２ ポンプ
１３ バルブ
１４ 圧力伝送器
１５ オリフィスプレート
１６ 差圧伝送器
２０ センサ部
２２ ダイアフラム
２３Ａ、２４Ａ、２５Ｂ、２６Ｂ 第１振動子
２７Ａ、２８Ｂ 第２振動子
２９Ａ、２９Ｂ 振動子
３０、３１Ａ、３１Ｂ 凹部
３６Ａ、３６Ｂ 磁石
４０Ａ、４０Ｂ ドライバー
４１Ａ 入力トランス
４３Ａ 増幅器
４４Ａ 出力トランス
４７ 波形整形回路
５０ 振動式トランスデューサ
５１ デジタル処理回路
５１ａ カウンター部
５１ｂ キャビテーション検知部
５２ ＭＰＵ
５３ Ｄ／Ａ変換器
５４ ＲＡＭ
５５ ＥＥＰＲＯＭ
５６ 表示器
５７ 発振回路

DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Piping 11, 12 Pump 13 Valve 14 Pressure transmitter 15 Orifice plate 16 Differential pressure transmitter 20 Sensor part 22 Diaphragm 23A, 24A, 25B, 26B First vibrator 27A, 28B Second vibrator 29A, 29B Vibrator 30, 31A, 31B Recess 36A, 36B Magnet 40A, 40B Driver 41A Input transformer 43A Amplifier 44A Output transformer 47 Waveform shaping circuit 50 Vibrating transducer 51 Digital processing circuit 51a Counter part 51b Cavitation detection part 52 MPU
53 D / A converter 54 RAM
55 EEPROM
56 Display 57 Oscillator circuit

Claims (3)

プラントの配管に設置されて前記配管内の圧力或いは前記配管に設置されたオリフィスプレートまたはピトー管で生じる差圧を測定するための振動子を有する振動式トランスデューサにおいて、
前記振動子の伸張または圧縮に基づいて変化する固有周波数を常に検出して、１周期前の前記固有周波数の周期をＴ１、今回の前記固有周波数の周期をＴ２、前記固有周波数の急変を検知するための変更可能な係数をαとしたときに、
（１−α）Ｔ１＜Ｔ２＜（１＋α）Ｔ１を満たしていないときに前記配管内に生じた水撃圧を検知する水撃圧検知手段を備えたこと
を特徴とする振動式トランスデューサ。 In resonant transducer having a vibrator for measure the differential pressure occurring in the orifice plate or Pitot tube placed are installed in plant piping pressure or the pipe in the pipe,
The natural frequency that changes based on the expansion or compression of the vibrator is always detected, the period of the natural frequency one period before is T1, the period of the natural frequency is T2, and the sudden change in the natural frequency is detected. Where α is the changeable coefficient for
(1-α) provided with water hammer pressure detecting means for detecting water hammer pressure generated in the pipe when T1 <T2 <(1 + α) T1 is not satisfied.
A vibratory transducer characterized by. 前記固有周波数の周期Ｔ１およびＴ２は、前記固有周波数の１周期の間における基準クロックを計数することにより求めていること  The natural frequency periods T1 and T2 are obtained by counting reference clocks during one natural frequency period.
を特徴とする請求項１記載の振動式トランスデューサ。  The vibratory transducer according to claim 1. 前記水撃圧検知手段は、前記（１−α）Ｔ１＜Ｔ２＜（１＋α）Ｔ１を満たしていないことを検知した場合にカウントを１つ加算し、カウント値が上限値を超過したときに前記配管内に生じた水撃圧を検知すること  The water hammer pressure detecting means adds one count when detecting that the (1−α) T1 <T2 <(1 + α) T1 is not satisfied, and when the count value exceeds the upper limit value, Detecting water hammer pressure generated in piping
を特徴とする請求項２記載の振動式トランスデューサ。  The vibratory transducer according to claim 2.

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