JP4894749B2 - 単結晶シリコン製造装置 - Google Patents
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Description
(1)種結晶ホルダー7に種結晶6を取り付けるとともに、吊り具4を試料となる多結晶シリコン棒S1に取り付けることにより、該多結晶シリコン棒S1を多結晶ホルダー5に支持させる。このとき、種結晶ホルダー7には、その上部収納孔22に種結晶6の下端部6bを挿し込むことにより、この上部収納孔22のテーパ面22aが種結晶6の外周面に接触して、自動的に芯合わせされ、その収納状態で止めネジ26によって固定することにより、その芯合わせ状態に保持される。
(2)このようにして同軸状に配置された種結晶6と多結晶シリコン棒S1との間の位置(加熱位置)に発熱リング9を配置する。
(3)上部駆動軸2を降下させて、試料となる多結晶シリコン棒S1を発熱リング9内に通し、試料の下端が、高周波誘導加熱コイル8の上方に近接するように多結晶シリコン棒S1を位置させる。
(4)ハウジング1のドア(図示略)を閉めて内部を密閉状態にし、不活性ガスを充満させる。
(6)上部駆動軸2を上昇して、多結晶シリコン棒S1を種結晶6から離間させ、これにより多結晶シリコン棒S1と種結晶6との間にできた隙間から発熱リング9を移動させて、ハウジング1の側壁1Cの近傍位置(退避位置)に退避させる。その後、上部駆動軸2を降下し、多結晶シリコン棒S1を高周波誘導加熱コイル8の付近まで降下させる。
(8)下部駆動軸3を上昇して、種結晶6を多結晶シリコン棒S1に近づける。多結晶シリコン棒S1の先端部が完全に溶けたら、種結晶6と多結晶シリコン棒S1とを接触させることにより、多結晶シリコン棒S1の熱を種結晶6に伝達して種結晶6を溶融する。
(9)下部駆動軸3を回転駆動して種結晶6を高速で回転させる。
(10)多結晶シリコン棒S1の下端の溶融部の形状を整えながら溶融部と種結晶6を十分なじませる。
(11)上部駆動軸2と下部駆動軸3とを軸線方向に沿って同期移動させることにより、多結晶シリコン棒S1の溶融部分を、高周波誘導加熱コイル8に対して上下方向に相対移動させ、これにより下部駆動軸3上に単結晶シリコンS2を育成する。
(12)単結晶シリコンS2が十分に形成されたら、上部駆動軸2、下部駆動軸3、高周波誘導加熱コイル8の駆動を停止する。その後、形成された単結晶シリコンを取り出し、急速冷却装置で冷却する。
2 上部駆動軸
3 下部駆動軸
4 吊り具
5 多結晶ホルダー
6 種結晶
6a 上端部
6b 下端部(一端部)
7 種結晶ホルダー
8 高周波誘導加熱コイル
9 発熱リング
10 支持棒
11 支持シャフト
11A 操作手段
21 開口
22 上部収納孔(収納孔)
22a テーパ面
23 下部収納孔
24 支持部材
25 ネジ孔
26 止めネジ
S1 多結晶シリコン棒
Claims (3)
- ハウジング内に、種結晶ホルダーに保持した種結晶と、多結晶ホルダーに保持した多結晶シリコン棒とを対向して配置し、その多結晶シリコン棒を加熱溶融しながら種結晶に融着させて単結晶に成長させる単結晶シリコン製造装置であって、
前記種結晶ホルダーは、種結晶の一端部を直立姿勢で保持する収納孔が形成されるとともに、該収納孔に収納した種結晶の一端部を固定する止めネジが収納孔の軸線に直交して設けられ、
前記収納孔の内周面は、その開口に向けて漸次拡径するテーパ面とされていることを特徴とする単結晶シリコン製造装置。 - 前記テーパ面は、収納孔の軸線となす角度が10〜25°に設定されていることを特徴とする請求項1記載の単結晶シリコン製造装置。
- 前記テーパ面の面粗さは、平均粗さ(Ra)で10〜200μmとされていることを特徴とする請求項1又は2記載の単結晶シリコン製造装置。
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