JP4888714B2 - 電圧印加電流測定回路 - Google Patents
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Description
センスアンプで検出されるDUT端子の電圧が設定電圧と平衡するようにフォースアンプで制御し、前記DUT端子に流れる電流を測定する電圧印加電流測定回路において、
前記設定電圧に基づいて所定の出力電圧を発生するフォースアンプと、
電圧/電流相関関係が既知の電圧制御電流源からなり、前記フォースアンプの出力電圧を入力して対応する電流を前記DUT端子に出力する電圧電流変換回路と、
前記DUT端子の電圧を検出して前記フォースアンプに帰還するセンスアンプと、
前記電圧電流変換回路の入力電圧を入力し、前記電圧/電流相関関係に基づいて前記DUT端子の電流データに変換する電流測定回路と
を備えたことを特徴とする。
請求項1記載の電圧印加電流測定回路において、
前記電圧電流変換回路は、
前記フォースアンプの出力電圧を入力する差動増幅回路と、
この差動増幅回路と直列に挿入され、前記DUT端子に流れる電流を電圧に変換する電流検出抵抗と、
前記DUT端子の電圧を前記差動増幅回路に帰還する電圧バッファと
を備え、
前記差動増幅回路により前記電流検出抵抗の電圧降下が前記出力電圧とバランスすることを特徴とする。
請求項1又は請求項2記載の電圧印加電流測定回路において、
前記電圧電流変換回路は、
入力部に、
前記フォースアンプの出力電圧を入力する演算増幅器と、
この演算増幅器に接続して複数のゲインを設定するための複数の抵抗と、
該複数の抵抗のいずれかを選択する切り換えスイッチと
を備え、
前記切り換えスイッチにより電流レンジを切り換え可能としたことを特徴とする。
Iout=(1+2・Rf/Rg)・Vin/Rs (1)
(1)式の関係を用いて、電流測定回路10においてVI変換器9の入力電圧Vinから出力電流Ioutを算出することができる。
4 センスアンプ
9 電圧電流変換回路
10 電流測定回路
102 AD変換回路
Iout DUT端子に流れる電流
Rg 利得設定抵抗
Vs 設定電圧
Vin 入力電圧
Vout 端子の電圧
Claims (3)
- センスアンプで検出されるDUT端子の電圧が設定電圧と平衡するようにフォースアンプで制御し、前記DUT端子に流れる電流を測定する電圧印加電流測定回路において、
前記設定電圧に基づいて所定の出力電圧を発生するフォースアンプと、
電圧/電流相関関係が既知の電圧制御電流源からなり、前記フォースアンプの出力電圧を入力して対応する電流を前記DUT端子に出力する電圧電流変換回路と、
前記DUT端子の電圧を検出して前記フォースアンプに帰還するセンスアンプと、
前記電圧電流変換回路の入力電圧を入力し、前記電圧/電流相関関係に基づいて前記DUT端子の電流データに変換する電流測定回路と
を備えたことを特徴とする電圧印加電流測定回路。 - 前記電圧電流変換回路は、
前記フォースアンプの出力電圧を入力する差動増幅回路と、
この差動増幅回路と直列に挿入され、前記DUT端子に流れる電流を電圧に変換する電流検出抵抗と、
前記DUT端子の電圧を前記差動増幅回路に帰還する電圧バッファと
を備え、
前記差動増幅回路により前記電流検出抵抗の電圧降下が前記出力電圧とバランスすることを特徴とする請求項1記載の電圧印加電流測定回路。 - 前記電圧電流変換回路は、
入力部に、
前記フォースアンプの出力電圧を入力する演算増幅器と、
この演算増幅器に接続して複数のゲインを設定するための複数の抵抗と、
該複数の抵抗のいずれかを選択する切り換えスイッチと
を備え、
前記切り換えスイッチにより電流レンジを切り換え可能としたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の電圧印加電流測定回路。
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JP2007068261A JP4888714B2 (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 電圧印加電流測定回路 |
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JP2008232636A JP2008232636A (ja) | 2008-10-02 |
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---|---|---|---|---|
US11137419B2 (en) | 2019-12-17 | 2021-10-05 | Analog Devices International Unlimited Company | Mutiple range current sensor techniques |
US11193957B2 (en) | 2019-08-13 | 2021-12-07 | Analog Devices International Unlimited Company | Shunt resistor averaging techniques |
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- 2007-03-16 JP JP2007068261A patent/JP4888714B2/ja not_active Expired - Fee Related
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