JP4883810B2 - ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)樹脂チューブが振動しないように樹脂チューブをステージベースに固定及び配置すると、樹脂チューブを取り付ける取り付け部の寸法が増加し、周囲の部品との干渉や質量の増加が懸念される。
(2)樹脂チューブが引き回されることによって外乱が増加し、高精度な位置決めの妨げとなる。
[第1の構成例]
まず、図2を用いて本発明の好適な実施の形態に係る第1の構成例について説明する。ベース板50aの表面には、内部流路としての溝41(斜線部)が掘り込まれている。流入口41a及び流出口41bは、溝41に冷却媒体を供給するための入口と出口である。
内部流路としての溝41は、複数の管路で構成される。この複数の管路はその管路抵抗がそれぞれ略同一となるように構成されうる。すなわち、流入口41aからステージベース50内の溝41を通って部品1を介して流出口41bまで冷却媒体を流すときの管路抵抗が、各管路においてほぼ等しくなるように、溝41が構成されうる。シール溝44は、溝41の外側に掘り込まれており、Oリング等のシール部材を用いて、溝41を流れる冷却媒体がステージベース50の外側に漏れることを防止する。
(1)内部流路を介して、リニアモータ等に用いられる冷却部を有する部品に直接冷却媒体を供給することによって、樹脂チューブが引き回されることによる周囲の部品との干渉や、高精度な位置決めの妨げとなる外乱の増加を抑えることができる。
(2)また、ステージベースへの流入口から冷却部を有する部品へ冷却媒体を供給するときの内部流路の管路抵抗がほぼ等しくなるようにステージベース内部に溝を設けることによって、これらの部材を均等に冷却することができる。
[第2の構成例]
図4は、図2に示した第1の構成例を変形した第2の構成例を例示的に示す図である。本構成例では、第1の構成例と同様の構成要素には同一の参照符号を付けている。図2の構成例では、ベース板50a及びベース板50bは、シール溝44の両側に設けられたねじ穴部45、46におけるボルト等の留め具による締結によって固定されていた。図4の構成例では、ステージベースが真空環境下又は減圧環境下で使用されることを考慮して、図2の構成に加えて、シール溝44内部の溝41を避けた位置に接着剤(不図示)を充填するための接着溝(接着溜り)47を設けている。これによって、第2の構成例は、第1の構成例の(1)、(2)の特徴に加えて、以下の特徴を有する。
(3)内部流路に供給された冷却媒体が内部流路以外のベース板50aと50bとの隙間の領域に流入した際に、ベース板50aと50bとをより確実に固定させることができる。また、その際に、冷却媒体とステージベース外部(真空又は減圧雰囲気)との差圧によって生じる力に対して、前記差圧が作用する面積(冷却媒体が流入し得る面積)を接着溜りにより減少させる。そのため、前記差圧による力を減少させることができる。また、ベース板50aと50bとを締結しているねじ穴部45への応力集中も緩和することができる。
[第3の構成例]
図5は、図4に示した第2の構成例を変形した第3の構成例を例示的に示す図である。本構成例では、第2の構成例と同様の構成要素には同一の参照符号を付けている。本構成例では、図4の構成に加えて、接着溜り47の内部にねじ部48が設けられている。図6は、接着溜り47とその内部のねじ部48の拡大図である。ねじ部48は、ベース板50aと50bとをボルト等の留め具によって締結する。シール溝48a(斜線部)は、ねじ穴48bからステージベースの外部へ冷却媒体が漏れるのを防ぐために設けられたOリング等のシール部材用の溝である。隔壁48cは、シール溝48aと接着溜り47との間に設けられた壁であり、冷却媒体を外部に漏れることを更に効果的に抑えることができる。
(4)接着溜り47の内部をボルト等の留め具で締結することによって、冷却媒体とステージベースの外部(真空又は減圧雰囲気)との差圧により生じる力によって接着剤に作用するせん断方向の力を緩和し、接着剤が剥離することを防止することができる。
11、12、13 リニアモータ
111 樹脂チューブ
112 ジャケット
113 リニアモータコイル
21、22、23 電磁石ユニット
3 自重補償機構
41 溝(内部流路)
41a 流入口
41b 流出口
42 冷却媒体
44 シール溝
45、46 ねじ穴部
47 接着溜リ
48 ねじ部
50、50’ ステージベース
50a、50b ベース板
51 XYステージ
61 シール溝
61’ 貫通穴
90 微動ステージ
100 支持面
Claims (12)
- ステージと、
前記ステージを支持するプレートと、
前記プレートの表面上に配置された冷却対象物と、
前記プレートの表面上に配置され、前記冷却対象物を冷媒により冷却する冷却部と、
を備え、
前記プレートは、内部に冷媒用流路が形成されるとともに、前記冷却部が配置される表面に前記冷媒用流路に連通する貫通穴が設けられ、前記冷媒用流路および前記貫通穴を介して前記冷却部に冷媒が供給されるまたは前記冷却部から冷媒が排出されるように構成されることを特徴とするステージ装置。 - 前記冷却対象物は、前記ステージを駆動するためのコイルであり、
前記冷却部は、前記コイルを覆い、内部に冷媒を流す流路が形成された冷却ジャケットであることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。 - 前記冷媒用流路は複数の管路で構成され、該複数の管路はその管路抵抗がそれぞれ略同一となるように構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のステージ装置。
- 前記冷却部は、シール部材を介して前記冷媒用流路に接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記シール部材は、Oリング、ガスケット及び接着剤を含むことを特徴とする請求項4に記載のステージ装置。
- 前記プレートは、溝が形成された第1構造体と、前記第1構造体に固定された第2構造体とを有し、前記第1構造体の溝の内面と前記第2構造体の表面とにより前記冷媒用流路が形成されることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記第1構造体と前記第2構造体との間に、前記冷媒用流路の外側を取り囲むように配置されたシール部材を備え、該シール部材の内側及び外側が留め具により締結されていることを特徴とする請求項6に記載のステージ装置。
- 前記第2構造体は接着剤により前記第1構造体に固定され、前記第1構造体又は前記第2構造体は、接着剤が充填される接着溝を更に備えることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のステージ装置。
- 前記接着溝の内部が留め具により締結されていることを特徴とする請求項8に記載のステージ装置。
- 前記プレートを搭載して移動する粗動ステージを備え、
前記ステージとしての微動ステージは、前記粗動ステージに対して少なくとも3自由度で駆動されることを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載のステージ装置。 - 請求項10に記載のステージ装置を利用して、位置決め対象物を位置決めし露光動作を実行することを特徴とする露光装置。
- 請求項11に記載の露光装置を利用して、基板にパターンを転写する工程と、
前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
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