JP4880831B2 - 載置装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプローブ装置に用いられる載置装置に関し、更に詳しくは、プローブ検査時の耐荷重性を向上させることができる載置装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プローブ装置は、ウエハ等の被検査体を載置して所定の電気的特性を行うための載置装置を具備している。被検査体の検査に伴って発熱するために載置装置を介して被検査体を冷却したり、あるいは被検査体の種類によっては載置装置を介して被検査体を高温あるいは低温に設定して検査を行うことがある。
【0003】
従来の載置装置は、例えば、冷却ジャケットを兼ねた載置体、ヒータ及び昇降体を備え、冷却する場合には冷却ジャケットに冷媒を供給して載置体上面を冷却して被検査体を所定の温度まで冷却し、加熱する場合にはヒータを用いて載置体を加熱して載置体上の被検査体を所定の温度まで加熱する。
【0004】
また、上記載置体の内部には複数の昇降ピンが昇降可能に設けられ、これらの昇降ピンを介して被検査体の受け渡しを行う。被検査体の検査を行う場合には、載置体を上昇させて被検査体をオーバードライブさせ、被検査体の電極パッドとその上方に配置されたプローブを所定の針圧で接触させて被検査体の電気的特性検査を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の載置装置の場合には載置体はトッププレートと外周壁を有するボトムプレートによって中空状に形成されているため、載置体のオーバードライブにより被検査体の電極パッドに対してプローブから針圧を受けると、載置体のトッププレートが針圧により僅かではあるが弾性変形して沈み、電極パッドからプローブが位置ずれすると共にボトムプレートも多少ではあるが歪み、検査の信頼性を低下させる虞があった。特に、被検査体の超微細化が進むほど僅かな位置ずれが大きな問題となることがある。
【0006】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、針圧に対する耐荷重性が向上し、トッププレートの弾性変形及びボトムプレートの歪みを防止し、しかも載置体の気密性を高めて信頼性の高い検査を行うことができる載置装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載の載置装置は、上面に同心円状に形成された複数の円形溝を有するトッププレートと外周壁を有するボトムプレートとを重ねて内部に空間を形成し且つ上記トッププレート上に載置された被検査体を吸着、固定する載置体と、この載置体上の上記被検査体の温度を調節する温度調節機構と、を備え、上記被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記温度調節機構を介して上記載置体上の上記被検査体の温度を調節する載置装置において、上記ボトムプレートを収納するケースを設けると共に上記空間全体に上記トッププレートを下面から支持する複数の支持体を分散配置して上記ボトムプレートと一体的に形成し、これらの支持体を介して上記トッププレートを支持する構造を備え、上記載置体内で径方向に配列された複数の上記支持体をそれぞれ貫通し且つ上記トッププレートに形成された上記複数の円形溝でそれぞれ開口する複数の排気通路を設けると共に上記複数の排気通路をこれらに対応する複数のノズルを介して一つの排気通路に合流させて排気する排気ノズルを上記ケースに装着してなることを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の請求項2に記載の載置装置は、請求項1に記載の発明において、上記ケースを上記ボトムプレートより弾性率の高い材料によって形成したことを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明の請求項3に記載の載置装置は、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記ボトムプレート及び上記ケースそれぞれに、複数の熱媒体供給口を分散させて設けると共に上記熱媒体供給口より少数の熱媒体排出口を分散させて設けたことを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の請求項4に記載の載置装置は、請求項3に記載の発明において、上記各熱媒体供給口それぞれに供給ノズルを取り替え可能に装着したことを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図4に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態の載置装置1は、例えば図1に示すように、被検査体(例えば、ウエハ)Wを載置する載置体2と、この載置体2の温度を調節する温度調節機構と、載置体2を支持する基台3と、この基台3を介して載置体2をZ方向に昇降させる昇降体4とを備え、温度調節機構を介して載置体2上のウエハWの温度を調節して所定の温度下で被検査体の電気的特性検査をを行うように構成されている。この載置装置1は、プローブ装置の検査室(図示せず)内でX−Y駆動機構を介してX、Y方向に移動可能に構成されていると共に昇降体4を介してZ方向に昇降可能に構成されている。また、載置体2自体はθ駆動機構(図示せず)を介して所定範囲内でθ方向に正逆回転可能に構成されている。この載置装置1の上方にはプローブカード(図示せず)が配置され、検査時には従来公知のように載置装置1がアライメント機構(図示せず)と協働して載置体2上のウエハWとプローブカードのプローブとの位置合わせを行った後、ウエハWをインデックス送りしてウエハWの電極パッドとプローブを電気的に接触させてウエハWの電気的特性検査を繰り返し行う。
【0014】
而して、上記載置体2は、図1〜図3に示すように、例えば窒化アルミニウム等のセラミックヒータ(図示せず)を具備した円形状のトッププレート2Aと、このトッププレート2Aを支持するこれよりやや小径のボトムプレート2Bと、このボトムプレート2Bが収納されたトッププレート2Aと同一外径に形成されたケース2Cとを備え、トッププレート2Aとボトムプレート2Bの間に空間が形成されている。ボトムプレート2Bは、図1〜図3に示すように、外周縁に沿って形成された外周壁2Dを有し、例えばマシナブルセラミック等のセラミックによって形成されている。このボトムプレート2Bの内面には多数の角柱状の支持体2Eがボトムプレート2Bと一体的にセラミックによって形成されている。これらの支持体2Eは、図3に示すようにボトムプレート2Bの全面に行列状に分散配置され、図1に示すように外周壁2Dと協働してトッププレート2Aを支持している。従って、トッププレート2A上のウエハWの如何なる場所で針圧が作用してもその真下あるいはその近傍に支持体2Eが存在するため、トッププレート2Aは撓むことがなく、耐荷重性の高いものになっている。また、ケース2Cは、例えばボトムプレート2Bよりも弾性率の高いアルミニウム等の金属によってその外周壁2Fがボトムプレート2Bの外周壁2Dと一緒になってトッププレート2Aに接触し、トッププレート2Aとの気密性を高めている。従って、ボトムプレート2Bはケース2Cによって強度的に補強され、歪み防止が図られている。
【0015】
また、図2の(a)に示すようにボトムプレート2B及びケース2Cには例えば8個の熱媒体供給口(以下、単に「供給口」と称す。)2G及び2個の熱媒体排出口2Hがそれぞれ設けられ、各供給口2Gから熱媒体として冷媒を供給してトッププレート2Aを直に冷却し、吸熱冷媒を排出口2Hから排出する。冷媒としては例えば空気等の気体を使用することができる。本実施形態では、例えば空気を冷媒として使用する。8個の供給口2Gのうち4個の第1供給口2Gはそれぞれ上下左右対称の位置に配置され、これらの供給口2Gの結線で正四角形が形成されている。また、他の4個の第2供給口2Gは正四角形の各辺の中点より外側にそれぞれ配置されている。また、2個の排出口2Hは図2の(a)、(b)に示すようにボトムプレート2Bの直径上に配置されている。この直線上には2個の第2供給口2Gも位置している。更に、8個の供給口2Gにはそれぞれ供給ノズル5(図4の(a)参照)が装着され、各供給ノズル5から冷媒を噴射するようにしている。噴射された冷媒は、図1に矢印で示すように、載置体2内で支持体2E間の隙間を縫って内部空間全体に瞬時に行き渡るようになっている。冷媒は支持体2Eを介して乱流を形成するため、トッププレート2Aを効率良く冷却することができる。載置体2内全体に行き渡った冷媒は、図1に矢印で示すように、載置体2の中央近傍の2箇所の排出口2Hに集束し、これらの排出口2Hから排出される。排出口2Hには供給ノズル5と同様に形成された排出ノズル(図示せず)が装着され、排出ノズルを介して外部へ排気される。尚、供給ノズル5の開口部5Aの面積は排出ノズルの開口面積よりも小さく設定され、供給ノズル5から冷媒をより高速で供給することができ、載置体2内により迅速に行き渡るようになっている。
【0016】
また、上記基台3内には例えば供給ノズル5(図4の(a)参照)及び排出ノズルが複数個ずつ取り替え可能に埋設され、これらの供給ノズル5及び排出ノズルは、図2及び図3に示す載置体2の供給口2G及び排出口2Hに装着され、図1に示すような流路を形成している。そして、これらの供給ノズル5及び排出ノズルはそれぞれ給気管(図示せず)及び排出管(図示せず)を介して供給源及び排出手段に接続されている。これらの供給ノズル5はいずれも給気管から分岐して載置体2の8箇所の供給口2Gに連通し、また、排出ノズル3Bも排出管から分岐して載置体2の2箇所の排出口2Hに連通している。供給ノズル5及び排出ノズルは、上述のように取り替え可能に構成されているため、載置装置1の仕様に即して適宜取り替えることができ、また、複数種の異なる口径、形状を準備しておくこともできる。
【0017】
更に、図3に示すように載置体2内で径方向に一直線上に並んだ複数の支持体2EにはウエハWを真空吸着する際に用いられる真空排気路2Iが形成され、これらの真空排気路2Iはいずれもトッププレート2A表面に同心円状に形成された複数の円形溝2Jにおいて開口している。ケース2Cには図3に示すように複数の真空排気路2Iが並ぶ範囲に合わせて長孔2Kが形成され、この長孔2K内に真空排気ノズル6(図4の(b)参照)が装着されている。真空排気ノズル6には真空排気路2Iに対応する複数のノズル6Aが一体的に形成されている。そして、真空排気ノズル6内で複数のノズルの排気通路(図示せず)が合流し、合流通路の開口に真空排気装置が接続されている。真空排気ノズル6は供給ノズル5及び排出ノズルと同様に基台3内に埋設されている。また、載置体2の中心近傍には複数(例えば、3本)の昇降ピン(図示せず)が昇降する孔2Lが同一の円周上に周方向等間隔を空けて形成され、ウエハWを受け渡す際に昇降ピンがトッププレート2Aから突出し、ウエハWの受け渡し後には載置体2内に退没する。
【0018】
また、上記温度調節機構は、図1に示すように、上記トッププレート2Aに内蔵されたヒータ、冷媒の供給口2G及び排出口2Hを備えて構成され、図示しない制御装置の制御下でウエハWを加熱する時にはヒータが作動し、ウエハWを冷却する時には載置体2内の供給口2Gと排出口2Hを介して冷媒を給排する。ヒータはトッププレート2A内に内蔵されているため、ウエハWを直に加熱するため、ウエハWを所定の設定温度まで短時間で加熱することができる。また、冷媒は供給口2Gから載置体2内の空間全体に乱流を形成して短時間で行き渡り、しかも冷媒でトッププレート2Aを直に冷却するため、ウエハWを短時間に冷却することができる。
【0019】
次に、動作について説明する。まず、図示しない搬送機構を介して載置体2へウエハWを搬送すると、昇降ピンを介してウエハWを受け取ってトッププレート2A上に載置する。次いで、真空排気ノズル6から空気を排気してウエハWをトッププレート2A上に真空吸着して固定した後、載置装置1はX、Y、Z及びθ方向に移動し、アライメント機構と協働してウエハWとプローブとの位置合わせを行う。そして、例えばウエハWの高温検査を行う場合には、位置合わせを行う間にヒータが作動してウエハWを所定の温度まで加熱する。
【0020】
引き続き、載置台1はウエハWをインデックス送りを行ってプローブの真下まで移動させた後、昇降体4を介してウエハWをオーバードライブさせてウエハWとプローブを電気的に接触させる。この際、ウエハWに針圧が作用するが、トッププレート2Aは支持体2Eによって支持されているため、トッププレート2Aが弾性変形する虞がなく、プローブがウエハWの電極パッドから位置ずれすることもなく、ウエハWの高温検査を確実に行うことができる。インデックス送りを繰り返してウエハWの高温検査が終了すれば、温度調節機構がヒータの電源を切ると共に、8箇所の供給口2Gからそれぞれの供給ノズル5を介して載置体2内に空気を冷媒として供給する。空気が図1に矢印で示すように各供給ノズル5から噴出すると、同図に示すように支持体2E間の隙間を縫って乱流を形成しながら載置体2の内部空間全体に瞬時に行き渡り、トッププレート2Aを短時間で冷却してトッププレート2Aの温度を下げる。吸熱空気は図1に矢印で示すように排出口2Hから排出される。
【0021】
以上説明したように本実施形態によれば、載置体2内の空間全体に複数の支持体2Eを行列状に分散配置し、これらの支持体2Eを介してトッププレート2Aを支持し、しかもボトムプレート2Bがケース2Cによって補強されているため、ウエハWの検査を行う際にウエハWに針圧が作用しても、針圧の作用点は支持体2Eの真上あるいはその近傍になり、しかもケース2Cの補強作用と相俟ってトッププレート2Aの沈み(弾性変形)を防止することができ、ひいてはウエハWの電極とプローブの位置ずれをなくし、信頼性の高い検査を行うことができる。また、冷媒を用いて載置体2を冷却する時には、冷媒が支持体2Eを介して乱流を形成しながら載置体2内の空間全体に行き渡るため、冷媒の冷却能力を最大限活かすことができる。
【0022】
また、本実施形態によれば、複数の支持体2Eをボトムプレート2Bと一体的に成形したため、金型等により高精度に成形することができる。また、ボトムプレート2Bに複数の供給口2Gを分散させて設けると共に、供給口2Gより少数の排出口2Hを分散させて設け、供給口2Gを排出口2Hより多く設けたため、供給ノズル5を介して新鮮な冷媒(本実施形態では空気)を勢い良く供給して高速でトッププレート2Aの全領域で均一に接触させることができると共に吸熱冷媒を集束させて冷媒の滞留時間を延ばすことができ、ひいてはトッププレート2Aを短時間で冷却することができる。
【0023】
また、本実施形態によれば、ケース2Cをボトムプレート2Bより弾性率の高い材料によって形成したため、ケース2Cの外周壁2Fはボトムプレート2Bの外周壁2Dよりトッププレート2Aとの接触に馴染んで気密性が高まり、しかもこれら両外周壁2F、2Dが同時にトッププレート2Aと接触して接触面積が増え、更に載置体2の気密性を高めることができる。また、供給ノズル5を取り替え可能に装着したため、空気の流量に応じて給気孔の径を異にする供給ノズル5を準備しておけば、その時の空気流量に即して供給ノズル5を適宜取り替えることができる。また、トッププレート2A及び支持体2Eそれぞれに、ウエハWを吸引するための真空排出通路2Iを連設したため、真空排気のために独自の配管を載置体2内に設ける必要がなく、構造を簡素化することができる。
【0024】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて本発明の各構成要素を設計変更することができる。例えば、本実施形態では支持体をボトムプレートと一体的に成形したものについて説明したが、トッププレートと一体化したものであっても良い。
【0025】
【発明の効果】
本発明の請求項1に記載の発明によれば、針圧に対する耐荷重性が向上し、トッププレートの弾性変形及びボトムプレートの歪みが防止され、しかも冷却ジャケットを兼ねる載置体の気密性を高めることができ、また、被検査体を吸引する時の真空排気のために独自の配管を載置体内に設ける必要がなく、真空排気専用の排気通路を高精度に形成して被検査体の吸着力を独自に調整することができ、信頼性の高い検査を行うことができる載置装置を提供することができる。
【0027】
また、本発明の請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、ケースはボトムプレートよりトッププレートとの接触に馴染んで気密性が高まり、載置体の気密性を高めることができる載置装置を提供することができる。
【0028】
また、本発明の請求項3に記載の発明によれば、請求項1または請求項2に記載の発明において、複数の熱媒体供給口を介して新鮮な冷媒を勢い良く供給して高速でトッププレートの全領域で均一に接触させることができると共に吸熱冷媒を集束させて冷媒の滞留時間を延ばすことができ、ひいてはトッププレートを短時間で冷却することができる載置装置を提供することができる。
【0029】
また、本発明の請求項4に記載の発明によれば、請求項3に記載の発明において、給気孔の径や形状を異にする複数種の供給ノズルを準備しておけば、その時の熱媒体の流量等の仕様に即して供給ノズルを適宜取り替えることができる載置装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の載置装置の一実施形態の要部を説明するための模式図である。
【図2】図1に示すボトムプレートを拡大して示す図で、(a)はその平面図、(b)がそのB−B線方向の断面図である。
【図3】図1に示す載置体の要部を分解して示す斜視図である。
【図4】図1に示す載置体の用いられるノズルを示す図で、(a)は供給ノズルを示す斜視図、(b)は真空排気ノズルを示す斜視図である。
【符号の説明】
1 載置装置
2 載置体
2A トッププレート
2B ボトムプレート
2C ケース
2E 支持体
2G 供給口(熱媒体供給口)
5 供給ノズル
2I 真空排気路(排気路)
Claims (4)
- 上面に同心円状に形成された複数の円形溝を有するトッププレートと外周壁を有するボトムプレートとを重ねて内部に空間を形成し且つ上記トッププレート上に載置された被検査体を吸着、固定する載置体と、この載置体上の上記被検査体の温度を調節する温度調節機構と、を備え、上記被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記温度調節機構を介して上記載置体上の上記被検査体の温度を調節する載置装置において、上記ボトムプレートを収納するケースを設けると共に上記空間全体に上記トッププレートを下面から支持する複数の支持体を分散配置して上記ボトムプレートと一体的に形成し、これらの支持体を介して上記トッププレートを支持する構造を備え、上記載置体内で径方向に配列された複数の上記支持体をそれぞれ貫通し且つ上記トッププレートに形成された上記複数の円形溝でそれぞれ開口する複数の排気通路を設けると共に上記複数の排気通路をこれらに対応する複数のノズルを介して一つの排気通路に合流させて排気する排気ノズルを上記ケースに装着してなることを特徴とする載置装置。
- 上記ケースを上記ボトムプレートより弾性率の高い材料によって形成したことを特徴とする請求項1に記載の載置装置。
- 上記ボトムプレート及び上記ケースそれぞれに、複数の熱媒体供給口を分散させて設けると共に上記熱媒体供給口より少数の熱媒体排出口を分散させて設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の載置装置。
- 上記各熱媒体供給口それぞれに供給ノズルを取り替え可能に装着したことを特徴とする請求項3に記載の載置装置。
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