JP4877638B2 - Electrostatic actuator and manufacturing method thereof - Google Patents
Electrostatic actuator and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JP4877638B2 JP4877638B2 JP2001253229A JP2001253229A JP4877638B2 JP 4877638 B2 JP4877638 B2 JP 4877638B2 JP 2001253229 A JP2001253229 A JP 2001253229A JP 2001253229 A JP2001253229 A JP 2001253229A JP 4877638 B2 JP4877638 B2 JP 4877638B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- electrode
- electrostatic actuator
- electrodes
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電気力を動力源とする静電アクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
静電アクチュエータには、大きく分けて、パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータと交流駆動両電極形静電アクチュエータとの2種類がある。
【0003】
まず、パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータについて、図11〜15に基づき説明する。図11はパルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータの概略図である。本静電アクチュエータは、固定子1と移動子2の2つから構成される。固定子1は3相に配線された多数の帯状の電極3を持ち、表面は絶縁膜4で覆われている。一方、移動子2は,誘電体層5上に微弱な導電性を有する抵抗体層6を持ち、電極等の歯状の構造は有していない。
【0004】
駆動原理を、図12から図15を用いて示す。駆動する際は、移動子2を固定子1の上に置き、初期充電を行い、移動子2に電荷を蓄積する、駆動と再充電を繰り返し行い、移動子2をステップ状に駆動する。
次に、更に詳しく説明する。最初、移動子2は電荷を持たない。まず、図12に示すように、固定子1の電極3に(0,−V、+V)の電圧を印加し、移動子2上に電極と逆極性の電荷を誘導する。これにより、固定子1の電極3のパターンが、電荷のパターンとして移動子2上に転写される。充電が完了した時点においては、移動子2は垂直下向きに吸引され、摩擦により強く保持されている。次に、図13のように、電圧を(−V、+V、−V)に切り替える。これにより電極の電荷は瞬時に入れ替わるが、移動子2の電荷配置が新たな平衡状態に変化するには、初期充電と同じく、ある程度の時間を要するため、切り替え直後には、図13のような電荷配置が現れる。このとき、移動子2の電荷とその直下の電極3の電荷は同符号となるため、移動子2には浮上力が働く。それと同時に、斜め下の電極3の電荷の効果により、移動子2には右向きの駆動力が働き、結果として、移動子2は、図14に示すように右側に電極1ピッチ分駆動される。
駆動中に移動子2の電荷が失われるため、連続して駆動すると、推力が減少する。そこで、移動子2が静止した状態で、図15のように電極3に1相ずらして正負の電圧を印加し、再充電を行う。
この後、電圧を印加する電極3を1相ずつずらし、図13,図14、図15のステップを繰り返すことにより、連続的な駆動を行う。
【0005】
次に、交流駆動両電極形静電アクチュエータについて、図11〜15に基づき説明する。図16は交流駆動両電極形静電アクチュエータの概略図である。
本静電アクチュエータは、固定子1と移動子2の2つから構成される。固定子1、移動子2ともに、3相に結線された多数の帯状電極3を持ち、表面は絶縁膜4で覆われている。1つの3相正弦波を、固定子1、移動子2の両者に、それぞれ接続順が逆向きになるようにして印加する。これにより、固定子1、移動子2上には、それぞれ逆向きに進行する正弦波状の電位分布7が発生する。これら2つの電位分布の間に働く静電気力により、アクチュエータは駆動される。
【0006】
上記のような静電アクチュエータを実際に製作する際は、パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータの場合は、固定子1に、交流駆動両電極形静電アクチュエータの場合は、固定子1と移動子2それぞれに、図9の平面図および図10の側面図に示すように第1電極3a、第2電極3b、第3電極3cを同一平面上に形成する必要があるため、第2電極集合配線8bと第3電極集合配線8cの取り回しとして、それぞれが短絡しないように、図9、図10に示すように、絶縁層13を設置し、多層構造をとらざるを得ない。その1つの方法として特開平7−255185に記載されているような粘着層および絶縁層を介して多層化する製法が提案されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
静電アクチュエータにおいて、水平方向に駆動する力、すなわち推力は最も重要な特性であり。その推力を増大させるためには、固定子1と移動子2とのギャップを狭くとることは、有効な手段である。ところが、単純に、基体9表面に、駆動用の帯状電極である第1電極3a、第2電極3b、第3電極3c、その集合配線である第1電極集合配線8a、第2電極集合配線8b、第3電極集合配線8c、そして第2電極集合配線8bと第3電極集合配線8cの短絡を防止するための絶縁層13を形成して多層化した場合、絶縁層13が、駆動用の電極である第1電極3a、第2電極3b、第3電極3cよりも、表面から突出した形状になってしまう。すると固定子1と移動子2を対向させた場合に、絶縁層13が互いに干渉し合うため、固定子1と移動子2とのギャップを狭くすることが出来ず、推力を増大させることの障害になっていた。
【0008】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、固定子1の駆動部と移動子2(又は移動させる物体)とのギャップを狭くすることが可能になり、結果として推力性能が優れた静電アクチュエータを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記課題を解決すべく、少なくとも基体を備えた固定子を有し、該固定子の前記基体の同一の表面上に、少なくとも一部が互いに平行になるよう配置された3つの電極と、前記3つの電極が形成された前記基体表面上に形成され、前記3つの電極の各々に電源から電圧を印加するための3つの集合配線と、前記3つの電極と前記3つの集合配線との短絡が防止されるように前記電極及び前記集合配線の一部を覆うように形成された絶縁被膜を有し、前記3つの電極が互いに平行に配置されてなる駆動部に電圧を印加することにより固定子上に配された物体又は移動子を移動させる静電アクチュエータにおいて、前記固定子の前記基体表面には段差が設けられ、前記基体表面は、前記段差よりも高い位置に設けられた上段部と、前記上段部よりも前記段差を介して低い位置に設けられた下段部とを備え、前記3つの電極からなる駆動部は固定子の基体の前記上段部に配置されており、前記電極と、前記集合配線と、前記絶縁被膜と、が積層されてなる積層部は前記下段部に配置されており、前記積層部が前記駆動部を構成する前記電極より突出しないように構成されたことを特徴とする静電アクチュエータを提供する。これにより、集合配線の短絡を防止しつつ、固定子の駆動部と固定子上に配された物体又は移動子との距離を短くすることが可能となり、高い推力を得ることが可能となる。
【0010】
本発明の好ましい態様においては、前記固定子の基体は剛性体材料からなるようにする。
そうすることで、研削研磨加工等により、段差の形成が自由自在に可能となる。
【0011】
本発明の好ましい態様においては、段差部を階段状に設ける。
これにより、集合配線の短絡を防止しつつ、固定子の駆動部と固定子上に配された物体又は移動子との距離を短くすることが可能となり、高い推力を得ることが可能となるとともに、印刷、蒸着+エッチングによるパターンニング、メッキ+エッチングによるパターンニング等による電極の形成が容易になる。
【0012】
本発明の好ましい態様においては、段差をスロープ状にする。
これにより、集合配線の短絡を防止しつつ、固定子の駆動部と固定子上に配された物体又は移動子との距離を短くすることが可能となり、高い推力を得ることが可能となるとともに、印刷、蒸着+エッチングによるパターンニング、メッキ+エッチングによるパターンニング等による電極の形成が容易になる。
【0013】
本発明の好ましい態様においては、前記段差の上縁部及び/又は固定子上面の端部を面取りする。
これにより、印刷、蒸着+エッチングによるパターンニング、メッキ+エッチングによるパターンニング等による電極の形成が、より容易になる。
また、ここで言う「面取り」とは、C面取り、R面取りのどちらでも良い。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に、まず、本発明に用いられる用語の定義につき、説明する。
本発明において、「固定子の基体」とは、駆動部や集合配線を配置するための支持部全体をいう。それは単一の材料からなる基体でもよいし、複数の材料からなる基体でもよい。
また、「段差」とは、固定子基材上面に意図的に設けられた高低差をいう。従って、ステップ状のみでなく、連続した傾斜やスロープ状をも含む。
また、「上段部」とは、対立する位置である「下段部」よりも上方の位置を意味する。その部分は水平でもよいし、傾斜していてもよい。
また、「下段部」とは、対立する位置である「上段部」よりも下方の位置を意味する。その部分は水平でもよいし、傾斜していてもよい。
また、「絶縁被膜」とは、電極および集合配線の保護のために、固定子表面に形成する被膜をいい、その材料としては、例えば、ポリイミド、アルミナ、窒化アルミニウム等が好適に利用できる。
また、請求項1における「絶縁物」とは、複数の集合配線が交差する部分で、集合配線同士の短絡が防止されるように、その間に介在させる絶縁物をいい、例えば、ポリイミド、アルミナ、窒化アルミニウム等が好適に利用できる。この「絶縁物」の材料は、「絶縁被膜」と同種であっても異種であっても構わない。また、「絶縁物」の介在のさせ方は、固定子基材の下段部に層状に介在させてもよいし、集合配線を予め絶縁物で被覆させておくことで介在させてもよい。
また、剛性体材料とは、薄いフィルム材料のように、材料そのものの自重や外部からの応力があっても容易に変形しない材料を意味し、具体的には、セラミックス、ガラス、プラスチックス等の厚さ数〜数十mmのシート状バルク体が好適に用いられる。
【0015】
以下に、本発明の好ましい態様につき、図に基づいて説明する。
図1は本発明にかかる第1実施例の平面図を示す図であり、図2は本発明にかかる第1実施例の側面図である。図において、固定子1の基体9上には、3つの帯状電極である第1電極3a、第2電極3b、第3電極3cと、3つの電極の各々に電源から電圧を印加するための3つの集合配線である第1電極集合配線8a、第2電極集合配線8b、第3電極集合配線8cと第2電極集合配線8bと第3電極集合配線8cの短絡を防止するための絶縁層13が形成されている。固定子基体9の表面には段差部12が設けられており、絶縁層13は下段部10に、3つの帯状電極である第1電極3a、第2電極3b、第3電極3cからなる駆動部は上段部11に設けられている。そして、絶縁層5の上面は駆動部よりも下方に位置している。
駆動部に電圧が印加されていると、その上方に物体を浮遊配置したときに、その物体は推力を得て水平方向に移動する。
ここで、絶縁層13の上面が駆動部よりも下方に位置していることにより、駆動部と移動子2との間のギャップを小さく設定することが可能となるので、単位印加電圧当りの推力を大きくすることが可能となる。
【0016】
固定子基体9の材質としては、セラミックス、ガラスなどの絶縁材料を使用する。厚みは、数十μmから数十mmまで、要求される剛性等により、必要に応じて変更する。第1電極3a、第2電極3b、第3電極3c、第1電極集合配線8a、第2電極集合配線8b、第3電極集合配線8cの材質としては、金、銀、白金、銅、アルミニウム、チタン、タングステン、モリブデン、TiC、ITOなどの電極材料を使用する。製法としては、メッキ、PVD、CVD、印刷、転写など、材料に応じた製法を採用する。厚みは、0.数μmから数十μmまで、材料や製法に合わせて調整する。絶縁層13の材質としては、セラミックス、ガラス、ポリイミドなどの絶縁材料を使用する。製法としては、PVD、CVD、印刷、ゾルゲル法、溶射法など、材料に応じた製法を採用する。厚みは、数μm〜数百μmまで、材料や製法に合わせて調整する。絶縁膜4も、絶縁層13同様の材質、製法を用いることができる。
【0017】
図2に本発明にかかる第1実施例の側面図を示す。予め研削加工等により、絶縁層5、第2電極集合配線8b、第3電極集合配線8cを形成する下段部10を、例えば数μm〜数百μm程度、上段部11より低くなるようにしておく。その後、第1電極3a、第2電極3b、第3電極3c、第1電極集合配線8a、第2電極集合配線8b、絶縁層13、第3電極集合配線8cを順に形成する。そして最後に、絶縁膜4を形成する。
これにより、集合配線の短絡を防止しつつ、固定子の駆動部よりも突出した部分がなくなるので、固定子の駆動部と固定子上に配された物体又は移動子との距離を短くすることが可能となり、高い推力を得ることが可能となる。
【0018】
図3に本発明にかかる第2実施例の平面図を、図4に側面図を示す。段差部12およびもしくは絶縁層13を、例えば数μm〜数十μm程度の階段状に設けたものである。
これにより、集合配線の短絡を防止しつつ、固定子の駆動部よりも突出した部分がなくなるので、固定子の駆動部と固定子上に配された物体又は移動子との距離を短くすることが可能となり、高い推力を得ることが可能となる。
【0019】
図5は本発明にかかる第3実施例の平面図を、図6に側面図を示す。段差部12およびもしくは絶縁層13のコーナーを面取りしたものである。
これにより、集合配線の短絡を防止しつつ、固定子の駆動部よりも突出した部分がなくなるので、固定子の駆動部と固定子上に配された物体又は移動子との距離を短くすることが可能となり、高い推力を得ることが可能となる。
【0020】
図7に本発明にかかる第4実施例の平面図を、図8に側面図を示す。段差部12およびもしくは絶縁層13のコーナーを、例えば数°〜数十°のスロープ状にしたものである。
これにより、集合配線の短絡を防止しつつ、固定子の駆動部よりも突出した部分がなくなるので、固定子の駆動部と固定子上に配された物体又は移動子との距離を短くすることが可能となり、高い推力を得ることが可能となる。
【0021】
図9に従来技術における平面図を、図10に側面図を示す。集合配線の短絡を防止した構成ではあるが、固定子の駆動部よりも突出した部分が存在している。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、固定子の駆動部と移動子又は移動させる物体とのギャップを狭くすることが可能になり、結果として推力性能が優れた静電アクチュエータを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明にかかる実施例1の平面図
【図2】 本発明にかかる実施例1の側面図
【図3】 本発明にかかる実施例2の平面図
【図4】 本発明にかかる実施例2の側面図
【図5】 本発明にかかる実施例3の平面図
【図6】 本発明にかかる実施例3の側面図
【図7】 本発明にかかる実施例4の平面図
【図8】 本発明にかかる実施例4の側面図
【図9】 従来技術における平面図
【図10】 従来技術における側面図
【図11】 パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータの側面図
【図12】 パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータの駆動原理を説明するための側面図
【図13】 パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータの駆動原理を説明するための側面図
【図14】 パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータの駆動原理を説明するための側面図
【図15】 パルス駆動誘導電荷形静電アクチュエータの駆動原理を説明するための側面図
【図16】 交流駆動両電極形静電アクチュエータの側面図
【符号の説明】
1…固定子、2…移動子、3…帯状の電極、3a…第1電極、3b…第2電極、3c…第3電極、4…絶縁膜、5…誘電体層、6…抵抗体層、7…正弦波状の電位分布、8a…第1電極集合配線、8b…第2電極集合配線、8c…第3電極集合配線、9…基体、10…下段部、11…上段部、12…段差部、13…絶縁層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electrostatic actuator that uses electrostatic force as a power source.
[0002]
[Prior art]
There are roughly two types of electrostatic actuators: pulse-driven inductive charge-type electrostatic actuators and AC-driven double-electrode electrostatic actuators.
[0003]
First, a pulse drive induction charge type electrostatic actuator will be described with reference to FIGS. FIG. 11 is a schematic view of a pulse-driven inductive charge type electrostatic actuator. This electrostatic actuator is composed of a
[0004]
The driving principle will be described with reference to FIGS. When driving, the
Next, it explains in detail. Initially, the
Since the charge of the moving
Thereafter, the
[0005]
Next, an AC drive double electrode type electrostatic actuator will be described with reference to FIGS. FIG. 16 is a schematic view of an AC drive double-electrode electrostatic actuator.
This electrostatic actuator is composed of a
[0006]
When actually manufacturing the electrostatic actuator as described above, in the case of a pulse drive inductive charge type electrostatic actuator, the
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
In an electrostatic actuator, the force that drives in the horizontal direction, that is, the thrust, is the most important characteristic. In order to increase the thrust, it is an effective means to narrow the gap between the
[0008]
The present invention has been made to solve the above-described problem, and it is possible to narrow a gap between the driving unit of the
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, to solve the above problems, has a stator having at least a substrate, on the same surface of the substrate of the stator, at least partially parallel to each other as arranged three electrodes And three aggregate wirings formed on the substrate surface on which the three electrodes are formed, for applying a voltage from a power source to each of the three electrodes, the three electrodes, and the three aggregate wirings, A voltage is applied to a driving unit having an insulating film formed so as to cover a part of the electrode and the collective wiring so that a short circuit is prevented, and the three electrodes are arranged in parallel to each other. in the electrostatic actuator for moving the object or moving element disposed on the stator, the said on the substrate surface of the stator is provided a step, wherein the substrate surface, the upper of which is positioned higher than the step Department and front Than the upper portion and a lower portion provided in a lower position through the step, drive unit consisting of the three electrodes are disposed in the upper portion of the base body of the stator, and the electrode, the set A laminated part formed by laminating wiring and the insulating coating is disposed in the lower stage part, and the laminated part is configured not to protrude from the electrode constituting the drive part. An electrostatic actuator is provided. As a result, it is possible to shorten the distance between the stator drive unit and the object or the mover arranged on the stator while preventing short circuit of the collective wiring, and high thrust can be obtained.
[0010]
In a preferred embodiment of the present invention, the stator base is made of a rigid material.
By doing so, a step can be freely formed by grinding and polishing.
[0011]
In the preferable aspect of this invention, a level | step-difference part is provided in step shape.
As a result, it is possible to shorten the distance between the stator drive unit and the object or the mover arranged on the stator while preventing short circuit of the collective wiring, and it becomes possible to obtain high thrust. The electrode can be easily formed by patterning by printing, vapor deposition + etching, patterning by plating + etching, or the like.
[0012]
In a preferred embodiment of the present invention, the step is sloped.
As a result, it is possible to shorten the distance between the stator drive unit and the object or the mover arranged on the stator while preventing short circuit of the collective wiring, and it becomes possible to obtain high thrust. The electrode can be easily formed by patterning by printing, vapor deposition + etching, patterning by plating + etching, or the like.
[0013]
In a preferred aspect of the present invention, the upper edge of the step and / or the end of the upper surface of the stator are chamfered.
This makes it easier to form electrodes by printing, patterning by vapor deposition + etching, patterning by plating + etching, or the like.
The “chamfering” referred to here may be either C chamfering or R chamfering.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
First, definitions of terms used in the present invention will be described.
In the present invention, the “stator base” refers to the entire support portion for arranging the drive portion and the assembly wiring. It may be a substrate made of a single material or a substrate made of a plurality of materials.
Further, the “step” means a height difference intentionally provided on the upper surface of the stator base material. Therefore, it includes not only a step shape but also a continuous inclination and a slope shape.
Further, the “upper part” means a position above the “lower part” which is an opposing position. The portion may be horizontal or inclined.
In addition, the “lower part” means a position below the “upper part” which is an opposing position. The portion may be horizontal or inclined.
The “insulating coating” refers to a coating formed on the surface of the stator to protect the electrodes and the collective wiring. As the material, for example, polyimide, alumina, aluminum nitride, or the like can be suitably used.
In addition, the “insulator” in
In addition, the rigid body material means a material that does not easily deform even under the weight of the material itself or external stress, such as a thin film material, and specifically, ceramics, glass, plastics, etc. A sheet-like bulk body having a thickness of several to several tens of mm is preferably used.
[0015]
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view of a first embodiment according to the present invention, and FIG. 2 is a side view of the first embodiment according to the present invention. In the figure, on the substrate 9 of the
When a voltage is applied to the drive unit, the object moves in the horizontal direction while obtaining a thrust when the object is suspended above the drive unit.
Here, since the upper surface of the insulating
[0016]
As a material of the stator base 9, an insulating material such as ceramic or glass is used. The thickness is changed from several tens of μm to several tens of mm as required depending on required rigidity. As materials of the first electrode 3a, the
[0017]
FIG. 2 shows a side view of the first embodiment according to the present invention. The lower step portion 10 for forming the insulating layer 5, the second electrode assembly wiring 8b, and the third electrode assembly wiring 8c is previously set to be lower than the upper step portion 11 by, for example, about several μm to several hundred μm. . Thereafter, the first electrode 3a, the
As a result, there is no protruding portion from the stator drive unit while preventing the short circuit of the collective wiring, so the distance between the stator drive unit and the object or moving element arranged on the stator is shortened. And a high thrust can be obtained.
[0018]
FIG. 3 is a plan view of a second embodiment according to the present invention, and FIG. 4 is a side view thereof. The stepped portion 12 and / or the insulating
As a result, there is no protruding portion from the stator drive unit while preventing the short circuit of the collective wiring, so the distance between the stator drive unit and the object or moving element arranged on the stator is shortened. And a high thrust can be obtained.
[0019]
5 is a plan view of a third embodiment according to the present invention, and FIG. 6 is a side view thereof. The step portion 12 and / or the corner of the insulating
As a result, there is no protruding portion from the stator drive unit while preventing the short circuit of the collective wiring, so the distance between the stator drive unit and the object or moving element arranged on the stator is shortened. And a high thrust can be obtained.
[0020]
FIG. 7 is a plan view of a fourth embodiment according to the present invention, and FIG. 8 is a side view thereof. The corners of the stepped portion 12 and / or the insulating
As a result, there is no protruding portion from the stator drive unit while preventing the short circuit of the collective wiring, so the distance between the stator drive unit and the object or moving element arranged on the stator is shortened. And a high thrust can be obtained.
[0021]
FIG. 9 shows a plan view in the prior art, and FIG. 10 shows a side view. Although it is the structure which prevented the short circuit of collective wiring, the part which protruded from the drive part of the stator exists.
[0022]
【Effect of the invention】
According to the present invention, it is possible to narrow a gap between a driving unit of a stator and a mover or an object to be moved, and as a result, it is possible to provide an electrostatic actuator having excellent thrust performance.
[Brief description of the drawings]
1 is a plan view of a first embodiment according to the present invention. FIG. 2 is a side view of the first embodiment according to the present invention. FIG. 3 is a plan view of a second embodiment according to the present invention. Side view of Example 2 [Fig. 5] Plan view of Example 3 according to the present invention [Fig. 6] Side view of Example 3 according to the present invention [Fig. 7] Plan view of Example 4 according to the present invention [Fig. 8] Side view of Example 4 according to the present invention [Fig. 9] Plan view of the prior art [Fig. 10] Side view of the prior art [Fig. 11] Side view of the pulse-driven inductive charge type electrostatic actuator [Fig. 12] Pulse FIG. 13 is a side view for explaining the driving principle of a driving induction charge type electrostatic actuator. FIG. 13 is a side view for explaining the driving principle of a pulse driving induction charge type electrostatic actuator. To explain the drive principle of the actuator Rear view Figure 15 is a side view for explaining the driving principle of the pulse driving inductive charge type electrostatic actuator [16] a side view of an AC drive the electrodes form an electrostatic actuator [Description of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (5)
該固定子の前記基体の同一の表面上に、少なくとも一部が互いに平行になるよう配置された3つの電極と、
前記3つの電極が形成された前記基体表面上に形成され、前記3つの電極の各々に電源から電圧を印加するための3つの集合配線と、
前記3つの電極と前記3つの集合配線との短絡が防止されるように前記電極及び前記集合配線の一部を覆うように形成された絶縁被膜を有し、
前記3つの電極が互いに平行に配置されてなる駆動部に電圧を印加することにより固定子上に配された物体又は移動子を移動させる静電アクチュエータにおいて、
前記固定子の前記基体表面には段差が設けられ、前記基体表面は、前記段差よりも高い位置に設けられた上段部と、前記上段部よりも前記段差を介して低い位置に設けられた下段部とを備え、
前記3つの電極からなる駆動部は固定子の基体の前記上段部に配置されており、
前記電極と、前記集合配線と、前記絶縁被膜と、が積層されてなる積層部は前記下段部に配置されており、
前記積層部が前記駆動部を構成する前記電極より突出しないように構成されたことを特徴とする静電アクチュエータ。 Having a stator with at least a base ,
On the same surface of the substrate of the stator, at least partially three which are arranged to be parallel to each other of the electrodes,
Formed on the surface of the substrate on which the three electrodes are formed, and three collective wirings for applying a voltage from a power source to each of the three electrodes;
An insulating film formed so as to cover a part of the electrode and the collective wiring so as to prevent a short circuit between the three electrodes and the three collective wiring ;
In an electrostatic actuator that moves an object or a moving element arranged on a stator by applying a voltage to a driving unit in which the three electrodes are arranged in parallel with each other ,
Wherein the said substrate surface of the stator step is provided, wherein the substrate surface, and the upper section provided at a position higher than the step, lower provided in a lower position via the stepped than the upper portion With
Driving section composed of the three electrodes are disposed in the upper portion of the base body of the stator,
A laminated portion formed by laminating the electrode, the collective wiring, and the insulating film is disposed in the lower portion,
The electrostatic actuator, wherein the stacked portion is configured not to protrude from the electrode constituting the driving portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001253229A JP4877638B2 (en) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | Electrostatic actuator and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001253229A JP4877638B2 (en) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | Electrostatic actuator and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003070265A JP2003070265A (en) | 2003-03-07 |
JP4877638B2 true JP4877638B2 (en) | 2012-02-15 |
Family
ID=19081591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001253229A Expired - Fee Related JP4877638B2 (en) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | Electrostatic actuator and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4877638B2 (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06233555A (en) * | 1993-01-29 | 1994-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | Electrostatic actuator |
JP3470831B2 (en) * | 1993-09-30 | 2003-11-25 | 大日本印刷株式会社 | Multilayer electrode wiring board in electrostatic actuator and method of manufacturing the same |
JP3276029B2 (en) * | 1994-02-04 | 2002-04-22 | 大日本印刷株式会社 | Electrostatic actuator |
JPH09233859A (en) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Mitsubishi Chem Corp | Manufacture of electrostatic actuator and element for electrostatic actuator |
-
2001
- 2001-08-23 JP JP2001253229A patent/JP4877638B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003070265A (en) | 2003-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2218876C (en) | Elastomeric micro electro mechanical systems | |
JP3106389B2 (en) | Variable capacitance capacitor | |
US5986381A (en) | Electrostatic actuator with spatially alternating voltage patterns | |
US20100213791A1 (en) | Oscillator device | |
CN111313747B (en) | Multi-layer ceramic co-fired piezoelectric driver, piezoelectric motor and preparation method thereof | |
WO2012026453A1 (en) | Vibration power generating element and vibration power generating device using same | |
JP2001503920A (en) | Driving or adjusting element by piezoelectric actuator | |
JP2002112560A (en) | Electrostatic actuator and camera module employing the actuator | |
JP2008278712A (en) | Drive device | |
US9431041B1 (en) | Comb structure for a disk drive suspension piezoelectric microactuator operating in the D33 mode, and method of manufacturing the same | |
US11195984B2 (en) | Piezoelectric transformer | |
JP5619998B2 (en) | Variable capacitor | |
JP4877638B2 (en) | Electrostatic actuator and manufacturing method thereof | |
JP2011091319A (en) | Power generation device | |
US6265806B1 (en) | Semiconductor microactuator with an improved platform structure and method of forming the same | |
CN103036471A (en) | Actuator and optical scanning apparatus | |
US6649987B1 (en) | MEMS hybrid structure having flipped silicon with external standoffs | |
JPH06284750A (en) | Laminated electrostatic actuator | |
JPS6395868A (en) | Electrostatic actuator | |
JP3470832B2 (en) | Multilayer electrode wiring board in electrostatic actuator and method of manufacturing the same | |
WO2006064452A1 (en) | Electrostatic device for displacing an object | |
JP2003244972A (en) | Electrostatic actuator | |
JP2014021189A (en) | Rotary actuator | |
JP2008061344A (en) | Ultrasonic motor element | |
JP3021460B2 (en) | Electrostatic actuator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110513 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111107 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111120 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141209 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |