JP4874863B2 - Temのデフォーカス量測定方法 - Google Patents
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して、入力画像fがx方向にa、y方向にbだけずれた画像である場合、gの値は(a,b)で最大となる。即ち、gの値が最大となる(X,Y)を求めることで、入力画像fが参照画像hに対してどれだけずれているかが分かる。
(2)請求項2記載の発明は、電子線傾斜の状態で前記画像撮像手段に十分なコントラストの画像が結像するまで待たせることにより読み込む画像を安定化させるものであることを特徴とする請求項1記載のTEMのデフォーカス量測定方法。
(3)請求項3記載の発明は、前記電子線照射画像に対して自己相関をとり、中心のピーク以外のピークを探してその位置からデフォーカス量を推定するものであることを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明によれば、十分なコントラストが得られる状態で画像を撮像するようにしているので、デフォーカス量を正確に測定することが可能となる。
(3)請求項3記載の発明によれば、電子線照射画像に対して自己相関をとるようにしたので、試料のドリフトを無くし、デフォーカス量を安定に測定することが可能となる。
S1.本発明のソフトウェアを起動
操作者はコンピュータ3において、本発明のソフトウェア10を起動する。
S2.電子線を片側に傾ける
本発明のソフトウェア10は、TEM用制御ケーブル5を介してTEMの偏向器(図示せず)を操作し、電子線を一定量、一定方向に向けて電子線を試料に照射し始める。
S3.デジタルカメラの露光を開始
本発明のソフトウェア10は、照射開始直後の試料の揺らぎが収まるのに十分な時間が経過した後、画像取り込み用ケーブル2を介してデジタルカメラ4を用いて露光を開始する。
S4.一定時間待つ
本発明のソフトウェア10は、ステップS2で設定した電子線傾斜の状態でデジタルカメラ4の画像素子に十分なコントラストの画像が結像するように一定時間待つ。この待ち時間は、予め前段階において、画像に十分なコントラストが出るまでの時間を測定し、ソフトウェア10に組み込んでおくことができる。この待ち時間の量としては、例えば0.1秒程度が用いられる。
S5.電子線を反対側に傾ける
本発明のソフトウェア10は、デジタルカメラ4の露光をやめずに、ステップS2で設定した電子線傾斜と反対側に同じ量だけ電子線を傾斜させ、露光を続ける。
S6.一定時間待つ
本発明のソフトウェア10は、ステップS5で設定した電子線傾斜の状態でデジタルカメラ4の画像素子に十分なコントラストの画像が結像するように一定時間待つ。この待ち時間もステップS4で設定した要領でソフトウェア10内に組み込んでおけばよい。これにより、ステップS2で設定した状態と、ステップS5で設定した状態における像が重なって露光されることになる。
S7.デジタルカメラの露光を終了し、画像を取り込む
本発明のソフトウェア10は、デジタルカメラ4による露光を終了して、画像取り込み用ケーブル2を介してデジタルカメラ4から二重に露光された画像を取り込む。
S8.自己相関像のピーク位置を求め、デフォーカス量を推定する
本発明のソフトウェア10は、ステップS7で取り込んだ画像の自己相関を計算し、中心のピーク以外のピークを探してその位置からデフォーカス量を推定し、必要であれば任意のデフォーカス量となるように対物レンズ電流値にフィードバックする。
2 画像取り込み用ケーブル
3 コンピュータ
4 デジタルカメラ
5 制御用ケーブル
10 ソフトウェア
Claims (3)
- TEMにおける試料に対してある角度の電子線を照射してその時の画像を安定化させ、
次に前記電子線傾斜とは反対の方向に同じ量だけ電子線を傾斜させて試料に対して照射し、
画像が安定化したら、画像撮像手段により当該電子線照射画像を読み込み、
該電子線照射画像に対して自己相関をとって画像のズレ量を求め、
求めた画像のズレ量からデフォーカス量を求める、
ことを特徴とするTEMのデフォーカス量測定方法。 - 電子線傾斜の状態で前記画像撮像手段に十分なコントラストの画像が結像するまで待たせることにより読み込む画像を安定化させるものであることを特徴とする請求項1記載のTEMのデフォーカス量測定方法。
- 前記電子線照射画像に対して自己相関をとり、中心のピーク以外のピークを探してその位置からデフォーカス量を推定するものであることを特徴とする請求項1記載のTEMのデフォーカス量測定方法。
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