JP4856161B2

JP4856161B2 - valve

Info

Publication number: JP4856161B2
Application number: JP2008315948A
Authority: JP
Inventors: 徳雄前田
Original assignee: Toho Kasei Co Ltd
Current assignee: Toho Kasei Co Ltd
Priority date: 2008-12-11
Filing date: 2008-12-11
Publication date: 2012-01-18
Anticipated expiration: 2028-12-11
Also published as: JP2010138998A

Description

本発明は、弁体を弁座に接触させて常時閉位置に維持するか、又は、弁体を弁座から離した常時開位置に維持する弁に関する。 The present invention relates to a valve that maintains a normally closed position by contacting a valve body with a valve seat or a valve body that is maintained at a normally open position away from the valve seat.

従来、この種の弁において、例えば、弁体を弁座に接触させて常時閉位置に維持させる機構としては、薬液の流路内にバネを配置し、そのバネの付勢力により、弁体を弁座に常時押し付けるように付勢するものが知られている（例えば、特許文献１を参照）。 Conventionally, in this type of valve, for example, as a mechanism for bringing the valve body into contact with the valve seat and maintaining it in the normally closed position, a spring is disposed in the flow path of the chemical solution, and the valve body is moved by the biasing force of the spring. There is known one that urges the valve seat so that it is constantly pressed (see, for example, Patent Document 1).

このような構造では、弁体を弁座から離すときには、弁体に連結したピストンに対して、エアー圧又は電磁力又はモータの動力などの駆動力を与えて、弁体を弁座から離すようにしている。 In such a structure, when the valve body is separated from the valve seat, a driving force such as air pressure, electromagnetic force, or motor power is applied to the piston connected to the valve body so that the valve body is separated from the valve seat. I have to.

特開２００５−１４７２６８号公報JP 2005-147268 A

しかしながら、通常、バネは金属で構成するため、薬液の流路内にバネを配置すると、薬液に対してバネが腐食されてしまうため、何らかの耐腐食手段をバネに施す必要がある。例えば、耐腐食性のある合成樹脂などでバネ自体を全面コーティングするか、又は、バネを耐腐食性のある合成樹脂のチューブで覆うようにしたものがある。 However, since the spring is usually made of a metal, if the spring is disposed in the flow path of the chemical solution, the spring is corroded against the chemical solution. Therefore, some anti-corrosion means must be applied to the spring. For example, the spring itself may be coated entirely with a corrosion-resistant synthetic resin or the like, or the spring may be covered with a corrosion-resistant synthetic resin tube.

しかしながら、バネ自体を全面コーティングする場合には、バネの全面を正確に被覆することができず、被覆されていない部分が腐食されてしまうといった問題がある。また、合成樹脂のチューブでバネ全体覆う場合には、バネの端部をカットしてチューブ内にバネを挿入させるため、端部がカットされることによりバネ全体としては安定性が悪くなるとともに、チューブの端部の密封処理が必要なり、煩雑であるといった問題がある。 However, when the entire surface of the spring itself is coated, there is a problem in that the entire surface of the spring cannot be accurately coated and the uncoated portion is corroded. In addition, when covering the whole spring with a synthetic resin tube, the end of the spring is cut and the spring is inserted into the tube. There is a problem that a sealing process is required at the end of the tube, which is complicated.

また、バネを金属ではなく、合成樹脂で構成すれば、前記したような手段は不要となるが、合成樹脂では強度が弱く、樹脂の種類によっては、耐薬品性に問題が生じる場合もある。 Further, if the spring is made of a synthetic resin instead of a metal, the above-described means is not necessary, but the strength of the synthetic resin is weak, and depending on the type of resin, there may be a problem in chemical resistance.

従って、本発明の目的は、前記問題を解決することにあって、常時開位置又は常時閉位置に弁体と弁座との関係を維持するバネを使用しつつも耐食性に優れた弁を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problem and provide a valve having excellent corrosion resistance while using a spring that maintains the relationship between the valve body and the valve seat in a normally open position or a normally closed position. There is to do.

前記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第１態様によれば、流体の入口と、前記入口に連通されかつ軸方向と直交する面において複数に分割された分岐流路と、全ての前記分岐流路と連通された出口とを有するケーシングと、
前記ケーシングの前記入口に設けられた弁座と、
前記ケーシング内に収納され、前記ケーシングの前記弁座に接離可能に配置された弁体と、
前記ケーシング内に収納され、前記分岐流路とは独立した可動部材移動室内で軸方向に移動可能に配置され、前記弁体に一端が連結され他端側に駆動力受け部を有するとともに、前記駆動力受け部の外面でかつ互いに隣接する前記分岐流路に対向する部分と前記分岐流路に対向する部分との間の部分に、前記ケーシングの入口側から出口側に向かうに従い前記駆動力受け部の軸芯に近づくように傾斜した複数の傾斜面を有する可動部材と、
前記可動部材の軸方向とは直交する方向に移動可能に、前記分岐流路とは独立した前記ケーシングの駆動部材移動室内に配置され、かつ、前記可動部材の前記傾斜面が摺動する傾斜面を一端に有し、他端側に配置された付勢部材の付勢力により前記一端の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触する方向に押圧付勢される複数の可動部材駆動部材と、
を備え、
前記付勢部材の前記付勢力により、前記可動部材駆動部材の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触するとともに、前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座に接触して常時閉状態となることを特徴とする弁を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
According to the first aspect of the present invention, a fluid inlet, a branch channel that is divided into a plurality of portions in a plane that communicates with the inlet and is orthogonal to the axial direction, and outlets that communicate with all the branch channels. A casing having
A valve seat provided at the inlet of the casing;
A valve body housed in the casing and disposed so as to be able to contact and separate from the valve seat of the casing;
The casing is accommodated in the movable member moving chamber independent of the branch flow path, and is disposed so as to be movable in the axial direction. The driving force receiver as it goes from the inlet side to the outlet side of the casing at a portion between an outer surface of the driving force receiving portion and a portion facing the branching channel adjacent to each other and a portion facing the branching channel. A movable member having a plurality of inclined surfaces inclined so as to approach the axis of the part;
An inclined surface that is disposed in a drive member moving chamber of the casing independent of the branch flow path and is movable in a direction orthogonal to the axial direction of the movable member, and on which the inclined surface of the movable member slides A plurality of movable member drives that are biased in a direction in which the inclined surface of the one end always contacts the inclined surface of the movable member by the biasing force of the biasing member disposed on the other end side. Members,
With
Due to the urging force of the urging member, the inclined surface of the movable member driving member is always in contact with the inclined surface of the movable member, and the movable member moves in the axial direction so that the valve body is moved to the valve seat. Provided is a valve characterized by being in a normally closed state upon contact with.

本発明の第２態様によれば、前記ケーシング内の前記可動部材移動室の流体入口側の端部と前記可動部材との間に形成された可動部材駆動室と、
前記可動部材駆動室に連通する可動部材駆動用エア供給通路とをさらに備えて、
前記可動部材駆動用エア供給通路から前記可動部材駆動室にエアが供給されると、前記付勢部材の前記付勢力に抗して前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座から離れて、前記流体が前記入口から前記複数の分岐流路に流れ込み、前記複数の分岐流路から前記出口を経て排出される、第１の態様に記載の弁を提供する。 According to the second aspect of the present invention, the movable member drive chamber formed between the end of the movable member moving chamber in the casing on the fluid inlet side and the movable member;
A movable member driving air supply passage communicating with the movable member driving chamber;
When air is supplied from the air supply passage for driving the movable member to the movable member drive chamber, the movable member moves in the axial direction against the urging force of the urging member, and the valve element moves the valve. The valve according to the first aspect, wherein the valve flows away from the seat and flows into the plurality of branch channels from the inlet and is discharged from the plurality of branch channels via the outlet.

本発明の第３態様によれば、流体の入口と、前記入口に連通されかつ軸方向と直交する面において複数に分割された分岐流路と、全ての前記分岐流路と連通された出口とを有するケーシングと、
前記ケーシングの前記入口に設けられた弁座と、
前記ケーシング内に収納され、前記ケーシングの前記弁座に接離可能に配置された弁体と、
前記ケーシング内に収納され、前記分岐流路とは独立した可動部材移動室内で軸方向に移動可能に配置され、前記弁体に一端が連結され他端側に駆動力受け部を有するとともに、前記駆動力受け部の外面でかつ互いに隣接する前記分岐流路に対向する部分と前記分岐流路に対向する部分との間の部分に、前記ケーシングの入口側から出口側に向かうに従い前記駆動力受け部の軸芯から遠ざかるように傾斜した複数の傾斜面を有する可動部材と、
前記可動部材の軸方向とは直交する方向に移動可能に、前記分岐流路とは独立した前記ケーシングの駆動部材移動室内に配置され、かつ、前記可動部材の前記傾斜面が摺動する傾斜面を一端に有し、他端側に配置された付勢部材の付勢力により前記一端の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触する方向に押圧付勢される複数の可動部材駆動部材と、
を備え、
前記付勢部材の前記付勢力により、前記可動部材駆動部材の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触するとともに、前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座から離れて常時開状態となり、前記流体が前記入口から前記複数の分岐流路に流れ込み、前記複数の分岐流路から前記出口を経て排出されることを特徴とする弁を提供する。 According to the third aspect of the present invention, a fluid inlet, a branch channel that is communicated with the inlet and is divided into a plurality of portions in a plane orthogonal to the axial direction, and an outlet that is communicated with all the branch channels. A casing having
A valve seat provided at the inlet of the casing;
A valve body housed in the casing and disposed so as to be able to contact and separate from the valve seat of the casing;
The casing is accommodated in the movable member moving chamber independent of the branch flow path, and is disposed so as to be movable in the axial direction. The driving force receiver as it goes from the inlet side to the outlet side of the casing at a portion between an outer surface of the driving force receiving portion and a portion facing the branching channel adjacent to each other and a portion facing the branching channel. A movable member having a plurality of inclined surfaces inclined so as to be away from the axis of the part;
An inclined surface that is disposed in a drive member moving chamber of the casing independent of the branch flow path and is movable in a direction orthogonal to the axial direction of the movable member, and on which the inclined surface of the movable member slides A plurality of movable member drives that are biased in a direction in which the inclined surface of the one end always contacts the inclined surface of the movable member by the biasing force of the biasing member disposed on the other end side. Members,
With
Due to the urging force of the urging member, the inclined surface of the movable member driving member is always in contact with the inclined surface of the movable member, and the movable member moves in the axial direction so that the valve body is moved to the valve seat. The valve is characterized in that the valve is normally opened apart from the fluid, and the fluid flows from the inlet into the plurality of branch channels and is discharged from the plurality of branch channels through the outlet.

本発明の第４態様によれば、前記ケーシング内の前記可動部材移動室の流体出口側の端部と前記可動部材との間に形成された可動部材駆動室と、
前記可動部材駆動室に連通する可動部材駆動用エア供給通路とをさらに備えて、
前記可動部材駆動用エア供給通路から前記可動部材駆動室にエアが供給されると、前記付勢部材の前記付勢力に抗して前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座に接触して閉状態となる、第３の態様に記載の弁を提供する。
According to the fourth aspect of the present invention, the movable member drive chamber formed between the end of the movable member moving chamber in the casing on the fluid outlet side and the movable member;
A movable member driving air supply passage communicating with the movable member driving chamber;
When air is supplied from the air supply passage for driving the movable member to the movable member drive chamber, the movable member moves in the axial direction against the urging force of the urging member, and the valve element moves the valve. A valve according to a third aspect is provided, wherein the valve is brought into a closed state upon contact with a seat.

本発明の第５態様によれば、前記ケーシングは、前記可動部材の前記駆動力受け部よりも入口側の部分を覆って前記流路と前記可動部材の前記駆動力受け部よりも前記入口側の部分とを隔離するベロー部を有するとともに、前記ベロー部の先端に前記弁体を一体的に取り付けて、前記ベロー部と前記弁体との間に前記流体が侵入しないようにしている、第１〜４のいずれか１つの態様に記載の弁を提供する。 According to a fifth aspect of the present invention, the casing covers a portion of the movable member that is closer to the inlet side than the driving force receiving portion of the movable member and the inlet side of the flow path and the driving force receiving portion of the movable member. The valve body is integrally attached to the tip of the bellows portion so that the fluid does not enter between the bellows portion and the valve body. The valve according to any one of the aspects 1 to 4 is provided.

本発明の第６態様によれば、前記可動部材駆動部材の前記傾斜面を有する前記一端の側の部分であって前記ケーシングを摺動する底部に、前記可動部材駆動部材の中間部から前記一端に向かうに従い、流体入口側に傾斜する傾斜面を有する第１の態様に記載の弁を提供する。 According to the sixth aspect of the present invention, the end of the movable member driving member on the one end side having the inclined surface and sliding to the bottom from the intermediate portion of the movable member driving member to the one end. The valve according to the first aspect is provided, which has an inclined surface that is inclined toward the fluid inlet side toward the fluid inlet.

本発明の第７態様によれば、前記ケーシング内の前記可動部材移動室に連通するエア通路をさらに備えて、
前記可動部材の移動に伴い、前記エア通路を経て、前記可動部材移動室と弁外部との間でエアーの吸い込み及び排出を行う、第１又は３の態様に記載の弁を提供する。 According to the seventh aspect of the present invention, further comprising an air passage communicating with the movable member moving chamber in the casing,
The valve according to the first or third aspect is provided in which air is sucked and discharged between the movable member moving chamber and the outside of the valve through the air passage as the movable member moves.

本発明の第８態様によれば、前記可動部材駆動部材の前記可動部材の軸方向とは直交する方向の移動を案内するガイド部をさらに備える、第１〜７のいずれか１つの態様に記載の弁を提供する。 According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the first to seventh aspects, the guide further includes a guide portion that guides the movement of the movable member driving member in a direction orthogonal to the axial direction of the movable member. Provide valve.

本発明の第９態様によれば、前記ケーシングと前記可動部材と前記可動部材駆動部材とはフッ素系樹脂で形成されている第１〜８のいずれか１つの態様に記載の弁を提供する。 According to a ninth aspect of the present invention, there is provided the valve according to any one of the first to eighth aspects, wherein the casing, the movable member, and the movable member driving member are formed of a fluorine-based resin.

本発明によれば、パッキングなどを使用することなく、ケーシング内を流体が流れる流路と、可動部材（例えばピストン）を軸方向に移動させる駆動力を作用させる駆動部材移動室とを完全に隔離し、流体が駆動部材移動室内に侵入しないようにしているので、可動部材駆動部材の付勢力を発揮させる付勢部材として、例えば、金属のバネを使用しても、金属のバネと流体とが接触することが全く無くなり、耐薬品性を大幅に向上させることができ、耐食性に優れた弁を提供することができる。また、可動部材駆動部材の配置空間内でバネと可動部材駆動部材との間で発塵が生じたとしても、塵は流体に接触しえないので、流路内に入り込むことが全く無い。 According to the present invention, the flow path through which the fluid flows in the casing and the driving member moving chamber for applying the driving force for moving the movable member (for example, the piston) in the axial direction are completely separated without using packing or the like. However, since fluid does not enter the drive member moving chamber, even if a metal spring is used as an urging member for exerting the urging force of the movable member drive member, for example, the metal spring and the fluid are not There is no contact at all, chemical resistance can be greatly improved, and a valve with excellent corrosion resistance can be provided. Even if dust is generated between the spring and the movable member drive member in the arrangement space of the movable member drive member, the dust cannot contact the fluid and therefore does not enter the flow path at all.

また、本発明の第５態様の構成によれば、前記ケーシングの前記ベロー部により、前記流路と前記可動部材の前記駆動力受け部よりも前記入口側の部分とを隔離することができて、より確実に、前記ベロー部と前記弁体との間に前記流体が侵入しないようにすることができる。 Further, according to the configuration of the fifth aspect of the present invention, the bellows portion of the casing can isolate the flow path and the portion on the inlet side from the driving force receiving portion of the movable member. It is possible to prevent the fluid from entering between the bellows part and the valve body more reliably.

以下、図面を参照して本発明における第１実施形態を詳細に説明する。
本発明の第１の実施形態にかかる弁は、図１Ａ〜図６Ｂに示すように、弁座２２を有するケーシング２０と、弁体４と、可動部材の一例としてのピストン５と、ピストンロッド６と、複数の可動部材駆動部材の一例としてのピストン駆動部材７と、バネケース８と、付勢部材の一例としてのバネ９と、可動部材駆動室の一例としてのピストン駆動室３０と、可動部材駆動用エア供給通路の一例としてのピストン駆動用エア供給通路３１とを備えて構成している。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1A to 6B, the valve according to the first embodiment of the present invention includes a casing 20 having a valve seat 22, a valve body 4, a piston 5 as an example of a movable member, and a piston rod 6. A piston drive member 7 as an example of a plurality of movable member drive members, a spring case 8, a spring 9 as an example of a biasing member, a piston drive chamber 30 as an example of a movable member drive chamber, and a movable member drive And an air supply passage 31 for driving the piston as an example of the air supply passage.

ケーシング２０は、図１Ａの上から下に向けて、流体入口側ケーシング部２と、ベローズ付きケーシング本体部１と、流体出口側ケーシング部３との３つの部品で構成されているが、３つの部品に限定されるものではなく、適宜、一体化又は細分化してもよい。流体入口側ケーシング部２とベローズ付きケーシング本体部１との間はＯリング１４Ａで密閉されている。また、ベローズ付きケーシング本体部１と流体出口側ケーシング部３との間はＯリング１４Ｂで密閉されている。 The casing 20 is composed of three parts, ie, a fluid inlet side casing portion 2, a bellows-equipped casing body portion 1, and a fluid outlet side casing portion 3 from the top to the bottom of FIG. 1A. It is not limited to parts, and may be integrated or subdivided as appropriate. A space between the fluid inlet side casing portion 2 and the casing main body portion 1 with bellows is sealed with an O-ring 14A. The space between the casing body portion 1 with bellows and the fluid outlet side casing portion 3 is sealed with an O-ring 14B.

流体入口側ケーシング部２には、中央に貫通して配置されかつ流体例えば薬液（酸、アルカリ、溶剤などの液体）などの液体の流体入口２０ａと、入口２０ａの内端部に配置された弁座２２と、前記入口２０ａに連通された円環状流路２０ｂとが形成されている。弁座２２は、前記ケーシング２０の前記入口２０ａの内端部に設けられた環状の円錐面で構成されている。流体入口側ケーシング部２の円環状流路２０ｂが形成されている部分の中央部には、内部でピストン５が軸方向に進退可能な、ケーシング本体部１の大略筒状のベローズ部１ｂが入り込んでいる。言い換えれば、流体入口側ケーシング部２の流体出口側の端部内にケーシング本体部１のベローズ部１ｂが入り込んで、円環状流路２０ｂが形成されている。流体入口側ケーシング部２の外側に嵌め込まれている取付用フランジ１６は、入口２０ａに連通させる他の配管を取り付けるためのフランジである。 The fluid inlet side casing portion 2 includes a fluid inlet 20a that is disposed penetrating in the center and that is a fluid such as a fluid such as a chemical (liquid such as acid, alkali, or solvent), and a valve that is disposed at the inner end of the inlet 20a. A seat 22 and an annular channel 20b communicating with the inlet 20a are formed. The valve seat 22 is configured by an annular conical surface provided at the inner end of the inlet 20 a of the casing 20. A substantially cylindrical bellows portion 1b of the casing main body 1 in which the piston 5 can advance and retreat in the axial direction enters the central portion of the fluid inlet side casing portion 2 where the annular channel 20b is formed. It is out. In other words, the bellows portion 1b of the casing body 1 enters the end portion of the fluid inlet side casing portion 2 on the fluid outlet side to form an annular flow path 20b. The mounting flange 16 fitted to the outside of the fluid inlet side casing portion 2 is a flange for mounting another pipe communicating with the inlet 20a.

ケーシング本体部１には、中央部に、流体入口側ケーシング部２の流体出口側の端部内まで入り込むように突出しかつ内部でピストン５が軸方向に進退可能な、ケーシング本体部１のベローズ部１ｂが配置され、その周囲に、流体入口側ケーシング部２の円環状流路２０ｂに連通されて複数に分割された分岐流路２０ｃが間隔を開けて（言い換えれば、ピストン駆動部材配置空間３７が形成される部分に対応する部分を避けて）形成されている。ベローズ部１ｂの先端１ａには、ピストン５の軸先端部５ａにねじ込まれるなどして固定された大略円錐台形状の弁体４がＯリング１０を介して連結されており、ベローズ部１ｂと弁体４とでピストン５を完全に覆って密閉するようにしている。 The casing body portion 1 has a bellows portion 1b of the casing body portion 1 that protrudes into the center portion into the end portion on the fluid outlet side of the fluid inlet side casing portion 2 and in which the piston 5 can advance and retreat in the axial direction. And a branch flow path 20c that is divided into a plurality of parts and communicated with the annular flow path 20b of the fluid inlet side casing portion 2 is spaced apart from each other (in other words, a piston drive member arrangement space 37 is formed. (Avoid the part corresponding to the part to be formed). A substantially truncated cone shaped valve body 4 fixed by being screwed into the shaft tip portion 5a of the piston 5 is connected to the tip 1a of the bellows portion 1b via an O-ring 10, and the bellows portion 1b and the valve The piston 4 is completely covered with the body 4 so as to be sealed.

分岐流路２０ｃは、一例として、図１Ａ〜図２では、ケーシング２０の軸芯周りに１２０度間隔で３個に分割されて配置されている。流体入口２０ａから各分岐流路２０ｃ内に入り込んだ液体が各分岐流路２０ｃ内を円滑に流れるためには、分割された分岐流路２０ｃの合計の流路面積は、入口２０ａの開口面積より大きくするのが好ましい。より円滑に液体を流すためには、分割された分岐流路２０ｃの合計の流路面積は、入口２０ａの開口面積の１．２倍よりも大きくするのが好ましい。ケーシング本体部１は、軸方向と直交する面において、図１Ｃ〜図１Ｅに示すように、隣接する分岐流路２０ｃと分岐流路２０ｃとの間の部分に、後述するピストン駆動部材７が配置されるピストン駆動部材配置空間３７を形成している。ケーシング本体部１の中央部には、分岐流路２０ｃとは独立してピストン５が軸方向に移動する第１ピストン移動室２０ｆと第１ピストン移動室２０ｆよりも大径の第２ピストン移動室２０ｇを有するとともに、その第２ピストン移動室２０ｇの流体出口側の端部にピストンロッド６を固定している。第１ピストン移動室２０ｆと第２ピストン移動室２０ｇとは、可動部材移動室の一例として機能する。第２ピストン移動室２０ｇの流体入口側の端部に、ピストン５の後述する駆動力受け部５ｃとの間に、円環状のピストン駆動室３０を形成している。このピストン駆動室３０は、ピストン５の中間部５ｂと第１ピストン移動室２０ｆの内壁との間をＯリング１１で密封し、駆動力受け部５ｃと第２ピストン移動室２０ｇの内壁との間をＯリング１２で密封することにより、ピストン５とケーシング本体部１との間に形成された密閉空間として構成されている。このピストン駆動室３０には、ケーシング本体部１を径方向に貫通するピストン駆動用エア供給通路３１が連通されており、ピストン駆動用エア供給通路３１からエアがピストン駆動室３０内に供給されると、エアの圧力で、ケーシング本体部１に対してピストン５が下降するように付勢される。ピストン５は、一例として、円柱部材で構成するが、これに限られるものではなく、角柱部材で構成するようにしてもよい。 As an example, in FIG. 1A to FIG. 2, the branch flow path 20 c is divided into three parts at intervals of 120 degrees around the axis of the casing 20. In order for the liquid that has entered the respective branch flow paths 20c from the fluid inlet 20a to smoothly flow in the respective branch flow paths 20c, the total flow area of the divided branch flow paths 20c is larger than the opening area of the inlet 20a. It is preferable to enlarge it. In order to make the liquid flow more smoothly, the total flow area of the divided branch flow paths 20c is preferably larger than 1.2 times the opening area of the inlet 20a. As shown in FIGS. 1C to 1E, the casing main body 1 has a piston drive member 7, which will be described later, arranged in a portion between the adjacent branch flow paths 20 c and 20 c on the surface orthogonal to the axial direction. The piston drive member arrangement space 37 is formed. In the central portion of the casing body 1, a first piston moving chamber 20f in which the piston 5 moves in the axial direction independently of the branch flow path 20c and a second piston moving chamber having a larger diameter than the first piston moving chamber 20f. The piston rod 6 is fixed to the end of the second piston moving chamber 20g on the fluid outlet side. The first piston moving chamber 20f and the second piston moving chamber 20g function as an example of a movable member moving chamber. An annular piston driving chamber 30 is formed at the end of the second piston moving chamber 20g on the fluid inlet side between the piston 5 and a driving force receiving portion 5c described later. The piston drive chamber 30 is sealed between the intermediate portion 5b of the piston 5 and the inner wall of the first piston moving chamber 20f with an O-ring 11, and between the driving force receiving portion 5c and the inner wall of the second piston moving chamber 20g. Is sealed with an O-ring 12 to form a sealed space formed between the piston 5 and the casing body 1. The piston driving chamber 30 is connected to a piston driving air supply passage 31 that passes through the casing body 1 in the radial direction, and air is supplied from the piston driving air supply passage 31 into the piston driving chamber 30. Then, the piston 5 is urged against the casing body 1 by the air pressure. The piston 5 is constituted by a cylindrical member as an example, but is not limited thereto, and may be constituted by a prismatic member.

なお、図１Ａの参照符号１５は、流体入口側ケーシング部２とケーシング本体部１と流体出口側ケーシング部３とを一体的に固定するための固定用フランジボルトである。 1A is a fixing flange bolt for integrally fixing the fluid inlet side casing portion 2, the casing main body portion 1 and the fluid outlet side casing portion 3. As shown in FIG.

流体出口側ケーシング部３には、全ての前記分岐流路２０ｃと連通された流体出口２０ｄが形成されている。流体出口側ケーシング部３の外側に嵌め込まれている取付用フランジ１６は、流体出口２０ｄに連通させる他の配管を取り付けるためのフランジである。 The fluid outlet side casing portion 3 is formed with a fluid outlet 20d communicating with all the branch flow paths 20c. The mounting flange 16 fitted to the outside of the fluid outlet side casing portion 3 is a flange for mounting another pipe communicating with the fluid outlet 20d.

よって、前記ケーシング２０において、液体は、流体入口２０ａから入り、円環状流路２０ｂを経て、分岐流路２０ｃで分岐したのち、全ての前記分岐流路２０ｃから流体出口２０ｄを経て排出されるようになっている。 Therefore, in the casing 20, the liquid enters from the fluid inlet 20a, passes through the annular passage 20b, branches off at the branch passage 20c, and then is discharged from all the branch passages 20c through the fluid outlet 20d. It has become.

ピストン５は、軸方向の先端（入口側の端部）に弁体４を固定して、ピストン５の軸方向の移動により、ケーシング２０内で、弁体４がケーシング２０の弁座２２に接離可能となっている。すなわち、ピストン５は、弁体４が固定される小径の軸先端部５ａと、軸先端部５ａに続き軸先端部５ａより大径の円柱状の中間部５ｂと、中間部５ｂに続き中間部５ｂよりも大径の円柱状でかつ１２０度間隔に傾斜面５ｅを有する駆動力受け部５ｃと、駆動力受け部５ｃに続き駆動力受け部５ｃよりも小径の円柱状のガイド軸部５ｄとで構成されている。傾斜面５ｅは、駆動力受け部５ｃの外面でかつ互いに隣接する分岐流路２０ｃに対向する部分と分岐流路２０ｃに対向する部分との間の部分に配置されている。中間部５ｂは、その周囲がケーシング本体部１のベローズ部１ｂで完全に覆われており、ベローズ部１ｂでその内部に第１ピストン移動室２０ｆを形成し、第１ピストン移動室２０ｆ内で軸方向に自在に中間部５ｂが移動可能となっている。また、駆動力受け部５ｃは、ケーシング本体部１の第２ピストン移動室２０ｇ内で軸方向に自在に移動可能となっている。 The piston 5 fixes the valve body 4 to the tip in the axial direction (end on the inlet side), and the valve body 4 contacts the valve seat 22 of the casing 20 in the casing 20 by the movement of the piston 5 in the axial direction. It is possible to separate. That is, the piston 5 includes a small-diameter shaft tip portion 5a to which the valve body 4 is fixed, a cylindrical intermediate portion 5b having a larger diameter than the shaft tip portion 5a following the shaft tip portion 5a, and an intermediate portion following the intermediate portion 5b. A driving force receiving portion 5c having a cylindrical shape larger in diameter than 5b and having inclined surfaces 5e at intervals of 120 degrees; a cylindrical guide shaft portion 5d having a diameter smaller than that of the driving force receiving portion 5c following the driving force receiving portion 5c; It consists of The inclined surface 5e is disposed on the outer surface of the driving force receiving portion 5c and between the portion facing the branch flow channel 20c adjacent to each other and the portion facing the branch flow channel 20c. The periphery of the intermediate portion 5b is completely covered with the bellows portion 1b of the casing body 1. The bellows portion 1b forms a first piston moving chamber 20f therein, and a shaft is formed in the first piston moving chamber 20f. The intermediate part 5b can move freely in the direction. Further, the driving force receiving portion 5c is freely movable in the axial direction in the second piston moving chamber 20g of the casing body portion 1.

ピストンロッド６は、ピストン５の流体出口側に配置されており、ケーシング本体部１の第２ピストン移動室２０ｇの流体出口側の端部にＯリング１３を介して密閉しつつ固定されている。図４にも示されるように、ピストンロッド６は、軸直交方向沿いに配置された入口側の面６ａに、その面６ａから軸方向の入口側に突出してピストン駆動部材７の進退移動、すなわち、ピストン駆動部材７の底面及び両側面の移動を摺動自在に案内するピストン駆動部材ガイド部６ｂを１２０度間隔で備えているとともに、中央部に、ピストン５のガイド軸部５ｄが自在に移動するガイド穴６ｃを有している。ピストン駆動部材ガイド部６ｂとピストン駆動部材７との位置関係を合わせるため、ピストンロッド６は、ケーシング本体部１に対してその軸回りに回転しないように、溶接などにより固定されている。好ましくは、ピストンロッド６の全周囲とケーシング本体部１とを溶接により固着し（図１Ａの符号５０の溶接部分を参照）、この固着部分から分岐流路２０ｃ又は流体出口２０ｄを流れる流体が全く侵入できないようにするのが好ましい。 The piston rod 6 is disposed on the fluid outlet side of the piston 5, and is fixed to the end portion on the fluid outlet side of the second piston moving chamber 20 g of the casing body 1 through an O-ring 13 while being sealed. As shown also in FIG. 4, the piston rod 6 protrudes from the surface 6a to the inlet side in the axial direction on the inlet side surface 6a arranged along the direction perpendicular to the axis, that is, the piston drive member 7 moves forward and backward. The piston drive member 7 is provided with piston drive member guide portions 6b that slidably guide the movement of the bottom surface and both side surfaces of the piston drive member 7 at intervals of 120 degrees, and the guide shaft portion 5d of the piston 5 is freely movable in the center portion. It has a guide hole 6c. In order to match the positional relationship between the piston drive member guide portion 6b and the piston drive member 7, the piston rod 6 is fixed to the casing body portion 1 by welding or the like so as not to rotate about its axis. Preferably, the entire circumference of the piston rod 6 and the casing main body 1 are fixed by welding (see the welded portion denoted by reference numeral 50 in FIG. 1A), and no fluid flows from the fixed portion to the branch flow path 20c or the fluid outlet 20d. It is preferable to prevent entry.

よって、弁体４とピストン５の中間部５ｂとの間はＯリング１０で密閉され、ピストンロッド６とケーシング本体部１との間はＯリング１３で密閉されているため、第１ピストン移動室２０ｆ及び第２ピストン移動室２０ｇ内には、液体が入り込まないようになっている。 Therefore, since the space between the valve body 4 and the intermediate portion 5b of the piston 5 is sealed by the O-ring 10, and the space between the piston rod 6 and the casing body portion 1 is sealed by the O-ring 13, the first piston moving chamber. The liquid does not enter 20f and the second piston moving chamber 20g.

一方、ケーシング本体部１であって、かつ、ピストン５の駆動力受け部５ｃに対向する部分であってかつピストンロッド６の上方において、弁の中心軸回りに１２０度間隔を開けて、駆動部材移動室の一例として機能するピストン駆動部材配置空間３７に、３個のピストン駆動部材７が配置されている。各ピストン駆動部材配置空間３７は、分岐流路２０ｃとは完全に独立しており、薬液が誤って侵入することはないようにしている。その理由は、前記したように、２つのＯリング１０と１３（さらには、溶接部分５０をピストンロッド６の全周に設けた場合には、溶接部分５０）とにより、第１ピストン移動室２０ｆ及び第２ピストン移動室２０ｇ内には、液体が入り込まないようになっているため、第２ピストン移動室２０ｇにピストン駆動部材７が入り込んでも、ピストン駆動部材配置空間３７、すなわち、後述するピストン駆動部材７及びバネ９及びバネ収納部材８内のピストン駆動部材配置空間３７には、薬液が誤って侵入することはない。 On the other hand, the casing body 1 is a portion facing the driving force receiving portion 5c of the piston 5 and above the piston rod 6, with a 120 degree interval around the central axis of the valve, and a driving member Three piston drive members 7 are arranged in a piston drive member arrangement space 37 that functions as an example of a moving chamber. Each piston drive member arrangement space 37 is completely independent of the branch flow path 20c, so that the chemical solution does not enter by mistake. The reason for this is that, as described above, the first piston moving chamber 20f is formed by the two O-rings 10 and 13 (or the welded portion 50 when the welded portion 50 is provided on the entire circumference of the piston rod 6). Since the liquid does not enter the second piston moving chamber 20g, even if the piston driving member 7 enters the second piston moving chamber 20g, the piston driving member arrangement space 37, that is, piston driving described later. The chemical liquid does not intrude into the piston drive member arrangement space 37 in the member 7, the spring 9, and the spring housing member 8 by mistake.

図５にも示されるように、各ピストン駆動部材７は、前記弁の軸方向と直交する方向に、弁の中心軸に向けて進退移動自在にピストン駆動部材配置空間３７内に配置されている。すなわち、ピストン駆動部材７の長手方向の一端部には、流体入口側から流体出口側に向かうに従い弁の中心軸に接近するような傾斜面７ｅを有して、傾斜面７ｅがピストン５の傾斜面５ｅに摺動自在に接触して、ピストン駆動部材７の軸方向と直交する方向の移動による押圧力を、傾斜面７ｅと傾斜面５ｅとの摺動により、ピストン５の軸方向の移動力に変換して、ピストン５を軸方向に移動する駆動力として働くようにしている。ピストン５の軸方向の移動量とピストン駆動部材７からピストン５への駆動力の伝達効率などを考慮すると、傾斜面７ｅと傾斜面５ｅとの傾斜角度は、一例として６０度又は６０度程度とするのがよい。 As shown in FIG. 5, each piston drive member 7 is arranged in the piston drive member arrangement space 37 so as to be movable back and forth toward the central axis of the valve in a direction orthogonal to the axial direction of the valve. . That is, the longitudinal end of the piston drive member 7 has an inclined surface 7e that approaches the central axis of the valve from the fluid inlet side toward the fluid outlet side. The slidable contact with the surface 5e, the pressing force due to the movement of the piston drive member 7 in the direction perpendicular to the axial direction is applied, and the sliding force between the inclined surface 7e and the inclined surface 5e causes the axial movement force of the piston 5 to move. In other words, the piston 5 works as a driving force for moving the piston 5 in the axial direction. Considering the amount of movement of the piston 5 in the axial direction and the transmission efficiency of the driving force from the piston driving member 7 to the piston 5, the inclination angle between the inclined surface 7e and the inclined surface 5e is, for example, about 60 degrees or about 60 degrees. It is good to do.

ピストン駆動部材７の長手方向の他端部には、その長手方向に沿ってバネ９の先端部を収納する凹部７ａを有する。また、ピストン駆動部材７の中間部から基端部の全体及びバネ９の基端部を収納する凹部８ａを有するバネ収納部材８を、ケーシング本体部１に１２０度間隔で備えている。具体的には、バネ収納部材８の外周の雄ねじ部８ｂがケーシング本体部１のピストン駆動部材配置空間３７に形成したネジ穴２０ｈ内にねじまれて固定されている。よって、バネ収納部材８とピストン駆動部材７との間にバネ９が縮められて配置され、バネ９の付勢力が、常に、ピストン駆動部材７を弁の中心軸側に押しやる方向に作用するようにしている。この結果、ピストン駆動部材７の傾斜面７ｅがピストン５の傾斜面５ｅに摺動自在に常に接触し、ピストン駆動部材７のピストン５に対する押圧力でもって、ピストン５が上昇して、弁体４が弁座２２に常時接触することになる一方、前記したように、ピストン駆動用エア供給通路３１からエアがピストン駆動室３０内に供給されると、エアの圧力で、バネ９の付勢力に抗して、ケーシング本体部１に対してピストン５が下降するように付勢されて、弁体４が弁座２２から離れるようにしている。バネ９は、一例として、コイルバネより構成する。付勢部材としては、バネに限定されるものではなく、ゴム、又は、エアダンパーなど、バネ９と同様な機能を発揮することができる部材をバネに代えて使用することができる。 The other end of the piston drive member 7 in the longitudinal direction has a recess 7a for accommodating the tip of the spring 9 along the longitudinal direction. Further, the casing main body portion 1 is provided with spring housing members 8 having recesses 8a for housing the whole base end portion from the intermediate portion of the piston drive member 7 and the base end portion of the spring 9 at intervals of 120 degrees. Specifically, the external thread portion 8 b on the outer periphery of the spring housing member 8 is screwed and fixed in a screw hole 20 h formed in the piston drive member arrangement space 37 of the casing body 1. Therefore, the spring 9 is disposed in a contracted state between the spring housing member 8 and the piston drive member 7, and the urging force of the spring 9 always acts in the direction of pushing the piston drive member 7 toward the central axis of the valve. I have to. As a result, the inclined surface 7e of the piston driving member 7 always comes into slidable contact with the inclined surface 5e of the piston 5, and the piston 5 is raised by the pressing force of the piston driving member 7 against the piston 5, so that the valve body 4 Is constantly in contact with the valve seat 22, as described above, when air is supplied from the piston drive air supply passage 31 into the piston drive chamber 30, the biasing force of the spring 9 is increased by the air pressure. On the contrary, the piston 5 is urged against the casing body 1 so that the valve body 4 is separated from the valve seat 22. As an example, the spring 9 is constituted by a coil spring. The biasing member is not limited to a spring, and a member that can exhibit the same function as the spring 9 such as rubber or an air damper can be used instead of the spring.

なお、ケーシング本体部１のネジ穴２０ｈに対してバネ収納部材８の雄ねじ部８ｂを取り外す方向に回転させれば、バネ収納部材８をケーシング本体部１から容易に取り外すことができ、ピストン駆動部材配置空間３７に配置されたバネ９及びピストン駆動部材７が流体と接触していないことの確認（流体のリークの有無の確認）、又は、バネ９の状態などの各種確認作業を簡単に行うことができる。さらに、確認作業の際に発塵が生じたり、また、バネ９の伸縮動作により発塵が生じたりしても、発生した塵は流体とは接触しないので、流体を汚染することが全くない。 If the male threaded portion 8b of the spring housing member 8 is rotated in the direction of removing the male threaded portion 8b of the spring housing member 8 with respect to the screw hole 20h of the casing body portion 1, the spring housing member 8 can be easily removed from the casing body portion 1, and the piston drive member Confirmation that the spring 9 and the piston driving member 7 arranged in the arrangement space 37 are not in contact with the fluid (confirmation of the presence or absence of fluid leakage) or various confirmation operations such as the state of the spring 9 are easily performed. Can do. Furthermore, even if dust generation occurs during the confirmation work or dust generation occurs due to the expansion / contraction operation of the spring 9, the generated dust does not come into contact with the fluid, so that the fluid is not contaminated at all.

前記弁の各部品の材質の一例としては以下のようなものが挙げられる。薬液と接触する可能性のある部分、例えば、流体入口側ケーシング部２と、ベローズ付きケーシング本体部１と、流体出口側ケーシング部３と、弁体４とは、フッ素樹脂、例えば、ポリテトラ・フルオロエチレン（PTFE）で構成されているのが、耐薬品性の点で好ましい。また、ピストン５は、フッ素樹脂、例えば、ポリフッ化ビニリデン（PVDF）で構成されているのが、耐薬品性及び機械的特性の点で好ましい。ピストンロッド６及びピストン駆動部材７は、フッ素樹脂、例えば、ポリクロロトリフルオロエチレン（PCTFE）で構成されているのが、耐薬品性及び機械的特性の点で好ましい。バネ９は、薬液に接触することがないため、通常の汎用されているステンレス鋼などの金属でよい。 Examples of the material of each part of the valve include the following. Parts that may come into contact with the chemical solution, for example, the fluid inlet side casing portion 2, the casing main body portion 1 with bellows, the fluid outlet side casing portion 3, and the valve body 4 are made of fluororesin, for example, polytetrafluoro It is preferable in terms of chemical resistance that it is composed of ethylene (PTFE). The piston 5 is preferably made of a fluororesin such as polyvinylidene fluoride (PVDF) from the viewpoint of chemical resistance and mechanical properties. The piston rod 6 and the piston driving member 7 are preferably made of a fluororesin such as polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) from the viewpoint of chemical resistance and mechanical properties. Since the spring 9 does not come into contact with the chemical solution, the spring 9 may be a metal such as an ordinary stainless steel.

前記構成にかかる弁は、以下のようにして作用する。 The valve according to the configuration operates as follows.

まず、常時は、図１Ａ及び図６Ａに示すように、３個のバネ９の付勢力により、３個のピストン駆動部材７の傾斜面７ｅがピストン５の３個の傾斜面５ｅに接触して、ピストン駆動部材７からの押圧力により、ピストン５が上昇させられて、ピストン５の先端の弁体４が弁座２２に常時接触して、閉位置をとるようになっている。この閉位置では、図６Ａに示すように、ケーシング本体部１のベローズ部１ｂが伸びた状態となっている。この閉位置となると、液体の流体入口側ケーシング部２の流体入口２０ａから円環状流路２０ｂ内への流入が停止させられる。 First, as shown in FIGS. 1A and 6A, the inclined surfaces 7 e of the three piston drive members 7 come into contact with the three inclined surfaces 5 e of the piston 5 by the urging forces of the three springs 9. The piston 5 is raised by the pressing force from the piston drive member 7, and the valve body 4 at the tip of the piston 5 is always in contact with the valve seat 22 to take the closed position. In this closed position, as shown in FIG. 6A, the bellows portion 1b of the casing body 1 is in an extended state. When this closed position is reached, the inflow of the liquid from the fluid inlet 20a of the fluid inlet side casing portion 2 into the annular channel 20b is stopped.

一方、図２及び図６Ｂに示すように、ピストン駆動用エア供給通路３１から（図２の矢印（１）参照）エアがピストン駆動室３０内に供給されると（図２の矢印（２）参照）、ピストン駆動室３０内のエアの圧力が上昇し、エアの圧力でケーシング本体部１に対してピストン５が下降するような押し下げ力が働く（図２の矢印（３）参照）。この押し下げ力により、ピストン５の各傾斜面５ｅが３個のピストン駆動部材７の傾斜面７ｅを押圧して（図２の矢印（４）参照）、各ピストン駆動部材７と各バネ収納部材８との間のバネ９を縮めて、ピストン駆動部材７をバネ収納部材８内に後退させる。よって、バネ９の付勢力に抗して、ケーシング本体部１に対してピストン５が下降して（図２の矢印（５）参照）、弁体４が弁座２２から離れて開位置となる。この開位置では、図６Ｂに示すように、ケーシング本体部１のベローズ部１ｂが縮んだ状態となっている。弁体４が前記弁座２２から離れて開位置となると、液体が流体入口側ケーシング部２の流体入口２０ａから円環状流路２０ｂ内に入り、ケーシング本体部１の３個の分岐流路２０ｃを通過し、流体出口側ケーシング部３の流体出口２０ｄから排出される。 On the other hand, as shown in FIGS. 2 and 6B, when air is supplied from the piston drive air supply passage 31 (see arrow (1) in FIG. 2) into the piston drive chamber 30 (arrow (2) in FIG. 2). Reference), the pressure of the air in the piston drive chamber 30 rises, and a push-down force that lowers the piston 5 with respect to the casing main body 1 by the air pressure acts (see arrow (3) in FIG. 2). By this pressing force, each inclined surface 5e of the piston 5 presses the inclined surfaces 7e of the three piston drive members 7 (see arrow (4) in FIG. 2), and each piston drive member 7 and each spring housing member 8 are pressed. The piston 9 is retracted into the spring housing member 8 by contracting the spring 9 therebetween. Therefore, against the biasing force of the spring 9, the piston 5 descends with respect to the casing body 1 (see arrow (5) in FIG. 2), and the valve body 4 moves away from the valve seat 22 to the open position. . In this open position, as shown in FIG. 6B, the bellows portion 1b of the casing body 1 is in a contracted state. When the valve body 4 is separated from the valve seat 22 and is in the open position, the liquid enters the annular flow passage 20b from the fluid inlet 20a of the fluid inlet side casing portion 2, and the three branch flow passages 20c of the casing main body portion 1 are obtained. Is discharged from the fluid outlet 20d of the fluid outlet side casing 3.

前記実施形態によれば、液体の流れる流路と、バネ９が動作するピストン駆動部材配置空間３７とが完全に分離されて、液体がバネ９が動作する空間内に入り込まないため、バネ９を金属で構成しても腐食することがなく、常時閉位置に弁体４と弁座２２との関係を維持するバネ９を使用しつつも耐食性に優れた弁を提供することができる。 According to the embodiment, since the flow path through which the liquid flows and the piston drive member arrangement space 37 in which the spring 9 operates are completely separated, the liquid does not enter the space in which the spring 9 operates. It is possible to provide a valve having excellent corrosion resistance while using the spring 9 that maintains the relationship between the valve body 4 and the valve seat 22 in the normally closed position without being corroded even when made of metal.

また、バネ収納部材８をケーシング本体部１にねじで連結しているたけであるため、ねじを緩めれば、バネ収納部材８をケーシング本体部１から容易に取り外すことができ、ピストン駆動部材配置空間３７に配置されたバネ９及びピストン駆動部材７が流体と接触していないことの確認（流体のリークの有無の確認）、又は、バネ９の状態などの各種確認作業を簡単に行うことができる。 Further, since the spring housing member 8 is merely connected to the casing main body 1 with a screw, if the screw is loosened, the spring housing member 8 can be easily detached from the casing main body 1 and the piston drive member is arranged. Confirmation that the spring 9 and the piston driving member 7 disposed in the space 37 are not in contact with the fluid (confirmation of the presence or absence of fluid leakage) or various confirmation operations such as the state of the spring 9 can be easily performed. it can.

さらに、確認作業の際に発塵が生じたり、又は、バネ９の伸縮動作により発塵が生じても、発生した塵は流体とは接触しないので、流体を汚染することが全くない。 Furthermore, even if dust generation occurs during the confirmation work or dust generation occurs due to the expansion and contraction of the spring 9, the generated dust does not come into contact with the fluid, so that the fluid is not contaminated at all.

これに対して、従来、流路内にバネがある場合には、たとえ、シール部材で流路とバネを収納している空間とを密閉していたとしても、何らかのトラブルが生じたとき、シール部材での密閉を解除して、バネを収納している空間内の流体のリークなどを確認すると、バネの伸縮作用に伴って発生した塵が流路内に誤って入り込んだりしてしまい、汚染が生じてしまうといった課題がある。ところが、本発明によれば、バネ９が収納されているピストン駆動部材配置空間３７と流路２０ｃとを完全に隔離して分離しているため、ピストン駆動部材配置空間３７をあけて、バネ９を取り出したり、流体のリークを確認するなどの作業をしても、流路２０ｃを全く開くことにならず、バネ９の伸縮作用に伴って発生した塵が流路２０ｃ内に誤って入り込む可能性が全く無い。 On the other hand, conventionally, when there is a spring in the flow path, even if the flow path and the space containing the spring are sealed with a seal member, When the airtightness of the member is released and fluid leakage in the space containing the spring is confirmed, dust generated by the expansion and contraction of the spring may accidentally enter the flow path, causing contamination. There is a problem that will occur. However, according to the present invention, the piston drive member arrangement space 37 in which the spring 9 is housed and the flow path 20c are completely separated and separated. Even if an operation such as taking out the liquid or checking for fluid leakage is performed, the flow path 20c is not opened at all, and dust generated due to the expansion and contraction of the spring 9 can accidentally enter the flow path 20c. There is no sex at all.

なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can implement in another various aspect.

例えば、前記実施形態では、弁体４とベロー部１ｂとは別々に設けていたが、図７に示すように、弁体４Ａとベロー部１ｂとを一体成形により形成するようにしてもよい。このようにすれば、弁体４とピストン５との間に設けていたＯリング１０を不要とすることができる。 For example, in the above embodiment, the valve body 4 and the bellows portion 1b are provided separately. However, as shown in FIG. 7, the valve body 4A and the bellows portion 1b may be formed by integral molding. In this way, the O-ring 10 provided between the valve body 4 and the piston 5 can be eliminated.

また、図８に示すように、ピストン駆動部材７の長手方向の傾斜面７ｅが形成されている先端部側の底部分（可動部材駆動部材の前記傾斜面を有する前記一端の側の部分）が、ピストン駆動部材７の中間部から前記一端に向かうに従い、ピストン駆動部材配置空間３７の摺動面よりも流体入口側に傾斜した傾斜面７ｆを形成して、ピストン駆動部材７がピストンロッド６の上面６ａ及びケーシング本体部１に対してより円滑に摺動するようにしてもよい。特に、ピストン駆動部材７がバネ収納部材８内に入り込むようにピストン側から後退するときに、傾斜面７ｆが形成されていることによりピストン５からピストン駆動部材７に作用する押圧力を分散することができて、ピストンロッド６の上面６ａ及びケーシング本体部１に対してピストン駆動部材７が円滑に摺動することができる。 Further, as shown in FIG. 8, the bottom portion (the portion on the one end side having the inclined surface of the movable member driving member) where the inclined surface 7e in the longitudinal direction of the piston driving member 7 is formed. As the piston drive member 7 moves from the intermediate portion toward the one end, an inclined surface 7f inclined toward the fluid inlet side of the sliding surface of the piston drive member arrangement space 37 is formed. You may make it slide more smoothly with respect to the upper surface 6a and the casing main-body part 1. FIG. In particular, when the piston drive member 7 moves backward from the piston side so as to enter the spring housing member 8, the inclined surface 7f is formed to disperse the pressing force acting on the piston drive member 7 from the piston 5. As a result, the piston drive member 7 can slide smoothly with respect to the upper surface 6a of the piston rod 6 and the casing body 1.

また、図９に示すように、ピストン５のガイド軸部５ｄを角柱にするとともに、ピストンロッド６のガイド穴６ｃを角柱のガイド軸部５ｄが自在に移動する角穴に形成して、ピストン５がピストンロッド６に対して相対的に回転することなく、軸方向にのみ円滑に案内されるようにしてもよい。 Further, as shown in FIG. 9, the guide shaft portion 5d of the piston 5 is formed into a prism, and the guide hole 6c of the piston rod 6 is formed into a square hole in which the guide shaft portion 5d of the prism can freely move. May be smoothly guided only in the axial direction without rotating relative to the piston rod 6.

また、ピストン駆動部材７とバネ９とバネ収納部材８とで構成するピストン駆動機構は、弁の中心軸回りに１２０度間隔に３個設けるものに限らず、図１０に示すように、弁の中心軸回りに９０度間隔に４個設けたり、図１１に示すように、弁の中心軸回りに１８０度間隔に２個設けるようにしてもよい。ピストン駆動機構を前記実施形態のように１２０度間隔に３個設ける場合には、ピストン駆動部材７からの駆動力をピストン５に安定して伝達することができる。ピストン駆動機構を図１０のように９０度間隔に４個設ける場合には、バネ９の付勢力を、３個の配置する場合よりも小さくすることができる。ピストン駆動機構を図１１のように１８０度間隔に２個設ける場合には、流路２０ｃを大きく形成することができる。なお、ピストン駆動機構を２個設ける場合には、ピストン駆動部材７をより安定して移動させるため、ピストン駆動部材７の先端の傾斜面７ｅの両側をピストン５に向けて突出ガイド部７ｇとして突出させ、ピストン５の傾斜面５ｅの両側に、前記突出ガイド部７ｇをそれぞれ摺動可能に収納する凹部５ｇを形成するようにしてもよい。 Further, the piston drive mechanism composed of the piston drive member 7, the spring 9 and the spring housing member 8 is not limited to three provided at intervals of 120 degrees around the central axis of the valve, but as shown in FIG. Four may be provided at intervals of 90 degrees around the central axis, or two may be provided at intervals of 180 degrees around the central axis of the valve as shown in FIG. When three piston driving mechanisms are provided at intervals of 120 degrees as in the above embodiment, the driving force from the piston driving member 7 can be stably transmitted to the piston 5. When four piston drive mechanisms are provided at intervals of 90 degrees as shown in FIG. 10, the urging force of the spring 9 can be made smaller than when three are provided. When two piston drive mechanisms are provided at intervals of 180 degrees as shown in FIG. 11, the flow path 20c can be formed larger. When two piston drive mechanisms are provided, in order to move the piston drive member 7 more stably, both sides of the inclined surface 7e at the tip of the piston drive member 7 project toward the piston 5 as projecting guide portions 7g. In addition, on both sides of the inclined surface 5e of the piston 5, recesses 5g for accommodating the projecting guide portions 7g in a slidable manner may be formed.

また、図１２及び図１３に示すように、常時閉型の弁ではなく、チェック弁として使用することもできる。すなわち、流体入口側ケーシング部２の流体入口２０ａ内の流体、例えば液体の圧力が所定圧力以上になると、バネ９の付勢力に抗して、液体の圧力により弁体４が弁座２２が離れて弁の流路内に液体が流れて、流体入口側ケーシング部２の流体入口２０ａ内の圧力を下げるようにすることができる。この場合、図１Ａのピストン駆動用エア供給通路３１の代わりに、ピストン駆動室エア抜き通路３９を配置して、液体の圧力により弁体４が弁座２２が離れて、ピストン５が下降するとき、弁の外側の空気をピストン駆動室３０内に自動的に吸い込む（図１３参照）一方、液体の圧力が所定圧力未満となり、バネ９の付勢力により、ピストン５が上昇して弁体４が弁座２２に接触するとき、ピストン駆動室３０内のエアを自動的に排出することにより（図１２参照）、ピストン５がケーシング２０内で円滑に移動するようにしている。なお、図１２及び図１３では、弁体４Ａとベロー部１ｂとを一体成形により形成したタイプの弁となっているが、これに限られるものではなく、図１Ａのように弁体４とベロー部１ｂとは別々に設けるようにしてもよい。 Moreover, as shown in FIG.12 and FIG.13, it can also be used as a check valve instead of a normally closed valve. That is, when the pressure of the fluid, for example, the liquid in the fluid inlet 20a of the fluid inlet side casing portion 2 exceeds a predetermined pressure, the valve body 4 is separated from the valve seat 22 by the pressure of the liquid against the biasing force of the spring 9. The liquid can flow into the flow path of the valve, and the pressure in the fluid inlet 20a of the fluid inlet side casing portion 2 can be lowered. In this case, when the piston drive chamber air vent passage 39 is arranged instead of the piston drive air supply passage 31 of FIG. 1A and the valve body 4 is separated from the valve seat 22 by the liquid pressure, the piston 5 is lowered. On the other hand, the air outside the valve is automatically sucked into the piston drive chamber 30 (see FIG. 13). On the other hand, the pressure of the liquid becomes less than a predetermined pressure, and the urging force of the spring 9 raises the piston 5 to When the valve seat 22 is contacted, the air in the piston drive chamber 30 is automatically discharged (see FIG. 12), so that the piston 5 moves smoothly in the casing 20. 12 and 13, the valve body 4A and the bellows portion 1b are formed by integral molding. However, the valve body 4A and the bellows 1b are not limited to this type. You may make it provide separately from the part 1b.

なお、図１２及び図１３に示す弁をインラインとして配置した場合には、チェック弁として使用することができるが、図１２及び図１３に示す弁をライン外に配置した場合には、リリーフ弁として機能させることもできる。 In addition, when the valve shown in FIGS. 12 and 13 is arranged in-line, it can be used as a check valve. However, when the valve shown in FIGS. 12 and 13 is arranged outside the line, it can be used as a relief valve. It can also function.

また、図１４及び図１５に示すように、バネ９の付勢力により、弁体４を弁座２２に対して常時閉位置に付勢するのではなく、常時開位置に位置するように付勢させる常時開形式の弁として構成してもよい。この場合、図１Ａ及び図２の常時閉位置に弁体４を弁座２２に対して位置させる型式の弁と比較して、ピストン駆動機構をピストン５の駆動力受け部５ｃの流体出口側の端部ではなく、流体入口側に設けるようにして、バネ９の付勢力により、ピストン５が常時下降するように付勢させるようにしてもよい。このため、傾斜面の傾斜角度が１８０度異なっている。すなわち、ピストン駆動部材７の長手方向の一端部には、流体入口側から流体出口側に向かうに従い弁の中心軸から遠ざかるような傾斜面７ｊを有するとともに、ピストン５の駆動力受け部５ｃの流体入口側の端部に、前記傾斜面７ｊを摺動する傾斜面５ｊを形成するようにしてもよい。このとき、第２ピストン移動室２０ｇの流体出口側の端部に、ピストン５の駆動力受け部５ｃとの間に、ピストン駆動室３０と同様な円環状のピストン駆動室３０Ｂを形成している。このピストン駆動室３０Ｂには、ピストン駆動用エア供給通路３１と同様に、ケーシング本体部１を径方向に貫通するピストン駆動用エア供給通路３１Ｂが連通している。また、ピストン駆動部材ガイド部６ｂと同様なピストン駆動部材ガイド部２０ｋを、第１ピストン移動室２０ｆと第２ピストン移動室２０ｇとの境界部分の軸方向と直交する面沿いに形成して、ピストン駆動部材ガイド部６ｂと同様に、ピストン駆動部材ガイド部２０ｋにより、ピストン駆動部材７の移動を案内するようにしている。 Further, as shown in FIGS. 14 and 15, the urging force of the spring 9 urges the valve body 4 not to urge the valve seat 22 to the normally closed position, but to occupy the normally open position. It may be configured as a normally open valve. In this case, as compared with a valve of the type in which the valve body 4 is positioned with respect to the valve seat 22 in the normally closed position of FIGS. 1A and 2, the piston drive mechanism is located on the fluid outlet side of the driving force receiving portion 5 c of the piston 5. The piston 5 may be urged so as to be always lowered by the urging force of the spring 9 so as to be provided not on the end but on the fluid inlet side. For this reason, the inclination angles of the inclined surfaces differ by 180 degrees. That is, at one end of the piston drive member 7 in the longitudinal direction, there is an inclined surface 7j that moves away from the central axis of the valve from the fluid inlet side toward the fluid outlet side, and the fluid of the driving force receiving portion 5c of the piston 5 You may make it form the inclined surface 5j which slides the said inclined surface 7j in the edge part by the side of an entrance. At this time, an annular piston drive chamber 30B similar to the piston drive chamber 30 is formed between the end of the second piston moving chamber 20g on the fluid outlet side and the drive force receiving portion 5c of the piston 5. . Similar to the piston drive air supply passage 31, the piston drive chamber 30 </ b> B communicates with a piston drive air supply passage 31 </ b> B that penetrates the casing body 1 in the radial direction. Further, a piston drive member guide portion 20k similar to the piston drive member guide portion 6b is formed along a plane perpendicular to the axial direction of the boundary portion between the first piston movement chamber 20f and the second piston movement chamber 20g. Similarly to the drive member guide portion 6b, the piston drive member 7 is guided by the piston drive member guide portion 20k.

前記常時開形式の弁の構成において、まず、常時は、図１４に示すように、３個のバネ９の付勢力により、３個のピストン駆動部材７の傾斜面７ｊがピストン５の３個の傾斜面５ｊに接触して、ピストン駆動部材７からの押圧力により、ピストン５が下降させられて、ピストン５の先端の弁体４が弁座２２から常時離れて、開位置をとるようになっている。この開位置となると、液体が流体入口側ケーシング部２の流体入口２０ａから円環状流路２０ｂ内に入り、ケーシング本体部１の３個の分岐流路２０ｃを通過し、流体出口側ケーシング部３の流体出口２０ｄから排出される。 In the configuration of the normally open type valve, first, as shown in FIG. 14, the three inclined surfaces 7j of the three piston drive members 7 are formed by three biasing forces of the three springs 9 as shown in FIG. The piston 5 is lowered by the pressing force from the piston driving member 7 in contact with the inclined surface 5j, and the valve body 4 at the tip of the piston 5 is always separated from the valve seat 22 and takes the open position. ing. When in this open position, the liquid enters the annular flow path 20b from the fluid inlet 20a of the fluid inlet side casing portion 2, passes through the three branch flow paths 20c of the casing body 1, and then flows to the fluid outlet side casing portion 3. From the fluid outlet 20d.

一方、図１５に示すように、ピストン駆動用エア供給通路３１Ｂからエアがピストン駆動室３０Ｂ内に供給されると、ピストン駆動室３０Ｂ内のエアの圧力が上昇し、エアの圧力でケーシング本体部１に対してピストン５が上昇するような押し上げ力が働く。この押し上げ力により、ピストン５の各傾斜面５ｊが３個のピストン駆動部材７の傾斜面７ｊを押圧して、各ピストン駆動部材７と各バネ収納部材８との間のバネ９を縮めて、ピストン駆動部材７をバネ収納部材８内に後退させる。よって、バネ９の付勢力に抗して、ケーシング本体部１に対してピストン５が上昇して、弁体４が弁座２２に接触して閉位置となる。この閉位置となると、液体の流体入口側ケーシング部２の流体入口２０ａから円環状流路２０ｂ内への流入が停止させられる。なお、図１４及び図１５では、弁体４Ａとベロー部１ｂとを一体成形により形成したタイプの弁となっているが、これに限られるものではなく、図１Ａのように弁体４とベロー部１ｂとは別々に設けるようにしてもよい。 On the other hand, as shown in FIG. 15, when the air is supplied from the piston drive air supply passage 31B into the piston drive chamber 30B, the pressure of the air in the piston drive chamber 30B rises, and the pressure of the air causes the casing main body portion. A pushing force that raises the piston 5 relative to 1 works. By this pushing-up force, each inclined surface 5j of the piston 5 presses the inclined surfaces 7j of the three piston driving members 7, and the spring 9 between each piston driving member 7 and each spring accommodating member 8 is contracted, The piston drive member 7 is retracted into the spring housing member 8. Therefore, against the urging force of the spring 9, the piston 5 rises with respect to the casing body 1, and the valve body 4 comes into contact with the valve seat 22 to be in the closed position. When this closed position is reached, the inflow of the liquid from the fluid inlet 20a of the fluid inlet side casing portion 2 into the annular channel 20b is stopped. In FIGS. 14 and 15, the valve body 4A and the bellows portion 1b are formed by integral molding. However, the valve body 4A and the bellows 1b are not limited to this type. You may make it provide separately from the part 1b.

なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。 In addition, it can be made to show the effect which each has by combining arbitrary embodiment or modification of the said various embodiment or modification suitably.

本発明にかかる弁は、常時開位置又は常時閉位置に弁体と弁座との関係を維持する付勢部材を使用しつつも耐食性に優れた弁であって、例えば、流量制御弁、チェック弁、リリーフ弁などとして有用である。本発明にかかる弁は、特に、耐薬品性に優れているため、薬液用弁としても最適なものである。 The valve according to the present invention is a valve having excellent corrosion resistance while using a biasing member that maintains the relationship between the valve body and the valve seat in the normally open position or the normally closed position. It is useful as a valve and a relief valve. Since the valve according to the present invention is particularly excellent in chemical resistance, it is optimal as a valve for a chemical solution.

本発明の一実施形態にかかる常時閉形式の弁の閉状態での縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the closed state of the valve of the normally closed type concerning one Embodiment of this invention. 図１ＡのＡ−Ａ線の横断面図である。It is a cross-sectional view of the AA line of FIG. 1A. 図１ＡのＢ−Ｂ線の横断面図である。It is a cross-sectional view of the BB line of FIG. 1A. 図１ＡのＣ−Ｃ線の横断面図である。It is a cross-sectional view of the CC line of FIG. 1A. 図１ＡのＤ−Ｄ線の横断面図である。It is a cross-sectional view of the DD line of FIG. 1A. 図１ＡのＥ−Ｅ線の横断面図である。It is a cross-sectional view of the EE line of FIG. 1A. 本発明の前記実施形態にかかる常時閉形式の弁の開状態での縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the open state of the valve of the normally closed type concerning the said embodiment of this invention. 本発明の前記実施形態にかかる常時閉形式の弁のピストン駆動部材に関しての図１ＡのＩＩＩ−ＩＩＩ線の縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view of the III-III line | wire of FIG. 1A regarding the piston drive member of the valve of the normally closed type concerning the said embodiment of this invention. 本発明の前記実施形態にかかる常時閉形式の弁のピストンとピストンロッドの部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view of the piston and piston rod of the normally closed type valve concerning the embodiment of the present invention. 本発明の前記実施形態にかかる常時閉形式の弁のピストン駆動部材の部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view of the piston drive member of the normally closed type valve concerning the embodiment of the present invention. 本発明の前記実施形態にかかる常時閉形式の弁において閉状態での拡大縦断面図である。It is an enlarged vertical sectional view in the closed state in the normally closed type valve concerning the embodiment of the present invention. 本発明の前記実施形態にかかる常時閉形式の弁において開状態での拡大縦断面図である。It is an enlarged vertical sectional view in the open state in the normally closed type valve concerning the embodiment of the present invention. 本発明の前記実施形態の変形例にかかる常時閉形式の弁の閉状態での縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the closed state of the normally closed type valve concerning the modification of the said embodiment of this invention. 本発明の前記実施形態の変形例にかかる常時閉形式の弁のピストン駆動部材付近の部分縦断面図である。It is a fragmentary longitudinal cross-sectional view of the piston drive member vicinity of the normally closed type valve concerning the modification of the said embodiment of this invention. 本発明の前記実施形態の変形例にかかる常時閉形式の弁において、図１ＡのＥ−Ｅ線の横断面図に相当する断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view corresponding to a cross-sectional view taken along line EE of FIG. 1A in a normally closed type valve according to a modification of the embodiment of the present invention. 図９Ａの本発明の前記実施形態の前記変形例にかかる常時閉形式の弁の部分縦断面図である。It is a fragmentary longitudinal cross-sectional view of the normally closed type valve concerning the modification of the embodiment of the present invention of FIG. 9A. 本発明の前記実施形態の変形例にかかる常時閉形式の弁において、図１ＡのＤ−Ｄ線の横断面図に相当する断面図である。In the normally closed type valve concerning the modification of the said embodiment of this invention, it is sectional drawing equivalent to the cross-sectional view of the DD line of FIG. 1A. 本発明の前記実施形態の変形例にかかる常時閉形式の弁において、図１ＡのＤ−Ｄ線の横断面図に相当する断面図である。In the normally closed type valve concerning the modification of the said embodiment of this invention, it is sectional drawing equivalent to the cross-sectional view of the DD line of FIG. 1A. 本発明の第２実施形態にかかる常時閉形式のチェック弁の閉状態での縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the closed state of the check valve of the normally closed type concerning 2nd Embodiment of this invention. 図１２にかかる本発明の前記実施形態の前記変形例にかかる常時閉形式のチェック弁の開状態での縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the open state of the normally-closed type check valve concerning the said modification of the said embodiment concerning this FIG. 本発明の前記実施形態の変形例にかかる常時開形式の弁の閉状態での縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the closed state of the normally open type valve concerning the modification of the said embodiment of this invention. 図１４にかかる本発明の前記実施形態の前記変形例にかかる常時開形式の弁の開状態での縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the open state of the valve of the normally open type concerning the said modification of the said embodiment concerning this invention concerning FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ケーシング本体部
１ａ先端
１ｂベローズ部
２流体入口側ケーシング部
３流体出口側ケーシング部
４弁体
５ピストン
５ａ軸先端部
５ｂ中間部
５ｃ駆動力受け部
５ｄガイド軸部
５ｅ傾斜面
６ピストンロッド
６ａ入口側の面
６ｂピストン駆動部材ガイド部
６ｃガイド穴
７ピストン駆動部材
７ａ凹部
７ｅ傾斜面
７ｆ傾斜面
７ｊ傾斜面
８バネケース
８ａ凹部
８ｂ雄ねじ部
９バネ
１０，１１，１２，１３，１４Ａ，１４ＢＯリング
１５固定用フランジボルト
１６取付用フランジ
２０ケーシング
２０ａ流体入口
２０ｂ円環状流路
２０ｃ分岐流路
２０ｄ流体出口
２０ｆ第１ピストン移動室
２０ｇ第２ピストン移動室
２０ｈネジ穴
２０ｋピストン駆動部材ガイド部
２２弁座
３０，３０Ｂピストン駆動室
３１，３１Ｂピストン駆動用エア供給通路
５０溶接部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Casing main-body part 1a Tip 1b Bellows part 2 Fluid inlet side casing part 3 Fluid outlet side casing part 4 Valve body 5 Piston 5a Shaft tip part 5b Intermediate part 5c Driving force receiving part 5d Guide shaft part 5e Inclined surface 6 Piston rod 6a Inlet Side surface 6b Piston drive member guide portion 6c Guide hole 7 Piston drive member 7a Recess 7e Inclined surface 7f Inclined surface 7j Inclined surface 8 Spring case 8a Recess 8b Male thread 9 Spring 10, 11, 12, 13, 14A, 14B O-ring 15 Fixing flange bolt 16 mounting flange 20 casing 20a fluid inlet 20b annular channel 20c branch channel 20d fluid outlet 20f first piston moving chamber 20g second piston moving chamber 20h screw hole 20k piston drive member guide 22 valve seat 30 , 30B Piston drive chamber 31, 31B For piston drive Air supply passage 50 Welded part

Claims

流体の入口（２０ａ）と、前記入口に連通されかつ軸方向と直交する面において複数に分割された分岐流路（２０ｃ）と、全ての前記分岐流路と連通された出口（２０ｄ）とを有するケーシング（２０）と、
前記ケーシングの前記入口に設けられた弁座（２２）と、
前記ケーシング内に収納され、前記ケーシングの前記弁座に接離可能に配置された弁体（４）と、
前記ケーシング内に収納され、前記分岐流路とは独立した可動部材移動室（２０ｆ，２０ｇ）内で軸方向に移動可能に配置され、前記弁体に一端（５ａ）が連結され他端側に駆動力受け部（５ｃ）を有するとともに、前記駆動力受け部の外面でかつ互いに隣接する前記分岐流路に対向する部分と前記分岐流路に対向する部分との間の部分に、前記ケーシングの入口側から出口側に向かうに従い前記駆動力受け部の軸芯に近づくように傾斜した複数の傾斜面（５ｅ）を有する可動部材（５）と、
前記可動部材の軸方向とは直交する方向に移動可能に、前記分岐流路とは独立した前記ケーシングの駆動部材移動室（３７）内に配置され、かつ、前記可動部材の前記傾斜面が摺動する傾斜面（７ｅ）を一端に有し、他端側に配置された付勢部材（９）の付勢力により前記一端の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触する方向に押圧付勢される複数の可動部材駆動部材（７）と、
を備え、
前記付勢部材の前記付勢力により、前記可動部材駆動部材の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触するとともに、前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座に接触して常時閉状態となることを特徴とする弁。 A fluid inlet (20a), a branch channel (20c) that is communicated with the inlet and is divided into a plurality of portions in a plane orthogonal to the axial direction, and an outlet (20d) that communicates with all the branch channels. A casing (20) having;
A valve seat (22) provided at the inlet of the casing;
A valve body (4) housed in the casing and disposed so as to be able to contact and separate from the valve seat of the casing;
It is housed in the casing and is arranged to be movable in the axial direction in a movable member moving chamber (20f, 20g) independent of the branch flow path, and one end (5a) is connected to the valve body, and the other end side A driving force receiving portion (5c) is provided on the outer surface of the driving force receiving portion and between the portion facing the branch flow channel adjacent to each other and the portion facing the branch flow channel. A movable member (5) having a plurality of inclined surfaces (5e) inclined so as to approach the axis of the driving force receiving portion from the inlet side toward the outlet side;
The movable member is disposed in a drive member moving chamber (37) of the casing independent of the branch flow path so as to be movable in a direction perpendicular to the axial direction of the movable member, and the inclined surface of the movable member slides. An inclined surface (7e) that moves is provided at one end, and the inclined surface at the one end is always in contact with the inclined surface of the movable member by the urging force of the urging member (9) disposed on the other end side. A plurality of movable member driving members (7) to be pressed and biased;
With
Due to the urging force of the urging member, the inclined surface of the movable member driving member is always in contact with the inclined surface of the movable member, and the movable member moves in the axial direction so that the valve body is moved to the valve seat. A valve characterized by being in a normally closed state upon contact with the valve.

前記ケーシング内の前記可動部材移動室の流体入口側の端部と前記可動部材との間に形成された可動部材駆動室（３０）と、
前記可動部材駆動室に連通する可動部材駆動用エア供給通路（３１）とをさらに備えて、
前記可動部材駆動用エア供給通路から前記可動部材駆動室にエアが供給されると、前記付勢部材の前記付勢力に抗して前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座から離れて、前記流体が前記入口から前記複数の分岐流路に流れ込み、前記複数の分岐流路から前記出口を経て排出される、請求項１に記載の弁。 A movable member drive chamber (30) formed between the end of the movable member moving chamber in the casing on the fluid inlet side and the movable member;
A movable member driving air supply passage (31) communicating with the movable member driving chamber;
When air is supplied from the air supply passage for driving the movable member to the movable member drive chamber, the movable member moves in the axial direction against the urging force of the urging member, and the valve element moves the valve. 2. The valve according to claim 1, wherein the valve flows away from the seat and flows into the plurality of branch channels from the inlet and is discharged from the plurality of branch channels through the outlet.

流体の入口（２０ａ）と、前記入口に連通されかつ軸方向と直交する面において複数に分割された分岐流路（２０ｃ）と、全ての前記分岐流路と連通された出口（２０ｄ）とを有するケーシング（２０）と、
前記ケーシングの前記入口に設けられた弁座（２２）と、
前記ケーシング内に収納され、前記ケーシングの前記弁座に接離可能に配置された弁体（４）と、
前記ケーシング内に収納され、前記分岐流路とは独立した可動部材移動室（２０ｆ，２０ｇ）内で軸方向に移動可能に配置され、前記弁体に一端（５ａ）が連結され他端側に駆動力受け部（５ｃ）を有するとともに、前記駆動力受け部の外面でかつ互いに隣接する前記分岐流路に対向する部分と前記分岐流路に対向する部分との間の部分に、前記ケーシングの入口側から出口側に向かうに従い前記駆動力受け部の軸芯から遠ざかるように傾斜した複数の傾斜面（５ｅ）を有する可動部材（５）と、
前記可動部材の軸方向とは直交する方向に移動可能に、前記分岐流路とは独立した前記ケーシングの駆動部材移動室（３７）内に配置され、かつ、前記可動部材の前記傾斜面が摺動する傾斜面（７ｅ）を一端に有し、他端側に配置された付勢部材（９）の付勢力により前記一端の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触する方向に押圧付勢される複数の可動部材駆動部材（７）と、
を備え、
前記付勢部材の前記付勢力により、前記可動部材駆動部材の前記傾斜面が前記可動部材の前記傾斜面に常時接触するとともに、前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座から離れて常時開状態となり、前記流体が前記入口から前記複数の分岐流路に流れ込み、前記複数の分岐流路から前記出口を経て排出されることを特徴とする弁。 A fluid inlet (20a), a branch channel (20c) that is communicated with the inlet and is divided into a plurality of portions in a plane orthogonal to the axial direction, and an outlet (20d) that communicates with all the branch channels. A casing (20) having;
A valve seat (22) provided at the inlet of the casing;
A valve body (4) housed in the casing and disposed so as to be able to contact and separate from the valve seat of the casing;
It is housed in the casing and is arranged to be movable in the axial direction in a movable member moving chamber (20f, 20g) independent of the branch flow path, and one end (5a) is connected to the valve body, and the other end side is connected. A driving force receiving portion (5c) is provided on the outer surface of the driving force receiving portion and between the portion facing the branch flow channel adjacent to each other and the portion facing the branch flow channel. A movable member (5) having a plurality of inclined surfaces (5e) inclined away from the axis of the driving force receiving portion as it goes from the inlet side to the outlet side;
The movable member is disposed in a drive member moving chamber (37) of the casing independent of the branch flow path so as to be movable in a direction perpendicular to the axial direction of the movable member, and the inclined surface of the movable member slides. An inclined surface (7e) that moves is provided at one end, and the inclined surface at the one end is always in contact with the inclined surface of the movable member by the urging force of the urging member (9) disposed on the other end side. A plurality of movable member driving members (7) to be pressed and biased;
With
Due to the urging force of the urging member, the inclined surface of the movable member driving member is always in contact with the inclined surface of the movable member, and the movable member moves in the axial direction so that the valve body is moved to the valve seat. A valve that is normally open away from the fluid, wherein the fluid flows from the inlet into the plurality of branch channels and is discharged from the plurality of branch channels through the outlet.

前記ケーシング内の前記可動部材移動室の流体出口側の端部と前記可動部材との間に形成された可動部材駆動室（３０Ｂ）と、
前記可動部材駆動室に連通する可動部材駆動用エア供給通路（３１Ｂ）とをさらに備えて、
前記可動部材駆動用エア供給通路から前記可動部材駆動室にエアが供給されると、前記付勢部材の前記付勢力に抗して前記可動部材が軸方向に移動して前記弁体が前記弁座に接触して閉状態となる、請求項３に記載の弁。 A movable member drive chamber (30B) formed between the end of the movable member moving chamber in the casing on the fluid outlet side and the movable member;
A movable member driving air supply passage (31B) communicating with the movable member driving chamber;
When air is supplied from the air supply passage for driving the movable member to the movable member drive chamber, the movable member moves in the axial direction against the urging force of the urging member, and the valve element moves the valve. The valve according to claim 3 , wherein the valve is in contact with the seat to be closed.

前記ケーシングは、前記可動部材の前記駆動力受け部よりも入口側の部分を覆って前記流路と前記可動部材の前記駆動力受け部よりも前記入口側の部分とを隔離するベロー部（１ｂ）を有するとともに、前記ベロー部の先端に前記弁体を一体的に取り付けて、前記ベロー部と前記弁体との間に前記流体が侵入しないようにしている、請求項１〜４のいずれか１つに記載の弁。 The casing covers a portion on the inlet side of the driving force receiving portion of the movable member and separates the flow path and the portion on the inlet side of the driving force receiving portion of the movable member (1b) ) And the valve body is integrally attached to the tip of the bellows part so that the fluid does not enter between the bellows part and the valve body. The valve according to one.

前記可動部材駆動部材の前記傾斜面を有する前記一端の側の部分であって前記ケーシングを摺動する底部に、前記可動部材駆動部材の中間部から前記一端に向かうに従い、流体入口側に傾斜する傾斜面（７ｆ）を有する請求項１に記載の弁。 The movable member drive member is inclined to the fluid inlet side from the middle portion of the movable member drive member toward the one end of the movable member drive member on the bottom side that slides the casing. 2. Valve according to claim 1, having an inclined surface (7f).

前記ケーシング内の前記可動部材移動室に連通するエア通路（３９）をさらに備えて、
前記可動部材の移動に伴い、前記エア通路を経て、前記可動部材移動室と弁外部との間でエアーの吸い込み及び排出を行う、請求項１又は３に記載の弁。 An air passage (39) communicating with the movable member moving chamber in the casing;
The valve according to claim 1 or 3, wherein air is sucked and discharged between the movable member moving chamber and the outside of the valve through the air passage as the movable member moves.

前記可動部材駆動部材の前記可動部材の軸方向とは直交する方向の移動を案内するガイド部（６ｂ，２０ｋ）をさらに備える、請求項１〜７のいずれか１つに記載の弁。 The valve according to any one of claims 1 to 7, further comprising a guide portion (6b, 20k) for guiding the movement of the movable member driving member in a direction orthogonal to the axial direction of the movable member.

前記ケーシングと前記可動部材と前記可動部材駆動部材とはフッ素系樹脂で形成されている請求項１〜８のいずれか１つに記載の弁。 The valve according to any one of claims 1 to 8, wherein the casing, the movable member, and the movable member driving member are formed of a fluorine-based resin.