JP4855768B2 - 微細パターン成形用金型の製造方法 - Google Patents
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Description
(2−2)レーザー直接描画法:レジスト上に紫外レーザーを走査・露光することで微細パターンを作製する方法(例えば、特許文献1)。
Applied Optics,vol27,No.7,1281-1284(1988)
ここで、原型とは、製品を量産するための金属製の型枠である金型を作製するための元型をいう。
まず、微細パターン成形用金型の原型材料となる光硬化性樹脂を調製した。アクリレートモノマーとしてペンタエリスリトールトリアクリレート(M-309:東亞合成株式会社製)およびイソシアヌル酸エチレンオキサイド変性ジ・トリアクリレート(M-313:東亞合成株式会社製)を35重量部ずつ混合し、さらにローダミンB(関東化学株式会社製)を0.1重量部添加した。次にバインダーとしてポリ(スチレン-アクリロニトリル)共重合体(関東化学株式会社製)を29.9重量部加え、希釈溶媒として1,4-ジオキサンで粘度調製した。
実施例1と同様にスライドガラス上に光硬化性樹脂を塗布した後、図5の三次元マイクロファブリケーション装置に設置し、近赤外パルスレーザー(Tsunami:スペクトラ・フィジックス株式会社製)を集光照射し、光硬化性樹脂の硬化部分が高さ20μm、幅25μmの略半球状に複数形成されたマイクロレンズアレイとなるようにレーザーをスキャンした。最後に該ガラス基板をN,N-ジメチルホルムアミド(関東化学株式会社製)溶媒中に浸漬させ、未硬化の光硬化性樹脂を現像除去することで、マイクロレンズアレイの原型を得ることができた。
21:電解槽
22:陰極
23:陽極
24:微細パターン成形用金型
30:面光源素子
31:導光板
32:光制御板
33:マイクロレンズアレイ
34:粘接着剤
41:マイクロレンズアレイの曲面部分
42:接着部分
51:マイクロレンズアレイの平坦部分
52:マイクロレンズアレイの曲面部分
100:近赤外パルスレーザー
111:シャッター
112:NDフィルタ
113:ビームエクスパンダ
114:リレーレンズ
121:ガルバノミラー
122:レンズ
130:ガラス
131:Z軸ステージ
140:光硬化性樹脂
Claims (2)
- パルスレーザーの集光位置を制御し、該パルスレーザーが集光照射される位置の光硬化性樹脂のみを選択的に光重合する、二光子励起による光硬化性樹脂の三次元マイクロファブリケーションによって、所望の微細パターンが形成された微細造形物を作製し、この作製された微細造形物を原型として当該微細パターン成形用金型を製造することを特徴とする微細パターン成形用金型の製造方法。
- 前記三次元マイクロファブリケーションにより作製された微細造形物を原型として、電鋳処理により、当該微細パターン成形用金型を製造する請求項1に記載の微細パターン成形用金型の製造方法。
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