JP4853941B2 - 波面測定用干渉計装置 - Google Patents
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Description
前記収束レンズから出力された前記被検光束の光路上において、入射した該被検光束を該収束レンズの光軸に沿って互いに逆向きに進む2光束に分離し各々を出力する光束分離手段と、
前記光束分離手段から出力された前記2光束のうちの一方の光束の略収束点において、入射した該一方の光束を波面整形して基準光束となし、該基準光束を前記光束分離手段に向けて出力する、微小な反射回折部を有してなる波面整形手段と、
前記光束分離手段から出力された前記2光束のうちの他方の光束の略収束点において、入射した該他方の光束を前記光束分離手段に向けて反射するミラーまたはハーフミラーからなる光束反射手段と、
が前記光軸上において互いに分離した別部材として配設されるとともに、
前記光束分離手段から前記波面整形手段を経て前記光束分離手段に至る光路長と、前記光束分離手段から前記光束反射手段を経て前記光束分離手段に至る光路長との差が、前記被検光束の可干渉距離以下となるように設定され、
前記光束反射手段からの反射光束と前記基準光束とを前記光束分離手段において合波することにより、前記被検光束の波面情報を担持した干渉光を得、該干渉光を前記収束レンズから出力する波面測定用干渉光学系と、
前記ビームスプリッタを含み、前記波面測定用干渉光学系から出力された前記干渉光を前記ビームスプリッタの分離面で反射して検出面に導き、該検出面上に干渉縞を形成する結像系と、
前記検出面上に形成された前記干渉縞の解析を行う解析手段と、
を備えてなることを特徴とする。
図1に示す波面測定用干渉計装置(以下「本実施形態装置」と称する)は、被検光源10から出射される被検光束の波面測定を実施するものであり、被検光束の波面情報を担持した干渉光を得るための干渉光学系20と、得られた干渉光を検出面に導き検出面34上に干渉縞を形成する結像系30と、検出面34上に形成された干渉縞の解析を行なう解析手段40とを備えてなる。
以下、上述した干渉光学系20の構成および作用の詳細について説明する。図2に示すように、この干渉光学系20においては、収束レンズ21、第1のハーフミラー22、第2のハーフミラー23、および波面整形手段24が、収束レンズ21の光軸上において収束レンズ21側よりこの順序で配設されている。
以下、本発明に係る波面測定用干渉光学系の他の実施形態について説明する。図3〜図5は、本発明に係る波面測定用干渉光学系の第2実施形態〜第4実施形態をそれぞれ示す図である。なお、図3〜図5に示す各実施形態において、上記第1実施形態と共通する構成要素については、図2で用いたものと同一の符号を付してその詳細な説明は省略し、以下では主に第1実施形態と異なる部分について説明する。
11 光源本体
12 ビーム光学系
20 干渉光学系(波面測定用干渉光学系;第1実施形態)
20A 干渉光学系(波面測定用干渉光学系;第2実施形態)
20B 干渉光学系(波面測定用干渉光学系;第3実施形態)
20C 干渉光学系(波面測定用干渉光学系;第4実施形態)
21 収束レンズ(収束手段)
21a (収束レンズの)裏面
22 第1のハーフミラー(光束反射手段)
22a (第1のハーフミラーの)第1面
22b (第1のハーフミラーの)第2面
23 第2のハーフミラー(光束分離手段)
23a 光束分離面
23b (第2のハーフミラーの)裏面
24 波面整形手段
25 ガラス基板
25a (ガラス基板の)表面
25b (ガラス基板の)裏面
26 反射回折部
27 保持板
27a (保持板の)表面
27b (保持板の)裏面
28 ミラー面(光束反射手段)
29 ミラー(光束反射手段)
29a 反射面
30 結像系
31 ビームスプリッタ
31a 分離面
32 結像レンズ
33 撮像カメラ
34 検出面
40 解析手段
41 コンピュータ
42 表示装置
43 入力装置
HM ハーフミラー面
AR ARコート面
M ミラー面
Claims (4)
- 波面測定の対象とされ、光軸上に配されたビームスプリッタの分離面を透過して入射した被検光束を収束させて出力する収束レンズと、
前記収束レンズから出力された前記被検光束の光路上において、入射した該被検光束を該収束レンズの光軸に沿って互いに逆向きに進む2光束に分離し各々を出力する光束分離手段と、
前記光束分離手段から出力された前記2光束のうちの一方の光束の略収束点において、入射した該一方の光束を波面整形して基準光束となし、該基準光束を前記光束分離手段に向けて出力する、微小な反射回折部を有してなる波面整形手段と、
前記光束分離手段から出力された前記2光束のうちの他方の光束の略収束点において、入射した該他方の光束を前記光束分離手段に向けて反射するミラーまたはハーフミラーからなる光束反射手段と、
が前記光軸上において互いに分離した別部材として配設されるとともに、
前記光束分離手段から前記波面整形手段を経て前記光束分離手段に至る光路長と、前記光束分離手段から前記光束反射手段を経て前記光束分離手段に至る光路長との差が、前記被検光束の可干渉距離以下となるように設定され、
前記光束反射手段からの反射光束と前記基準光束とを前記光束分離手段において合波することにより、前記被検光束の波面情報を担持した干渉光を得、該干渉光を前記収束レンズから出力する波面測定用干渉光学系と、
前記ビームスプリッタを含み、前記波面測定用干渉光学系から出力された前記干渉光を前記ビームスプリッタの分離面で反射して検出面に導き、該検出面上に干渉縞を形成する結像系と、
前記検出面上に形成された前記干渉縞の解析を行う解析手段と、
を備えてなることを特徴とする波面測定用干渉計装置。 - 前記光軸上において、前記光束反射手段、前記光束分離手段、および前記波面整形手段が、前記収束レンズ側よりこの順序で配設されていることを特徴とする請求項1記載の波面測定用干渉計装置。
- 前記光軸上において、前記波面整形手段、前記光束分離手段、および前記光束反射手段が、前記収束レンズ側よりこの順序で配設されていることを特徴とする請求項1記載の波面測定用干渉計装置。
- 前記波面整形手段は、前記反射回折部が、前記収束レンズの、前記光束分離手段側の面上に設けられていることを特徴とする請求項3記載の波面測定用干渉計装置。
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JP2004358483A JP4853941B2 (ja) | 2004-12-10 | 2004-12-10 | 波面測定用干渉計装置 |
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