JP4836258B2 - 半導体レーザアレイ製造方法、面発光型半導体レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、光伝送モジュール及び光伝送システム - Google Patents
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Description
以下、本発明の半導体レーザアレイ製造方法の一実施形態として、780nm帯の面発光型半導体レーザアレイの製造方法について図1(A)〜図14を用いて説明する。なお、本明細書では、レーザ発振方向をZ軸方向とし、Z軸方向に垂直な面内における互いに直交する2つの方向をX軸方向及びY軸方向として説明する。
次に、本発明の画像形成装置の一実施形態を図16に基づいて説明する。図16には、本発明の一実施形態に係る画像形成装置としてのレーザプリンタ500の概略構成が示されている。
次に、前記光走査装置900の構成及び作用について図17及び図18を用いて説明する。
図21には、本発明の一実施形態に係る光伝送システム1000の概略構成が示されている。この光伝送システム1000は、光送信モジュール1001と光受信モジュール1005が光ファイバケーブル1004で接続されており、光送信モジュール1001から光受信モジュール1005への一方向の光通信が可能となっている。
Claims (12)
- それぞれが配線により対応する電極パッドに接続される複数の発光部を有する面発光型半導体レーザアレイを製造する半導体レーザアレイ製造方法であって、
基板上に複数の半導体層が積層された積層体表面にフォトレジストを塗布する工程と;
光を遮光する遮光パターンと該遮光パターンの第1方向に隣接し該第1の方向に向かって光透過率が徐々に増加する透過率変化パターンとからなる少なくとも1つの第1のメサ構造体用パターンと、光を遮光する遮光パターンと該遮光パターンの前記第1の方向と異なる第2の方向に隣接し該第2の方向に向かって光透過率が徐々に増加する透過率変化パターンとからなる少なくとも1つの第2のメサ構造体用パターンとを含む複数のメサ構造体用パターンが前記複数の発光部に対応して配置されたマスクを介して、前記フォトレジストが塗布された面に光を照射し、前記積層体表面にエッチング用マスクを形成する工程と;を含む半導体レーザアレイ製造方法。 - 前記複数の発光部は、千鳥状に配列されることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザアレイ製造方法。
- 請求項1又は2に記載の半導体レーザアレイ製造方法によって製造された面発光型半導体レーザアレイ。
- それぞれが配線により対応する電極パッドに接続され、メサ構造体を含む複数の発光部を有する面発光型半導体レーザアレイにおいて、
前記複数の発光部は、配線の引き出し方向が第1の方向である少なくとも1つの第1の発光部と、配線の引き出し方向が第2の方向である少なくとも1つの第2の発光部とを含み、
前記第1の発光部のメサ構造体は、前記第1の方向のみに形成され、その上面から前記第1の方向に向かって傾斜している第1の傾斜面を含む段切れ防止構造と、前記第1の傾斜面に対向している略垂直面を含む側壁とを有し、
前記第2の発光部のメサ構造体は、前記第2の方向のみに形成され、その上面から前記第2の方向に向かって傾斜している第2の傾斜面を含む段切れ防止構造と、前記第2の傾斜面に対向している略垂直面を含む側壁とを有することを特徴とする面発光型半導体レーザアレイ。 - 前記複数の発光部は、千鳥状に配列されていることを特徴とする請求項4に記載の面発光型半導体レーザアレイ。
- 前記第1の発光部からは前記第1の方向に配線が引き出され、前記第2の発光部からは前記第2の方向に配線が引き出されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の面発光型半導体レーザアレイ。
- 前記複数の発光部のうち隣接する2つの発光部の間を通る配線は1本であることを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の面発光型半導体レーザアレイ。
- 光束によって被走査面上を走査する光走査装置であって、
請求項3〜7のいずれか一項に記載の面発光型半導体レーザアレイを含む光源ユニットと;
前記光源ユニットからの光束を偏向する偏向器と;
前記偏光器で偏向された光束を被走査面上に集光する走査光学系と;を備える光走査装置。 - 少なくとも1つの像担持体と;
前記少なくとも1つの像担持体に対して画像情報が含まれる複数の光束を走査する少なくとも1つの請求項8に記載の光走査装置と;を備える画像形成装置。 - 前記画像情報は、カラー画像情報であることを特徴とする請求項9に記載の画像形成装置。
- 入力される電気信号に応じた光信号を生成する光伝送モジュールであって、
請求項3〜7のいずれか一項に記載の面発光型半導体レーザアレイと;
前記面発光型半導体レーザアレイを、前記入力される電気信号に応じて駆動する駆動装置と;を備える光伝送モジュール。 - 請求項11に記載の光伝送モジュールと;
前記光伝送モジュールで生成された光信号を伝達する光伝達媒体と;
前記光伝達媒体を介した光信号を電気信号に変換する変換器と;を備える光伝送システム。
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