JP4833775B2 - Amplitude calculation apparatus, impedance measurement apparatus including the same, amplitude calculation method, and impedance measurement method including the same - Google Patents

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Description

この発明は、振幅算出装置およびそれを備えるインピーダンス測定装置、ならびに振幅算出方法およびそれを備えるインピーダンス測定方法に関し、より特定的には、測定対象から出力される交流信号の振幅を算出する、振幅算出装置およびそれを備えるインピーダンス測定装置、ならびに振幅算出方法およびそれを備えるインピーダンス測定方法に関する。   The present invention relates to an amplitude calculation device, an impedance measurement device including the same, an amplitude calculation method, and an impedance measurement method including the amplitude calculation device. The present invention relates to an apparatus, an impedance measuring apparatus including the same, an amplitude calculating method, and an impedance measuring method including the same.

一般に、測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出し、交流信号の出力波形を復元する技術が知られている。復元された出力波形は、たとえば、交流信号の振幅の検出に用いられる。検出された交流信号の振幅は、たとえば、インピーダンス測定装置において測定対象のインピーダンスを得るために用いられる。   In general, a technique is known in which the output of an AC signal is detected from a measurement object at different times and the output waveform of the AC signal is restored. The restored output waveform is used for detecting the amplitude of the AC signal, for example. The detected amplitude of the AC signal is used, for example, to obtain the impedance to be measured in the impedance measuring device.

交流信号の出力波形を復元する技術の一例として、特許文献１には、測定対象から交流信号の出力を複数周期に及んで多数回検出（サンプリング）し、各周期の同位相における出力を平均する技術が開示されている。特許文献１の技術によれば、突発的に生じるノイズ成分の大きな出力を検出しても、当該出力に含まれるノイズ成分の影響を低減でき、出力波形を安定して復元できる。ひいては、測定対象における交流信号の振幅を安定して取得できる。
特開平６−２９４８３１号公報 As an example of a technique for restoring the output waveform of an AC signal, Patent Document 1 discloses that the output of an AC signal from a measurement target is detected (sampled) many times over a plurality of periods, and the outputs in the same phase of each period are averaged. Technology is disclosed. According to the technique of Patent Document 1, even if an output with a sudden noise component is detected, the influence of the noise component included in the output can be reduced, and the output waveform can be stably restored. As a result, the amplitude of the AC signal in the measurement object can be stably acquired.
JP-A-6-294831

しかし、特許文献１の技術では、出力を複数周期に及んで多数回検出する必要がある上に、各周期の同位相毎に多数の出力を平均しなければならず、処理が煩雑になり、処理に時間がかかるという問題があった。   However, in the technique of Patent Document 1, it is necessary to detect the output many times over a plurality of cycles, and a large number of outputs must be averaged for each phase of each cycle, which makes the process complicated. There was a problem that processing took time.

それゆえに、この発明の主たる目的は、測定対象における交流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得できる、振幅算出装置およびそれを備えるインピーダンス測定装置、ならびに振幅算出方法およびそれを備えるインピーダンス測定方法を提供することである。   Therefore, a main object of the present invention is to provide an amplitude calculation device, an impedance measurement device including the same, an amplitude calculation method, and an impedance measurement method including the same, which can easily and quickly acquire the amplitude of the AC signal in the measurement target. That is.

上述の目的を達成するために、請求項１に記載の振幅算出装置は、測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する検出手段、前記検出手段によって検出される複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する取得手段、および前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち２つの出力と前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第１算出手段を備え、前記第１算出手段は、前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力をＹ m ，Ｙ n 、前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差をδ n −δ m 、前記交流信号の振幅をＡとして、

Figure 0004833775
によって前記交流信号の振幅を算出することを特徴とする。
請求項２に記載の振幅算出装置は、測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する検出手段、前記検出手段によって検出される複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する取得手段、および前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち２つの出力と前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第１算出手段を備え、前記検出手段は、互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力のみを検出することを特徴とする。
請求項３に記載の振幅算出装置は、測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する検出手段、前記検出手段によって検出される複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する取得手段、および前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち２つの出力と前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第１算出手段を備え、前記検出手段は、それぞれ他の少なくとも１つの出力との位相差が１８０°の倍数以外である３つ以上の出力を検出し、前記取得手段は、前記３つ以上の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力の組み合わせ毎に位相差を取得し、前記第１算出手段は、前記２つの出力の組み合わせ毎に振幅を算出することを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, the amplitude calculation apparatus according to claim 1 is a detection unit that detects an output of an AC signal at different times from a measurement target, and two of a plurality of outputs detected by the detection unit. Acquisition means for acquiring a phase difference between two outputs, and the AC signal using two outputs of the plurality of outputs detected by the detection means and a phase difference between the two outputs acquired by the acquisition means comprising a first calculation means for calculating the amplitude, the first calculating means, the plurality of mutual phase difference of two outputs is other than a multiple of 180 ° Y m of the output detected by said detecting means , Y n , where the phase difference between the two outputs acquired by the acquisition means is δ n −δ m , and the amplitude of the AC signal is A,
Figure 0004833775
 To calculate the amplitude of the AC signal .
The amplitude calculation apparatus according to claim 2, wherein a detection unit that detects an output of an AC signal at different times from a measurement target, and obtains a phase difference between two outputs among a plurality of outputs detected by the detection unit. And first calculation means for calculating the amplitude of the AC signal using two outputs of the plurality of outputs detected by the detection means and a phase difference between the two outputs acquired by the acquisition means The detection means detects only two outputs whose phase difference is other than a multiple of 180 °.
The amplitude calculation apparatus according to claim 3 is a detection unit that detects an output of an AC signal at different times from a measurement target, and obtains a phase difference between two outputs among a plurality of outputs detected by the detection unit. And first calculation means for calculating the amplitude of the AC signal using two outputs of the plurality of outputs detected by the detection means and a phase difference between the two outputs acquired by the acquisition means The detection means detects three or more outputs each having a phase difference other than a multiple of 180 ° with respect to at least one other output, and the acquisition means is configured to detect each other among the three or more outputs. A phase difference is obtained for each combination of two outputs having a phase difference other than a multiple of 180 °, and the first calculation means calculates an amplitude for each combination of the two outputs.

請求項４に記載の振幅算出装置は、請求項１から３のいずれかに記載の振幅算出装置において、前記検出手段は、前記交流信号１周期以内で前記複数の出力を検出することを特徴とする。 The amplitude calculation device according to claim 4 is the amplitude calculation device according to any one of claims 1 to 3 , wherein the detection unit detects the plurality of outputs within one cycle of the AC signal. To do.

請求項５に記載の振幅算出装置は、請求項３に記載の振幅算出装置において、前記第１算出手段によって算出される複数の振幅の平均値を算出する第２算出手段をさらに含むことを特徴とする。 The amplitude calculation apparatus according to claim 5 further includes second calculation means for calculating an average value of a plurality of amplitudes calculated by the first calculation means in the amplitude calculation apparatus according to claim 3. And

請求項６に記載の振幅算出装置は、請求項５に記載の振幅算出装置において、前記複数の振幅のうち前記第２算出手段によって算出される前記平均値に対して所定範囲以内である振幅の平均値を算出する第３算出手段をさらに含むことを特徴とする。 The amplitude calculation apparatus according to claim 6 is the amplitude calculation apparatus according to claim 5 , wherein an amplitude that is within a predetermined range with respect to the average value calculated by the second calculation means among the plurality of amplitudes. It further includes third calculation means for calculating an average value.

請求項７に記載の振幅算出装置は、請求項６に記載の振幅算出装置において、前記第１算出手段によって算出される前記複数の振幅の標準偏差を算出する第４算出手段をさらに含み、前記所定範囲は前記第４算出手段によって算出される前記標準偏差に基づいて設定されることを特徴とする。 The amplitude computing apparatus according to claim 7 is the amplitude computing apparatus according to claim 6, further comprising a fourth calculation means for calculating a plurality of amplitude standard deviation of calculated by the first calculating means, said The predetermined range is set based on the standard deviation calculated by the fourth calculating means.

請求項８に記載の振幅算出装置は、請求項３に記載の振幅算出装置において、前記第１算出手段によって算出される複数の振幅の中央値を算出する第２算出手段をさらに含むことを特徴とする。 The amplitude calculation apparatus according to claim 8 is the amplitude calculation apparatus according to claim 3 , further comprising second calculation means for calculating a median value of a plurality of amplitudes calculated by the first calculation means. And

請求項９に記載の振幅算出装置は、請求項８に記載の振幅算出装置において、前記複数の振幅のうち前記第２算出手段によって算出される前記中央値に対して所定範囲以内である振幅の平均値を算出する第３算出手段をさらに含むことを特徴とする。 The amplitude calculation apparatus according to claim 9 is the amplitude calculation apparatus according to claim 8 , wherein an amplitude that is within a predetermined range with respect to the median value calculated by the second calculation means among the plurality of amplitudes. It further includes third calculation means for calculating an average value.

請求項１０に記載のインピーダンス測定装置は、請求項１から９のいずれかに記載の振幅算出装置を備える。 An impedance measuring apparatus according to a tenth aspect includes the amplitude calculating apparatus according to any one of the first to ninth aspects.

請求項１１に記載の振幅算出方法は、測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する第１工程、前記第１工程で検出した複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する第２工程、および前記第１工程で検出した前記複数の出力のうち２つの出力と前記第２工程で取得した当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第３工程を備え、前記第３工程では、前記第１工程で検出した前記複数の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力をＹ m ，Ｙ n 、前記第２工程で取得した当該２つの出力の位相差をδ n −δ m 、前記交流信号の振幅をＡとして、

Figure 0004833775
によって前記交流信号の振幅を算出することを特徴とする。 The amplitude calculation method according to claim 11 acquires a phase difference between two outputs among a plurality of outputs detected in the first step, and a first step of detecting an output of an AC signal at different times from a measurement target. A third step of calculating the amplitude of the AC signal using two of the plurality of outputs detected in the second step and the first step and a phase difference between the two outputs acquired in the second step. A step , wherein in the third step, two outputs having a phase difference other than a multiple of 180 ° among the plurality of outputs detected in the first step are represented by Y m and Y n , The phase difference between the obtained two outputs is δ n −δ m , and the amplitude of the AC signal is A.
Figure 0004833775
 To calculate the amplitude of the AC signal.

請求項１２に記載の振幅算出方法は、測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する第１工程、前記第１工程で検出した複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する第２工程、および前記第１工程で検出した前記複数の出力のうち２つの出力と前記第２工程で取得した当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第３工程を備え、前記第１工程では、それぞれ他の少なくとも１つの出力との位相差が１８０°の倍数以外である３つ以上の出力を検出し、前記第２工程では、前記３つ以上の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力の組み合わせ毎に位相差を取得し、前記第３工程では、前記２つの出力の組み合わせ毎に振幅を算出することを特徴とする。 An amplitude calculation method according to claim 12 is a first step of detecting an output of an AC signal at different times from a measurement object , and acquires a phase difference between two outputs among a plurality of outputs detected in the first step. A third step of calculating the amplitude of the AC signal using two of the plurality of outputs detected in the second step and the first step and a phase difference between the two outputs acquired in the second step. And the first step detects three or more outputs each having a phase difference other than a multiple of 180 ° in the first step, and the second step includes the three or more outputs. The phase difference is acquired for each combination of two outputs having a phase difference other than a multiple of 180 °, and the amplitude is calculated for each combination of the two outputs in the third step. .

請求項１３に記載の振幅算出方法は、請求項１２に記載の振幅算出方法において、前記第３工程で算出した複数の振幅の平均値を算出する第４工程をさらに含むことを特徴とする。 The amplitude calculation method according to claim 13 is the amplitude calculation method according to claim 12 , further comprising a fourth step of calculating an average value of a plurality of amplitudes calculated in the third step.

請求項１４に記載の振幅算出方法は、請求項１２に記載の振幅算出方法において、前記第３工程で算出した複数の振幅の中央値を算出する第４工程をさらに含むことを特徴とする。 The amplitude calculation method according to claim 14 is the amplitude calculation method according to claim 12 , further comprising a fourth step of calculating a median value of the plurality of amplitudes calculated in the third step.

請求項１５に記載のインピーダンス測定方法は、請求項１１から１４のいずれかに記載の振幅算出方法を備える。 An impedance measuring method according to a fifteenth aspect includes the amplitude calculating method according to any of the eleventh to fourteenth aspects.

請求項１に記載の振幅算出装置では、異なる時間に検出された２つの出力と当該２つの出力の位相差とを用いて、測定対象における交流信号の振幅を算出する。このように２つの出力とそれらの位相差とを用いて振幅を算出することによって、複数周期に及んで多数の出力を検出する場合に比べて、測定対象における交流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得できる。請求項２に記載の振幅算出装置、請求項３に記載の振幅算出装置、請求項１１に記載の振幅算出方法、および請求項１２に記載の振幅算出方法についても同様である。 In the amplitude calculating apparatus according to the first aspect, the amplitude of the AC signal in the measurement target is calculated using the two outputs detected at different times and the phase difference between the two outputs. Thus, by calculating the amplitude using the two outputs and the phase difference between them, the amplitude of the AC signal in the measurement target can be easily and quickly compared with the case where a large number of outputs are detected over a plurality of periods. You can get it. The same applies to the amplitude calculation device according to claim 2, the amplitude calculation device according to claim 3, the amplitude calculation method according to claim 11 , and the amplitude calculation method according to claim 12.

請求項１に記載の振幅算出装置では、互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力とそれらの位相差とを所定の数１に代入して振幅を算出するのみで、測定対象における交流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得できる。請求項１１に記載の振幅算出方法についても同様である。
請求項２に記載の振幅算出装置では、互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力のみを検出する。このように出力の検出回数を必要最小限にすることによって、振幅をより簡単に取得できる。
検出した複数の出力には、突発的に生じるノイズ成分が大きな出力が含まれているおそれがある。請求項３に記載の振幅算出装置では、検出した３つ以上の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力の組み合わせ毎に振幅を算出する。このように複数の振幅を算出することによって、たとえば、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出したと推定される振幅を除外でき、振幅を安定して取得できる。請求項１２に記載の振幅算出方法についても同様である。 In the amplitude calculation apparatus according to claim 1 , the measurement target is calculated only by calculating the amplitude by substituting the two outputs whose phase difference is not a multiple of 180 ° and their phase difference into the predetermined number 1. The amplitude of the AC signal at can be acquired easily and quickly. The same applies to the amplitude calculation method according to claim 11 .
In the amplitude calculation apparatus according to the second aspect, only two outputs having a phase difference other than a multiple of 180 ° are detected. In this way, the amplitude can be obtained more easily by minimizing the number of times the output is detected.
The detected plurality of outputs may include an output having a large noise component suddenly generated. The amplitude calculation apparatus according to claim 3 calculates the amplitude for each combination of two outputs having a phase difference other than a multiple of 180 ° among the three or more detected outputs. By calculating a plurality of amplitudes in this way, for example, it is possible to exclude the amplitude estimated to be calculated using an output with a large noise component, and the amplitude can be acquired stably. The same applies to the amplitude calculation method according to the twelfth aspect.

請求項４に記載の振幅算出装置では、交流信号１周期以内という短い時間で測定対象から複数の出力を検出することによって、振幅をより迅速に取得できる。 In the amplitude calculation apparatus according to the fourth aspect , the amplitude can be acquired more quickly by detecting a plurality of outputs from the measurement object in a short time of within one cycle of the AC signal.

請求項５に記載の振幅算出装置では、複数の振幅の平均値を算出して、当該平均値を測定対象における交流信号の振幅とする。これによって、複数の振幅にノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅が含まれていても、当該振幅の影響を低減でき、振幅を安定して取得できる。請求項１３に記載の振幅算出方法についても同様である。 In the amplitude calculation apparatus according to the fifth aspect , an average value of a plurality of amplitudes is calculated, and the average value is set as the amplitude of the AC signal in the measurement target. Thereby, even if an amplitude calculated using an output with a large noise component is included in a plurality of amplitudes, the influence of the amplitude can be reduced, and the amplitude can be acquired stably. The same applies to the amplitude calculation method according to the thirteenth aspect .

請求項６に記載の振幅算出装置では、複数の振幅のうち複数の振幅の平均値に対して所定範囲以内である振幅の平均値を算出し、当該平均値を測定対象における交流信号の振幅とする。これによって、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅を除去でき、振幅をより安定して取得できる。所定範囲は、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅を確実に除外できると推定される範囲に設定され、たとえば請求項７に記載するように複数の振幅の標準偏差に基づいて設定される。 In the amplitude calculation device according to claim 6 , an average value of amplitudes within a predetermined range with respect to an average value of the plurality of amplitudes among the plurality of amplitudes is calculated, and the average value is calculated as the amplitude of the AC signal in the measurement target. To do. Thereby, the amplitude calculated using an output with a large noise component can be removed, and the amplitude can be acquired more stably. The predetermined range is set to a range in which it is estimated that the amplitude calculated using an output with a large noise component can be surely excluded. For example, as described in claim 7 , the predetermined range is set based on a standard deviation of a plurality of amplitudes. .

請求項８に記載の振幅算出装置では、複数の振幅の中央値（最大値と最小値との平均値）を算出して、当該中央値を測定対象における交流信号の振幅とする。これによって、複数の振幅にノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅が含まれていても、当該振幅の影響を低減でき、振幅を安定して取得できる。請求項１４に記載の振幅算出方法についても同様である。 In the amplitude calculation apparatus according to the eighth aspect , a median value (average value of the maximum value and the minimum value) of a plurality of amplitudes is calculated, and the median value is set as the amplitude of the AC signal in the measurement target. Thereby, even if an amplitude calculated using an output with a large noise component is included in a plurality of amplitudes, the influence of the amplitude can be reduced, and the amplitude can be acquired stably. The same applies to the amplitude calculation method according to the fourteenth aspect .

請求項９に記載の振幅算出装置では、複数の振幅のうち複数の振幅の中央値に対して所定範囲以内である振幅の平均値を算出し、当該平均値を測定対象における交流信号の振幅とする。これによって、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅を除去でき、振幅をより安定して取得できる。所定範囲は、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅を確実に除外できると推定される範囲に設定される。 In the amplitude calculation apparatus according to claim 9 , an average value of amplitudes within a predetermined range with respect to a median value of the plurality of amplitudes among the plurality of amplitudes is calculated, and the average value is calculated as the amplitude of the AC signal in the measurement target. To do. Thereby, the amplitude calculated using an output with a large noise component can be removed, and the amplitude can be acquired more stably. The predetermined range is set to a range where it is estimated that the amplitude calculated using an output with a large noise component can be reliably excluded.

請求項１０に記載のインピーダンス測定装置では、測定対象のインピーダンスを簡単かつ迅速に取得できる。請求項１５に記載のインピーダンス測定方法についても同様である。 In the impedance measuring apparatus according to the tenth aspect , the impedance to be measured can be acquired easily and quickly. The same applies to the impedance measuring method according to the fifteenth aspect .

この発明によれば、測定対象における交流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得できる。   According to the present invention, the amplitude of the AC signal in the measurement target can be acquired easily and quickly.

以下、図面を参照して、この発明の実施の形態について説明する。
図１を参照して、この実施形態では、この発明の振幅算出装置を測定対象１００のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置１０に適用する場合について説明する。
測定対象１００は、入力される検査信号に対して線形特性を有していれば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、および半導体パッケージ用のパッケージ基板等の各種基板であってもよいし、トランジスタ、コンデンサおよびダイオード等の各種電子部品であってもよい。このように検査信号に対して線形特性を有していれば測定対象１００として任意のものを選択できる。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
With reference to FIG. 1, this embodiment demonstrates the case where the amplitude calculation apparatus of this invention is applied to the impedance measurement apparatus 10 which measures the impedance of the measuring object 100. FIG.
If the measurement object 100 has linear characteristics with respect to the input inspection signal, various substrates such as a flexible substrate, a multilayer wiring substrate, an electrode plate for a liquid crystal display or a plasma display, and a package substrate for a semiconductor package It may be various electronic parts such as a transistor, a capacitor, and a diode. As described above, any measurement object 100 can be selected as long as the inspection signal has a linear characteristic.

インピーダンス測定装置１０は、検査信号を発生させる信号発生器１２、および測定対象１００のインピーダンスを測定するための測定部１４を含む。
信号発生器１２は、測定対象１００の一方の端子１０２ａに接続され、測定対象１００に入力（印加）すべき検査信号として単一周波数の正弦波をなす電気信号を発生させる。このような信号発生器１２からの検査信号が入力されることによって、測定対象１００には正弦波交流電圧信号（以下、単に電圧信号という）が生じるとともに正弦波交流電流信号（以下、単に電流信号という）が流れる。測定対象１００が線形特性を有することから、検査信号の周波数、電圧信号の周波数および電流信号の周波数はそれぞれ等しくなる。検査信号の入力に伴って測定対象１００に生じる電圧信号の出力、および検出信号の入力に伴って測定対象１００を流れる電流信号の出力は、下記の数２で表される。 The impedance measurement apparatus 10 includes a signal generator 12 that generates a test signal and a measurement unit 14 that measures the impedance of the measurement object 100.
The signal generator 12 is connected to one terminal 102 a of the measurement target 100 and generates an electric signal that forms a single frequency sine wave as a test signal to be input (applied) to the measurement target 100. By inputting such a test signal from the signal generator 12, a sine wave AC voltage signal (hereinafter simply referred to as a voltage signal) is generated in the measurement object 100 and a sine wave AC current signal (hereinafter simply referred to as a current signal). Flows). Since the measurement object 100 has a linear characteristic, the frequency of the inspection signal, the frequency of the voltage signal, and the frequency of the current signal are equal. The output of the voltage signal generated in the measuring object 100 with the input of the inspection signal and the output of the current signal flowing through the measuring object 100 with the input of the detection signal are expressed by the following formula 2.

Figure 0004833775
ここで、Ｙは出力であり、Ａは振幅であり、（φ＋ωｔ）は位相である。位相において、φは初期位相（位相角）であり、ωは角周波数であり、ｔは時間である。
Figure 0004833775
 Here, Y is an output, A is an amplitude, and (φ + ωt) is a phase. In phase, φ is the initial phase (phase angle), ω is the angular frequency, and t is time.

図２を参照して、たとえば、電圧信号の出力波形は実線で示すようになり、電流信号の出力波形は一点鎖線で示すようになる。図２に示すように、電流信号の出力波形は、測定対象１００のインダクタンスおよびキャパシタンスの少なくともいずれか一方の影響によって、電圧信号の出力波形に対してずれる場合がある。   Referring to FIG. 2, for example, the output waveform of the voltage signal is indicated by a solid line, and the output waveform of the current signal is indicated by a one-dot chain line. As shown in FIG. 2, the output waveform of the current signal may deviate from the output waveform of the voltage signal due to the influence of at least one of the inductance and capacitance of the measurement object 100.

図１に戻って、測定部１４は、測定対象１００から電圧信号の出力（電圧値）を検出する電圧計１６、測定対象１００から電流信号の出力（電流値）を検出する電流計１８、およびインピーダンス測定装置１０の各構成要素を制御するためのコントローラ２０を含む。   Returning to FIG. 1, the measurement unit 14 includes a voltmeter 16 that detects an output (voltage value) of a voltage signal from the measurement object 100, an ammeter 18 that detects an output (current value) of a current signal from the measurement object 100, and A controller 20 for controlling each component of the impedance measuring apparatus 10 is included.

電圧計１６は、測定対象１００の一方の端子１０２ａと他方の端子１０２ｂとに接続され、検査信号の入力に伴って端子１０２ａ，１０２ｂ間に生じる電圧信号の出力を検出する。電流計１８は、測定対象１００の端子１０２ｂに接続され、検査信号の入力に伴って測定対象１００を流れる電流信号の出力を検出する。   The voltmeter 16 is connected to one terminal 102a and the other terminal 102b of the measuring object 100, and detects the output of a voltage signal generated between the terminals 102a and 102b in response to the input of the inspection signal. The ammeter 18 is connected to the terminal 102b of the measurement target 100, and detects the output of the current signal flowing through the measurement target 100 in accordance with the input of the inspection signal.

コントローラ２０は、図示しないバスで互いに接続されるＣＰＵ２２、ＲＯＭ２４およびＲＡＭ２６を含む。また、コントローラ２０には、オペレータがデータ入力や指示を行うための入力部２８、およびオペレータに報知すべき情報を表示する表示部３０が接続される。   The controller 20 includes a CPU 22, a ROM 24, and a RAM 26 that are connected to each other via a bus (not shown). The controller 20 is connected with an input unit 28 for an operator to input data and instructions, and a display unit 30 for displaying information to be notified to the operator.

ＣＰＵ２２は、ＲＯＭ２４等に格納される各種のプログラムを実行し、インピーダンス測定装置１０の各構成要素に指示を与え、かつそれらの動作を制御する。具体的には、ＣＰＵ２２の指示に従って、電圧計１６が異なる時間における電圧信号の複数の出力を検出し、電流計１８が異なる時間における電流信号の複数の出力を検出する。   The CPU 22 executes various programs stored in the ROM 24 and the like, gives instructions to each component of the impedance measuring apparatus 10, and controls their operations. Specifically, in accordance with an instruction from the CPU 22, the voltmeter 16 detects a plurality of outputs of voltage signals at different times, and the ammeter 18 detects a plurality of outputs of current signals at different times.

ＲＯＭ２４は、インピーダンス測定装置１０を動作させるプログラムや所定のデータ等を格納している。具体的に、第１記憶手段であるＲＯＭ２４には、図３、図４および図６に示す動作を実行するためのプログラム等が格納されている。図３、図４および図６に示す動作では、下記の数１によって電圧信号および電流信号の振幅を算出する。

Figure 0004833775
The ROM 24 stores a program for operating the impedance measuring apparatus 10, predetermined data, and the like. Specifically, the ROM 24, which is the first storage means, stores programs for executing the operations shown in FIGS. 3, 4, and 6. In the operations shown in FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 6, the amplitudes of the voltage signal and the current signal are calculated by the following equation (1).
Figure 0004833775

ここで、数１の導出方法について説明する。
電圧信号および電流信号の出力は上記の数２で表されるので、時間ｔmにおける出力Ｙmは下記の数３の式（１）で表され、時間ｔnにおける出力Ｙnは下記の数３の式（２）で表される（ｍ，ｎは整数）。なお、時間ｔは、たとえば信号発生器１２からの検査信号が測定対象１００に入力されてからの時間である。

Figure 0004833775
Here, the derivation method of Formula 1 will be described.
Since the output of the voltage and current signals is represented by two numbers of the above, the output Y m at time t m is represented by equation (3) below (1), the number below the output Y n at time t n 3 (m and n are integers). The time t is, for example, the time after the inspection signal from the signal generator 12 is input to the measurement object 100.
Figure 0004833775

ωｔmをδmとし、ωｔnをδnとして、数３の式（１）および（２）をそれぞれ加法定理を用いて分解し、行列式として表すと下記の数４が得られる。

Figure 0004833775
When ωt m is δ m and ωt n is δ n , Equations (1) and (2) of Equation 3 are decomposed using the addition theorem, and expressed as a determinant, the following Equation 4 is obtained.
Figure 0004833775

つづいて、数４をｃｏｓφ，ｓｉｎφについて解くと下記の数５が得られる。

Figure 0004833775
Subsequently, when Equation 4 is solved for cos φ and sin φ, the following Equation 5 is obtained.
Figure 0004833775

そして、ｓｉｎ2φ＋ｃｏｓ2φ＝１に数５の式（２）および（３）を代入してＡについて解くと数１が得られる。ＲＯＭ２４には、このようにして得られる数１によって電圧信号および電流信号の振幅を算出するプログラムが格納されている。 Then, Equation 1 is obtained by substituting Equations (2) and (3) of Equation 5 into sin 2 φ + cos 2 φ = 1 and solving for A. The ROM 24 stores a program for calculating the amplitudes of the voltage signal and the current signal according to Equation 1 obtained as described above.

ＲＡＭ２６は、ＣＰＵ２２の作業領域として使用される。第２記憶手段であるＲＡＭ２６には各種プログラムが展開され、ＲＡＭ２６はそれらのプログラムによる処理結果、処理のための一時データ、および表示部３０に表示させる表示内容に対応するデータ等を保持する。   The RAM 26 is used as a work area for the CPU 22. Various programs are developed in the RAM 26 serving as the second storage means, and the RAM 26 stores processing results of these programs, temporary data for processing, data corresponding to display contents to be displayed on the display unit 30, and the like.

入力部２８はキーボードやマウス等からなり、表示部３０はＣＲＴモニタ等からなる。表示部３０は、コントローラ２０のＲＡＭ２６上に展開される表示用データに対応する表示内容（テキスト、画像等）を表示する。   The input unit 28 includes a keyboard and a mouse, and the display unit 30 includes a CRT monitor. The display unit 30 displays display contents (text, images, etc.) corresponding to display data developed on the RAM 26 of the controller 20.

この実施形態では、測定部１４が振幅算出装置としても機能する。また、測定部１４の電圧計１６とＣＰＵ２２とによって電圧信号の出力を異なる時間毎に検出する検出手段が構成され、電流計１８とＣＰＵ２２とによって電流信号の出力を異なる時間毎に検出する検出手段が構成される。また、測定部１４のＣＰＵ２２が第１〜第４算出手段としても機能する。   In this embodiment, the measurement unit 14 also functions as an amplitude calculation device. The voltmeter 16 of the measurement unit 14 and the CPU 22 constitute detection means for detecting the output of the voltage signal at different times, and the ammeter 18 and the CPU 22 detect the output of the current signal at different times. Is configured. Further, the CPU 22 of the measurement unit 14 also functions as first to fourth calculation means.

このように構成されるインピーダンス測定装置１０では、振幅算出装置としても機能する測定部１４において、測定対象１００に生じる電圧信号の複数の出力を検出し、検出した複数の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力と、当該２つの出力の位相差とを用いて電圧信号の振幅を算出する。   In the impedance measuring apparatus 10 configured as described above, the measurement unit 14 that also functions as an amplitude calculating apparatus detects a plurality of outputs of a voltage signal generated in the measurement target 100, and a phase difference between the detected outputs is detected. The amplitude of the voltage signal is calculated using two outputs having a value other than a multiple of 180 ° and the phase difference between the two outputs.

ついで、図３を参照して、インピーダンス測定装置１０における電圧信号の振幅算出動作の一例について説明する。
まず、ＣＰＵ２２の指示に従って信号発生器１２が検査信号を発生させ、検査信号が端子１０２ａから測定対象１００に入力される（ステップＳ１）。 Next, an example of the voltage signal amplitude calculation operation in the impedance measuring apparatus 10 will be described with reference to FIG.
First, the signal generator 12 generates an inspection signal in accordance with an instruction from the CPU 22, and the inspection signal is input from the terminal 102a to the measurement object 100 (step S1).

つづいて、電圧計１６によって検出される電圧信号の出力をＣＰＵ２２が異なる時間毎に取得する。つまり、異なる時間毎に電圧信号の出力が検出される（ステップＳ３）。
図２に示すように、ステップＳ３では、電圧信号１周期以内に収まる時間ｔ1，ｔ2における出力Ｙ1，Ｙ2を検出する。つまり、電圧信号１周期以内で出力Ｙ1，Ｙ2を検出する。また、時間ｔ1，ｔ2は、出力Ｙ1，Ｙ2の位相差δ2−δ1（δ2＝ωｔ2，δ1＝ωｔ1：数３参照）が１８０°の倍数以外になるように設定されている。ステップＳ３で検出された出力Ｙ1，Ｙ2は、時間ｔ1，ｔ2に関連付けてＲＡＭ２６に保持される。ちなみに、電圧信号の周期は、検査信号の周波数と電圧信号の周波数とが等しいことから把握できる。また電圧信号の周波数を把握できることから、時間ｔ1，ｔ2を位相差δ2−δ1が１８０°の倍数以外になるように設定できる。 Subsequently, the CPU 22 acquires the output of the voltage signal detected by the voltmeter 16 at different times. That is, the output of the voltage signal is detected at different times (step S3).
As shown in FIG. 2, in step S3, outputs Y 1 and Y 2 at times t 1 and t 2 that fall within one cycle of the voltage signal are detected. That is, the outputs Y 1 and Y 2 are detected within one cycle of the voltage signal. At times t 1 and t 2 , the phase difference δ 2 −δ 1 (δ 2 = ωt 2 , δ 1 = ωt 1 : see Equation 3) of the outputs Y 1 and Y 2 is not a multiple of 180 °. Is set to The outputs Y 1 and Y 2 detected in step S3 are stored in the RAM 26 in association with the times t 1 and t 2 . Incidentally, the period of the voltage signal can be grasped because the frequency of the inspection signal is equal to the frequency of the voltage signal. Further, since the frequency of the voltage signal can be grasped, the times t 1 and t 2 can be set so that the phase difference δ 2 −δ 1 is not a multiple of 180 °.

つづいて、ＣＰＵ２２の指示に従って検査信号の入力が停止され（ステップＳ５）、ＣＰＵ２２によって時間ｔ1からｔ2までの時間（期間）に基づいて出力Ｙ1，Ｙ2の位相差δ2−δ1が算出される（ステップＳ７）。ステップＳ７で算出された位相差δ2−δ1は、ＲＡＭ２６に保持される。 Subsequently, the input of the inspection signal is stopped according to the instruction of the CPU 22 (step S5), and the phase difference δ 2 −δ 1 between the outputs Y 1 and Y 2 is determined by the CPU 22 based on the time (period) from time t 1 to t 2. Is calculated (step S7). The phase difference δ 2 −δ 1 calculated in step S 7 is held in the RAM 26.

つづいて、ＣＰＵ２２の指示に従ってＲＯＭ２４からＲＡＭ２６上に数１が読み出される。そして、出力Ｙ1をＹmに、出力Ｙ2をＹnに、位相差δ2−δ1をδn−δmに代入し、ＣＰＵ２２が数１の演算を行うことによって振幅Ａ（図２参照）が算出される（ステップＳ９）。その後、ステップＳ９で算出された振幅が測定対象１００における電圧信号の振幅としてＲＡＭ２６に保持され、電圧信号の振幅算出動作が終了する。 Subsequently, Equation 1 is read from the ROM 24 onto the RAM 26 in accordance with an instruction from the CPU 22. Then, the output Y 1 is substituted for Y m , the output Y 2 is substituted for Y n , the phase difference δ 2 -δ 1 is substituted for δ n -δ m , and the CPU 22 performs the calculation of Equation 1 to thereby determine the amplitude A (FIG. Reference) is calculated (step S9). After that, the amplitude calculated in step S9 is held in the RAM 26 as the amplitude of the voltage signal in the measurement object 100, and the voltage signal amplitude calculation operation ends.

なお、ステップＳ５は、ステップＳ３の後であればどのタイミングで行ってもよい。   Note that step S5 may be performed at any timing after step S3.

電圧信号の振幅算出動作と電流信号の振幅算出動作とは同様であるので、「電圧計１６」を「電流計１８」に読み替え、「電圧信号」を「電流信号」に読み替えることで、電流信号の振幅算出動作については説明を省略する。   Since the amplitude calculation operation of the voltage signal and the amplitude calculation operation of the current signal are the same, the current signal can be obtained by replacing “voltmeter 16” with “ammeter 18” and “voltage signal” with “current signal”. The description of the amplitude calculation operation is omitted.

インピーダンス測定装置１０では、Ｚ＝Ｖ／Ｉ（Ｚはインピーダンス、Ｖは電圧、Ｉは電流）の関係から、算出した電圧信号の振幅を算出した電流信号の振幅で割ることによって測定対象１００のインピーダンスを算出する。   In the impedance measuring apparatus 10, the impedance of the measuring object 100 is calculated by dividing the calculated amplitude of the voltage signal by the calculated amplitude of the current signal from the relationship of Z = V / I (Z is impedance, V is voltage, and I is current). Is calculated.

このように、電圧信号および電流信号のそれぞれについて２つの出力と当該２つの出力の位相差とを所定の数１に代入して振幅を算出することによって、複数周期に及んで多数の出力を検出する場合に比べて、測定対象１００における電圧信号の振幅および電流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得できる。   As described above, by calculating the amplitude by substituting the two outputs and the phase difference between the two outputs into the predetermined number 1 for each of the voltage signal and the current signal, a large number of outputs are detected over a plurality of periods. Compared with the case where it does, the amplitude of the voltage signal in the measuring object 100 and the amplitude of a current signal can be acquired simply and rapidly.

電圧信号および電流信号のそれぞれについて１周期以内という短い時間（期間）で測定対象１００から出力を検出することによって、振幅をより迅速に取得できる。   By detecting the output from the measuring object 100 in a short time (period) within one cycle for each of the voltage signal and the current signal, the amplitude can be acquired more quickly.

電圧信号および電流信号のそれぞれについて２つという必要最小限の出力のみを検出することによって、振幅をより簡単に取得できる。   By detecting only the minimum required outputs of two for each of the voltage signal and the current signal, the amplitude can be obtained more easily.

このようなインピーダンス測定装置１０によれば、測定対象１００における電圧信号の振幅および電流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得でき、ひいては測定対象１００のインピーダンスを簡単かつ迅速に取得できる。   According to the impedance measuring apparatus 10 as described above, the amplitude of the voltage signal and the amplitude of the current signal in the measurement target 100 can be acquired easily and quickly, and consequently the impedance of the measurement target 100 can be acquired easily and quickly.

なお、図３に示す振幅算出動作では、２つの出力のみを検出する場合について説明したが、この発明はこれに限定されない。３つ以上の出力を検出して、複数の振幅を算出してもよい。   In the amplitude calculation operation shown in FIG. 3, the case where only two outputs are detected has been described, but the present invention is not limited to this. A plurality of amplitudes may be calculated by detecting three or more outputs.

ついで、図４を参照して、インピーダンス測定装置１０における電圧信号の振幅算出動作の他の例について説明する。なお、図３と図４とにおいて、同じ処理には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。   Next, another example of the voltage signal amplitude calculation operation in the impedance measuring apparatus 10 will be described with reference to FIG. In FIG. 3 and FIG. 4, the same process is denoted by the same reference numeral, and redundant description is omitted.

図５に示すように、ここでは、電圧信号１周期以内で時間ｔ1〜ｔ9における出力Ｙ1〜Ｙ9を検出する場合について説明する。なお、或る出力と他の全ての出力との位相差がそれぞれ１８０°の倍数以外となるように各出力を検出するものとする。 As shown in FIG. 5, here, the case where the outputs Y 1 to Y 9 at the times t 1 to t 9 are detected within one period of the voltage signal will be described. It is assumed that each output is detected such that the phase difference between a certain output and all other outputs is other than a multiple of 180 °.

図４の動作では、ステップＳ１の後、時間ｔ1〜ｔ9における電圧信号の出力Ｙ1〜Ｙ9が検出され（ステップＳ３ａ）、出力Ｙ1〜Ｙ9が時間ｔ1〜ｔ9に関連付けてＲＡＭ２６に保持される。 In the operation of FIG. 4, after the step S1, associated with the time t 1 ~t 9 outputs Y 1 to Y 9 of the voltage signal is detected at (step S3a), the output Y 1 to Y 9 is the time t 1 ~t 9 Held in the RAM 26.

つづいて、ステップＳ５の後、ＣＰＵ２２は、出力Ｙ1〜Ｙ3を第１のグループ、出力Ｙ4〜Ｙ6を第２のグループ、出力Ｙ7〜Ｙ9を第３のグループとして、各グループの２つの出力の２つの組み合わせ毎に位相差を算出する（ステップＳ７ａ）。
ステップＳ７ａでは、たとえば、第１のグループについて出力Ｙ1，Ｙ2の位相差δ2−δ1と出力Ｙ1，Ｙ3の位相差δ3−δ1とを算出し、第２のグループについて出力Ｙ4，Ｙ5の位相差δ5−δ4と出力Ｙ4，Ｙ6の位相差δ6−δ4とを算出し、第３のグループについて出力Ｙ7，Ｙ8の位相差δ8−δ7と出力Ｙ7，Ｙ9の位相差δ9−δ7とを算出する。このように算出された複数（ここでは６個）の位相差は、対応する２つの出力に関連付けてＲＡＭ２６に保持される。 Subsequently, after the step S5, CPU 22 has an output Y 1 to Y 3 first group, the output Y 4 to Y 6 second group, the output Y 7 to Y 9 a third group, each group The phase difference is calculated for each of the two combinations of the two outputs (step S7a).
At step S7a, for example, the first output Y 1, Y 2 of calculating the phase difference [delta] 3 - [delta 1 phase difference [delta] 2 - [delta 1 and the output Y 1, Y 3 for the group, the second group output Y 4, Y 5 of calculating the phase difference [delta] 5 - [delta 4 and output Y 4, the phase difference [delta] 6 - [delta 4 of Y 6, the phase difference [delta] 8 output Y 7, Y 8 for the third group -Δ 7 and the phase difference δ 9 -δ 7 between the outputs Y 7 and Y 9 are calculated. A plurality (six in this case) of phase differences calculated in this way are stored in the RAM 26 in association with the corresponding two outputs.

つづいて、ＣＰＵ２２は、各グループの２つの出力の２つの組み合わせ毎に振幅を算出する（ステップＳ９ａ）。
ステップＳ９ａでは、第１のグループについて、出力Ｙ1，Ｙ2とそれらの位相差δ2−δ1とを数１に代入して振幅Ａ1を算出し、出力Ｙ1，Ｙ3とそれらの位相差δ3−δ1とを数１に代入して振幅Ａ2を算出する。また、第２のグループについて、出力Ｙ4，Ｙ5とそれらの位相差δ5−δ4とを数１に代入して振幅Ａ3を算出し、出力Ｙ4，Ｙ6とそれらの位相差δ6−δ4とを数１に代入して振幅Ａ4を算出する。また、第３のグループについて、出力Ｙ7，Ｙ8とそれらの位相差δ8−δ7とを数１に代入して振幅Ａ5を算出し、出力Ｙ7，Ｙ9とそれらの位相差δ9−δ7とを数１に代入して振幅Ａ6を算出する。このように算出された複数の振幅（ここでは振幅Ａ1〜Ａ6）は、ＲＡＭ２６に保持される。 Subsequently, the CPU 22 calculates the amplitude for each of the two combinations of the two outputs of each group (step S9a).
At step S9a, the first group, the output Y 1, Y 2 and by substituting their phase difference [delta] 2 - [delta 1 Number and one calculates the amplitude A 1, the output Y 1, Y 3 and their The amplitude A 2 is calculated by substituting the phase difference δ 3 −δ 1 into Equation 1. For the second group, the outputs Y 4 and Y 5 and their phase differences δ 5 −δ 4 are substituted into Equation 1 to calculate the amplitude A 3 , and the outputs Y 4 and Y 6 and their phase differences are calculated. The amplitude A 4 is calculated by substituting δ 6 −δ 4 into Equation 1. For the third group, the outputs Y 7 and Y 8 and their phase differences δ 8 −δ 7 are substituted into Equation 1 to calculate the amplitude A 5 , and the outputs Y 7 and Y 9 and their phase differences are calculated. The amplitude A 6 is calculated by substituting δ 9 −δ 7 into Equation 1. A plurality of amplitudes calculated in this way (here, amplitudes A 1 to A 6 ) are held in the RAM 26 .

つづいて、ＣＰＵ２２によってステップＳ９ａで算出した複数の振幅の全ての平均値（以下、全体平均値という）が算出される（ステップＳ１１）。そして、ステップＳ９ａで算出した複数の振幅がそれぞれ全体平均値と比較され、全体平均値に対して所定範囲から外れる振幅があるか否かが判定される（ステップＳ１３）。ここで、「所定範囲」は、たとえば、全体平均値±σの範囲に設定される。「σ」はステップＳ９ａで算出した複数の振幅の標準偏差であり、ＣＰＵ２２によって算出される。ステップＳ９ａで算出した複数の振幅の分布において、全体平均値±σの範囲以内であればノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅が含まれていないと推定できる。   Subsequently, the CPU 22 calculates all average values (hereinafter referred to as overall average values) of the plurality of amplitudes calculated in step S9a (step S11). Then, each of the plurality of amplitudes calculated in step S9a is compared with the overall average value, and it is determined whether or not there is an amplitude outside the predetermined range with respect to the overall average value (step S13). Here, the “predetermined range” is set, for example, within a range of the overall average value ± σ. “Σ” is a standard deviation of a plurality of amplitudes calculated in step S9a, and is calculated by the CPU 22. If the distribution of the plurality of amplitudes calculated in step S9a is within the range of the overall average value ± σ, it can be estimated that the amplitude calculated using the output having a large noise component is not included.

そして、全体平均値に対して所定範囲から外れる振幅がある場合、ＣＰＵ２２によって当該振幅を除いた複数の振幅の平均値が算出される。つまり、複数の振幅のうち全体平均値に対して所定範囲以内である振幅の平均値（以下、部分平均値という）が算出される（ステップＳ１５）。その後、部分平均値が測定対象１００における電圧信号の振幅としてＲＡＭ２６に保持され、電圧信号の振幅算出動作が終了する。   If there is an amplitude that deviates from the predetermined range with respect to the overall average value, the CPU 22 calculates an average value of a plurality of amplitudes excluding the amplitude. That is, an average value of amplitudes (hereinafter referred to as partial average values) within a predetermined range with respect to the overall average value among the plurality of amplitudes is calculated (step S15). After that, the partial average value is held in the RAM 26 as the amplitude of the voltage signal in the measurement object 100, and the voltage signal amplitude calculation operation ends.

一方、全体平均値に対して所定範囲から外れる振幅がない場合、全体平均値が測定対象１００における電圧信号の振幅としてＲＡＭ２６に保持され、電圧信号の振幅算出動作が終了する。   On the other hand, if there is no amplitude that deviates from the predetermined range with respect to the overall average value, the overall average value is held in the RAM 26 as the amplitude of the voltage signal in the measurement object 100, and the voltage signal amplitude calculation operation ends.

なお、ステップＳ７ａ，Ｓ９ａにおける２つの出力の組み合わせ方は任意に設定できる。たとえば、出力Ｙ1〜Ｙ9の全ての組み合わせについて、ステップＳ７ａで位相差を算出し、ステップＳ９ａで振幅（この場合、Ａ1〜Ａ45）を算出するようにしてもよい。 Note that the combination of the two outputs in steps S7a and S9a can be arbitrarily set. For example, for all combinations of outputs Y 1 to Y 9 , the phase difference may be calculated in step S7a, and the amplitude (in this case, A 1 to A 45 ) may be calculated in step S9a.

また、ステップＳ１３において、所定範囲を全体平均値±σの範囲とする場合について説明したが、所定範囲はこれに限定されない。所定範囲は、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅を除外できるように、複数の振幅の分布状態に基づいて任意に設定できる。たとえば所定範囲を全体平均値±０．５σの範囲に設定してもよい。   Moreover, although the case where the predetermined range is set to the range of the overall average value ± σ in step S13 has been described, the predetermined range is not limited to this. The predetermined range can be arbitrarily set based on the distribution state of a plurality of amplitudes so that the amplitude calculated using an output with a large noise component can be excluded. For example, the predetermined range may be set to a range of the overall average value ± 0.5σ.

また、ステップＳ１５において、全体平均値に対して所定範囲以内である振幅が１つしかない場合は、当該振幅を測定対象１００における電圧信号の振幅とすればよい。全体平均値に対して所定範囲以内である振幅が１つもない場合は、エラーとして図４の動作を最初から行うようにすればよい。   In step S15, when there is only one amplitude that is within a predetermined range with respect to the overall average value, the amplitude may be set as the amplitude of the voltage signal in the measurement target 100. If there is no amplitude within the predetermined range with respect to the overall average value, the operation of FIG. 4 may be performed from the beginning as an error.

また、図４の動作において、ステップＳ１３以降の処理を行わないようにしてもよい。つまり、所定範囲から外れる振幅があっても全体平均値を測定対象１００における電圧信号の振幅とするようにしてもよい。   Further, in the operation of FIG. 4, the processing after step S13 may not be performed. That is, even if there is an amplitude outside the predetermined range, the overall average value may be used as the amplitude of the voltage signal in the measurement object 100.

また、図４の動作において、ステップＳ１１以降の処理を行わないようにしてもよい。そして、たとえば、ステップＳ９ａで算出した複数の振幅からオペレータの判断によってノイズ成分が大きな出力を用いて算出したと推定される振幅を除外し、当該振幅を除いた複数の振幅の平均値をＣＰＵ２２に算出させるようにしてもよい。   Further, in the operation of FIG. 4, the processing after step S11 may not be performed. Then, for example, the amplitude estimated to be calculated using the output having a large noise component by the operator's judgment from the plurality of amplitudes calculated in step S9a is excluded, and the average value of the plurality of amplitudes excluding the amplitude is given to the CPU 22. It may be calculated.

さらに、図４の動作では、或る出力と他の全ての出力との位相差がそれぞれ１８０°の倍数以外となる場合について説明したが、これに限定されない。検出される３つ以上の出力は、それぞれ他の少なくとも１つの出力との位相差が１８０°の倍数以外であればよい。   Furthermore, in the operation of FIG. 4, the case where the phase difference between one output and all other outputs is other than a multiple of 180 ° has been described, but the present invention is not limited to this. The detected three or more outputs only have to have a phase difference from at least one other output other than a multiple of 180 °.

図４の動作のように、複数の振幅の全体平均値を振幅とすることによって、複数の振幅にノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅が含まれていても、当該振幅の影響を低減でき、振幅を安定して取得できる。   As shown in the operation of FIG. 4, by setting the overall average value of a plurality of amplitudes as amplitudes, even if the amplitudes calculated using an output with a large noise component are included in the plurality of amplitudes, the influence of the amplitudes is reduced. The amplitude can be acquired stably.

さらに、全体平均値に対して所定範囲外である振幅がある場合には、部分平均値を振幅とすることによって、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅を除去でき、振幅をより安定して取得できる。   Furthermore, if there is an amplitude that is outside the predetermined range with respect to the overall average value, the amplitude calculated by using the output with a large noise component can be removed by making the partial average value an amplitude, and the amplitude becomes more stable. Can be obtained.

ついで、図６を参照して、インピーダンス測定装置１０における電圧信号の振幅算出動作のその他の例について説明する。なお、図４と図６とにおいて、同じ処理には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。   Next, another example of the amplitude calculation operation of the voltage signal in the impedance measuring apparatus 10 will be described with reference to FIG. In FIG. 4 and FIG. 6, the same processing is denoted by the same reference numeral, and redundant description is omitted.

図６の動作では、ステップＳ９ａの後、ステップＳ９ａで算出した複数の振幅の中央値（最大値と最小値との平均値）を算出する（ステップＳ１１ａ）。そして、ステップＳ９ａで算出した複数の振幅がそれぞれ中央値と比較され、中央値に対して所定範囲から外れる振幅があるか否かが判定される（ステップＳ１３ａ）。ここで、「所定範囲」は、たとえば、ステップＳ１１ａで算出した中央値の９５％〜１０５％の範囲に設定される。ステップＳ９ａで算出した複数の振幅の分布において、中央値の９５％〜１０５％の範囲以内であればノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅が含まれていないと推定できる。   In the operation of FIG. 6, after step S9a, the median value (average value of the maximum value and the minimum value) of the plurality of amplitudes calculated in step S9a is calculated (step S11a). Then, each of the plurality of amplitudes calculated in step S9a is compared with the median value, and it is determined whether or not there is an amplitude outside the predetermined range with respect to the median value (step S13a). Here, the “predetermined range” is set, for example, in a range of 95% to 105% of the median value calculated in step S11a. If the distribution of the plurality of amplitudes calculated in step S9a is within the range of 95% to 105% of the median value, it can be estimated that the amplitude calculated using the output having a large noise component is not included.

そして、中央値に対して所定範囲から外れる振幅がある場合、ＣＰＵ２２によって当該振幅を除いた複数の振幅の平均値が算出される。つまり、中央値に対して所定範囲以内である複数の振幅の平均値（以下、部分平均値という）が算出される（ステップＳ１５ａ）。その後、部分平均値が測定対象１００における電圧信号の振幅としてＲＡＭ２６に保持され、電圧信号の振幅算出動作が終了する。   If there is an amplitude that deviates from the predetermined range with respect to the median value, the CPU 22 calculates an average value of a plurality of amplitudes excluding the amplitude. That is, an average value of a plurality of amplitudes that are within a predetermined range with respect to the median value (hereinafter referred to as a partial average value) is calculated (step S15a). After that, the partial average value is held in the RAM 26 as the amplitude of the voltage signal in the measurement object 100, and the voltage signal amplitude calculation operation ends.

一方、中央値に対して所定範囲から外れる振幅がない場合、中央値が測定対象１００における電圧信号の振幅としてＲＡＭ２６に保持され、電圧信号の振幅算出動作が終了する。   On the other hand, if there is no amplitude that deviates from the predetermined range with respect to the median value, the median value is held in the RAM 26 as the amplitude of the voltage signal in the measurement object 100, and the voltage signal amplitude calculation operation ends.

なお、ステップＳ１１ａにおいて、所定範囲を中央値の９５％〜１０５％の範囲とする場合について説明したが、所定範囲はこれに限定されない。所定範囲は、ノイズ成分が大きな出力を用いて算出した振幅を除外できるように、複数の振幅の分布状態に基づいて任意に設定できる。   In addition, although the case where the predetermined range is set to the range of 95% to 105% of the median in step S11a has been described, the predetermined range is not limited to this. The predetermined range can be arbitrarily set based on the distribution state of a plurality of amplitudes so that the amplitude calculated using an output with a large noise component can be excluded.

また、ステップＳ１３ａにおいて、中央値に対して所定範囲から外れる振幅がない場合、複数の振幅（全ての振幅）の平均値（全体平均値）を算出し、全体平均値を測定対象１００における電圧信号の振幅としてもよい。   In step S13a, when there is no amplitude deviating from the predetermined range with respect to the median value, an average value (overall average value) of a plurality of amplitudes (all amplitudes) is calculated, and the overall average value is used as a voltage signal in the measurement target 100. The amplitude may be as follows.

また、ステップＳ１５ａにおいて、中央値に対して所定範囲以内である振幅が１つしかない場合は、当該振幅を測定対象１００における電圧信号の振幅とすればよい。中央値に対して所定範囲以内である振幅が１つもない場合は、エラーとして図６の動作を最初から行うようにすればよい。   In Step S15a, when there is only one amplitude that is within a predetermined range with respect to the median value, the amplitude may be set as the amplitude of the voltage signal in the measurement target 100. If there is no amplitude within the predetermined range with respect to the median, the operation of FIG. 6 may be performed from the beginning as an error.

さらに、図６の動作において、ステップＳ１１ａ以降の処理を行わないようにしてもよい。つまり、所定範囲から外れる振幅があっても中央値を測定対象１００における電圧信号の振幅とするようにしてもよい。   Furthermore, in the operation of FIG. 6, the processing after step S11a may not be performed. In other words, even if there is an amplitude that deviates from the predetermined range, the median value may be set as the amplitude of the voltage signal in the measurement object 100.

図６の動作によって振幅を算出することで、上述の図４の動作と同様に、振幅を安定して取得できる。   By calculating the amplitude by the operation of FIG. 6, the amplitude can be stably acquired as in the above-described operation of FIG.

なお、２つの出力を検出する時間（期間）は特に限定されず、１周期を超えていてもよいが、図３、図４および図６の動作のように１周期以内で複数の出力を検出することによって、振幅をより迅速に取得できる。つまり、互いの位相差が３６０°未満の２つの出力を用いることによって振幅をより迅速に取得できる。   Note that the time (period) for detecting the two outputs is not particularly limited and may exceed one cycle, but a plurality of outputs are detected within one cycle as in the operations of FIGS. 3, 4, and 6. By doing so, the amplitude can be acquired more quickly. That is, the amplitude can be acquired more quickly by using two outputs whose phase difference is less than 360 °.

また、図３、図４および図６の動作では、２つの出力の位相差を当該２つの出力の一方の検出から他方の検出までの時間に基づいて算出する場合について説明したが、この発明はこれに限定されない。たとえば所定の位相差をＲＯＭ２４等の記憶手段に予め格納しておき、所定の位相差となるように２つの出力を検出してもよい。つまり、記憶手段から所定の位相差を取得し、当該位相差に応じて２つの出力を検出するようにしてもよい。   In the operations of FIGS. 3, 4 and 6, the case where the phase difference between the two outputs is calculated based on the time from the detection of one of the two outputs to the detection of the other output has been described. It is not limited to this. For example, a predetermined phase difference may be stored in advance in a storage unit such as the ROM 24, and two outputs may be detected so as to obtain a predetermined phase difference. That is, a predetermined phase difference may be acquired from the storage unit, and two outputs may be detected according to the phase difference.

ついで、図７および図８を参照して、インピーダンス測定装置１０によって取得される複数の振幅の標準偏差と従来の装置によって取得される複数の振幅の標準偏差との比較例について説明する。図７は電圧信号についての比較例であり、図８は電流信号についての比較例である。図７および図８において、白抜き円形のプロットはインピーダンス測定装置１０によって取得した複数の振幅の標準偏差を示し、白抜き三角形のプロットは従来の装置で取得した複数の振幅の標準偏差を示している。   Next, with reference to FIG. 7 and FIG. 8, a comparative example of a plurality of amplitude standard deviations acquired by the impedance measuring apparatus 10 and a plurality of amplitude standard deviations acquired by a conventional apparatus will be described. FIG. 7 is a comparative example for the voltage signal, and FIG. 8 is a comparative example for the current signal. In FIGS. 7 and 8, the white circle plot indicates the standard deviation of the plurality of amplitudes acquired by the impedance measuring apparatus 10, and the white triangle plot indicates the standard deviation of the plurality of amplitudes acquired by the conventional apparatus. Yes.

インピーダンス測定装置１０および従来の装置のいずれにおいても、測定対象に最大値
１Ｖ，２００ｍＡの検査信号を入力し、検査信号の周波数２００Ｈｚ、５００Ｈｚ、１０００Ｈｚ、２０００Ｈｚ毎に１００個の振幅を取得した。そして、各周波数毎に１００個の振幅の標準偏差を求めた。 In both the impedance measuring apparatus 10 and the conventional apparatus, an inspection signal having a maximum value of 1 V and 200 mA was input to the measurement target, and 100 amplitudes were obtained for each of the inspection signal frequencies 200 Hz, 500 Hz, 1000 Hz, and 2000 Hz. Then, 100 standard deviations of amplitudes were obtained for each frequency.

インピーダンス測定装置１０では、図４の動作によって最終的な振幅を算出した。詳しくは、図４の動作において、検査信号の周波数が２００Ｈｚの場合には全体平均値の算出に１２４７５０個の振幅（以下、基礎振幅という）を用い、検査信号の周波数が５００Ｈｚの場合には全体平均値の算出に１９９００個の基礎振幅を用い、検査信号の周波数が１０００Ｈｚの場合には全体平均値の算出に４９５０個の基礎振幅を用い、検査信号の周波数が２０００Ｈｚの場合には全体平均値の算出に４９５０個の基礎振幅を用いた。そして、それぞれの場合について、基礎振幅に全体平均値±σの範囲（所定範囲）から外れる基礎振幅があるか否かを判断し、所定範囲から外れる基礎振幅があれば部分平均値を最終的な振幅とし、所定範囲から外れる基礎振幅がなければ全体平均値を最終的な振幅とした。   In the impedance measuring apparatus 10, the final amplitude is calculated by the operation of FIG. Specifically, in the operation of FIG. 4, when the frequency of the inspection signal is 200 Hz, 124750 amplitudes (hereinafter referred to as basic amplitudes) are used to calculate the overall average value, and when the frequency of the inspection signal is 500 Hz, 19900 basic amplitudes are used to calculate the average value, 4950 basic amplitudes are used to calculate the overall average value when the frequency of the inspection signal is 1000 Hz, and the overall average value when the frequency of the inspection signal is 2000 Hz 4950 basal amplitudes were used for the calculation. Then, in each case, it is determined whether or not there is a basic amplitude that is out of the range (predetermined range) of the overall average value ± σ, and if there is a basic amplitude that is out of the predetermined range, the partial average value is finalized. If there was no basic amplitude outside the predetermined range, the overall average value was taken as the final amplitude.

また、従来の装置では、１周期につき出力を複数回検出する動作を複数周期に及んで行った。詳しくは、従来の装置において、検査信号の周波数が２００Ｈｚの場合には１周期につき５００個の出力を検出する動作を５周期分行い、検査信号の周波数が５００Ｈｚの場合には１周期につき２００個の出力を検出する動作を１０周期分行い、検査信号の周波数が１０００Ｈｚの場合には１周期につき１００個の出力を検出する動作を１０周期分行い、検査信号の周波数が２０００Ｈｚの場合には１周期につき１００個の出力を検出する動作を２５周期分行った。そして、それぞれの場合について、各周期の同位相毎に出力を平均して出力波形を復元し、復元した出力波形から振幅を検出した。   Moreover, in the conventional apparatus, the operation | movement which detects an output in multiple times per period was performed over several periods. Specifically, in the conventional apparatus, when the frequency of the inspection signal is 200 Hz, the operation of detecting 500 outputs per cycle is performed for five cycles, and when the frequency of the inspection signal is 500 Hz, 200 pieces per cycle. The operation of detecting the output of 10 is performed for 10 cycles. When the frequency of the inspection signal is 1000 Hz, the operation of detecting 100 outputs per cycle is performed for 10 cycles, and 1 when the frequency of the inspection signal is 2000 Hz. The operation of detecting 100 outputs per cycle was performed for 25 cycles. In each case, the output was averaged for each phase of each cycle to restore the output waveform, and the amplitude was detected from the restored output waveform.

図７および図８からわかるように、電圧信号および電流信号のいずれについても、検査信号の周波数にかかわらず、従来の装置よりもインピーダンス測定装置１０の標準偏差が小さくなった。このことから、インピーダンス測定装置１０では、従来の装置に比べて短い周期で簡単かつ迅速に振幅を取得しつつも振幅を安定して取得できることがわかる。ひいては、インピーダンスを精度よく測定できることがわかる。   As can be seen from FIGS. 7 and 8, the standard deviation of the impedance measuring apparatus 10 is smaller than that of the conventional apparatus for both the voltage signal and the current signal regardless of the frequency of the inspection signal. From this, it can be seen that the impedance measuring device 10 can stably acquire the amplitude while acquiring the amplitude easily and quickly in a shorter cycle than the conventional device. As a result, it can be seen that the impedance can be accurately measured.

この発明の実施形態の一例を示す図解図である。It is an illustration figure which shows an example of embodiment of this invention. 測定対象からの交流信号の出力波形の一例を示す図解図である。It is an illustration figure which shows an example of the output waveform of the alternating current signal from a measuring object. 振幅算出動作の一例を示すフロー図である。It is a flowchart which shows an example of an amplitude calculation operation | movement. 振幅算出動作の他の例を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the other example of amplitude calculation operation | movement. ３つ以上の出力を検出する場合の出力および時間と出力波形との関係を示す図解図である。It is an illustration figure which shows the relationship between the output in the case of detecting three or more outputs, time, and an output waveform. 振幅算出動作のその他の例を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the other example of an amplitude calculation operation | movement. この発明によって取得される電圧信号の複数の振幅の標準偏差と従来技術によって取得される電圧信号の複数の振幅の標準偏差とを示すグラフである。It is a graph which shows the standard deviation of the several amplitude of the voltage signal acquired by this invention, and the standard deviation of the several amplitude of the voltage signal acquired by a prior art. この発明によって取得される電流信号の複数の振幅の標準偏差と従来技術によって取得される電流信号の複数の振幅の標準偏差とを示すグラフである。It is a graph which shows the standard deviation of several amplitude of the current signal acquired by this invention, and the standard deviation of several amplitude of the current signal acquired by a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

１０ インピーダンス測定装置
１４ 測定部
１６ 電圧計
１８ 電流計
２０ コントローラ
２２ ＣＰＵ
１００ 測定対象 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Impedance measuring apparatus 14 Measuring part 16 Voltmeter 18 Ammeter 20 Controller 22 CPU
100 Measurement target

Claims (15)

測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する検出手段、
前記検出手段によって検出される複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する取得手段、および
前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち２つの出力と前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第１算出手段を備え、
前記第１算出手段は、前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力をＹ m ，Ｙ n 、前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差をδ n −δ m 、前記交流信号の振幅をＡとして、
Figure 0004833775
 によって前記交流信号の振幅を算出する、振幅算出装置。 Detection means for detecting the output of the AC signal at different times from the measurement object,
Acquisition means for acquiring a phase difference between two outputs among a plurality of outputs detected by the detection means; and two outputs of the plurality of outputs detected by the detection means and the acquisition means acquired by the acquisition means First calculating means for calculating the amplitude of the AC signal using a phase difference between two outputs ;
The first calculation means obtains two outputs having a phase difference other than a multiple of 180 ° among the plurality of outputs detected by the detection means as Y m , Y n and the acquisition means. Assuming that the phase difference between the two outputs is δ n −δ m and the amplitude of the AC signal is A,
Figure 0004833775
 An amplitude calculation device that calculates the amplitude of the AC signal by means of: 測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する検出手段、
前記検出手段によって検出される複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する取得手段、および
前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち２つの出力と前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第１算出手段を備え、
前記検出手段は、互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力のみを検出する、振幅算出装置。 Detection means for detecting the output of the AC signal at different times from the measurement object,
Acquisition means for acquiring a phase difference between two outputs among a plurality of outputs detected by the detection means; and two outputs of the plurality of outputs detected by the detection means and the acquisition means acquired by the acquisition means First calculating means for calculating the amplitude of the AC signal using a phase difference between two outputs ;
The detection means is an amplitude calculation device that detects only two outputs whose phase difference is other than a multiple of 180 °. 測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する検出手段、
前記検出手段によって検出される複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する取得手段、および
前記検出手段によって検出される前記複数の出力のうち２つの出力と前記取得手段によって取得される当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第１算出手段を備え、
前記検出手段は、それぞれ他の少なくとも１つの出力との位相差が１８０°の倍数以外である３つ以上の出力を検出し、
前記取得手段は、前記３つ以上の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力の組み合わせ毎に位相差を取得し、
前記第１算出手段は、前記２つの出力の組み合わせ毎に振幅を算出する、振幅算出装置。 Detection means for detecting the output of the AC signal at different times from the measurement object,
Acquisition means for acquiring a phase difference between two outputs among a plurality of outputs detected by the detection means; and two outputs of the plurality of outputs detected by the detection means and the acquisition means acquired by the acquisition means First calculating means for calculating the amplitude of the AC signal using a phase difference between two outputs ;
The detecting means detects three or more outputs each having a phase difference other than a multiple of 180 ° with at least one other output;
The acquisition means acquires a phase difference for each combination of two outputs whose phase difference is other than a multiple of 180 ° among the three or more outputs,
The first calculation unit is an amplitude calculation device that calculates an amplitude for each combination of the two outputs. 前記検出手段は、前記交流信号１周期以内で前記複数の出力を検出する、請求項１から３のいずれかに記載の振幅算出装置。 The amplitude calculation apparatus according to claim 1, wherein the detection unit detects the plurality of outputs within one cycle of the AC signal. 前記第１算出手段によって算出される複数の振幅の平均値を算出する第２算出手段をさらに含む、請求項３に記載の振幅算出装置。 The amplitude calculation apparatus according to claim 3 , further comprising second calculation means for calculating an average value of a plurality of amplitudes calculated by the first calculation means. 前記複数の振幅のうち前記第２算出手段によって算出される前記平均値に対して所定範囲以内である振幅の平均値を算出する第３算出手段をさらに含む、請求項５に記載の振幅算出装置。 The amplitude calculation apparatus according to claim 5 , further comprising third calculation means for calculating an average value of amplitudes within a predetermined range with respect to the average value calculated by the second calculation means among the plurality of amplitudes. . 前記第１算出手段によって算出される前記複数の振幅の標準偏差を算出する第４算出手段をさらに含み、
前記所定範囲は前記第４算出手段によって算出される前記標準偏差に基づいて設定される、請求項６に記載の振幅算出装置。 A fourth calculating means for calculating a standard deviation of the plurality of amplitudes calculated by the first calculating means;
The amplitude calculation apparatus according to claim 6 , wherein the predetermined range is set based on the standard deviation calculated by the fourth calculation unit. 前記第１算出手段によって算出される複数の振幅の中央値を算出する第２算出手段をさらに含む、請求項３に記載の振幅算出装置。 The amplitude calculation apparatus according to claim 3 , further comprising second calculation means for calculating a median value of a plurality of amplitudes calculated by the first calculation means. 前記複数の振幅のうち前記第２算出手段によって算出される前記中央値に対して所定範囲以内である振幅の平均値を算出する第３算出手段をさらに含む、請求項８に記載の振幅算出装置。 The amplitude calculation apparatus according to claim 8 , further comprising third calculation means for calculating an average value of amplitudes within a predetermined range with respect to the median value calculated by the second calculation means among the plurality of amplitudes. . 請求項１から９のいずれかに記載の振幅算出装置を備える、インピーダンス測定装置。 It comprises amplitude computing apparatus according to any one of claims 1 to 9, the impedance measuring device. 測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する第１工程、
前記第１工程で検出した複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する第２工程、および
前記第１工程で検出した前記複数の出力のうち２つの出力と前記第２工程で取得した当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第３工程を備え、
前記第３工程では、前記第１工程で検出した前記複数の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力をＹ m ，Ｙ n 、前記第２工程で取得した当該２つの出力の位相差をδ n −δ m 、前記交流信号の振幅をＡとして、
Figure 0004833775
 によって前記交流信号の振幅を算出する、振幅算出方法。 A first step of detecting the output of an AC signal at different times from the measurement object;
A second step of acquiring a phase difference between two outputs among the plurality of outputs detected in the first step, and two outputs of the plurality of outputs detected in the first step and acquired in the second step. A third step of calculating the amplitude of the AC signal using the phase difference between the two outputs ;
In the third step, Y m , Y n , the two outputs obtained in the second step, which have a phase difference other than a multiple of 180 ° among the plurality of outputs detected in the first step. The phase difference between two outputs is δ n −δ m , and the amplitude of the AC signal is A,
Figure 0004833775
 An amplitude calculation method for calculating the amplitude of the AC signal by : 測定対象から異なる時間毎に交流信号の出力を検出する第１工程、
前記第１工程で検出した複数の出力のうち２つの出力の位相差を取得する第２工程、および
前記第１工程で検出した前記複数の出力のうち２つの出力と前記第２工程で取得した当該２つの出力の位相差とを用いて前記交流信号の振幅を算出する第３工程を備え、
前記第１工程では、それぞれ他の少なくとも１つの出力との位相差が１８０°の倍数以外である３つ以上の出力を検出し、
前記第２工程では、前記３つ以上の出力のうち互いの位相差が１８０°の倍数以外である２つの出力の組み合わせ毎に位相差を取得し、
前記第３工程では、前記２つの出力の組み合わせ毎に振幅を算出する、振幅算出方法。 A first step of detecting the output of an AC signal at different times from the measurement object;
A second step of acquiring a phase difference between two outputs among the plurality of outputs detected in the first step, and two outputs of the plurality of outputs detected in the first step and acquired in the second step. A third step of calculating the amplitude of the AC signal using the phase difference between the two outputs ;
In the first step, three or more outputs each having a phase difference other than a multiple of 180 ° with respect to at least one other output are detected,
In the second step, a phase difference is obtained for each combination of two outputs whose phase difference is other than a multiple of 180 ° among the three or more outputs.
In the third step, the amplitude is calculated for each combination of the two outputs. 前記第３工程で算出した複数の振幅の平均値を算出する第４工程をさらに含む、請求項１２に記載の振幅算出方法。 The amplitude calculation method according to claim 12 , further comprising a fourth step of calculating an average value of a plurality of amplitudes calculated in the third step. 前記第３工程で算出した複数の振幅の中央値を算出する第４工程をさらに含む、請求項１２に記載の振幅算出方法。 The amplitude calculation method according to claim 12 , further comprising a fourth step of calculating a median value of the plurality of amplitudes calculated in the third step. 請求項１１から１４のいずれかに記載の振幅算出方法を備える、インピーダンス測定方法。 It comprises amplitude computing method according to any of claims 11 to 14, the impedance measurement method.
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