JP4830847B2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
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Description
2 蒸発源
3 被蒸着体
4 筒状体
5 開口部
6 開閉手段
7 蒸着厚み計測手段
8 開閉制御手段
9 気化物質
10 温度調整手段
11 温度制御手段
Claims (2)
- 真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体とを配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を筒状体で囲み、蒸発源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置において、筒状体の温度を蒸発源の物質が気化する温度と気化しない温度の間で調整する温度調整手段と、蒸発源と被蒸着体の間に配置され、蒸発源から気化した物質を蒸着させてその蒸着厚みを計測する蒸着厚み計測手段と、蒸着厚み計測手段で計測される蒸着厚みに応じて、温度調整手段で調整される筒状体の温度を制御する温度制御手段と、を備えて成ることを特徴とする真空蒸着装置。
- 蒸発源から気化した物質を開口部を通過させた後に筒状体内を通して被蒸着体の表面に到達させるようにし、この開口部の開口度を調整可能な開閉手段と、蒸着厚み計測手段で計測される蒸着厚みに応じて開閉手段の開口度を調整する開閉制御手段とを備えて成ることを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着装置。
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