JP4829055B2 - 微小高さ測定方法及び微小高さ測定装置 - Google Patents
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Description
先ず、ステップS1においては、制御用PC19により測定領域181〜18nの分割数や、顕微鏡1の1回当りの上昇量や、画像データの取得回数等のパラメータが入力されて初期設定がなされる。
2…変位手段
3…撮像手段
4…制御手段
5…被測定物
6…対物レンズ
8…スリット板
10…スリット
15…投影光
181〜18n…測定領域
23…画素
Claims (4)
- 対物レンズにより被測定物上の所定の測定位置に細線状の投影光を投影するステップと、
前記対物レンズ又は被測定物の高さを前記対物レンズの光軸方向に変化させながら、前記対物レンズを介して前記被測定物上の投影光の複数枚の画像を撮像するステップと、
前記撮像された投影光の各画像にて、前記投影光の長さ方向に交差する方向に分割設定された複数の測定領域毎に、該各測定領域内に予め指定された複数の測定点の前記投影光の長さ方向に交差する方向の輝度勾配の大きさをそれぞれ算出し、それらを測定領域内で総和してコントラストを測定するステップと、
前記測定領域毎に最大のコントラストを示した前記対物レンズ又は被測定物の高さの変化量を抽出し、該高さの変化量に基づいて前記被測定物上の投影光に沿った高さ分布を求めるステップと、
を行うことを特徴とする微小高さ測定方法。 - 前記被測定物上の投影光は、スリットを通過した光であることを特徴とする請求項1記載の微小高さ測定方法。
- 対物レンズにより被測定物上の所定の測定位置に細線状の投影光を投影可能な顕微鏡と、
前記顕微鏡又は被測定物の高さを前記対物レンズの光軸方向に変化させる変位手段と、
前記対物レンズの結像点と光学的に共役の関係に配設され、前記対物レンズを介して前記被測定物上の投影光の複数枚の画像を撮像する撮像手段と、
前記変位手段の駆動を制御すると共に、前記撮像手段により撮像された投影光の各画像にて、前記投影光の長さ方向に交差する方向に分割設定された複数の測定領域毎に、該各測定領域内に予め指定された複数の測定点の前記投影光の長さ方向に交差する方向の輝度勾配の大きさをそれぞれ算出し、それを測定領域内で総和してコントラストを測定し、前記測定領域毎に最大のコントラストを示した前記顕微鏡又は被測定物の高さの変化量を抽出し、該高さの変化量に基づいて前記被測定物上の投影光に沿った高さ分布を求める制御手段と、
を備えたことを特徴とする微小高さ測定装置。 - 前記被測定物上の投影光は、スリットを通過した光であることを特徴とする請求項3記載の微小高さ測定装置。
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