JP4827896B2 - 画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置 - Google Patents
画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置 Download PDFInfo
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Description
2 試料台
3 半導体ウエハ
4 撮像装置
5 信号記憶部
6 差分検出部
7 検出閾値計算部
8 検出部
Claims (5)
- 2つの画像の対応する部分のグレイレベル差を検出し、
検出した前記グレイレベル差を閾値と比較して、前記グレイレベル差が前記閾値より大きい場合に、欠陥であると判定する画像欠陥検査方法であって、
前記グレイレベル差は、正負の符号付きデータであり、
前記符号付きグレイレベル差の平均値を算出し、
前記グレイレベル差を前記算出した平均値で補正して符号付き補正グレイレベル差を算出し、
前記符号付き補正グレイレベル差から符号なしの絶対値補正グレイレベル差を算出し、
前記絶対値補正グレイレベル差を前記閾値と比較することを特徴とする画像欠陥検査方法。 - 2つの画像の対応する部分のグレイレベル差を検出する差画像検出部と、
検出した前記グレイレベル差を閾値と比較して、前記グレイレベル差が前記閾値より大きい場合に、欠陥であると判定する欠陥検出部とを備える画像欠陥検査装置であって、
前記差画像検出部は、正負の符号付きグレイレベル差を検出し、
前記符号付きグレイレベル差の平均値を算出する平均算出部と、
前記符号付きグレイレベル差を前記算出した平均値で補正して符号付き補正グレイレベル差を算出する補正部と、
前記符号付き補正グレイレベル差から符号なしの絶対値補正グレイレベル差を算出する絶対値変換部とを備え、
前記欠陥検出部は、前記絶対値補正グレイレベル差を前記閾値と比較する画像欠陥検査装置。 - 2つの画像の対応する部分のグレイレベル差を検出し、
検出した前記グレイレベル差を閾値と比較して、前記グレイレベル差が前記閾値より大きい場合に、欠陥であると判定する画像欠陥検査方法であって、
前記グレイレベル差は、正負の符号付きデータであり、
前記グレイレベル差から正負に渡る累積頻度を算出し、
前記累積頻度から所定の算出方法に従って正側・負側の2つの閾値を決定し、
前記正側・負側の2つの閾値の差の1/2を補正閾値として決定し、
前記グレイレベル差を前記正側・負側の2つの閾値の和の1/2で補正して絶対値補正グレイレベル差を算出し、
前記正側・負側の2つの閾値から絶対値閾値を算出し、
前記絶対値補正グレイレベル差を前記絶対値閾値と比較することを特徴とする画像欠陥検査方法。 - 2つの画像の対応する部分のグレイレベル差を検出する差画像検出部と、
検出した前記グレイレベル差を閾値と比較して、前記グレイレベル差が前記閾値より大きい場合に、欠陥であると判定する欠陥検出部とを備える画像欠陥検査装置であって、
前記差画像検出部は、正負の符号付きグレイレベル差を検出し、
前記グレイレベル差から正負に渡る累積頻度を算出する累積頻度算出部と、
前記累積頻度から所定の算出方法に従って正側・負側の2つの閾値を決定する閾値決定部と、
前記正側・負側の2つの閾値の差の1/2を算出して補正閾値を決定する補正閾値決定部と、
前記グレイレベル差を前記正側・負側の2つの閾値の和の1/2で補正して絶対値補正グレイレベル差を算出する絶対値補正グレイレベル算出部と、
前記正側・負側の2つの閾値から絶対値閾値を算出する絶対値閾値算出部とを備え、
前記欠陥検出部は、前記絶対値補正グレイレベル差を前記絶対値閾値と比較する画像欠陥検査装置。 - 半導体ウエハ上に形成された半導体回路パターンの欠陥を検出する外観検査装置であって、
前記半導体ウエハ上の前記半導体回路パターンの画像を生成する撮像手段と、
請求項2または4に記載の画像欠陥検査装置とを備え、
前記画像欠陥検査装置が、前記半導体回路パターンの欠陥を検出することを特徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008175786A JP4827896B2 (ja) | 2002-10-01 | 2008-07-04 | 画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002288375 | 2002-10-01 | ||
JP2002288375 | 2002-10-01 | ||
JP2008175786A JP4827896B2 (ja) | 2002-10-01 | 2008-07-04 | 画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003188209A Division JP4233397B2 (ja) | 2002-10-01 | 2003-06-30 | 画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008298788A JP2008298788A (ja) | 2008-12-11 |
JP4827896B2 true JP4827896B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=40172406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008175786A Expired - Fee Related JP4827896B2 (ja) | 2002-10-01 | 2008-07-04 | 画像欠陥検査方法、画像欠陥検査装置及び外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4827896B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020094878A (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | コニカミノルタ株式会社 | 箔押し印刷検査装置、箔押し印刷検査システム、箔押し印刷検査方法、及び、プログラム |
CN113674273B (zh) * | 2021-09-16 | 2021-12-31 | 深圳市光明顶照明科技有限公司 | 一种基于产品缺陷的光学检测方法、***和可读存储介质 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3523945B2 (ja) * | 1995-09-28 | 2004-04-26 | 日新製鋼株式会社 | 表面検査方法 |
JP3660763B2 (ja) * | 1996-06-26 | 2005-06-15 | 株式会社日立製作所 | 被検査パターンの検査方法及び製造プロセス診断方法並びに半導体基板の製造方法 |
JP2001077165A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-23 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及びその装置並びに欠陥解析方法及びその装置 |
JP2001153809A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Sony Corp | パーティクル検査方法及び検査装置 |
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2008
- 2008-07-04 JP JP2008175786A patent/JP4827896B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008298788A (ja) | 2008-12-11 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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