JP4822468B2 - 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 - Google Patents
欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 Download PDFInfo
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Description
2 ステージ
3 試料
4 対物レンズ
5 光検出器
5a ゲイン設定部
10 処理装置
11 受光量データ記憶部
12 2値化処理部
13 上下限値設定部
14 2値化データシフト部
15 差分処理部
16 欠陥判定部
17 色判定部
31r 赤色の着色層
31g 緑色の着色層
31b 青色の着色層
32 BM
33 白欠陥
34 黒欠陥
35 欠陥画素
36 画素列
37 短冊状領域
39 画素列
40 受光画素
41 受光画素
50 受光画素
51 受光画素
61 欠陥判定領域
Claims (13)
- 同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料を検査する欠陥検査装置であって、
試料からの光を受光する光検出器と、
前記光検出器の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって2値化処理を行って、2値化画像を生成する2値化処理部と、
前記同一形状のパターンでの前記2値化画像の差分値を算出する差分処理部と、
前記差分値をしきい値と比較した比較結果に応じて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部と、を備える欠陥検査装置。 - 同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料を検査する欠陥検査装置であって、
試料からの光を受光する光検出器と、
前記光検出器の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって2値化処理を行って、2値化画像を生成する2値化処理部と、
前記同一形状のパターンでの前記2値化画像の差分値を算出する差分処理部と、
前記差分値に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部と、を備え、
前記試料が、異なる色の画素を有する基板であり、
前記光検出器が異なる色の受光画素を有するカラーカメラであり、
前記試料において、欠陥があると判定された欠陥画素と同じ列にある同色画素の受光量データを抽出し、
前記受光画素の色毎に、前記同色画素の受光量データを足し合わせることで、前記欠陥画素の色判定を行う欠陥検査装置。 - 同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料の白欠陥と黒欠陥を検出して、検査を行う欠陥検査装置であって、
前記白欠陥と前記黒欠陥とが存在する第1パターンからの受光量と、正常箇所において前記第1パターンの正常箇所と異なる透過率又は反射率を有する第2パターンからの受光量とが異なるように、試料からの光を受光する光検出器と、
前記第1及び第2パターンにおける前記光検出器の受光量に応じた受光量データが、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれていない場合、前記第2パターンの正常箇所、前記黒欠陥、又は前記白欠陥に対応する第1の値とし、前記上限値と前記下限値で規定される範囲内に含まれている場合、前記第1の値と異なる第2の値として、2値化画像を生成する2値化処理部と、
前記同一形状のパターンでの前記2値化画像の差分値を算出する差分処理部と、
前記差分値に基づいて、欠陥についての判定を行う欠陥判定部と、を備える欠陥検査装置。 - 前記光検出器の視野の一部を欠陥判定領域とし、
前記欠陥判定領域内のパターンにおける2値化画像と、前記欠陥判定領域外のパターンにおける2値化画像とによって、前記差分値を算出する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。 - 前記試料が、異なる色の画素を有する基板であり、
前記光検出器が異なる色の受光画素を有し、色毎に異なるゲインが設定されたカラーカメラであり、
正常箇所における受光量データを前記異なる色の画素間で揃え、前記上限値と前記下限値を近づけることができるように、前記ゲインが設定されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。 - 光路中に色フィルタを挿入すること、又は、照明光のスペクトルを調整することによって、色毎の強度調整を行うことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
- 同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料を検査する欠陥検査方法であって、
試料からの光を光検出器で受光するステップと、
前記光検出器の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって2値化処理を行って、2値化画像を生成するステップと、
前記同一形状のパターンでの前記2値化画像の差分値を算出するステップと、
前記差分値をしきい値と比較した比較結果に応じて、欠陥についての判定を行うステップと、を備える欠陥検査方法。 - 同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料を検査する欠陥検査方法であって、
試料からの光を光検出器で受光するステップと、
前記光検出器の受光量に応じた受光量データを、上限値と下限値で規定される範囲内に含まれているか否かによって2値化処理を行って、2値化画像を生成するステップと、
前記同一形状のパターンでの前記2値化画像の差分値を算出するステップと、
前記差分値に基づいて、欠陥についての判定を行うステップと、を備え、
前記試料が、異なる色の画素を有しており、
前記光検出器が異なる色の受光画素を有するカラーカメラであり、
前記試料において、欠陥があると判定された欠陥画素と同じ列にある同色画素の受光量データを求め、
前記受光画素の色毎に、前記同色画素の受光量データを足し合わせることで、前記欠陥画素の色判定を行う欠陥検査方法。 - 同一形状のパターンが繰り返し設けられている試料の白欠陥と黒欠陥を検出して、検査を行う欠陥検査方法であって、
前記白欠陥と前記黒欠陥とが存在する第1パターンからの受光量と、正常箇所において前記第1パターンの正常箇所と異なる透過率又は反射率を有する第2パターンからの受光量とが異なるように、前記試料からの光を光検出器で受光するステップと、
前記第1及び第2パターンにおける前記光検出器の受光量に応じた受光量データが、上限値と下限値で規定される範囲外にある場合、前記第2パターンの正常箇所、前記黒欠陥、又は前記白欠陥に対応する第1の値とし、前記上限値と前記下限値で規定される範囲内に含まれている場合、前記第1の値と異なる第2の値として、2値化画像を生成するステップと、
前記同一形状のパターンでの前記2値化画像の差分値を算出するステップと、
前記差分値に基づいて、欠陥についての判定を行うステップと、を備える欠陥検査方法。 - 前記光検出器の視野の一部を欠陥判定領域とし、
前記欠陥判定領域内のパターンにおける2値化画像と、前記欠陥判定領域外のパターンにおける2値化画像とによって、前記差分値を算出する請求項7乃至9のいずれか1項に記載の欠陥検査方法。 - 前記試料が、異なる色の画素を有する基板であり、
前記光検出器が異なる色の受光画素を有し、色毎に異なるゲインが設定されたカラーカメラであり、
正常箇所における受光量データを前記異なる色の画素間で揃え、前記上限値と前記下限値を近づけることができるように、前記ゲインが設定されていることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載の欠陥検査方法。 - 光路中に色フィルタを挿入すること、又は、照明光のスペクトルを調整することによって、色毎の強度調整を行うことを特徴とする請求項7乃至11のいずれか1項に記載の欠陥検査方法。
- 請求項7乃至12のいずれか1項に記載の欠陥検査方法により、試料であるパターン基板を検査する検査ステップと、
前記検査ステップによって検査された試料の欠陥を修正する欠陥修正ステップと、を有するパターン基板の製造方法。
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