JP4821974B2 - 鉛含有複合酸化物形成用組成物の製造方法 - Google Patents
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かかる第1の態様では、アセチルアセトナート錯体であるジルコニウムアセチルアセトナートの分散安定性が良好で且つ保存安定性に優れた鉛含有複合酸化物形成用組成物を比較的容易な方法で製造することができる。
かかる第2の態様では、添加された酢酸により、アセチルアセトナート錯体であるジルコニウムアセチルアセトナートの分散安定性が良好になる。
(実施形態1)
本発明の鉛含有複合酸化物形成用組成物は、強誘電体薄膜等の鉛含有複合酸化物を形成するのに用いられるコロイド溶液(ゾル)であり、具体的には、酸化鉛の原料としての酢酸鉛と、鉛以外の金属酸化物の原料としての金属アルコキシド及びアセチルアセトナート錯体と、酢酸とを含有するコロイド溶液からなり、当該コロイド溶液中の酢酸とアセチルアセトナート錯体とのモル比、すなわち、酢酸/アセチルアセトナート錯体(モル比)が2より大きいものである。ここで、酢酸/アセチルアセトナート錯体(モル比)中の「酢酸」とは、コロイド溶液中に含まれる酢酸、すなわち、原料として添加した酢酸及び酢酸鉛から遊離した酢酸を意味する。本発明の鉛含有複合酸化物形成用組成物は、酢酸を添加することにより、アセチルアセトナート錯体に酢酸が弱い相互作用で結合するため、アセチルアセトナート錯体の分散性安定性が顕著に向上し、鉛含有複合酸化物形成用組成物の保存安定性が良好になる。このように本発明の鉛含有複合酸化物形成用組成物は分散安定性及び保存安定性に優れているため、これを用いて鉛含有複合酸化物を形成すると、金属成分が略均一な複合酸化物を得ることができる。なお、酢酸/アセチルアセトナート錯体(モル比)はさらに好ましくは4以上である。また、本発明において、酢酸の含有量は、アセチルアセトナート錯体の分散安定性を高める点においては特に上限はないが、塗布、乾燥及び焼成等の複合酸化物形成プロセスの条件に対する鉛含有複合酸化物形成用組成物の粘度を考慮することが好ましい。
(試験例) Zrアセチルアセトナートの分散安定性
ジルコニウムアセチルアセトナート27.5gを2−n−ブトキシエタノール(CH3(CH2)3OCH2CH2OH)118gに添加し、ジルコニウムアセチルアセトナート(Zr(CH3COCHCOCH3)4)の濃度が0.3mol/Lの溶液を作製した。この溶液に、酢酸(CH3COOH)、水(H2O)及びイソプロピルアルコール(IPA)を、ジルコニウムアセチルアセトナート1モルに対して、下記表1のモル数となるように混合した。上記操作は全て室温下で行った。各混合液を容器に入れ開封状態で10日間室温で保存し、析出の有無を観察した。結果を表1に示す。なお、酢酸鉛3水和物(Pb(CH3COO)2・3H2O)に由来する水、及び、チタニウムテトライソプロポキシド(Ti((CH3)2CHO)4)に由来するIPAを想定して、水及びIPAを表1に示すモル数で混合した。具体的には、Pb:Zr:Ti=1.2:0.55:0.45(モル比)のチタン酸ジルコン酸鉛形成用組成物を製造する際に生じる酢酸鉛3水和物に由来する水6.6モルと、チタニウムテトライソプロポキシドに由来するIPA3.2モルとを混合したものがサンプル1及び4であり、その他のサンプルについては、サンプル1及び4と同量又はそれよりも少ない量をそれぞれ混合した。
以下、図1及び図2を参照して、本発明の鉛含有複合酸化物形成用組成物を圧電アクチュエータに適用した液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて詳細に説明する。図1は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びA−A’断面図である。図1及び図2に示すように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した酸化シリコン(SiO2)からなる、厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。
Claims (2)
- 酸化鉛の原料としての酢酸鉛と、鉛以外の金属の酸化物の原料としてのチタニウムアルコキシド及びジルコニウムアセチルアセトナートと、酢酸とを、酢酸/ジルコニウムアセチルアセトナート(モル比)が2より大きくなり且つPb:Zr:Ti=1.0〜1.2:0.51〜0.56:0.44〜0.49(モル比)となるように、加熱せずに混合することによりコロイド溶液からなる鉛含有複合酸化物形成用組成物を得ることを特徴とする鉛含有複合酸化物形成用組成物の製造方法。
- 前記酢酸鉛を溶媒に混合した後、前記酢酸及び前記ジルコニウムアセチルアセトナートを混合することを特徴とする請求項1に記載の鉛含有複合酸化物形成用組成物の製造方法。
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