JP4819599B2 - 干渉測長機 - Google Patents
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Description
図1および図2は、本実施の形態に係る干渉測長機10の全体構成を示す概略側面図である。図3は、図1の干渉測長機10のA−A線概略断面図である。この干渉測長機10は、光の干渉を利用して、測定軸X方向についての測定対象物の移動量を測定するものである。
図4は、測長光学系12の構成を示す概略断面図である。以下、図4に従って、測長光学系12の構成について説明する。なお、以下の説明において、測長光学系12について前後、左右、上下と言うときは、図4の矢印に示されるように、測長光学系12が水平姿勢に保持された状態における、前後、左右、上下を言うものとする。
図1,2に示されるように、ベース部16は、ベッド74と、ベッド74に立設されたスタンド75を有する。ベッド74には、センサ取付水平座面500が設けられており、スタンド75には、センサ取付垂直座面502が設けられている。そして、水平姿勢では、図1に示されるように、センサ取付水平座面500にブラケット504を介して変位センサ506が取り付けられる。一方、垂直姿勢では、図2に示されるように、センサ取付垂直座面502にブラケット508を介して変位センサ510が取り付けられる。
図10に示されるように、可動部14の前端部には、ブラケット512を介して変位センサ514が取り付けられる。
回転機構18は、測定軸Xの向きが可変となるように、可動部14をベース部16に対して回転可能に連結する機構である。本実施の形態では、回転機構18は、以下の構成により実現される。
クランプ機構20は、測定軸Xが水平となる位置および垂直となる位置で可動部14の回転を固定する機構である。本実施の形態では、クランプ機構20は、以下の構成により実現される。
駆動機構22は、測長光学系12のスピンドル30を測定軸Xに沿って移動させる機構である。本実施の形態では、駆動機構22は、以下の構成により実現される。
重力キャンセル機構24は、測長光学系12のスピンドル30にかかる重力をキャンセルする機構である。本実施の形態では、重力キャンセル機構24は、以下の構成により実現される。
Claims (7)
- 測定軸に沿って移動可能な移動鏡と、前記移動鏡に測定光を照射し、前記移動鏡から反射された測定光を参照光と重畳して干渉光を生成する干渉計と、を含む測長光学系と、
前記測長光学系を支持するベース部と、
前記測定軸の向きが可変となるように、前記測長光学系を前記ベース部に対して回転可能に連結する回転機構と、
を有し、
前記測定軸が水平となる位置および垂直となる位置で、前記測長光学系の回転を固定するクランプ機構を有することを特徴とする干渉測長機。 - 請求項1に記載の干渉測長機であって、
前記移動鏡を支持し、前記測定軸に沿って延びるスピンドルと、
前記スピンドルを前記測定軸に沿って移動させる駆動源と、
を有し、
前記駆動源は、前記測長光学系とともに回転可能に設けられる、
ことを特徴とする干渉測長機。 - 請求項1に記載の干渉測長機であって、
前記移動鏡を支持し、前記測定軸に沿って延びるスピンドルと、
前記スピンドルを前記測定軸に沿って移動させる、前記ベース部側に設けられた駆動源と、
前記スピンドルと前記駆動源との間の駆動力の伝達経路を断続する断続機構と、
を有することを特徴とする干渉測長機。 - 請求項1に記載の干渉測長機であって、
前記移動鏡を支持し、前記測定軸に沿って延びるスピンドルと、
前記スピンドルに作用する重力をキャンセルする重力キャンセル機構と、
を有することを特徴とする干渉測長機。 - 請求項4に記載の干渉測長機であって、
前記重力キャンセル機構は、キャンセル動作のためのエネルギーの供給が途絶えたときに前記スピンドルが落下するのを防止する落下防止機能を備えることを特徴とする干渉測長機。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の干渉測長機であって、
評価対象の変位センサを前記ベース部に取り付けるためのセンサ取付部を有することを特徴とする干渉測長機。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の干渉測長機であって、
評価対象の変位センサを、前記測長光学系が搭載され前記ベース部に対して前記測長光学系とともに回転する可動部に取り付けるためのセンサ取付部を有することを特徴とする干渉測長機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006180935A JP4819599B2 (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 干渉測長機 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006180935A JP4819599B2 (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 干渉測長機 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008008816A JP2008008816A (ja) | 2008-01-17 |
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Family
ID=39067149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006180935A Active JP4819599B2 (ja) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 干渉測長機 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4819599B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11549420B2 (en) | 2019-02-04 | 2023-01-10 | Honda Motor Co., Ltd. | Outboard motor catalytic converter |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03225206A (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Brother Ind Ltd | 光学式表面形状測定装置 |
JP3192992B2 (ja) * | 1996-08-27 | 2001-07-30 | 株式会社東京精密 | 工作機械の角度割出精度測定方法及びシステム |
JP3380123B2 (ja) * | 1996-10-01 | 2003-02-24 | 株式会社東京精密 | 工作機械の移動誤差測定システム |
JP3400393B2 (ja) * | 1999-10-13 | 2003-04-28 | 株式会社ミツトヨ | レーザ干渉装置 |
JP2001249014A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-14 | Mitsutoyo Corp | 対向平面平行度測定装置 |
JP4319396B2 (ja) * | 2001-12-07 | 2009-08-26 | 株式会社ミツトヨ | 光学式測長機 |
JP2006064512A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定装置 |
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2006
- 2006-06-30 JP JP2006180935A patent/JP4819599B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008008816A (ja) | 2008-01-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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