JP4818977B2 - 高速原子線源および高速原子線放出方法ならびに表面改質装置 - Google Patents
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Description
前記筒状体の内部に配置された複数の棒状の陽極と、
前記陽極に電気的に接続されて前記陽極に電圧を印加して、前記筒状体内に前記プラズマを発生させて、前記放出部から原子を放出させる電源と、
前記筒状体の内部で前記放出部に対して前記陽極を変位させる陽極駆動部と、
前記陽極駆動部を制御して、前記放出部に対して前記陽極を所定周期毎に接近し又は離れるように変位させる制御部とを備えて、
前記複数の棒状の陽極の長手軸方向はそれぞれ前記放出部に大略平行な状態で、かつ、前記放出部が、前記原子を放出する対象の対象物の面に対して傾斜した状態で、前記筒状体の内部で前記プラズマを発生させて前記放出部から前記原子を放出するとともに、前記複数の棒状の陽極のうち、少なくとも前記対象物に近い側の前記陽極を前記放出部に対して変位させる原子線源を提供する。
前記陽極として複数の棒状の陽極が配置されており、前記複数の棒状の陽極の長手軸方向はそれぞれ前記放出部に大略平行な状態で、かつ、前記放出部が、前記原子を放出する対象の対象物の面に対して傾斜した状態で、前記筒状体の内部で前記プラズマを発生させて前記放出部から前記原子を放出するとともに、前記複数の棒状の陽極のうち、少なくとも前記対象物に近い側の前記陽極を前記放出部に対して変位させる、原子線放出方法を提供する。
本発明の第4態様によれば、前記陽極駆動部を制御して、前記放出部に対して前記陽極を所定周期毎に変位させつつ、前記筒状体の内部で前記プラズマを発生させて前記放出部から前記原子を放出する、第3の態様に記載の原子線放出方法を提供する。
載置台に載置された前記対象物の平面に垂直な軸に対し、前記原子線源における原子を放出する放出中心軸を傾斜して設置されるとともに、
前記原子線源として、第1又は2の態様に記載の原子線源により構成する表面改質装置を提供する。
2 陽極
3 直流高圧電源
4 放電空間
5 原子放出部
6 ガス導入部
7 原子線
11 反応室
12、13 基板(処理対象物)
14 下部基板台
15 上部基板台
19、20 高速原子線源
31,31a〜31f 陽極駆動部
32,32a〜32f 制御部
70 ガス供給装置
71 減圧装置
73 電圧印加装置
74 ベローズ駆動装置
100 制御装置
Claims (6)
- 一部が開口され、陰極として作用して、原子を放出可能な放出部を有し、かつ内部にプラズマを発生させる筒状体と、
前記筒状体の内部に配置された複数の棒状の陽極と、
前記陽極に電気的に接続されて前記陽極に電圧を印加して、前記筒状体内に前記プラズマを発生させて、前記放出部から原子を放出させる電源と、
前記筒状体の内部で前記放出部に対して前記陽極を変位させる陽極駆動部と、
前記陽極駆動部を制御して、前記放出部に対して前記陽極を所定周期毎に接近し又は離れるように変位させる制御部とを備えて、
前記複数の棒状の陽極の長手軸方向はそれぞれ前記放出部に大略平行な状態で、かつ、前記放出部が、前記原子を放出する対象の対象物の面に対して傾斜した状態で、前記筒状体の内部で前記プラズマを発生させて前記放出部から前記原子を放出するとともに、前記複数の棒状の陽極のうち、少なくとも前記対象物に近い側の前記陽極を前記放出部に対して変位させる原子線源。 - 前記陽極の前記変位に関連して、前記電源から前記陽極に印加される前記電圧を制御する制御装置をさらに備える請求項1に記載の原子線源。
- 筒状体を陰極とし、前記筒状体の内部に設けられた陽極に電圧を印加して前記筒状体の内部でプラズマを発生させて前記筒状体の一部が開口されて陰極として作用して、原子を放出可能な放出部から原子を放出するとともに、前記筒状体の内部で前記放出部に対して前記陽極を陽極駆動部により変位させるとともに、
前記陽極として複数の棒状の陽極が配置されており、前記複数の棒状の陽極の長手軸方向はそれぞれ前記放出部に大略平行な状態で、かつ、前記放出部が、前記原子を放出する対象の対象物の面に対して傾斜した状態で、前記筒状体の内部で前記プラズマを発生させて前記放出部から前記原子を放出するとともに、前記複数の棒状の陽極のうち、少なくとも前記対象物に近い側の前記陽極を前記放出部に対して変位させる、原子線放出方法。 - 前記陽極駆動部を制御して、前記放出部に対して前記陽極を所定周期毎に変位させつつ、前記筒状体の内部で前記プラズマを発生させて前記放出部から前記原子を放出する、請求項3に記載の原子線放出方法。
- 前記陽極の前記変位に関連して、前記電源から前記陽極に印加される前記電圧を制御しながら、前記筒状体の内部でプラズマを発生させて前記開口部から原子を放出する、請求項3又は4に記載の原子線放出方法。
- 筒状体内部にプラズマを発生させた原子線源から原子を対象物に放出して前記対象物の表面改質をする表面改質装置において、
載置台に載置された前記対象物の平面に垂直な軸に対し、前記原子線源における原子を放出する放出中心軸を傾斜して設置されるとともに、
前記原子線源として、請求項1又は2に記載の原子線源により構成する表面改質装置。
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