JP4812025B2 - 面光源付プローブカード - Google Patents
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Description
面光源2は基板1上に設けられており、面光源2から発せられた光は貫通孔7を通して検査対象である半導体集積回路8に照射される。第一、第二の実施形態と異なる点は、ひとつの面光源2に対し検査対象である半導体集積回路8が複数であり、プローブ針3、および、貫通孔7が半導体集積回路毎に設けられている点である。従って、貫通孔7は半導体集積回路8の平面積よりも大きく開口されている。面光源2と基板1との位置関係は第一の実施形態のように基板1下面に取り付けても良いし、第二の実施形態の様に、基板1と面光源2の下面位置高さが同じであるように取り付けても良い。本実施形態においては、検査対象である半導体集積回路が複数であっても、半導体集積回路内における光量分布のない均一な光が同時に照射可能であり、複数の半導体集積回路を同時に安定して検査可能となる。複数の半導体集積回路を同時に安定して検査可能であるので、検査にかかる時間を短縮できるという利点がある。
第三の実施形態と異なる点は、面光源2が検査対象である半導体集積回路毎に設けられている点である。面光源2は制御回路5に接続されており、制御回路5は図示しない半導体検査装置等に接続され、面光源2の光照射が均一となるように制御される。本実施形態においては、検査対象の半導体集積回路が大面積であったり、半導体集積回路間の距離が離れていたりなど、単一の面光源で複数の半導体集積回路に均一の光を照射することが難しい場合においても、半導体集積回路内における光量分布のない均一な光が同時に照射可能であり、複数の半導体集積回路を同時に安定して検査可能であるので、検査にかかる時間を短縮できるという利点がある。
2 面光源
3 プローブ針
4 信号線A
5 制御回路
6 信号線B
7 貫通孔
8 半導体集積回路
Claims (5)
- プローブカード基板と、
前記プローブカード基板の下面の中心部分に設けられ、検査対象より大きな面積を有する面光源と、
前記プローブカード基板の下面に取り付けられ、その先端が前記面光源の下方に延び、検査の際にその先端を前記検査対象に接触させるためのプローブ針と、
を具備することを特徴とする面光源付プローブカード。 - 前記面光源が複数の光源からなることを特徴とする請求項1に記載の面光源付プローブカード。
- 前記検査対象を複数同時測定できるように前記プローブ針が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の面光源付プローブカード。
- 前記面光源がLCD用バックライトであることを特徴とする請求項1に記載の面光源付プローブカード。
- 前記面光源が有機EL発光素子であることを特徴とする請求項1に記載の面光源付プローブカード。
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